CH675353A5

CH675353A5 - Diamantine surface coating for surgical instrument - is formed by plasma deposition from mixed hydrogen and gaseous hydrocarbon

Info

Publication number: CH675353A5
Application number: CH377487A
Authority: CH
Inventors: Yoshinari Tabe; Tamaki Iida
Original assignee: Shinetsu Chemical Co
Priority date: 1986-10-07
Filing date: 1987-09-28
Publication date: 1990-09-28
Also published as: JPS6392345A; SU1662337A3

Abstract

The pointed or cutting work-surface (1) of an instrument for piercing or cutting a patients body is coated to a depth of 1-20nm with a layer (2) of carbon at least partly with diamond crystal structure. The layer is applied by a plasma vapour deposition process carried out in an atmos. of H2 and hydrocarbon gases, esp. methane, ethane or propane, with a very wide range of possible proportions. The plasma is formed with a microwave frequency of 1-10 GHz and applied to a substrate at 300-1300 deg.C. ADVANTAGE - Instrument has min. friction, with no effect on blood coagulation, and is stable w.r.t. body fluids.

Description

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Beschreibung description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein verbessertes medizinisches Instrument, wie z. B. einer Injektionsnadel, ein Messer, ein Skalpell, eine Schere, ein Meissel oder ähnliche, welche für medizinische, zahnmedizinische und chirurgische Behandlungen zur Therapie, Prävention oder Untersuchung verwendet werden. Weiter betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung solch eines verbesserten medizinischen Instrumentes. The present invention relates to an improved medical instrument, such as. B. an injection needle, a knife, a scalpel, a pair of scissors, a chisel or the like, which are used for medical, dental and surgical treatments for therapy, prevention or examination. The invention further relates to a method for producing such an improved medical instrument.

Die oben erwähnten medizinischen Instrumente sind dazu bestimmt, lebendes Gewebe zu zertrennen oder zu zerschneiden, um ein flüssiges Medikament in einen lebenden Körper einzubringen oder Körperflüssigkeit aus ihm zu entfernen. Damit ist es von essentieller Bedeutung, dass die Schneide mit so geringem Reibwiderstand wie möglich in das lebende Gewebe eingebracht werden kann. Weiter ist es wichtig, dass die Oberfläche des Werkzeuges nicht zur beschleunigten Coagulation des Blutes beiträgt und gegenüber dem korrosiven Einfluss von Körperflüssigkeiten sogar dann stabil ist, wenn das Instrument über längere Zeit in Kontakt mit dem Körpergewebe gehalten wird. Unnötig zu erwähnen ist, dass die Schneide natürlich so scharf und wirksam sein muss, wie dies bei den üblichen medizinischen Instrumenten der Fall ist. The medical instruments mentioned above are designed to cut or cut living tissue in order to introduce a liquid medicament into a living body or to remove body fluid from it. It is therefore essential that the cutting edge can be inserted into the living tissue with as little friction as possible. It is also important that the surface of the tool does not contribute to the accelerated coagulation of the blood and is stable against the corrosive influence of body fluids even if the instrument is kept in contact with the body tissue for a long time. Needless to say, the cutting edge must of course be as sharp and effective as is the case with the usual medical instruments.

Üblicherweise werden solche mit einer Schneide versehenen medizinischen Instrumente aus keramischem Material oder wahlweise aus keramisch beschichtetem Material hergestellt. Diese Materialien aus dem Stand der Technik sind jedoch im Hinblick auf den Reibungswiderstand in lebendem Körpergewebe und der Beschleunigung der Blutcoagulation nicht ganz befriedigend. Entsprechend besteht in der Medizin und der Zahnmedizin der intensive Wunsch, dass ein medizinisches Instrument mit einer Schneide entwickelt werde, bei welchem die oben erwähnten Probleme gelöst sind. Einer der Erfinder hat bereits früher berichtet, dass die Leistungsfähigkeit einer microtomen Klinge bezüglich Schneidschärfe durch Verwendung einer geeigneten Deckschicht wie z. B. auf der Basis von Silizium-Karbid, hergestellt mit Hilfe des Plasma-Dampfphasenausscheidungsverfahrens, spürbar gesteigert werden kann. Die entsprechende Offenbarung findet sich im japanischen Patent Kokai 61-210178. Das dort beschriebene Beschichtungsver-fahren mit Hilfe von Silizium-Karbid ist jedoch zur grundsätzlichen Verbesserung eines medizinischen Instrumentes nicht im wünschenswerten Masse geeignet. Such medical instruments provided with a cutting edge are usually produced from ceramic material or optionally from ceramic-coated material. However, these prior art materials are not entirely satisfactory in terms of frictional resistance in living body tissue and the acceleration of blood coagulation. Accordingly, there is an intense desire in medicine and dentistry that a medical instrument with a cutting edge be developed in which the problems mentioned above are solved. One of the inventors previously reported that the performance of a microtome blade in terms of cutting sharpness can be achieved by using a suitable cover layer such as e.g. B. on the basis of silicon carbide, produced with the help of the plasma vapor phase separation process, can be increased noticeably. The corresponding disclosure can be found in Japanese Patent Kokai 61-210178. The coating process described there with the aid of silicon carbide is, however, unsuitable for the fundamental improvement of a medical instrument.

Zur Lösung der oben beschriebenen Aufgabe besitzt das erfindungsgemässe medizinische Instrument die Merkmale von Anspruch 1. Ein Verfahren zur Herstellung solch eines Instrumentes wird erfin-dungsgemäss nach den Merkmalen von Anspruch 2 ausgeführt. Bevorzugte Ausführungsbeispiele besitzen die betreffenden Merkmale der abhängigen Ansprüche. To achieve the object described above, the medical instrument according to the invention has the features of claim 1. A method for producing such an instrument is carried out according to the invention according to the features of claim 2. Preferred embodiments have the relevant features of the dependent claims.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines in der Figuren gezeigten Ausführungsbeispielen noch etwas näher erläutert. Es zeigt: The invention is explained in more detail below using an exemplary embodiment shown in the figures. It shows:

Fig. 1 eine Ansicht des erfindungsgemässen medizinischen Instrumentes; und 1 shows a view of the medical instrument according to the invention; and

Fig. 2 einen Querschnitt durch das Instrument von Fig. 1. FIG. 2 shows a cross section through the instrument from FIG. 1.

Wie bereits oben im einleitenden Teil dargelegt, besitzt das medizinische Instrument gemäss der vorliegenden Erfindung eine diamantene Deckschicht, welche auf der Oberfläche eines Grundkörpers aufgetragen ist und den Umriss des mit einer Schneide versehenen medizinischen Instrumentes bildet. Wie erwähnt, bezieht sich der Ausdruck medizinisches Instrument auf Injektionsnadeln, Messer, Skalpelle, Scheren, Meissel und weitere ähnliche Instrumente, welche in der Medizin, der Zahnmedizin und der Chirurgie Verwendung finden. Der Grundkörper des erfindungsgemässen Instrumentes kann aus beliebigem, konventionellen Material, wie z. B. Metall, z. B. rostfreier Stahl, Sintermetallen bzw. -legierungen, Saphir, Rubin, Keramik, z. B. Silikonkarbid und Silikon-Nitrid, usw. bestehen. Natürlich ist es nicht nötig, dass die diamantene Oberflächenschicht auf der gesamten Oberfläche des Grundkörpers ausgebildet wird. Die gewünschte Verbesserung bezüglich Wirksamkeit und Reibwiderstandsenkeung wird dann erhalten, wenn sich die diamantene Obeflächenschicht über denjenigen Bereich des Grundkörpers erstreckt, welcher bei Venwendung des Instrumentes in Kontakt mit lebendem Körpergewebe gerät. Dies bezieht sich z. B. auf die Spitze einer Injektionsnadel und die Schneidkante einer Messerklinge. As already explained above in the introductory part, the medical instrument according to the present invention has a diamond cover layer which is applied to the surface of a base body and forms the outline of the medical instrument provided with a cutting edge. As mentioned, the term medical instrument refers to hypodermic needles, knives, scalpels, scissors, chisels and other similar instruments which are used in medicine, dentistry and surgery. The base body of the instrument according to the invention can be made of any conventional material, such as. B. metal, e.g. B. stainless steel, sintered metals or alloys, sapphire, ruby, ceramics, for. B. silicon carbide and silicon nitride, etc. exist. Of course, it is not necessary for the diamond surface layer to be formed on the entire surface of the base body. The desired improvement in terms of effectiveness and reduction in frictional resistance is obtained if the diamond surface layer extends over that area of the base body which comes into contact with living body tissue when the instrument is used. This relates e.g. B. on the tip of an injection needle and the cutting edge of a knife blade.

Die diamantene Deckschicht, welche einen Bereich der Grundkörperoberfläche bedeckt, sollte eine Dicke im Bereich zwischen 1 bis 20 nm oder, vorzugsweise, zwischen 5 bis 15 nm aufweisen. Ist die Dicke der diamantenen Deckschicht klein, so sind die gewünschten Verbesserungen mit vielleicht etwas geringerer Zuverlässigkeit vorhanden. Wird die Dicke der Deckschicht zu gross, steigt jedoch der Reibungswiderstand gegenüber lebendem Körpergewebe eher an, da sich die Rauhheit der Oberfläche ungünstig vergrössert; zusätzlich ist mit einer verminderten Produktivität beim Herstellungsverfahren dank der verlängerten Ausscheidungsphase einer dicken diamantenen Deckschicht im Dampfphasenplasmaausscheidungsverfahren zu rechnen. The diamond cover layer, which covers a region of the base body surface, should have a thickness in the range between 1 to 20 nm or, preferably, between 5 to 15 nm. If the thickness of the diamond top layer is small, the desired improvements may be available with somewhat less reliability. If the thickness of the cover layer becomes too large, however, the frictional resistance to living body tissue tends to increase, since the roughness of the surface increases unfavorably; In addition, reduced productivity in the manufacturing process can be expected thanks to the extended precipitation phase of a thick diamond top layer in the vapor phase plasma precipitation process.

Fig. 1 zeigt eine Ansicht eines erfindungsgemäss hergestellten Skalpells und Fig. 2 zeigt einen Querschnitt durch den Endbereich solcher eines Skalpells. In den Figuren ist der Grundkörper mit 1 bezeichnet; er besteht aus einem konventionellen Material, wie oben erwähnt. Die diamantene Deckschicht ist mit 2 bezeichnet. 1 shows a view of a scalpel manufactured according to the invention and FIG. 2 shows a cross section through the end region of a scalpel. In the figures, the base body is designated 1; it is made of a conventional material as mentioned above. The diamond cover layer is designated by 2.

Obschon die in Fig. 2 gezeichnete diamantene Deckschicht 2 über der gesamten Grundkörperoberfläche eine gleichförmige Dicke besitzt, kann es manchmal wünschenswert sein, dass die Dicke der diamantenen Deckschicht an der effektiv wirksamen Schnittkante gering ist und mit dem Abstand von dieser Schnittkante ansteigt. Although the diamond cover layer 2 shown in FIG. 2 has a uniform thickness over the entire surface of the base body, it may sometimes be desirable for the thickness of the diamond cover layer at the effective cutting edge to be small and to increase with the distance from this cutting edge.

Das oben beschriebene medizinische Instrument entsprechend der vorliegenden Erfindung mit einer The medical instrument described above according to the present invention with a

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diamantenen Deckschicht kann mit Hiife des sogenannten Plasmadampfphasenausscheidungsver-fahrens hergestellt werden. Dieses Verfahren findet in einer Atmosphäre von bestimmter Gaszusammensetzung statt. Essentielle Bestandteile dieser Gasmischung sind Wasserstoffgas und eine gasförmige Kohlenwasserstoffverbindung. Zusätzlich kann ein Teil des Wasserstoffgases durch ein inertes Trägergas, wie z. B. Helium, Argon oder ähnliches ersetzt werden, obschon die Menge solch eines inertes Gases, welches Wasserstoff ersetzt, vorzugsweise 20 bis 30% Volumen nicht übersteigt. Dies im Hinblick auf die Stabilität der Plasmaentladung. Geeignete gasförmige Kohlewasserstoffverbindungen weisen Methan, Ethan, Propan, Ethylen und ähnliche Verbindungen auf; dabei wird Methan vorgezogen. Das Mischverhältnis der Kohlenwasserstoffverbindungen zu Wasserstoffgas sollte in einem Volumenbereich von 500:1 bis 0,001:1 liegen. The diamond top layer can be produced using the so-called plasma vapor phase elimination process. This process takes place in an atmosphere of a certain gas composition. Essential components of this gas mixture are hydrogen gas and a gaseous hydrocarbon compound. In addition, part of the hydrogen gas can be replaced by an inert carrier gas such as e.g. B. helium, argon or the like, although the amount of such an inert gas which replaces hydrogen preferably does not exceed 20 to 30% by volume. This with regard to the stability of the plasma discharge. Suitable gaseous hydrocarbon compounds include methane, ethane, propane, ethylene and similar compounds; methane is preferred. The mixing ratio of the hydrocarbon compounds to hydrogen gas should be in a volume range from 500: 1 to 0.001: 1.

Das hier verwendete Plasmadampfphasenaus-scheidungsverfahren umfasst das sog. Niedertemperaturplasmaverfahren, bei welchem elektrische Hochfrequenz oder Mikrowellenenergie mit Hilfe einer gewärmten, aus einem Metalldraht bestehenden Spule zugeführt wird uns das sog. lonenstrahlaus-scheidungsverfahren. Beim Niedertemperaturplasmaverfahren wird vorzugsweise hochfrequente elektrische Energie bei einer Frequenz von mindestens 300 MHz oder, noch besser, im Bereich von 300 bis 1000 MHz oder, am besten, als Mikrowellenenergie im Frequenzbereich von 1 bis 10 GHz verwendet. The plasma vapor phase elimination process used here includes the so-called low-temperature plasma process, in which electrical high frequency or microwave energy is fed to us with the aid of a heated coil consisting of a metal wire, the so-called ion beam elimination process. In the low-temperature plasma process, high-frequency electrical energy is preferably used at a frequency of at least 300 MHz or, even better, in the range from 300 to 1000 MHz or, best of all, as microwave energy in the frequency range from 1 to 10 GHz.

Bei Anwendung des Plasmadampfphasenaus-scheidungsverfahrens entsprechend der vorliegenden Erfindung wird der mit der gewünschten Form des medizinischen Instruments versehene Grundkörper in eine Plasmakammer gebracht, in welcher eine gasförmige Mischung von Wasserstoff und Kohlenwasserstoff, versetzt mit einem inerten Trägergas, besteht. Um eine stabile Plasmaentladung sicherzustellen, sollte der Gasdruck im Innern der Plasmakammer gesteuert und im Bereich von 5 Pa bis 50 KPa gehalten werden. Danach wird den Elektroden hochfrequente oder Mikrowellen elektrische Energie zugeführt, so dass in der Plasmakammer Plasma entsteht. Wichtig ist, dass die Oberfläche des Grundkörpers auf eine Temperatur im Bereich von 300 bis 1300°C, vorzugsweise von 500 bis 1200°C durch die Hitze der elektrischen Entladung gehalten wird. Fällt die Temperatur der Grundkörperoberfläche unter 300°C, kann die abgeschiedene diamantene Deckschicht einen beträchtlichen Betrag von Wasserstoff enthalten und damit in ihrer mechanischen Festigkeit beeinträchtigt sein. Steigt die Temperatur des Grundkörpers zu hoch, kann eventuell eine Rücktransformation der diamantenen kristallinen Struktur in der abgeschiedenen Deckschicht zurück zur graphitischen kristallinen Struktur stattfinden; natürlich ist es schwierig, eine Deckschicht aus komplett diamantener kristalliner Struktur ohne graphitische Strukturen zu erhalten. Wenn die oben erwähnten Bedingungen während der Plasmaentladung eingehalten werden, besitzt die auf der Oberfläche des Grundkörpers abgeschiedene Schicht eine kristalline When using the plasma vapor phase elimination method according to the present invention, the base body provided with the desired shape of the medical instrument is brought into a plasma chamber in which there is a gaseous mixture of hydrogen and hydrocarbon, mixed with an inert carrier gas. In order to ensure a stable plasma discharge, the gas pressure inside the plasma chamber should be controlled and kept in the range from 5 Pa to 50 KPa. Then high-frequency or microwave energy is supplied to the electrodes, so that plasma is generated in the plasma chamber. It is important that the surface of the base body is kept at a temperature in the range from 300 to 1300 ° C., preferably from 500 to 1200 ° C. by the heat of the electrical discharge. If the temperature of the base body surface falls below 300 ° C, the deposited diamond cover layer can contain a considerable amount of hydrogen and its mechanical strength can therefore be impaired. If the temperature of the base body rises too high, the diamond crystalline structure in the deposited cover layer can possibly be transformed back to the graphitic crystalline structure; of course it is difficult to obtain a top layer of completely diamond crystalline structure without graphitic structures. If the conditions mentioned above are observed during the plasma discharge, the layer deposited on the surface of the base body has a crystalline structure

Struktur, welche mindestens teilweise derjenigen des Diamants entspricht. Die Prozedur der Plasma-dampfphasenausscheidung wird solange fortgesetzt, bis die abgeschiedene Schicht die gewünschte Dicke aufweist. Structure that at least partially corresponds to that of the diamond. The plasma vapor phase elimination procedure continues until the deposited layer has the desired thickness.

Nachstehend wird die Erfindung an zwei Beispielen näher erläutert. The invention is explained in more detail below using two examples.

Beispiel 1 : Example 1 :

Eine gut polierte, aus rostfreiem Stahl bestehende Injektionsnadel mit einem äusseren Durchmesser von 1,0 mm, einem Winkel an der Spitz von 8° und einer Krümmung an der Spitze von 0,06 mm wurde auf dem Montagetisch einer Plasmakammer angebracht und derart positioniert, dass ihre Spitze stromaufwärts gerichtet in den Gasfluss der Plasmakammer ragte. Nachdem die Plasmakammer bis zu einem Unterdruck von ungefähr 5 Pa evakuiert worden war, wurde eine Gasmischung von Methan und Wasserstoffgas in einem Volumenverhältnis von 2:98 in die Kammer eingebracht und auf konstanter Rate gehalten, so dass der Druck im Innern der Plasmakammer durch Ausgleich zwischen kontuierlicher Gasbeschickung und Entnahme mit Hilfe einer Vakuumpumpe auf 2,7 bis 27 kPa gehalten werden konnte. A well polished, stainless steel injection needle with an outer diameter of 1.0 mm, an angle at the tip of 8 ° and a curvature at the tip of 0.06 mm was placed on the assembly table of a plasma chamber and positioned in such a way that its tip protruded upstream into the gas flow of the plasma chamber. After the plasma chamber was evacuated to a negative pressure of approximately 5 Pa, a gas mixture of methane and hydrogen gas in a volume ratio of 2:98 was introduced into the chamber and kept at a constant rate so that the pressure inside the plasma chamber was balanced between continuous gas loading and removal could be kept at 2.7 to 27 kPa with the aid of a vacuum pump.

Das Magnetron des Plasmagenerators wurde in Betrieb gesetzt, um Mikrowellen bei einer Frequenz von 2.45 GHz zu erzeugen; diese Mikrowellen wurden zu der aus Quarzglas bestehenden Plasmakammer mit Hilfe einer Wellenführung geleitet, damit in der Umgebung der dem Grundkörper darstellenden Injektionsnadel Plasma erzeugt werden konnte. The plasma generator's magnetron was started to generate microwaves at a frequency of 2.45 GHz; these microwaves were guided to the plasma chamber consisting of quartz glass with the aid of a wave guide so that plasma could be generated in the vicinity of the injection needle representing the base body.

Wurde die Ausgangsleistung des Mikrowellenerzeugers auf 300 W gehalten, so hielt sich die Temperatur des Grundkörpers auf ca. 930°C. Nach 6 Minuten von Plasmabehandlung unter diesen Umständen hatte sich eine Deckschicht von 5 bis 8 nm auf der Grundkörperoberfläche gebildet. If the output power of the microwave generator was kept at 300 W, the temperature of the base body remained at approx. 930 ° C. After 6 minutes of plasma treatment under these circumstances, a top layer of 5 to 8 nm had formed on the body surface.

Die so behandelte Injektionsnadel wurde der Plasmakammer entnommen und einer Inspektion mit Hilfe eines optischen Mikroskops und einem Rönt-gen-Strahlen-Diffractometer unterworfen. Die Untersuchung ergab, dass die Deckschicht im mikroskopischen Bereich frei von Deffekten war und die kristalline Diamantstruktur aufwies. The injection needle treated in this way was removed from the plasma chamber and subjected to an inspection using an optical microscope and an X-ray diffractometer. The investigation showed that the top layer was free of defects in the microscopic range and had the crystalline diamond structure.

Mit den oben beschriebene beschichteten Injektionsnadeln wurde ein Penetrationstest in Rohgummi genommen. Unter einer Belastung von 50 g drang die Diamant beschichtete Nadel innerhalb 5 Minuten 20 mm tief ein, während die nicht beschichtete Nadel nur 4 mm tief eindrang. A penetration test in raw rubber was carried out with the coated injection needles described above. Under a load of 50 g, the diamond-coated needle penetrated 20 mm deep within 5 minutes, while the uncoated needle penetrated only 4 mm deep.

Beispiel 2: Example 2:

Ein aus Rubin bestehendes Skalpell mit einer Dicke von 0,25 mm und einem Schneidkantenwinkel von 30°, wie es in den Fig. dargestellt ist, wurde mit Wasser und Isopropyl Alkohol gespült, getrocknet und auf dem Montagetisch in derselben Plasmakammer wie in Beispiel 1 befestigt. Die Plasmadampffa-sernausscheidung wurde, wie im Beispiel 1 aufgezeigt, vorgenommen; die Gasmischung jedoch, welche in die Plasmakammer eingebracht wurde, bestand aus Methan und Wasserstoff in einem Vo- A ruby scalpel with a thickness of 0.25 mm and a cutting edge angle of 30 °, as shown in the figures, was rinsed with water and isopropyl alcohol, dried and attached to the assembly table in the same plasma chamber as in Example 1 . The plasma vapor separation was carried out as shown in Example 1; however, the gas mixture that was introduced into the plasma chamber consisted of methane and hydrogen in one volume.

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lumenverhältnis von 5:95, während die Ausgangsleistung des Mikrowellenerzeugers auf 350 W gesteigert wurde, so dass die Temperatur des Skalpells sich auf 1050°C hielt. Die Plasmaausscheidung wurde für 6 Minuten aufrechterhalten und danach das Skalpell der Kammer entnommen, um zu finden, dass die abgeschiedene Deckschicht eine Dicke von 10 bis 12 nm aufwies. lumen ratio of 5:95, while the output of the microwave generator was increased to 350 W, so that the temperature of the scalpel remained at 1050 ° C. The plasma excretion was maintained for 6 minutes and then the scalpel was removed from the chamber to find that the deposited top layer had a thickness of 10 to 12 nm.

Das auf diese Weise beschichtete Skalpell wurde mit Hilfe eines optischen Mikroskops und einem Röntgen-Strahlen-Diffractometer untersucht. Es zeigte sich, dass die Deckschicht im mikroskopischen Bereich frei von Deffekten war und die kristalline Struktur eines Diamanten aufwies. Weiter wurde eine Test bezüglich der Schneidfähigkeit entsprechend einer im JIS (Japanese Industriai Standard) spezifizierten Methode unternommen. Es zeigte sich, dass die Penetrationstiefe des beschichteten Skalpells unter einer Last von 50 g nach 5 Minuten 14 mm betrug, während ein entsprechendes nicht beschichtetes Skalpell unter denselben Bedingungen nur 3,2 mm eindrang. The scalpel coated in this way was examined with the aid of an optical microscope and an X-ray diffractometer. It was shown that the surface layer in the microscopic range was free from defects and had the crystalline structure of a diamond. Furthermore, a test was carried out on the cutting ability according to a method specified in the JIS (Japanese Industriai Standard). It was shown that the penetration depth of the coated scalpel under a load of 50 g was 14 mm after 5 minutes, while a corresponding uncoated scalpel penetrated only 3.2 mm under the same conditions.

Claims

1. Medical instrument with a cutting edge, characterized in that it a) a base body in the form of the instrument provided with a cutting edge; and b) has a cover layer made of carbon with an at least partially diamond crystal structure with a thickness between 1 and 20 nm, provided on that surface section of the base body which comes into contact with it when it is cut into living tissue.

2. The method for producing the medical instrument according to claim 1, characterized in that the surface of the base body is exposed to a plasma, generated in a gas mixture consisting of hydrogen and a gaseous hydrocarbon compound.

3. The method according to claim 2, characterized in that the gaseous hydrocarbon compound is selected from the group of methanes, ethanes and propanes.

4. The method according to claim 2, characterized in that the mixing ratio between the gaseous hydrocarbon compound and the hydrogen gas is in the range from 500: 1 to 0.001: 1.

5. The method according to claim 2, characterized in that the plasma is generated by electrical discharge at a microwave frequency in the range of 1 to 10 GHz.

6. The method according to claim 2, characterized in that the surface of the base body is kept at a temperature of 300 to 1300 ° C as long as it is exposed to the plasma.

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