CH647893A5 - Ion source in a mass analyser - Google Patents

Ion source in a mass analyser Download PDF

Info

Publication number
CH647893A5
CH647893A5 CH416780A CH416780A CH647893A5 CH 647893 A5 CH647893 A5 CH 647893A5 CH 416780 A CH416780 A CH 416780A CH 416780 A CH416780 A CH 416780A CH 647893 A5 CH647893 A5 CH 647893A5
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
sample
ion source
energy filter
laser beam
symmetry
Prior art date
Application number
CH416780A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Eberhard Unsoeld
Original Assignee
Strahlen Umweltforsch Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Strahlen Umweltforsch Gmbh filed Critical Strahlen Umweltforsch Gmbh
Publication of CH647893A5 publication Critical patent/CH647893A5/de

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02—Details
    • H01J49/10—Ion sources; Ion guns
    • H01J49/16—Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field-, thermionic- or photo-emission

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
CH416780A 1979-05-31 1980-05-29 Ion source in a mass analyser CH647893A5 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19792922128 DE2922128A1 (de) 1979-05-31 1979-05-31 Ionenquelle fuer einen massenanalysator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH647893A5 true CH647893A5 (en) 1985-02-15

Family

ID=6072129

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH416780A CH647893A5 (en) 1979-05-31 1980-05-29 Ion source in a mass analyser

Country Status (3)

Country Link
CH (1) CH647893A5 (enrdf_load_stackoverflow)
DE (1) DE2922128A1 (enrdf_load_stackoverflow)
FR (1) FR2463504A1 (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3208618A1 (de) * 1982-03-10 1983-09-22 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Lasermikrosonde fuer festkoerperproben, bei der eine beobachtungsoptik, eine laserlichtoptk und iene ionenoptik auf derselben seite einer probenhalterung angeordnet sind
JPS6093336A (ja) * 1983-10-26 1985-05-25 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ微量分析装置
GB8707516D0 (en) * 1987-03-30 1987-05-07 Vg Instr Group Surface analysis
JP4104132B2 (ja) 2003-04-23 2008-06-18 独立行政法人科学技術振興機構 高速粒子発生装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7301496A (enrdf_load_stackoverflow) * 1973-02-02 1974-08-06
DE2347946A1 (de) * 1973-09-24 1975-04-10 Max Planck Gesellschaft Quadrupolfeld-massenanalysator hoher eingangsapertur
US4126782A (en) * 1976-02-09 1978-11-21 Hitachi, Ltd. Electrostatic charged-particle analyzer

Also Published As

Publication number Publication date
DE2922128A1 (de) 1980-12-11
DE2922128C2 (enrdf_load_stackoverflow) 1989-05-18
FR2463504A1 (fr) 1981-02-20
FR2463504B1 (enrdf_load_stackoverflow) 1984-12-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102019005364B3 (de) System-Kombination eines Teilchenstrahlsystem und eines lichtoptischen Systems mit kollinearer Strahlführung sowie Verwendung der System-Kombination
DE102006050600B4 (de) Spektrometer zur Oberflächenanalyse und Verfahren dafür
DE102016121522B4 (de) Verfahren zum Durchlassen von Ionen durch eine Apertur
DE1798021B2 (de) Einrichtung zur buendelung eines primaer-ionenstrahls eines mikroanalysators
DE4441972C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Nachweis von Probenmolekülen in einem Trägergas
DE102010011898A1 (de) Inspektionssystem
DE2739828C2 (de) Einrichtung zur Analyse von Proben
DE3904032C2 (enrdf_load_stackoverflow)
DE1489658A1 (de) Vorrichtung zur Beschiessung eines Gegenstandes mit einem Elektronenstrahlenbuendel und Verfahren fuer diese Beschiessung zum Zwecke der Emission von Roentgenstrahlen durch diesen Gegenstand
DE2819711C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Analyse einer Probe mit Hilfe gepulster Laserstrahlung
DE4036115C2 (de) Verfahren und Einrichtung zur quantitativen nichtresonanten Photoionisation von Neutralteilchen und Verwendung einer solchen Einrichtung
WO1998007059A1 (de) Strahlumlenkeinheit zur mehrachsigen untersuchung in einem mikroskop
DE19637480C2 (de) Vorrichtung zur massenspektrometrischen Analyse von Oberflächen
DE1922871B2 (de) Ionenquelle
DE2929911C2 (enrdf_load_stackoverflow)
DE4041297A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum waehlen der aufloesung eines ladungsteilchenstrahl-analysators
CH647893A5 (en) Ion source in a mass analyser
DE10297062T5 (de) Atomabsorptionsspektrometer
EP0088917B1 (de) Lasermikrosonde für Festkörperproben, bei der eine Beobachtungsoptik, eine Laserlichtoptik und eine Ionenoptik auf derselben Seite einer Probenhalterung angeordnet sind
DE3137568A1 (de) Verfahren zur analyse von festkoerpern, vorzugsweise metallen
DE2650123A1 (de) Vorsatz zur verminderung der verschmutzung eines objektives zur strahlfokussierung durch materialdaempfe, insbesondere fuer zwecke der laser-mikrospektralanalyse und der laserstrahl-materialbearbeitung
DE60101896T2 (de) Massenspektrometer mit quadrupolmassenfilter
DE102022112765B4 (de) Detektionseinheit zur spektralen Analyse eines laserinduzierten Plasmas und laserinduziertes Plasmaspektrometer
DE19547949A1 (de) Flugzeitmassenspektrometrie mit verbesserter Massenauslösung
DE4331002A1 (de) Laser-Massenspektrometer

Legal Events

Date Code Title Description
PL Patent ceased