CH621890A5 - - Google Patents

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CH621890A5
CH621890A5 CH1237176A CH1237176A CH621890A5 CH 621890 A5 CH621890 A5 CH 621890A5 CH 1237176 A CH1237176 A CH 1237176A CH 1237176 A CH1237176 A CH 1237176A CH 621890 A5 CH621890 A5 CH 621890A5
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
mask
layer
metal
gold
photoresist layer
Prior art date
Application number
CH1237176A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Robert L Seliger
Original Assignee
Hughes Aircraft Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hughes Aircraft Co filed Critical Hughes Aircraft Co
Publication of CH621890A5 publication Critical patent/CH621890A5/de

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    • H10P76/20—

Landscapes

  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
CH1237176A 1975-10-28 1976-09-30 CH621890A5 (cg-RX-API-DMAC10.html)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US62642575A 1975-10-28 1975-10-28

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH621890A5 true CH621890A5 (cg-RX-API-DMAC10.html) 1981-02-27

Family

ID=24510336

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH1237176A CH621890A5 (cg-RX-API-DMAC10.html) 1975-10-28 1976-09-30

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4101782A (cg-RX-API-DMAC10.html)
JP (1) JPS5255382A (cg-RX-API-DMAC10.html)
CH (1) CH621890A5 (cg-RX-API-DMAC10.html)
DE (1) DE2643811C2 (cg-RX-API-DMAC10.html)
FR (1) FR2330036A1 (cg-RX-API-DMAC10.html)
GB (1) GB1554420A (cg-RX-API-DMAC10.html)
NL (1) NL170189C (cg-RX-API-DMAC10.html)

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Also Published As

Publication number Publication date
DE2643811A1 (de) 1977-05-05
FR2330036A1 (fr) 1977-05-27
GB1554420A (en) 1979-10-17
FR2330036B1 (cg-RX-API-DMAC10.html) 1980-05-09
NL170189B (nl) 1982-05-03
DE2643811C2 (de) 1981-10-15
US4101782A (en) 1978-07-18
NL7611919A (nl) 1977-05-02
JPS5428267B2 (cg-RX-API-DMAC10.html) 1979-09-14
NL170189C (nl) 1982-10-01
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