CH548791A - Verfahren zum aufwachsen einer festen substanz aus der fluessigphase auf ein substrat. - Google Patents

Verfahren zum aufwachsen einer festen substanz aus der fluessigphase auf ein substrat.

Info

Publication number
CH548791A
CH548791A CH1198871A CH1198871A CH548791A CH 548791 A CH548791 A CH 548791A CH 1198871 A CH1198871 A CH 1198871A CH 1198871 A CH1198871 A CH 1198871A CH 548791 A CH548791 A CH 548791A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
growing
substrate
liquid phase
solid substance
substance
Prior art date
Application number
CH1198871A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
J Grandia
R M Potemski
J M Woodall
Original Assignee
Ibm
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibm filed Critical Ibm
Publication of CH548791A publication Critical patent/CH548791A/xx

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B19/00—Liquid-phase epitaxial-layer growth
    • C30B19/06—Reaction chambers; Boats for supporting the melt; Substrate holders
    • C30B19/064—Rotating sliding boat system
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B19/00—Liquid-phase epitaxial-layer growth
    • C30B19/06—Reaction chambers; Boats for supporting the melt; Substrate holders
    • C30B19/062—Vertical dipping system
    • H10P14/263—
    • H10P14/265—
    • H10P14/2911—
    • H10P14/3421—

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
CH1198871A 1970-08-17 1971-08-16 Verfahren zum aufwachsen einer festen substanz aus der fluessigphase auf ein substrat. CH548791A (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US6452370A 1970-08-17 1970-08-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH548791A true CH548791A (de) 1974-05-15

Family

ID=22056562

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH1198871A CH548791A (de) 1970-08-17 1971-08-16 Verfahren zum aufwachsen einer festen substanz aus der fluessigphase auf ein substrat.

Country Status (9)

Country Link
JP (1) JPS5134391B1 (show.php)
AU (1) AU459061B2 (show.php)
BE (1) BE771417A (show.php)
CA (1) CA955507A (show.php)
CH (1) CH548791A (show.php)
FR (1) FR2104258A5 (show.php)
GB (1) GB1300187A (show.php)
NL (1) NL175535C (show.php)
SE (1) SE377055B (show.php)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61126501U (show.php) * 1985-01-26 1986-08-08
JP3139329B2 (ja) * 1995-07-14 2001-02-26 株式会社村田製作所 液相エピタキシャル成長装置

Also Published As

Publication number Publication date
SE377055B (show.php) 1975-06-23
NL175535C (nl) 1984-11-16
JPS5134391B1 (show.php) 1976-09-25
DE2140582A1 (de) 1972-02-24
AU3240971A (en) 1973-02-22
AU459061B2 (en) 1975-03-13
BE771417A (fr) 1971-12-31
NL7111290A (show.php) 1972-02-21
DE2140582B2 (de) 1975-06-19
FR2104258A5 (show.php) 1972-04-14
CA955507A (en) 1974-10-01
NL175535B (nl) 1984-06-18
GB1300187A (en) 1972-12-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE391739B (sv) Forfarande for att anbringa en beleggning pa substrat genom katodforstoftning
NL167852B (nl) Werkwijze ter bereiding van een vloeibaar reinigings- middel.
NL162483C (nl) Werkwijze ter bereiding van een vloeibaar kristal- materiaal.
NL185017C (nl) Werkwijze voor het etsen van een polyimidefilm.
ATA250474A (de) Vorrichtung zum entleeren von fluessigkeit aus einer flasche
DK136486B (da) Fremgangsmåde til elektrolytisk udfældning af et overtræksmateriale på et metalsubstrat.
CH551031A (de) Verfahren und vorrichtung zum selektiven uebertragen von auf einer photoleitenden schicht angeordneten elektrostatischen bildern auf ein traegerelement.
NL149516B (nl) Werkwijze ter bereiding van een vloeibaar, carbodiimidegroepen bevattend organisch polyisocyanaat.
CH521163A (de) Verfahren zum epitaktischen Abscheiden von kristallinem Material aus der Gasphase auf Substratkörpern
AT301889B (de) Verfahren zum Abscheiden von zumindest ein Carbid enthaltenden Schichten auf Gegenständen
NL173423C (nl) Werkwijze ter bereiding van een vloeibaar reinigingsmiddel.
CH548791A (de) Verfahren zum aufwachsen einer festen substanz aus der fluessigphase auf ein substrat.
CH548854A (de) Einrichtung zum entfernen von fluessigkeit aus einer suspension.
CH525027A (de) Verfahren zum epitaktischen Niederschlagen einer Halbleiterverbindung
CH549446A (de) Vorrichtung zur trennung der wuerste einer reihe.
AT312451B (de) Vorrichtung zum Entleeren von Flüssigkeit aus einer Flasche
FI51373C (fi) Menetelmä D-ksyloosin eristämiseksi ksylaania sisältävästä kasviainees ta.
CH551395A (de) Verfahren zum herstellen von 21-acylaten von 16(beta)-methyl-9(alpha)-fluor-steroiden.
CH553007A (de) Vorrichtung zum aufbringen einer entwicklungsfluessigkeit auf ein lichtempfindliches, blattfoermiges material.
AT318009B (de) Verfahren zum Herstellen einer Metallschicht aus mehreren Metallfilmen auf Oberflächen von Halbleiterbauelementen
DK134941B (da) Fremgangsmåde til afvoksning af et jordoliedestillat.
NL184455B (nl) Werkwijze voor het destilleren met behulp van een dragerdamp.
AT288321B (de) Verfahren zur rueckgewinnung von vanadin aus dem abdampf- oder destillationsrueckstand einer reaktionsmasse
FR2275510A1 (fr) Procede pour revetir un substrat
AT256184B (de) Verfahren zum Aufdampfen einer kristallinen Halbleiterschicht auf ein Substrat

Legal Events

Date Code Title Description
PL Patent ceased