CH544157A - Verfahren zum Aufdampfen von Metallen oder Metallverbindungen auf einen Träger mit Hilfe einer Elektronenstrahlheizung, sowie Bedampfungseinrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Aufdampfen von Metallen oder Metallverbindungen auf einen Träger mit Hilfe einer Elektronenstrahlheizung, sowie Bedampfungseinrichtung zur Durchführung des Verfahrens

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CH544157A
CH544157A CH1862970A CH1862970A CH544157A CH 544157 A CH544157 A CH 544157A CH 1862970 A CH1862970 A CH 1862970A CH 1862970 A CH1862970 A CH 1862970A CH 544157 A CH544157 A CH 544157A
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CH1862970A
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Traub Eberhardt Ing Dr
Topp Bernhard
Brill Klaus
Grothe Wolfgang
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Bosch Gmbh Robert
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    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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CH1862970A 1970-01-30 1970-12-16 Verfahren zum Aufdampfen von Metallen oder Metallverbindungen auf einen Träger mit Hilfe einer Elektronenstrahlheizung, sowie Bedampfungseinrichtung zur Durchführung des Verfahrens CH544157A (de)

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DE19702004184 DE2004184C3 (de) 1970-01-30 Verfahren und Vorrichtung zum Aufdampfen von Metallen oder Metallverbindungen auf einem Träger im Vakuum mit Hilfe einer Elektronenstrahlkanone

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CH544157A true CH544157A (de) 1973-11-15

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CH1862970A CH544157A (de) 1970-01-30 1970-12-16 Verfahren zum Aufdampfen von Metallen oder Metallverbindungen auf einen Träger mit Hilfe einer Elektronenstrahlheizung, sowie Bedampfungseinrichtung zur Durchführung des Verfahrens

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GB (1) GB1334599A (de)
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NL7101237A (de) 1971-08-03
DE2004184A1 (de) 1971-08-05
JPS5123950B1 (de) 1976-07-20
DE2004184B2 (de) 1975-07-03
GB1334599A (en) 1973-10-24
FR2075059A5 (de) 1971-10-08

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