CH530001A - Vorrichtung zur Bestimmung von Eigenschaften einer Probe durch Analyse der aufgrund einer Strahlenbombardierung von der Probe abgegebenen Strahlung - Google Patents

Vorrichtung zur Bestimmung von Eigenschaften einer Probe durch Analyse der aufgrund einer Strahlenbombardierung von der Probe abgegebenen Strahlung

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CH530001A
CH530001A CH1377971A CH1377971A CH530001A CH 530001 A CH530001 A CH 530001A CH 1377971 A CH1377971 A CH 1377971A CH 1377971 A CH1377971 A CH 1377971A CH 530001 A CH530001 A CH 530001A
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Karl Mann Joseph
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    • H01J49/48—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter
    • H01J49/482—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter with cylindrical mirrors
    • H—ELECTRICITY
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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers

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