CH519736A - Verfahren zur Herstellung photolithographischer Druckplatten durch Tiefätzen - Google Patents
Verfahren zur Herstellung photolithographischer Druckplatten durch TiefätzenInfo
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
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Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
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| US7405028B2 (en) | 2004-01-30 | 2008-07-29 | Infineon Technologies, Ag | Polymers based on cinnamic acid as a bottom antireflective coating for 157 NM photolithography |
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