CH482029A - Verfahren zum Aufbringen von Siliziumkarbid auf Teile einer Siliziumoberfläche - Google Patents

Verfahren zum Aufbringen von Siliziumkarbid auf Teile einer Siliziumoberfläche

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CH482029A
CH482029A CH513666A CH513666A CH482029A CH 482029 A CH482029 A CH 482029A CH 513666 A CH513666 A CH 513666A CH 513666 A CH513666 A CH 513666A CH 482029 A CH482029 A CH 482029A
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James Haga Leigh
Neil Tucker Thomas
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Dow Corning
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10D62/832Semiconductor bodies, or regions thereof, of devices having potential barriers characterised by the materials being Group IV materials, e.g. B-doped Si or undoped Ge being Group IV materials comprising two or more elements, e.g. SiGe
    • H10D62/8325Silicon carbide
    • H10P14/69215
    • H10P95/00
    • H10P14/6309
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