CH478458A - Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung - Google Patents

Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung

Info

Publication number
CH478458A
CH478458A CH182366A CH182366A CH478458A CH 478458 A CH478458 A CH 478458A CH 182366 A CH182366 A CH 182366A CH 182366 A CH182366 A CH 182366A CH 478458 A CH478458 A CH 478458A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
manufacturing
semiconductor device
semiconductor
Prior art date
Application number
CH182366A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Helmut Dipl Phys Heissing
Winfried Dipl Phys Meer
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Publication of CH478458A publication Critical patent/CH478458A/de

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B31/00Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor
    • C30B31/02Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor by contacting with diffusion materials in the solid state
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/22Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D10/00Bipolar junction transistors [BJT]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Thyristors (AREA)
  • Bipolar Transistors (AREA)
CH182366A 1965-02-11 1966-02-09 Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung CH478458A (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES0095421 1965-02-11

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH478458A true CH478458A (de) 1969-09-15

Family

ID=7519366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH182366A CH478458A (de) 1965-02-11 1966-02-09 Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung

Country Status (5)

Country Link
AT (1) AT256941B (en:Method)
CH (1) CH478458A (en:Method)
GB (1) GB1105857A (en:Method)
NL (1) NL6601715A (en:Method)
SE (1) SE322294B (en:Method)

Also Published As

Publication number Publication date
GB1105857A (en) 1968-03-13
AT256941B (de) 1967-09-11
DE1514401A1 (de) 1969-05-22
NL6601715A (en:Method) 1966-08-12
DE1514401B2 (de) 1973-02-15
SE322294B (en:Method) 1970-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CH505473A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung
CH469336A (de) Verfahren zum Herstellen einer dielektrischen Anordnung
CH432656A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
CH516227A (de) Verfahren zum Herstellen einer Sperrschicht-Halbleitervorrichtung
CH403436A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
CH434953A (de) Vorrichtung zum Herstellen einer Packung
CH483726A (de) Verfahren zum Zerlegen einer Halbleiterscheibe
CH498490A (de) Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelementes
CH445649A (de) Verfahren zum Herstellen von Halbleiterschaltungen
AT258364B (de) Verfahren zum Herstellen von Halbleiteranordnungen
DE1800347B2 (de) Verfahren zum herstellen einer halbleiteranordnung
CH416575A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
AT262381B (de) Verfahren zum Herstellen von Halbleiterschaltungen
CH458299A (de) Verfahren zum Herstellen einer einkristallinen Halbleiterschicht
AT292786B (de) Verfahren zum herstellen einer halbleiteranordnung
CH457630A (de) Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterdetektors
CH446537A (de) Verfahren zum Herstellen von Halbleiterbauelementen
CH474859A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung
CH408223A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
CH490737A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
CH468721A (de) Verfahren zum gleichzeitigen Herstellen einer Vielzahl von Halbleiterbauelementen
AT259016B (de) Verfahren zum Herstellen von Halbleiteranordnungen
CH452708A (de) Verfahren zum Herstellen einer aus gegeneinander isolierten Halbleiterbereichen bestehenden Halbleitervorrichtung
CH421303A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
CH408876A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung

Legal Events

Date Code Title Description
PL Patent ceased