CH471241A - Verfahren zum Herstellen gleichförmiger dünner Schichten hoher Güte aus leitenden oder halbleitenden Materialien und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Herstellen gleichförmiger dünner Schichten hoher Güte aus leitenden oder halbleitenden Materialien und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

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CH471241A
CH471241A CH1810466A CH1810466A CH471241A CH 471241 A CH471241 A CH 471241A CH 1810466 A CH1810466 A CH 1810466A CH 1810466 A CH1810466 A CH 1810466A CH 471241 A CH471241 A CH 471241A
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