CH469101A - Verfahren zum Herstellen gleichförmiger dünner Schichten hoher Güte aus dielektrischem Material durch Kathodenzerstäubung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zum Herstellen gleichförmiger dünner Schichten hoher Güte aus dielektrischem Material durch Kathodenzerstäubung und Vorrichtung zur Durchführung des VerfahrensInfo
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