CH424994A - Verfahren zum Zertrennen von grossflächigen in kleinflächigere Halbleiterplatten und Vorrichtung zur Ausführung dieses Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Zertrennen von grossflächigen in kleinflächigere Halbleiterplatten und Vorrichtung zur Ausführung dieses Verfahrens

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CH424994A
CH424994A CH1347262A CH1347262A CH424994A CH 424994 A CH424994 A CH 424994A CH 1347262 A CH1347262 A CH 1347262A CH 1347262 A CH1347262 A CH 1347262A CH 424994 A CH424994 A CH 424994A
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CH1347262A
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Meyer August
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Siemens Ag
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    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0005—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing
    • B28D5/0011—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing with preliminary treatment, e.g. weakening by scoring
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3343175A (en) * 1965-10-11 1967-09-19 Clevite Corp Pressure scribing recorder
US3497948A (en) * 1967-09-05 1970-03-03 Transistor Automation Corp Method and apparatus for sorting semi-conductor devices
US3680213A (en) * 1969-02-03 1972-08-01 Karl O Reichert Method of grooving semiconductor wafer for the dividing thereof
DE2730130C2 (de) * 1976-09-14 1987-11-12 Mitsubishi Denki K.K., Tokyo Verfahren zum Herstellen von Halbleiterbauelementen
US4875461A (en) * 1988-04-01 1989-10-24 Westinghouse Electric Corp. Automatic dendritic silicon web separation machine
FR2648274B1 (fr) * 1989-06-07 1994-07-29 Commissariat Energie Atomique Procede et dispositif de marquage et de clivage de plaquettes de materiaux semi-conducteurs monocristallins
EP0599937B1 (de) * 1991-08-14 1996-01-10 Sela Co.-Semiconductor Engineering 1992 Ltd. Verfahren und vorrichtung zum spalten von halbleiterplatten
JP4173245B2 (ja) * 1999-04-06 2008-10-29 Ｔｈｋ株式会社 スクライブ方法
DE102006040926A1 (de) * 2006-09-03 2008-03-06 Dyn Test Technologies Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Ritzen von Halbleiterscheiben oder ähnlichen Substraten
US7707732B2 (en) * 2007-10-16 2010-05-04 Solyndra, Inc. Constant force mechanical scribers and methods for using same in semiconductor processing applications
WO2015151755A1 (ja) * 2014-03-31 2015-10-08 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料基板の分断方法
TW201622929A (zh) * 2014-11-27 2016-07-01 Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd 基板加工用工具
CN114536574B (zh) * 2022-04-25 2022-07-15 河北圣昊光电科技有限公司 一种刀具调节结构及划片机

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1855078A (en) * 1930-08-11 1932-04-19 Pilkington Brothers Ltd Apparatus for cutting flat glass
US2378033A (en) * 1942-12-22 1945-06-12 Western Electric Co Mechanical motion
US2404222A (en) * 1944-05-23 1946-07-16 Ralph D Doner Diffraction grating tool
US2970730A (en) * 1957-01-08 1961-02-07 Motorola Inc Dicing semiconductor wafers
GB852003A (en) * 1958-06-10 1960-10-19 Siemens Edison Swan Ltd Improvements relating to the production of wafers of semi-conductor material
US3059337A (en) * 1959-08-24 1962-10-23 Lynch David Precision scribing apparatus
US3094785A (en) * 1960-12-20 1963-06-25 Kulicke & Soffa Mfg Co Automatic semi-conductor wafer scriber

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