CA2345390A1 - Dispositifs magnetoresistants, dispositifs magnetoresistants geants et procedes de fabrication associes - Google Patents

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Abstract

La présente invention concerne un capteur magnétorésistant (30) et un procédé de fabrication de ce capteur (30) au moyen de dépôt électrochimique. Un substrat isolant (11) est revêtu d'une couche conductrice (12) afin de préparer le substrat isolant à un dépôt électrochimique, par traitement électrolytique. La couche conductrice (112) est ensuite structurée afin d'éviter la mise en court-circuit de parties métalliques. La couche conductrice est revêtue, par électrolyse, d'une couche métallique (131) et d'un alliage magnétique. Les couches sont attaquées pour obtenir quatre régions séparées, interconnectées dans une configuration de pont de Wheatstone (473), afin de former un capteur capable de détecter des changements dans un champ magnétique appliqué (100). Dans certaines réalisations, les couches magnétiques sont séparées par des couches non magnétiques (114) afin d'augmenter la sensibilité du capteur. Dans d'autres réalisations, des éléments de pièce polaire sont ajoutés de manière à focaliser la champ magnétique sur deux des quatre régions.
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