BR9904435A - Método para a fabricação de um sensor de taxa ou proporção angular - Google Patents

Método para a fabricação de um sensor de taxa ou proporção angular

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BR9904435A
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BR
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angular
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proportion
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BR9904435-8A
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English (en)
Inventor
Terje Kvisteroey
Henrick Jakobsen
Original Assignee
Sensonor Asa
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
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    • G01C19/5656—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams the devices involving a micromechanical structure

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Abstract

Patente de Invenção: "MéTODO PARA A FABRICAçãO DE UM SENSOR DE TAXA OU PROPORçãO ANGULAR" Trata-se de um método de fabricação de um sensor de taxa ou proporção angular por meio da fabricação de componentes do sensor de proporção angular sobre um substrato de silício, os componentes do sensor de proporção angular incluindo uma ou mais massas, uma viga de suporte e condutores enterrados. São providos dispositivos de detecção e os componentes são vedados ou selados em uma cavidade entre uma primeira placa de vidro e uma segunda placa de vidro por meio de ligação anódica. Isto permite que sensores de taxa ou proporção angular sejam fabricados usando-se pastilhas de silício de baixo custo.
BR9904435-8A 1998-10-12 1999-10-08 Método para a fabricação de um sensor de taxa ou proporção angular BR9904435A (pt)

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