BG111754A - Контактен микроелектромеханичен сензор и метод за определяне на позиция с него - Google Patents

Контактен микроелектромеханичен сензор и метод за определяне на позиция с него

Info

Publication number
BG111754A
BG111754A BG111754A BG11175414A BG111754A BG 111754 A BG111754 A BG 111754A BG 111754 A BG111754 A BG 111754A BG 11175414 A BG11175414 A BG 11175414A BG 111754 A BG111754 A BG 111754A
Authority
BG
Bulgaria
Prior art keywords
sensor
control
fixed
determining
microconsole
Prior art date
Application number
BG111754A
Other languages
English (en)
Other versions
BG66806B1 (bg
Inventor
Владимир СТАВРОВ
Original Assignee
"Амг Технолоджи" Оод
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by "Амг Технолоджи" Оод filed Critical "Амг Технолоджи" Оод
Priority to BG111754A priority Critical patent/BG66806B1/bg
Priority to PCT/BG2015/000011 priority patent/WO2015164931A2/en
Publication of BG111754A publication Critical patent/BG111754A/bg
Publication of BG66806B1 publication Critical patent/BG66806B1/bg

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • B81C99/0005—Apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of microstructural devices or systems, or methods for manufacturing the same
    • B81C99/002—Apparatus for assembling MEMS, e.g. micromanipulators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/003—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

Изобретението се отнася до микроелектромеханични (МЕМС) сензори за контактно измерване на позиция на микро- и макроразмерни обекти с работен диапазон до 5 mm и до метод за определяне на позиция с разделителна способност от порядъка на нанометри и по-добра. Сензорът намира приложение в позициониращи системи с много висока разделителна способност, за измервания и контрол в областта на микро-/нанотехнологиите. Чрез използване на преобразуващи механизми, сензорът и методът са приложими във всички области, където контролът на специфични величини се свежда до контрол на позиция. Сензорът се състои от неподвижно тяло (1) с разпростираща се от него измерителна микроконзола (2), в основата на която са вградени пиезорезистори (4), и подвижен елемент (1'), който се закрепва неподвижно към подвижен обект, на който се определя позицията. Тялото (1), закрепено към неподвижен обект, и елементът (1') са свързани посредством поне един еластичен предавателен механизъм (5), включващ микроконзолата (2), към подвижния край на която е присъединена верига от допълнителни гъвкави елементи (6, 7, 8, 14 или 10). Сензорът е изработен монолитно от една подложка, с плоска горна повърхност. 10 претенции, 6 фигури
BG111754A 2014-04-29 2014-04-29 Контактен микроелектромеханичен сензор и метод за определяне на позиция с него BG66806B1 (bg)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BG111754A BG66806B1 (bg) 2014-04-29 2014-04-29 Контактен микроелектромеханичен сензор и метод за определяне на позиция с него
PCT/BG2015/000011 WO2015164931A2 (en) 2014-04-29 2015-04-28 Contact microelectromechanical sensor and method for position monitoring therewith

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BG111754A BG66806B1 (bg) 2014-04-29 2014-04-29 Контактен микроелектромеханичен сензор и метод за определяне на позиция с него

Publications (2)

Publication Number Publication Date
BG111754A true BG111754A (bg) 2015-10-30
BG66806B1 BG66806B1 (bg) 2018-12-31

Family

ID=53373221

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BG111754A BG66806B1 (bg) 2014-04-29 2014-04-29 Контактен микроелектромеханичен сензор и метод за определяне на позиция с него

Country Status (2)

Country Link
BG (1) BG66806B1 (bg)
WO (1) WO2015164931A2 (bg)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105643592B (zh) * 2016-03-15 2017-06-06 河北工业大学 一种对称解耦单自由度柔性操作机构
CN105690358B (zh) * 2016-04-18 2017-08-01 河北工业大学 一种柔性微动操作机构
CN109909976B (zh) * 2019-03-18 2021-12-24 天津大学 具有三级运动放大机构的对称式空间立体微机械手
CN111953945B (zh) * 2020-08-17 2022-04-29 合肥德泰科通测控技术有限公司 基于无人驾驶的轨道综合检测装置
CN113790736B (zh) * 2021-08-03 2023-10-13 北京自动化控制设备研究所 一种动力调谐陀螺仪安装误差角补偿方法及电路

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007033000B4 (de) * 2007-07-16 2016-02-04 Robert Bosch Gmbh Mikromechanisches Bauteil mit einem Positionserkennungsbauteil zur Positionsbestimmung und Amplitudenbestimmung eines schwingfähigen Elements
BG66424B1 (bg) * 2009-09-29 2014-03-31 "Амг Технолоджи" Оод Сензори за сканираща сондова микроскопия, метод за тримерно измерване и метод за получаване на такива сензори

Also Published As

Publication number Publication date
WO2015164931A3 (en) 2015-12-23
BG66806B1 (bg) 2018-12-31
WO2015164931A2 (en) 2015-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BG111754A (bg) Контактен микроелектромеханичен сензор и метод за определяне на позиция с него
BR102017010046B8 (pt) Dispositivo para converter movimentos ou posições do dedo ou da mão em sinais elétricos
BR112017012758A2 (pt) aparelho de detecção para ser usado junto corpo, e método para medir um parâmetro fisiológico
JP2016528653A5 (bg)
EP2777521A3 (en) Sensor arrangements for absolute positioning system for surgical instruments
BR112018072115A2 (pt) sistema de balanceamento de ligamento dinâmico
EP2921892A3 (en) Lens moving unit and camera module having the same
EP3557294A4 (en) DISPLACEMENT MEASURING DEVICE WITH FIBER BRAGG GRATING SENSOR AND METHOD FOR ADAPTING THE SENSITIVITY AND RESISTANCE OF IT
GB2572514A (en) Sampling device including mechanical force feedback mechanism
EP3007351A3 (en) Motor servo-drive for high performance motion control
RU2016145440A (ru) Радиальный пресс
JP2015184222A5 (bg)
WO2016097302A3 (fr) Capteur de pression dynamique a fonctionnement ameliore
WO2017188114A3 (ja) エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
ATE506141T1 (de) Fernzentralenkonforme vorrichtung mit messsensor
WO2015158931A3 (en) Active pen with tip pressure sensor
EP2645068A3 (en) Readhead control mechanism and optical encoder
PL3208583T3 (pl) Urządzenie do przenoszenia siły z oddzielnym ramieniem dźwigni czujnika położenia
EP2930575A3 (en) Positioning control device
JP2012040094A5 (bg)
FR3014722B1 (fr) Installation de production
RU2016133886A (ru) Приспособление для подъемного крана, содержащее лазерный указатель
JP2016090534A5 (ja) 位置検出装置、レンズ装置、撮像装置、および指令装置
EP4275617A3 (en) Drive transfer
FR3039269B1 (fr) Capteur de mesure de la position absolue d'un mobile