BE889111A - Dispositif de tirage d'un monocristal hors du creuset permettant une variation de vitesse sans a-coups sur une tres large plage de vitesse - Google Patents

Dispositif de tirage d'un monocristal hors du creuset permettant une variation de vitesse sans a-coups sur une tres large plage de vitesse

Info

Publication number
BE889111A
BE889111A BE0/205009A BE205009A BE889111A BE 889111 A BE889111 A BE 889111A BE 0/205009 A BE0/205009 A BE 0/205009A BE 205009 A BE205009 A BE 205009A BE 889111 A BE889111 A BE 889111A
Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
speed
shock
variation
single crystal
crystal outside
Prior art date
Application number
BE0/205009A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg filed Critical Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg
Publication of BE889111A publication Critical patent/BE889111A/fr

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/30Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T117/00Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
    • Y10T117/10Apparatus
    • Y10T117/1004Apparatus with means for measuring, testing, or sensing
    • Y10T117/1008Apparatus with means for measuring, testing, or sensing with responsive control means
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T117/00Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
    • Y10T117/10Apparatus
    • Y10T117/1024Apparatus for crystallization from liquid or supercritical state
    • Y10T117/1032Seed pulling
    • Y10T117/1072Seed pulling including details of means providing product movement [e.g., shaft guides, servo means]

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
BE0/205009A 1980-06-14 1981-06-05 Dispositif de tirage d'un monocristal hors du creuset permettant une variation de vitesse sans a-coups sur une tres large plage de vitesse BE889111A (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3022412 1980-06-14

Publications (1)

Publication Number Publication Date
BE889111A true BE889111A (fr) 1981-10-01

Family

ID=6104662

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BE0/205009A BE889111A (fr) 1980-06-14 1981-06-05 Dispositif de tirage d'un monocristal hors du creuset permettant une variation de vitesse sans a-coups sur une tres large plage de vitesse

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4367199A (fr)
JP (1) JPS5727997A (fr)
BE (1) BE889111A (fr)
FR (1) FR2484468A1 (fr)
GB (1) GB2078188B (fr)
IT (1) IT1136727B (fr)
NL (1) NL8102566A (fr)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3414290A1 (de) * 1984-04-14 1985-10-24 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Kristallhalter
US4663128A (en) * 1985-03-06 1987-05-05 Ferrofluidics Corporation Pulling head for a crystal growing furnace
DE69017642T2 (de) * 1989-12-22 1995-07-06 Shinetsu Handotai Kk Vorrichtung zur Herstellung von Einkristallen nach dem Czochralski-Verfahren.
DE4329283C2 (de) * 1993-08-31 1997-02-13 Leybold Ag Drehkopf für Kristallziehanlagen für die Durchführung des Czochralski-Prozesses
US5766348A (en) * 1993-08-31 1998-06-16 Leybold Aktiengesellschaft Rotating head for crystal pulling systems for carrying out the czochralski process
DE4332323C2 (de) * 1993-09-23 1995-11-30 Leybold Ag Getriebemotor mit einem eine Hohlwelle aufweisenden Elektromotor
JP3606623B2 (ja) * 1995-01-10 2005-01-05 コマツ電子金属株式会社 半導体単結晶製造装置
US5879452A (en) * 1996-01-25 1999-03-09 Ferrofluidics Corporation Czochralski crystal growth system with an independently supported pull head
DE19628316B4 (de) * 1996-07-13 2006-07-13 Crystal Growing Systems Gmbh Vorrichtung zum Heben, Schwenken und Drehen des Deckels eines Vakuumkessels einer Kristallziehanlage
JP3438492B2 (ja) * 1996-10-18 2003-08-18 信越半導体株式会社 単結晶の引上げ方法
JPH10279386A (ja) * 1997-03-31 1998-10-20 Super Silicon Kenkyusho:Kk 単結晶引上げ装置及び単結晶支持機構並びに単結晶引上げ方法
US5935328A (en) * 1997-11-25 1999-08-10 Memc Electronic Materials, Inc. Apparatus for use in crystal pulling
DE102004011901A1 (de) * 2004-03-11 2005-12-01 Crystal Growing Systems Gmbh Seildrehkopf für eine Kristallziehanlage
US11255024B2 (en) 2019-06-18 2022-02-22 Linton Crystal Technologies Corp. Seed lifting and rotating system for use in crystal growth
US11891721B2 (en) 2020-12-09 2024-02-06 Linton Kayex Technology Co., Ltd Spool-balanced seed lift

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2935385A (en) * 1955-03-25 1960-05-03 Texas Instruments Inc Apparatus for manufacturing semiconductor materials
NL128651C (fr) * 1966-01-26
FR1568023A (fr) * 1968-01-10 1969-05-23
US3639718A (en) * 1970-06-15 1972-02-01 Little Inc A Pressure- and temperature-controlled crystal growing apparatus
US3865554A (en) * 1971-09-23 1975-02-11 Little Inc A Pressure-and temperature-controlled apparatus for large-scale production of crystals by the czochralski technique

Also Published As

Publication number Publication date
GB2078188B (en) 1983-06-02
FR2484468B1 (fr) 1984-09-14
IT1136727B (it) 1986-09-03
FR2484468A1 (fr) 1981-12-18
US4367199A (en) 1983-01-04
NL8102566A (nl) 1982-01-04
GB2078188A (en) 1982-01-06
JPS5727997A (en) 1982-02-15
IT8122269A0 (it) 1981-06-11
JPH0157080B2 (fr) 1989-12-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BE889111A (fr) Dispositif de tirage d'un monocristal hors du creuset permettant une variation de vitesse sans a-coups sur une tres large plage de vitesse
FR2416837B1 (fr) Dispositif d'avertissement de vitesse de descente excessive pour un aeronef
BE855556A (fr) Dispositif d'entrainement pour un transporteur sans fin
FR2491707B1 (fr) Dispositif de selection de mode pour magnetoscope
FR2533260B1 (fr) Dispositif de refroidissement pour motocycle
BE843240A (fr) Dispositif de suspension pour outils
FR2549315B1 (fr) Dispositif d'accentuation de signaux numeriques avec un niveau reglable d'accentuation
FR2550596B1 (fr) Dispositif de changement de vitesse pour bicyclette
BE851347A (fr) Dispositif pour l'execution de poulies a moyeux cylindriques
FR2341133A1 (fr) Dispositif pour fournir un signal de debit massique avec ou sans signal de densite
FR2345341A1 (fr) Dispositif pour la commande a cable des changements de vitesse du type a parallelogramme articule, pour bicyclettes et vehicules similaires
BE878897A (fr) Dispositif pour simuler des coups au but sur des vehicules blindes ou analogues
FR2492544B1 (fr) Dispositif pour la determination photoelectrique de la position d'au moins un plan de nettete d'une image
FR2566860B1 (fr) Dispositif d'amortissement de chocs pour bateau
FR2546841B1 (fr) Dispositif de bagage pour motocyclettes ou similaires
FR2544067B1 (fr) Dispositif de cible fixe ou mobile pour simuler la silhouette thermique d'un vehicule
FR2503209B1 (fr) Dispositif de levage pour une construction off-shore
FR2480229B1 (fr) Dispositif telescopique a longueur variable pour engin spatial
BE886380A (fr) Dispositif pour le mouvement parallele du godet d'une pelle hydraulique
FR2514819B1 (fr) Dispositif de commande de niveau pour engin d'abattage
FR2518688B1 (fr) Dispositif reducteur de vitesse
FR2513378B1 (fr) Dispositif pour capter la vitesse de rotation d'un arbre
FR2345738A1 (fr) Dispositif a emetteurs laser pour l'amelioration de la visee d'instruments de surveillance classiques
FR2629035B1 (fr) Dispositif pour le reglage angulaire progressif du calage d'un volant sur un arbre avec limitation de course
FR2345399A1 (fr) Dispositif pour deshydrater les boues

Legal Events

Date Code Title Description
RE Patent lapsed

Owner name: LEYBOLD-HERAEUS G.M.B.H.

Effective date: 19940630