BE768158A - Procede permettant de determiner la resistance par carre ou unegrandeurliee a la resistance par carre, en particulier lors de la fabrication d'un dispositif semiconducteur, ainsi qu'un dispositif demesure pour l'application de ce procede - Google Patents

Procede permettant de determiner la resistance par carre ou unegrandeurliee a la resistance par carre, en particulier lors de la fabrication d'un dispositif semiconducteur, ainsi qu'un dispositif demesure pour l'application de ce procede

Info

Publication number
BE768158A
BE768158A BE768158A BE768158A BE768158A BE 768158 A BE768158 A BE 768158A BE 768158 A BE768158 A BE 768158A BE 768158 A BE768158 A BE 768158A BE 768158 A BE768158 A BE 768158A
Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
square
square resistance
determining
manufacturing
well
Prior art date
Application number
BE768158A
Other languages
English (en)
French (fr)
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Publication of BE768158A publication Critical patent/BE768158A/xx

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607—Circuits therefor
    • G01R31/2637—Circuits therefor for testing other individual devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
BE768158A 1970-06-06 1971-06-04 Procede permettant de determiner la resistance par carre ou unegrandeurliee a la resistance par carre, en particulier lors de la fabrication d'un dispositif semiconducteur, ainsi qu'un dispositif demesure pour l'application de ce procede BE768158A (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7008274A NL7008274A (xx) 1970-06-06 1970-06-06

Publications (1)

Publication Number Publication Date
BE768158A true BE768158A (fr) 1971-12-06

Family

ID=19810258

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BE768158A BE768158A (fr) 1970-06-06 1971-06-04 Procede permettant de determiner la resistance par carre ou unegrandeurliee a la resistance par carre, en particulier lors de la fabrication d'un dispositif semiconducteur, ainsi qu'un dispositif demesure pour l'application de ce procede

Country Status (8)

Country Link
US (1) US3735254A (xx)
JP (1) JPS5221351B1 (xx)
AU (1) AU2943171A (xx)
BE (1) BE768158A (xx)
DE (1) DE2125456C3 (xx)
FR (1) FR2094093B1 (xx)
GB (1) GB1354777A (xx)
NL (1) NL7008274A (xx)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4967568A (xx) * 1972-11-02 1974-07-01
US4179652A (en) * 1978-02-21 1979-12-18 Teradyne, Inc. Analyzing electrical circuit boards
JPS54112396A (en) * 1978-02-22 1979-09-03 Ube Ind Ltd Production of high purity anhydrous magnesium chloride
US4178543A (en) * 1978-02-23 1979-12-11 Teradyne, Inc. Analyzing electrical circuit boards
DE2808902C3 (de) * 1978-03-02 1980-12-18 Mahle Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren zur zerstörungsfreien Prüfung der Primär-Silizium-Verteilung an der Oberfläche von Werkstücken aus siliziumhaltigen Aluminiumlegierungen
US4232262A (en) * 1978-10-12 1980-11-04 Emo George C Connector contact terminal contamination probe
US4218653A (en) * 1978-10-12 1980-08-19 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Connector contact contamination probe
US4646009A (en) * 1982-05-18 1987-02-24 Ade Corporation Contacts for conductivity-type sensors
US4703252A (en) * 1985-02-22 1987-10-27 Prometrix Corporation Apparatus and methods for resistivity testing
US4876430A (en) * 1988-07-25 1989-10-24 General Electric Company Preweld test method
DE3828552C2 (de) * 1988-08-23 1994-10-13 Karl Deutsch Pruef Und Mesgera Verfahren und Vorrichtung zur Rißtiefenmessung
US4893086A (en) * 1989-01-24 1990-01-09 Shrewsbury Junior R Bar-to-bar armature tester
US5166627A (en) * 1991-05-30 1992-11-24 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Method and apparatus for remote tube crevice detection by current and voltage probe resistance measurement
DE4231392A1 (de) * 1992-09-19 1994-03-24 Daimler Benz Ag Verfahren zur Bestimmung der elektronischen Eigenschaften von Halbleiterschichtstrukturen
US5691648A (en) * 1992-11-10 1997-11-25 Cheng; David Method and apparatus for measuring sheet resistance and thickness of thin films and substrates
WO1994011745A1 (en) * 1992-11-10 1994-05-26 David Cheng Method and apparatus for measuring film thickness
US5495178A (en) * 1992-11-10 1996-02-27 Cheng; David Method and apparatus for measuring film thickness
JP3922728B2 (ja) * 1993-02-01 2007-05-30 住友電気工業株式会社 金属被覆超電導線の製造方法および電解研磨装置
AU2003206667A1 (en) * 2002-01-07 2003-07-24 Capres A/S Electrical feedback detection system for multi-point probes
DE10258366A1 (de) * 2002-12-12 2004-07-08 Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co Kg Verfahren und Vorrichtung zur Widerstandsmessung eines temperaturabhängigen Widerstandselements
US7212016B2 (en) * 2003-04-30 2007-05-01 The Boeing Company Apparatus and methods for measuring resistance of conductive layers
US20050225345A1 (en) * 2004-04-08 2005-10-13 Solid State Measurements, Inc. Method of testing semiconductor wafers with non-penetrating probes
DE102004055181B3 (de) * 2004-11-16 2006-05-11 X-Fab Semiconductor Foundries Ag Verfahren und Anordnung zur elektrischen Messung der Dicke von Halbleiterschichten
US7372584B2 (en) * 2005-04-11 2008-05-13 Rudolph Technologies, Inc. Dual photo-acoustic and resistivity measurement system
EP1775594A1 (en) * 2005-10-17 2007-04-18 Capres A/S Eliminating in-line positional errors for four-point resistance measurement
US7268571B1 (en) * 2006-03-20 2007-09-11 Texas Instruments Incorporated Method for validating and monitoring automatic test equipment contactor
EP2498081A1 (en) * 2011-03-08 2012-09-12 Capres A/S Single-position hall effect measurements
US9644939B2 (en) 2010-12-21 2017-05-09 Capres A/S Single-position hall effect measurements
EP2469271A1 (en) * 2010-12-21 2012-06-27 Capres A/S Single-position Hall effect measurements
US9030219B2 (en) 2012-03-01 2015-05-12 Kla-Tencor Corporation Variable pressure four-point coated probe pin device and method
TWI500903B (zh) * 2014-03-12 2015-09-21 Ind Tech Res Inst 管壁厚度量測模組及應用其之管壁厚度量測方法
FR3028957B1 (fr) * 2014-11-24 2017-09-29 Commissariat Energie Atomique Procede de mesure de la resistance d'une couche conductrice recouverte
JP6504133B2 (ja) * 2016-08-25 2019-04-24 信越半導体株式会社 抵抗率標準サンプルの製造方法及びエピタキシャルウェーハの抵抗率測定方法
RU173990U1 (ru) * 2017-05-12 2017-09-25 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Пульсар" Устройство с четырехзондовой головкой

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI12A (fi) * 1847-09-30 Tröskmaskin
US3456186A (en) * 1966-10-31 1969-07-15 Collins Radio Co Circuit for measuring sheet resistivity including an a.c. current source and average reading d.c. voltmeter switchably connected to pairs of a four probe array
US3609537A (en) * 1969-04-01 1971-09-28 Ibm Resistance standard
US3611125A (en) * 1969-06-04 1971-10-05 Sylvania Electric Prod Apparatus for measuring electrical resistance

Also Published As

Publication number Publication date
DE2125456A1 (de) 1971-12-16
US3735254A (en) 1973-05-22
GB1354777A (en) 1974-06-05
FR2094093B1 (xx) 1976-03-19
JPS5221351B1 (xx) 1977-06-09
NL7008274A (xx) 1971-12-08
DE2125456B2 (de) 1980-03-27
JPS467366A (xx) 1971-12-21
AU2943171A (en) 1972-12-07
DE2125456C3 (de) 1980-11-13
FR2094093A1 (xx) 1972-02-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BE768158A (fr) Procede permettant de determiner la resistance par carre ou unegrandeurliee a la resistance par carre, en particulier lors de la fabrication d'un dispositif semiconducteur, ainsi qu'un dispositif demesure pour l'application de ce procede
BE769731A (fr) Procede permettant la fabrication d'un dispositif semiconducteur, et dispositif semiconducteur ainsi obtenu
BE759763A (fr) Procede pour la preparption de 1,2-polybutadiene
FR1539220A (fr) Procédé et dispositif pour la fabrication de sièges d'ameublement, de voitures et similaires, et sièges ainsi obtenus
BE758296A (fr) Procede de fabrication d'hexamethylenediamine
BE747045A (fr) Dispositif doseur, en particulier pour des installations de traitement d'eau
BE775615A (fr) Procede permettant la fabrication d'un dispositif semiconducteur et dispositif semiconducteur ainsi fabrique
BE756176A (fr) Procede et appareil pour determiner le profil d'objets, d'objets en verre en particulier
BE759548R (fr) Procede et dispositif pour la fabrication continue de
IT959352B (it) Metodo per la produzione di conglo merato asfaltico miscelato in im pianti di asfaltatura
BE758645A (fr) Procede permettant la fabrication d'anodes rotatives pour tubesa rayonsx
FR1428362A (fr) Procédé et dispositif pour fabriquer des corps de remplissage de tours ou des colonnes utilisées dans des traitements chimiques ou physiques, ainsi que les colonnes ainsi obtenues
BE744684A (fr) Dispositif pour la fabrication de lingots
BE755851A (fr) Dispositif pour le decriquage des surfaces de blocs bruts, billettes, brames ou pieces similaires
BE784534A (fr) Procede de fabrication d'objets en acier au silicium
BE754023A (fr) Procede pour la fabrication de polyamines
BR7104730D0 (pt) Aperfeicoamento em processo de producao de polimero ou copolimero de acrilonitrila
BE759102A (fr) Procede de fabrication d'halogenures de bore
BE747231A (fr) Procede pour le controle de la comestibilite d'une substance alimentaire, et indicateur pour ce controle
IT1048882B (it) Procedimento per migliorare le proprieta dei turaccioli e la loro resistenza contro la formazione di funghi
FR2073210A5 (fr) Procede et dispositif pour determiner la temperature lors de mesures de viscosites
SU631649A1 (ru) Вибрационный датчик дл измерени геометрических параметров в скважинах
BE769383A (fr) Dispositif et procede permettant la fabrication de billes de precision
BE750264A (fr) Procede pour la preparation d'amino-cetones
FR1319934A (fr) Noix sphérique fabriquée sans production de copeaux, pour robinets d'arrêt