BE1024350A1 - Automated system for the singulation of circuits from DBC substrates, and method thereof - Google Patents

Automated system for the singulation of circuits from DBC substrates, and method thereof Download PDF

Info

Publication number
BE1024350A1
BE1024350A1 BE20165506A BE201605506A BE1024350A1 BE 1024350 A1 BE1024350 A1 BE 1024350A1 BE 20165506 A BE20165506 A BE 20165506A BE 201605506 A BE201605506 A BE 201605506A BE 1024350 A1 BE1024350 A1 BE 1024350A1
Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
substrate
strip
force
edge
breaking
Prior art date
Application number
BE20165506A
Other languages
Dutch (nl)
Other versions
BE1024350B1 (en
Inventor
Wim Degraeve
Bart Amez
Original Assignee
C Mac Electromag Bvba
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by C Mac Electromag Bvba filed Critical C Mac Electromag Bvba
Priority to BE2016/5506A priority Critical patent/BE1024350B1/en
Publication of BE1024350A1 publication Critical patent/BE1024350A1/en
Application granted granted Critical
Publication of BE1024350B1 publication Critical patent/BE1024350B1/en

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0005Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing
    • B28D5/0017Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing using moving tools
    • B28D5/0023Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing using moving tools rectilinearly
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26FPERFORATING; PUNCHING; CUTTING-OUT; STAMPING-OUT; SEVERING BY MEANS OTHER THAN CUTTING
    • B26F3/00Severing by means other than cutting; Apparatus therefor
    • B26F3/002Precutting and tensioning or breaking
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0005Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing
    • B28D5/0011Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing with preliminary treatment, e.g. weakening by scoring
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0005Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing
    • B28D5/0017Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing using moving tools
    • B28D5/0029Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing using moving tools rotating

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Forests & Forestry (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

De huidige uitvinding betreft werkwijzen voor het singuleren van substraten tot strips en/of schakelingen, voor het afbreken van zogenaamde verliesranden, alsook instellingen voor het uitvoeren van de voornoemde werkwijzen. Daarnaast is een overkoepelend systeem beschreven dat de instellingen efficiënt verenigt. Ten slotte wordt ook het product van de singulatiewerkwijze en/of singulatiesysteem beschreven.The present invention relates to methods for singulating substrates to strips and / or circuits, for breaking off so-called loss edges, as well as settings for performing the aforementioned methods. In addition, an umbrella system has been described that efficiently unites the institutions. Finally, the product of the singulation method and / or singulation system is also described.

Description

BE2016/5506BE2016 / 5506

GEAUTOMATISEERD SYSTEEM VOOR HET SINGULEREN VAN SCHAKEIINGEN UIT DBC-SUSSTRATEN, EN WERKWIJZE DÂARVOORAUTOMATED SYSTEM FOR SINGULATING SWITCHES FROM DBC SUSSTRATES, AND METHOD THEREFOR

TECHNISCH DOMEINTECHNICAL DOMAIN

De uitvinding heeft betrekking op een geautomatiseerd systeem voor het singuleren van schakeiingen uit Substraten, specifiek voor het singuleren van schakeiingen uit zogenaamde DBC-substraten. Daarnaast worden werkwijzen hiertoe beschreven, aisook voor een instelling en werkwijze voor het verwijderen van verliesranden van Substraten. Ten slotte wordt een overkoepelend systeem beschreven en het eindproduct van de werkwijzen.The invention relates to an automated system for singulating circuits from Substrates, specifically for singulating circuits from so-called DBC substrates. In addition, methods for this purpose are described, also for an adjustment and method for removing loss edges from Substrates. Finally, an overarching system is described and the end product of the methods.

STAND DER TECHNIEKSTATE OF THE ART

Een probleem met de gekende werkwijzen voor het singuleren van schakeiingen uit Substraten is dat dit enerzijds traag, en anderzijds met een te groot percentage aan beschadigde of defecte schakeiingen gebeurt. De Substraten kunnen manueel gesinguieerd worden, wat duur is qua werkuren en dus niet economisch interessant, ook omdat hier een opieiding van een werknemer voor nodig is. Bovendien is de hoeveelheid fouten die leiden tot schade nog steeds onaanvaardbaar hoog. Een automatisering van deze werkwijzen en insteliingen hiervoor zijn dan ook stilaan beschikbaar.A problem with the known methods for singulating circuits from Substrates is that this is done on the one hand slowly, and on the other hand with an excessive percentage of damaged or defective circuits. The Substrates can be handled manually, which is expensive in terms of working hours and therefore not economically interesting, also because this requires training of an employee. In addition, the amount of errors leading to damage is still unacceptably high. An automation of these working methods and settings are therefore gradually available.

De aanvrager merkte echter dat be voorhanden toesteiien en Systemen die deze operaties automatisch uitvoeren niet aangepast zijn aan bepaalde problematieken. Immers, bij automatisering wordt uitgegaan van een gestandaardiseerd product dat moet gemanipuleerd worden. Dit is echter niet het gevai, zoals verder besproken wordt. Er kunnen afwijkingen voorkomen op de Substraten onder de vorm van een kromtrekking. Waar de Substraten normaai vlak dienen te zijn, is er een kromming, zogenaamde 'twist' en 'warpage' aanwezig. De apparaten die momenteel gekend zijn, zijn niet in staat géindividualîseerd Substraten te manipuleren aangepast aan de precieze kromtrekking, wat leidt tot te ruwe bantering van de Substraten. Gezien de gevoeligheid van deze producten, leidt dit tot een onaanvaardbaar percentage aan verliezen door breuk die optreedt tijdens de productie en verdere bewerking, bijvoorbeeld door het klemmen van de Substraten, Ook bij het effectieve singuleren zelf wordt onvoldoende rekening gehouden met de Substraten en treden veel breuken enHowever, the applicant noted that existing devices and systems that perform these operations automatically are not adapted to certain problems. After all, automation is based on a standardized product that must be manipulated. However, this is not the case, as discussed further. Deviations may occur on the Substrates in the form of a warp. Where the Substrates should normally be flat, there is a curvature, so-called 'twist' and 'warpage'. The devices currently known are unable to manipulate individualized Substrates adapted to the precise warp, resulting in too rough handling of the Substrates. Given the sensitivity of these products, this leads to an unacceptable percentage of losses due to breakage that occurs during production and further processing, for example, by clamping the Substrates. Also, in the effective singulation itself, the Substrates are insufficiently taken into account and many fractions and

BE2016/5506 beschadigingen op. Aangezien dit typisch een eîndproces is, komt dit neer op, naast verlies aan materiaal, ook verlies aan productiecapaciteit en werkuren.BE2016 / 5506 damage. Since this is typically an end process, this amounts to, in addition to loss of material, also loss of production capacity and working hours.

Daarnaast leidt dergelijk ruw omgaan met de Substraten (en gesinguleerde schakelingen) ook tot schade die mogelijk pas later ten volle optreedt (microscheuren die onder stress uitzetten tot er fatale fouten optreden), wat vaak levensgevaarlijk is voor een eindgebruiker.In addition, such rough handling of the Substrates (and singled circuits) also results in damage that may not fully occur until later (microcracks that expand under stress until fatal errors occur), which is often life-threatening for an end user.

Een voorbeeld van een gekend systeem dat tekort schiet is bijvoorbeeid US 4,235,357. Hierbij worden de Substraten geklemd op meerdere tijdstippen en ορ meerdere posities tijdens het singuleren, zoals te zien in figuur 2(a) van het document US '7,005,317. Deze klemming leidt in de praktijk tot onaanvaardbare verliezen. Verdere tekortkomingen van een dergelijk systeem worden aan de hand van de bespreking van de uitvinding zelf nader toegelicht.An example of a known system that falls short is, for example, US 4,235,357. Here, the Substrates are clamped at multiple times and ορ multiple positions during singulation, as shown in Figure 2 (a) of document US '7,005,317. In practice, this clamping leads to unacceptable losses. Further shortcomings of such a system are further elucidated on the basis of the discussion of the invention itself.

Een tweede dergelijk systeem wordt beschreven in US 7,005,317, waarbij het substraat längs onder uit gebroken wordt door een drukdifferentiaal enkelzijdig te voorzien. Hierbij zijn de Substraten zoals gewoonlijk verzwakt langsheen vooraf aangebrachte breuklijnen. Het substraat wordt echter geklemd aan de zijkanten, en bovendien kunnen de schakelingen op ongewenste plaatsen breken door de aangepaste overdruk aan één zijde. Dit is zeker te zien in figuur 9 van US 7,005,317, waar het duidelijk is dat het substraat, en daarmee de schakelingen langsheen gans de oppervlakte belast worden. Dit kan zoals gezegd leiden tot een verslechten van de structurele integriteit van de keramische drager (microscheuren) die leidt tot breuken, als niet tijdens singuleren, dan in de toekomst onder belasting in gebruik. Verder wordt een dergelijk systeem ook nog de kans vergroot dat componenten op de schakelingen breken of beschadigd raken door het opkrommen van het substraat.A second such system is described in US 7,005,317, wherein the substrate is broken down at the bottom by providing a pressure differential on one side. Here, the Substrates are attenuated along pre-arranged fault lines as usual. However, the substrate is clamped on the sides, and in addition, the circuits can break in undesired places due to the adjusted overpressure on one side. This can certainly be seen in figure 9 of US 7,005,317, where it is clear that the substrate, and thereby the circuits along the entire surface, are loaded. As mentioned, this can lead to a deterioration of the structural integrity of the ceramic support (microcracks) leading to fractures, if not during singulation, then under use in the future. Furthermore, such a system also increases the chance that components on the circuits will break or be damaged by the substrate curving up.

De huldige uitvinding beoogt een oplossing te vinden voor tenminste enkele van bovenvermelde Problemen.The object of the present invention is to find a solution to at least some of the aforementioned Problems.

Er is nood aan een verbeterde werkwijze, verbeterde instellingen en Systemen voor het singuleren van schakelingen uit Substraten.There is a need for an improved method, improved settings and Systems for singulating circuits from Substrates.

SÄMENVÄTTING VAN DE UITVINDINGSÄMENVÄTTING OF THE INVENTION

BE2016/5506BE2016 / 5506

De uitvinding betreft in een eerste aspect een werkwijze voor het sînguieren van elektronische schakelingen uit een substraat, waarbij het substraat een eerste set vooraf aangebrachte verzwakte breuklîjnen omvat en een tweede set vooraf aangebrachte verzwakte breuklîjnen omvat, waarbij de eerste set en de tweede set substantieel ioodrecht staan op elkaar, omvattende volgende stappen:The invention relates in a first aspect to a method for swinging electronic circuits from a substrate, the substrate comprising a first set of pre-applied attenuated breaklines and a second set of pre-applied attenuated breaklines, the first set and the second set substantially perpendicular stand on top of each other, comprising the following steps:

a. het parallel met de breuklijnen van de eerste set voortbewegen van een substraat voorbij een eerste scherpe spiijtwig die zieh aan een overliggende zijde van het substraat bevindt ten opzichte van de breuklijnen, waarbij het substraat voortbewogen wordt tot een eerste positie waarbij een extremaie breuklijn van de tweede set breuklijnen zieh voorbij en substantieel evenwijdig met een projectie van de eerste scherpe spiijtwig ioodrecht op het substraat bevindt, en waarbij een extremaie strip van het substraat volledig uîtkragend iigt ten opzichte van de eerste scherpe spiijtwig;a. advancing a substrate parallel to the fracture lines of the first set beyond a first sharp splitting wedge located on an opposite side of the substrate from the fracture lines, advancing the substrate to a first position at which an extremity of fracture line of the second set of fracture lines beyond and substantially parallel to a projection of the first sharp splitting wedge is perpendicular to the substrate, and wherein an extremity strip of the substrate is fully protruding from the first sharp splitting wedge;

b. net afbreken van de uitkragende strip van het substraat iangsheen de extremaie breuklijn van de tweede set, door het aanieggen van een eerste krachtmoment op de uitkragende strip, waarbij het eerste krachtmoment aangelegd wordt door het uitoefenen van een eerste kracht op de uitkragende strip, waarbij de eerste kracht substantieel Ioodrecht op het substraat gericht is van de zijde waar de breuklijn aangebraeht is naar de overliggende zijde, bij voorkeur waarbij de tweede kracht uitgeoefend wordt op een keramisch gedeelte van de uitkragende strip, en waarbij de eerste scherpe spiijtwig dient als as voor het eerste krachtmoment;b. just breaking off the cantilever strip from the substrate along the extremity of the second set of fracture, by applying a first moment of force to the cantilever strip, applying the first moment of force by applying a first force to the cantilever strip, the first force is directed substantially perpendicular to the substrate from the side where the score line is applied to the opposite side, preferably the second force being applied to a ceramic portion of the protruding strip, and the first sharp splitting wedge serving as the axis of the first moment of force;

c. net parallel met de breuklijnen van de tweede set voortbewegen van de afgebroken strip voorbij een tweede scherpe spiijtwig die zieh aan de overliggende zijde van de afgebroken strip bevindt ten opzichte van de breuklijnen, waarbij de afgebroken strip voortbewogen wordt tot een tweede positie waarbij een extremaie breuklijn van de eerste set breuklijnen van de strip zieh voorbij en substantieel evenwijdig met een projectie van de tweede scherpe spiijtwig ioodrecht op het substraat bevindt, en waarbij een extremaie elektronische schakeling van de afgebroken strip volledig uîtkragend ligt ten opzichte van de tweede scherpe spiijtwig; enc. just parallel to the breaklines of the second set of advancing the broken strip beyond a second sharp splined wedge located on the opposite side of the broken strip relative to the breaklines, advancing the broken strip to a second position with an extraneous breakline of the first set of breaklines of the strip beyond and substantially parallel to a projection of the second sharp splitting wedge is perpendicular to the substrate, and an extremely electronic circuit of the broken strip is fully cantilevered with respect to the second sharp splitting wedge; and

d. het afbreken van de uitkragende schakeiing van de strip iangsheen de extremaie breuklijn van de eerste set, door het aanieggen van een tweede krachtmoment op de uitkragende schakeiing, waarbij het tweede krachtmoment aangelegd wordt door het uitoefenen van een tweede kracht op de uitkragende schakeiing, waarbij de tweede kracht substantieel ioodrecht op de strip gericht is van de zijde waar de breuklijn aangebraeht is naar de overliggende zijde, bij voorkeurd. breaking off the cantilevering circuit of the strip along the extremity of the fracture of the first set, by applying a second moment of force to the cantilevering circuit, applying the second moment of force by applying a second force to the cantilevering circuit, whereby the second force is directed substantially perpendicular to the strip from the side where the score line is applied to the opposite side, preferably

BE2016/5506 waarbij de tweede kracht uitgeoefend wordt op een keramisch gedeelte van de uitkragende schakeiing, en waarbij de tweede scherpe splijtwig dient ais as voor het tweede krachtmoment.BE2016 / 5506 in which the second force is exerted on a ceramic part of the protruding circuit, and in which the second sharp splitting wedge serves as axis for the second moment of force.

In een tweede aspect betreft de uitvinding een werkwijze voor het breken van een substraat langsheen een vooraf aan een zijde van het substraat aangebrachte, rechte, verzwakte breuklijn, omvattende volgende stappen:In a second aspect, the invention relates to a method of breaking a substrate along a straight, attenuated score line pre-applied on one side of the substrate, comprising the following steps:

a. het voortbewegen van een substraat langsheen een richting evenwijdig met het substraat en loodrecht op de breuklijn, waarbij het substraat voortbewogen wordt voorbij een scherpe splijtwig die zieh aan een overiiggende zijde van het substraat bevindt ten opzichte van de breuklijn, waarbij het substraat voortbewogen wordt tot een positie waarbij de breuklijn zieh voorbij en substantieel evenwijdig met een projectie van de scherpe splijtwig loodrecht op net substraat bevindt, bij voorkeur met op een maximale afstand van 0.25 cm en bij verdere voorkeur van 0.1 cm, en waarbij een extremaai uiteinde van het substraat volledig uitkragend iigt ten opzichte van de scherpe splijtwig;a. advancing a substrate along a direction parallel to the substrate and perpendicular to the fracture line, advancing the substrate beyond a sharp splitting wedge located on an opposite side of the substrate from the fracture line, advancing the substrate to a position where the score line is beyond and substantially parallel to a projection of the sharp splitting wedge perpendicular to the substrate, preferably at a maximum distance of 0.25 cm, and further preferably 0.1 cm, and with an extra mowing end of the substrate fully protruding from the sharp splitting wedge;

b. net zuigend aangrijpen van net substraat na het voortbewegen van het substraat tot de positie, waarbij het substraat op één of meerdere plaatsen op het substraat zuigend aangegrepen wordt, en waarbij het zuigend aangrijpen van net substraat aangepast is om een kromming van het viak van het substraat te volgen ;b. net suction engaging the substrate after advancing the substrate to the position where the substrate is sucked in one or more locations on the substrate and the suction engaging the substrate is adapted to a curvature of the substrate's surface to follow ;

c. het afbreken van net uitkragende uiteinde van het substraat langsheen de breuklijn, door het aanleggen van een krachtmoment op het uitkragende uiteinde, waarbij het krachtmoment aangelegd wordt door het uitoefenen van een kracht op het uitkragende uiteinde, waarbij de kracht substantieel loodrecht op het substraat gericht is van de zijde waar de breuklijn aangebracht is naar de overiiggende zijde, en waarbij de scherpe splijtwig dient ais as voor het krachtmoment.c. breaking off the cantilevered end of the substrate along the fracture line, by applying a moment of force to the cantilevering end, applying the moment of force by applying a force to the cantilevering end, the force being directed substantially perpendicular to the substrate from the side where the fracture line is applied to the other side, and where the sharp splitting wedge serves as axis for the moment of force.

In een derde aspect betreft de uitvinding een instelling voor het singuleren van elektronische schakelingen uit Substraten, waarbij de Substraten een eerste set vooraf aangebrachte verzwakte breuklijnen omvatten en een tweede set vooraf aangebrachte verzwakte breuklijnen omvatten, waarbij de eerste set en de tweede set substantieel loodrecht staan op eikaar, omvattende:In a third aspect, the invention relates to an arrangement for singulating electronic circuits from Substrates, wherein the Substrates comprise a first set of pre-applied attenuated fault lines and a second set of pre-applied attenuated fault lines, the first set and the second set being substantially perpendicular on top of each other, comprising:

a. een eerste transportsysteem voor het gecontroleerd verplaatsen van een substraat in een viak evenwijdig met het substraat en langsheen een eerste transportrichting parallel met de breuklijnen van de eerste set, waarbij het eerstea. a first transport system for the controlled movement of a substrate in a plane parallel to the substrate and along a first transport direction parallel to the fault lines of the first set, wherein the first

BE2016/5506 transportsysteem één of meerdere zuigers omvat die aangepast zijn voor het zuigend aangrijpen en immobiliseren van het substraat, bij voorkeur aan een niet met componenten voorziene zijde van het substraat, en waarbij de zuigers aangepast zijn om een kromming van het viak van het substraat te voigen bij het aangrijpen en immobiliseren van het substraat;BE2016 / 5506 conveyor system includes one or more pistons adapted for suction engaging and immobilization of the substrate, preferably on a non-component side of the substrate, and the pistons adapted to curvature of the substrate substrate wipe when gripping and immobilizing the substrate;

b. een eerste scherpe splijtwig waarover uitkragende strips van het substraat opeenvoigend afgebroken worden iangs de breukiijnen van de tweede set, waarbij de eerste scherpe splijtwig zieh afwaarts bevindt iangs de eerste transportrichting en onder het viak waarin de Substraten verplaatst worden, waarbij de eerste scherpe spiijtwig een splijtrand omvat die substantieel evenwijdig is met net viak waarin de Substraten verplaatst worden en substantieel loodrecht Staat ten opzichte van de eerste transportrichting, en bevindt de splijtrand zieh bij voorkeur op een maximale afstand van 0.25 cm, bij voorkeur van 0.10 cm, bij verdere voorkeur van 0.05 cm, tot net viak waarin de Substraten verplaatst worden; en c, een eerste breekeenheid voor het uitoefenen van een eerste kracht ορ een uitkragende strip van het geïmmobiliseerde substraat en het afbreken van de uitkragende strip van het geïmmobiliseerde substraat, waarbij de eerste breekeenheid aangepast Is om de eerste kracht uit te oefenen op de uitkragende strip wanneer de uitkragende strip volledig voorbij een projectie van de splijtrand van de eerste scherpe spiijtwig loodrecht ορ het vlak waarin de Substraten verplaatst worden, gepositioneerd Is, waarbij de eerste kracht substantieel loodrecht op het vlak van het substraat Staat en gericht is van boven naar onder ten opzichte van het substraat, bij voorkeur waarbij de eerste kracht uitgeoefend wordt op een extremaal uiteinde van de uitkragende strip, bij verdere voorkeur op een keramisch gedeeite van net extremaal uiteinde van de uitkragende strip;b. a first sharp splitting wedge over which protruding strips of the substrate are broken off successively along the fracture lines of the second set, the first sharp splitting wedge being downward along the first transport direction and below the plane in which the Substrates are moved, the first sharp splitting wedge having a splitting edge which is substantially parallel to the plane in which the Substrates are moved and is substantially perpendicular to the first conveying direction, and the splitting edge is preferably at a maximum distance of 0.25 cm, preferably 0.10 cm, further preferably 0.05 cm cm, to a square in which the Substrates are moved; and c, a first crushing unit for applying a first force ορ a protruding strip from the immobilized substrate and breaking off the protruding strip from the immobilized substrate, the first crushing unit being adapted to exert the first force on the protruding strip when the cantilever strip is positioned completely beyond a projection of the splitting edge of the first sharp splitting wedge perpendicular to the plane in which the Substrates are moved, the first force being substantially perpendicular to the plane of the substrate and directed from top to bottom relative to the substrate, preferably the first force being applied to an extremity of the protruding strip, further preferably to a ceramic portion of the extremity of the protruding strip;

waarbij de één of meerdere zuigers van het eerste transportsysteem aangepast zijn om het substraat zuigend aan te grijpen en te Immobiliseren wanneer de uitkragende strip volledig voorbij de projectie van de splijtrand van de eerste scherpe spiijtwig op het viak waarin de Substraten verplaatst worden, gepositioneerd is, voordat de eerste breekeenheid de eerste kracht uitoefent ορ de uitkragende strip.the one or more pistons of the first conveying system adapted to suck and immobilize the substrate when the cantilever strip is positioned completely past the projection of the splitting edge of the first sharp splitting wedge on the plane in which the Substrates are moved, before the first crushing unit applies the first force ορ the protruding strip.

In een verdere uitvoering omvat de bovenstaande installing verder:In a further embodiment, the above installing further includes:

a. een collecteersysteem voor het opvangen van afgebroken strips van dea. a collection system for collecting broken strips from the

Substraten, bij voorkeur waarbij het collecteersysteem één of meerdere zuigers omvat voor net zuigend aangrijpen van de afgebroken strips;Substrates, preferably in which the collection system comprises one or more pistons for just sucking engagement of the broken strips;

BE2016/5506BE2016 / 5506

b. een tweede transportsysteem voor het gecontroieerd verplaatsen van een opgevangen strip in een vlak evenwijdig met de opgevangen strip en langsheen een tweede transportrichting substantieel loodrecht op de breukiijnen van de eerste set op de opgevangen strip, waarbij het tweede transportsysteem één of meerdere zuigers omvat voor het zuigend aangrijpen en immobiliseren van de opgevangen strip, bij voorkeur aan een niet met componenten voorziene zijde van de opgevangen strip, en waarbij de zuigers aangepast zijn om een kromming van het vlak van de opgevangen strip te volgen bij het aangrijpen en immobiliseren van de opgevangen strip, bij voorkeur waarin de één of meerdere zuigers van het tweede transportsysteem deel uitmaken van de één of meerdere zuigers van het coilecteersysteem;b. a second transport system for the controlled displacement of a collected strip in a plane parallel to the collected strip and along a second transport direction substantially perpendicular to the fracture lines of the first set on the collected strip, the second transport system comprising one or more pistons for suctioning engaging and immobilizing the received strip, preferably on a non-component side of the received strip, and the pistons adapted to follow a curvature of the plane of the received strip when engaging and immobilizing the received strip, preferably wherein the one or more pistons of the second conveying system form part of the one or more pistons of the coilecting system;

c. een tweede scherpe splijtwig waarover uitkragende schakeiingen van de strip opeenvolgend afgebroken worden längs de breukiijnen van de eerste set, waarbij de tweede scherpe splijtwig zieh afwaarts bevindt längs de tweede transportrichting en onder het viak waarin de strips verplaatst worden, waarbij de tweede scherpe splijtwig een spiijtrand omvat die substantieel evenwijdig is met het vlak waarin de strips verplaatst worden en loodrecht is ten opzichte van de tweede transportrichting, en bevindt de spiijtrand zieh bij voorkeur op een maximale afstand van 0.25 cm, bij voorkeur van 0.10 cm, bij verdere voorkeur van 0.05 cm, tot het viak waarin de strips verplaatst worden;c. a second sharp splitting wedge over which protruding switches of the strip are broken off successively along the fracture lines of the first set, the second sharp splitting wedge being downward along the second transport direction and under the plane in which the strips are moved, the second sharp splitting wedge having a splitting edge which is substantially parallel to the plane in which the strips are moved and is perpendicular to the second conveying direction, and the cutting edge is preferably at a maximum distance of 0.25 cm, preferably 0.10 cm, further preferably 0.05 cm , to the square in which the strips are moved;

d. een tweede breekeenheid voor het uitoefenen van een tweede kracht op een uitkragende schakeling van de geïmmobiiiseerde strip en het afbreken van de uitkragende schakeling van de geïmmobiiiseerde strip, waarbij de tweede breekeenheid aangepast is om de tweede kracht uit te oefenen op de uitkragende schakeling wanneer de uitkragende schakeling volledig voorbij een projectie van de spiijtrand van de tweede scherpe splijtwig loodrecht op het viak waarin de strips verplaatst worden, gepositioneerd is, waarbij de tweede kracht substantieel loodrecht op het vlak van de strip staat en gericht Is van boven naar onder ten opzichte van de strip, bij voorkeur waarbij de tweede kracht uitgeoefend wordt op een extremaa! uiteinde van de uitkragende schakeling, bij verdere voorkeur op een keramisch gedeelte van het extremaa! uiteinde van de uitkragende schakeling; end. a second breaking unit for applying a second force to a protruding circuit of the immobilized strip and breaking off the protruding circuit of the immobilized strip, the second breaking unit being adapted to apply the second force to the protruding circuit when the protruding circuit circuit is fully positioned beyond a projection of the spiked edge of the second sharp splitting wedge perpendicular to the plane in which the strips are moved, the second force being substantially perpendicular to the plane of the strip and oriented from top to bottom relative to the strip, preferably where the second force is applied to an extremity! end of the cantilever circuit, preferably further on a ceramic portion of the extremity. end of the cantilever circuit; and

e. optionee! een tweede coilecteersysteem voor het opvangen en doorgeven van afgebroken schakeiingen van de strips, bij voorkeur waarbij het tweede coilecteersysteem één of meerdere zuigers omvat voor het zuigend aangrijpen van de afgebroken schakeiingen;e. optionee! a second coilecting system for receiving and transmitting broken circuits of the strips, preferably wherein the second coilecting system comprises one or more pistons for sucking engagement of the broken circuits;

BE2016/5506 waarbij de één of meerdere zuigers van het tweede transportsysteem aangepast zijn om de strip zuigend aan te grijpen en te immobiliseren wanneer de uitkragende schakeiing volledig voorbij de projectie van de splijtrand van de tweede scherpe splijtwig op het vlak waarin de strips verplaatst worden, gepositioneerd is, voordat de tweede breekeenheid de tweede kracht uitoefent op de uitkragende schakeiing.BE2016 / 5506 in which the one or more pistons of the second conveying system are adapted to grip and immobilize the strip in a suction manner when the cantilevering circuit is completely beyond the projection of the splitting edge of the second sharp splitting wedge on the plane in which the strips are moved, is positioned before the second crushing unit applies the second force to the cantilevering circuit.

In een vierde aspect betreft de uitvinding een insteiiing voor het afbreken van veriiesranden van een substraat, waarbij de veriiesranden iangs minstens één zijde van het substraat afgescheiden zijn door midde! van vooraf aangebrachte verzwakte breuklijnen, omvattende:In a fourth aspect, the invention relates to an arrangement for breaking off the edge of the substrate from the substrate, the edge of the substrate being separated by at least one side of the substrate by means of the middle. of pre-applied attenuated fault lines, comprising:

a. een houdsysteem voor het vasthouden van het substraat, bij voorkeur centraal en/of aan een zijde van het substraat waar geen elektronische componenten aanwezig zijn, omvattende één of meerdere zuigers, bij voorkeur vacuüm pads, waarbij de één of meerdere zuigers aangepast zijn om een kromming van het viak van het substraat te voigen bij het vasthouden van het substraat.a holding system for holding the substrate, preferably centrally and / or on one side of the substrate where no electronic components are present, comprising one or more pistons, preferably vacuum pads, the one or more pistons being adapted to to flex the curvature of the substrate when holding the substrate.

b. minstens één breeksysteem, omvattende een beweegbare klem, bij voorkeur een beweegbare bankschroef, met twee bekken voor het aan weerszijden klemmend aangrijpen van een verliesrand van het substraat met de bekken, waarbij de beweegbare klem pivoteerbaar om een pivot-as aan een steun van net breeksysteem gehecht is, waarbij de pivot-as zieh op een maximale afstand van 0.5 cm, bij voorkeur 0.25 cm, bij verdere voorkeur 0.1 cm, van een extremaal elnde van één van de bekken bevindt, en bij nog verdere voorkeur waarbij de pivot-as substantiee! samenvait met de breuklijn van de geklemde verliesrand.b. at least one break system, comprising a movable clamp, preferably a movable vise, with two jaws for gripping a loss edge of the substrate with the jaws on both sides, the movable clamp being pivotable about a pivot axis on a support of the breaking system sutured, the pivot axis being at a maximum distance of 0.5 cm, preferably 0.25 cm, further preferably 0.1 cm, from an extremity of one of the jaws, and still more preferably wherein the pivot axis is substantially ! coincides with the fracture line of the clamped loss edge.

In een vijfde aspect betreft de uitvinding een systeem voor het singuieren van elektronische schakelingen uit Substraten met veriiesranden, omvattende:In a fifth aspect, the invention relates to a system for singling electronic circuits from Loss Edge Substrates, comprising:

a. een insteiiing voor het afbreken van veriiesranden van een substraat zoals beschreven in dit document;a. an arrangement for breaking off edge of the substrate substrate as described herein;

b. een transportsysteem voor het overbrengen van de van veriiesranden ontdane Substraten uit de insteiiing voor het afbreken van veriiesranden van het substraat naar de insteiiing voor het singuieren van elektronische schakelingen uit Substraten;b. a conveying system for transferring the debris-stripped substrates from the substrate for breaking down the edges of the substrate to the substrate for singling electronic circuits from substrates;

c. een insteiiing voor het singuieren van elektronische schakelingen uit Substraten zoals beschreven in dit document.c. an arrangement for singling electronic circuits from Substrates as described herein.

BE2016/5506BE2016 / 5506

In een zesde aspect betreft de uitvinding een elektronische schakeling gesinguleerd uit een substraat, voigens een werkwijze zoals beschreven in dit document, bij voorkeur waarbij het singuleren uitgevoerd wordt met een systeem zoais beschreven in dit document.In a sixth aspect, the invention relates to an electronic circuit singulated from a substrate, according to a method as described in this document, preferably wherein the singulation is performed with a system as described in this document.

BESCHRIJVING VAN DE FIGURENDESCRIPTION OF THE FIGURES

Fsgyur 1 toont een zijdelings aanzicht van een mogelijke uitvoering van het singuleren of afbreken van een strip/schakeling van een substraat/strip voigens de uitvinding.Fsgyur 1 shows a side view of a possible embodiment of singulating or breaking off a strip / circuit of a substrate / strip according to the invention.

Fsgyur 2 toont een zijdelings aanzicht van een mogelijke uitvoering van een deei van een instelling voigens de uitvinding voor het afbreken van verliesranden van een substraat, waarbij tegenoverliggende verliesranden ingekiemd zijn en het substraat geïmmobiliseerd is.Fsgyur 2 shows a side view of a possible embodiment of a part of a device according to the invention for breaking off loss edges of a substrate, in which opposite loss edges are germinated and the substrate is immobilized.

Fsgyys· 3 toont een vereenvoudigtie uitvoering van een prior art instelling voor het afbreken van strips/schakeiingen van een substraat/strip, waarbij geen rekening gehouden wordt met een warpage of twist van het substraat/strip.Fsgyys · 3 shows a simplified implementation of a prior art setting for strip / circuit breakdown of a substrate / strip, not taking into account a warpage or twist of the substrate / strip.

Fägyu! 4 toont een perspectiefzicht van een mogelijke uitvoering van een deel van de instelling volgens de uitvinding voor het afbreken van verliesranden van een substraat, waarbij de veriiesrand van het substraat geklemd wordt.Fägyu! 4 shows a perspective view of a possible embodiment of a part of the adjustment according to the invention for breaking off loss edges of a substrate, in which the loss edge of the substrate is clamped.

Figyyr 5A toont een zijdelings aanzicht van een mogelijke uitvoering van een deei van de Instelling volgens de uitvinding voor het afbreken van verliesranden van een substraat, waarbij de veriiesrand van het substraat geklemd wordt, voortgaand op Figuur 2.Fig. 5A shows a side view of a possible embodiment of a part of the Setup according to the invention for breaking off loss edges of a substrate, clamping the loss edge of the substrate, continuing on Figure 2.

Fsguur SB toont een zijdeiings aanzicht van een mogelijke uitvoering van een deei van de instelling voigens tie uitvinding voor het afbreken van verliesranden van een substraat, waarbij de veriiesrand afgebroken is in een actie volgend op de positie van Figuur 5A, eveneens voortgaand op Figuur 2.Figure SB shows a side view of a possible embodiment of a part of the inventive setting for breaking off loss edges of a substrate, the loss edge being broken in an action following the position of Figure 5A, also continuing on Figure 2.

Fsgsjyr 6Ä toont een bovenaanzicht van een mogelijke uitvoering van de instelling voigens de uitvinding voor het singuleren van Substraten tot strips en tot schakelingen, nameiljk in het vlak XY, waarbij de eerste breekeenheid teruggetrokken is, en de instelling gereed is voor het afbreken van een schakeling van een strip.Fsgsjyr 6Ä shows a top view of a possible embodiment of the setting according to the invention for singulating Substrates to strips and to circuits, especially in the plane XY, with the first breaking unit withdrawn, and the setting being ready for breaking off a circuit from a comic.

BE2016/5506BE2016 / 5506

Figyyr SB toont een bovenaanzicht van een mogelijke uitvoering van de instelling volgens de uitvinding voor net singuleren van Substraten tot strips en tot schakeiingen, nameiijk in het vlak XY, waarbij de eerste breekeenheid actief ingeschoven is, en de instelling gereed is voor het afbreken van een strip van een substraat.Figyyr SB shows a top view of a possible embodiment of the setting according to the invention for just singulating Substrates to strips and to circuits, namely in the plane XY, wherein the first breaking unit is actively retracted, and the setting is ready to abort a strip from a substrate.

Fsguur 7 toont een zijdelingse doorsnede van een mogeiijke uitvoering van een dee! van de instelling volgens de uitvinding voor het singuleren van Substraten tot strips, nameiijk in het vlak XZ.Figure 7 shows a side cross-section of a possible embodiment of a part! of the setting according to the invention for singulating Substrates into strips, namely in the plane XZ.

GEDETÄILLEERDE BESCHRIJVINGDETAILED DESCRIPTION

De uitvinding betreft een verbeterd systeem, apparaat en werkwijze voor het singuleren van Substraten met meerdere schakeiingen (units) op een wijze waarbij het verlies door breuken in de schakeiingen en dergelijke, gereduceerd worden, alsook een sneller, geautomatiseerd singulatieproces geschikt voor industriëie toepassing.The invention relates to an improved system, apparatus and method for singulating multi-circuit substrates (units) in a manner that reduces the loss due to circuit breakages and the like, as well as a faster, automated singulation process suitable for industrial application.

Tenzij anders gedefinieerd hebben alie termen die gebruikt worden in de beschrijving van de uitvinding, ook technisch en wetenschappelijke termen, de betekenis zoals ze algemeen begrepen worden door de vakman in het technisch veld van de uitvinding. Voor een betere beoordeling van de beschrijving van de uitvinding, worden de volgende termen expliciet uitgelegd.Unless otherwise defined, all terms used in the description of the invention, including technical and scientific terms, have the meaning generally understood by those skilled in the art of the invention. For a better assessment of the description of the invention, the following terms are explicitly explained.

Een, de en het refereren in dit document naar zowei het enkelvoud ais het meervoud tenzij de context duidelijk anders verondersteit. Bijvoorbeeld, een segment betekent een of meer dan een segment.One, de and in this document refer to both the singular and the plural unless the context clearly presupposes otherwise. For example, a segment means one or more than a segment.

Wanneer ongeveer of rond in dit document gebruikt wordt bij een meetbare grootheid, een parameter, een tijdsduur of moment, en dergelijke, dan worden variaties bedoeld van +/-20% of minder, bij voorkeur +/-10% of minder, meer bij voorkeur +/5% of minder, nog meer bij voorkeur +/-1% of minder, en zeifs nog meer bij voorkeur +/-0.1% of minder dan en van de geciteerde waarde, voor zoverre zulke variaties van toepassing zijn In de beschreven uitvinding. Hier moet echter wel onder verstaan worden dat de waarde van de grootheid waarbij de term ongeveer of rond gebruikt wordt, zelf specifiek wordt bekendgemaakt.When around or around this document is used with a measurable quantity, a parameter, a duration or moment, and the like, variations of +/- 20% or less, preferably +/- 10% or less, more at preferably +/- 5% or less, even more preferably +/- 1% or less, and even more preferably +/- 0.1% or less than and of the quoted value, insofar as such variations apply. invention. However, this should be understood to mean that the value of the quantity by which the term is used approximately or round is itself specifically disclosed.

BE2016/5506BE2016 / 5506

De termen omvatten, omvattende, bestaan uit, bestaande uit, voorzien van, bevatten, bevattende, beheizen, beheizende, inhouden, inhoudende zijn synoniemen en zijn inclusieve of open termen die de aanwezigheid van wat voigt aanduiden, en die de aanwezigheid niet uïtsluiten of beietten van andere componenten, kenmerken, elementen, ieden, stappen, gekend uit of beschreven in de stand der techniek.The terms include, include, consist of, consist of, provide with, contain, contain, control, controlling, content, containing are synonyms and are inclusive or open terms that indicate the presence of what is, and do not exclude or seize the presence of other components, features, elements, elements, steps, known from or described in the prior art.

Het eiteren van numerieke Intervallen door de eindpunten omvat aile geheie getaiien, breuken en/of reële getaiien tussen de eindpunten, deze eindpunten inbegrepen.Claiming numerical Intervals through the endpoints encompass all of the actual jaws, fractions and / or real jaws between the endpoints, including these endpoints.

De uitvinding betreft in een eerste aspect een werkwijze voor net singuieren van elektronische schakelingen uit een substraat, waarbij het substraat een eerste set vooraf aangebrachte verzwakte breuklijnen omvat en een tweede set vooraf aangebrachte verzwakte breuklijnen omvat, waarbij de eerste set en de tweede set substantieel loodrecht staan op elkaar, omvattende volgende stappen:In a first aspect, the invention relates to a method for just singling electronic circuits from a substrate, the substrate comprising a first set of pre-applied attenuated fault lines and a second set of pre-applied attenuated fault lines, wherein the first set and the second set are substantially perpendicular stand on top of each other, comprising the following steps:

a. het parallel met de breuklijnen van de eerste set voortbewegen van een substraat voor bij een eerste scherpe splijtwig die zieh aan een overliggende zijde van het substraat bevindt ten opzichte van de breuklijnen, waarbij het substraat voortbewogen wordt tot een eerste positie waarbij een extremaie breuklijn van de tweede set breuklijnen zieh voorbij en substantieel evenwijdig met een projectie van de eerste scherpe splijtwig ioodrecht op het substraat bevindt, en waarbij een extremaie strip van het substraat volledig uitkragend ligt ten opzichte van de eerste scherpe splijtwig;a. advancing a substrate parallel to the fracture lines of the first set at a first sharp splitting wedge located on an opposite side of the substrate from the fracture lines, the substrate being advanced to a first position at which an extremity of fracture line of the second set of fracture lines beyond and substantially parallel to a projection of the first sharp splitting wedge is perpendicular to the substrate, and wherein an extremity strip of the substrate is fully protruding from the first sharp splitting wedge;

b. net afbreken van de uïtkragende strip van het substraat langsheen de extremaie breuklijn van de tweede set, door het aanleggen van een eerste krachtmoment op de uïtkragende strip, waarbij het eerste krachtmoment aangelegd wordt door net uitoefenen van een eerste kracht op de uïtkragende strip, waarbij de eerste kracht substantieel ioodrecht op het substraat gericht Is van de zijde waar de breuklijn aangebracht is naar de overiiggende zijde, bij voorkeur waarbij de tweede kracht uitgeoefend wordt op een keramisch gedeeite van de uïtkragende strip, en waarbij de eerste scherpe splijtwig dient als as voor het eerste krachtmoment;b. just breaking off the cantilevering strip of the substrate along the extrusion line of the second set, by applying a first moment of force to the cantilevering strip, applying the first moment of force by just applying a first force to the cantilevering strip, the first force is directed substantially perpendicular to the substrate From the side where the score line is applied to the other side, preferably the second force being applied to a ceramic portion of the protruding strip, and the first sharp splitting wedge serving as the shaft for the first moment of force;

c. het parallel met de breuklijnen van de tweede set voortbewegen van de afgebroken strip voorbij een tweede scherpe splijtwig die zieh aan de overiiggende zijde van de afgebroken strip bevindt ten opzichte van de breuklijnen, waarbij de afgebroken strip voortbewogen wordt tot een tweede positie waarbij een extremaie breuklijn van de eerste set breuklijnen van de stripc. advancing the broken strip parallel to the break lines of the second set beyond a second sharp splitting wedge located on the opposite side of the broken strip relative to the break lines, advancing the broken strip to a second position with an extraneous break line of the first set of score lines of the strip

BE2016/5506 zieh voorbij en substantiee! evenwijdig met een projectie van de tweede scherpe splijtwig loodrecht op het substraat bevindt, en waarbij een extremale elektronische schakeling van de afgebroken strip volledig uitkragend ligt ten opzichte van de tweede scherpe splijtwig; en d, het afbreken van de uitkragende schakeling van de strip langsheen de extremale breuklijn van de eerste set, door het aanleggen van een tweede krachtmoment op de uitkragende schakeling, waarbij het tweede krachtmoment aangelegd wordt door het uitoefenen van een tweede kracht op de uitkragende schakeling, waarbij de tweede kracht substantiee! loodrecht op de strip gericht is van de zijde waar de breuklijn aangebracht is naar de overliggende zijde, bij voorkeur waarbij de tweede kracht uitgeoefend wordt op een keramisch gedeelte van de uitkragende schakeling, en waarbij de tweede scherpe splijtwig dient als as voor het tweede krachtmoment.BE2016 / 5506 past and substantial! parallel to a projection of the second sharp splitting wedge is perpendicular to the substrate, and an extrema electronic circuitry of the broken strip is fully protruding from the second sharp splitting wedge; and d, breaking off the cantilever circuit of the strip along the extremal fracture line of the first set by applying a second moment of force to the cantilever circuit, applying the second moment of force by applying a second force to the cantilever circuit , where the second force is substantial! is oriented perpendicular to the strip from the side where the break line is applied to the opposite side, preferably with the second force applied to a ceramic portion of the cantilever circuit, and the second sharp splitting wedge serving as the shaft for the second moment of force.

Eén van de doeien van net uitvindingsconcept is om op een verbeterde wijze elektronische schakelingen te singuleren, zowel qua accuratesse als qua snelheid. immers, de aanvrager merkte dat bij het singuleren een onaanvaardbaar hoog percentage fouten optrad (microcracks, 'toe out', 'chip out' en andere Problemen). Bij nader onderzoek bieken velen van deze breuken een gevolg van reeds aanwezig verzwakkingen in het substraat, onder meer als gevolg van trekspanningen in het substraat en meer bepaaid tussen de lagen in verschillende materialen. Deze zetten verschillend uit bij verhîtting en afkoeling, wat leidt tot een siecht passend product in rust en een daaruit volgende spanning. Deze problematiek is onder meer gekend bij direct gebenden koper (DBG) Substraten, waar de thermische expansiecoëfficiënt van koper (of laag van andere elektrische geleider) en die van de keramische drager waarop de koperlaag (of andere) is gebenden, sterk verschillen. Daarnaast is er ook nog een wezeniijk verschil in de behandeling van boven- en onderzijde van het substraat. Aan de bovenzijde wordt een zeer nauwkeurig etsproces gevoigd om individuele geleiders in het koper te etsen, terwijl dit aan de onderzijde typisch ontbreekt (eventueel kunnen er andere patronen op aangebracht worden, desalniettemin zorgt dit voor een verdere belasting van het substraat. Vervolgens worden ook nog via een laser de zogenaamde breukiijnen aangebracht (pulslijnen). Dit verzwakt de keramische drager verder, wat enerzijds kan leiden tot een verdere kromtrekking van het substraat, maar verhoogt ook de kans op ongewenste breuken (niet op breukiijnen) door de aantasting van de structurale integriteit van de schakelingen,One of the aims of the inventive concept is to singulate electronic circuits in an improved manner, both in terms of accuracy and speed. after all, the applicant noticed that an unacceptably high error rate (microcracks, 'toe out', 'chip out' and other Problems) occurred during singulation. Upon further investigation, many of these fractures are due to already present weakenings in the substrate, including tensile stresses in the substrate and more interposed between the layers in different materials. These expand differently during heating and cooling, resulting in a poorly fitting product at rest and a resulting tension. This problem is known, inter alia, with direct-bonded copper (DBG) Substrates, where the thermal expansion coefficient of copper (or layer of other electrical conductor) and that of the ceramic support on which the copper layer (or other) is bound, differ greatly. In addition, there is also a substantial difference in the treatment of the top and bottom of the substrate. At the top a very precise etching process is carried out to etch individual conductors in the copper, while this is typically lacking at the bottom (possibly other patterns can be applied to it, nevertheless this further stresses the substrate. so-called fracture lines are applied by laser (pulse lines), which further weakens the ceramic support, which on the one hand can lead to further warping of the substrate, but also increases the chance of unwanted fractures (not on fracture lines) due to damage to the structural integrity of the circuits,

Deze spanningen komen sterk tot uiting bij de verdere verwerking van net substraat, namelijk het aanbrengen van de vermogenscomponenten, het soldeerproces en hetThese stresses are strongly reflected in the further processing of the substrate, namely the application of the power components, the soldering process and the

BE2016/5506 bakken van de schakeiingen. Tijdens het soideren worden de Substraten typisch in een vacuümoven op een temperatuur van 2.40 °C gebracht, waarna de Substraten afkoeien tot normale temperatuur. Het is in deze processen met temperatuurwijzigingen dat een zogenaamde 'twist' en/of 'warpage' optreden. Deze kunnen leiden tot een afwijking van het gewenste vlakke substraat tot 5 mm en zelfs meer.BE2016 / 5506 baking the switches. During sidering, the Substrates are typically brought to a temperature of 2.40 ° C in a vacuum oven, after which the Substrates are allowed to cool to normal temperature. It is in these processes with temperature changes that a so-called 'twist' and / or 'warpage' occur. These can lead to a deviation of the desired flat substrate by up to 5 mm and even more.

Gangbare singuiatie-systemen houden hier geen of onvoldoende rekening mee, wat ieidt tot een te hoog verliespercentage aan gebroken eenheden of schakeiingen. De uitvinder lost deze problematiek op door de voornoemde combinatie van maatregelen (en hierop volgende) die samen het probleem substantieel oplossen. Daarnaast moet ook nog gewezen worden op breuken die optreden tussen het 'bakproces' hierboven beschreven en nog tussenliggende stappen, zoals ultrasone wirebonding en dergelijke. in deze stappen worden de substraat veela! zo vlak mogelijk vastgeklampt (typisch op een vacuüm-tafei) om de stappen zo accuraat mogelijk uit te voeren. Hierbij wordt het substraat dan ook sterk belast om de twist en warpage compenseren, waarbij breuken kunnen optreden (of verdere verzwakking van het substraat).Current singulation systems do not or insufficiently take this into account, which leads to an excessive loss percentage of broken units or circuits. The inventor solves this problem by the aforementioned combination of measures (and subsequent ones) that together solve the problem substantially. In addition, it should also be noted that breaks occur between the 'baking process' described above and intermediate steps, such as ultrasonic wire bonding and the like. in these steps, the substrate is often! clipped as flat as possible (typically on a vacuum table) to perform the steps as accurately as possible. The substrate is therefore heavily loaded to compensate for the twist and warpage, whereby fractures may occur (or further weakening of the substrate).

Een eerste fout rust in het feit dat de Substraten gebroken worden over een rand van een breekpiatform waarop het substraat geklemd rust. Echter, door de kromming van het substraat kan niet gegarandeerd worden dat het substraat in de juiste positie gehouden wordt bij het breken, en kan de breuk ergens anders optreden, zoals ook te zien is in het voorbeeld van Figuur 3. Door gebruik te maken van een scherpe splijtwig voor het afbreken van de uitkragende gedeelten in plaats van een breekpiatform, wordt verzekerd dat het krachtmoment op de juiste plaats (of längs de juiste lijn, namelijk zo dicht mogelijk bij de breuklijn van het uitkragend gedeelte) aangrijpt, en het afbreken op deze manier zo correct en secuur mogelijk gebeurt längs de gewenste breuklijn.A first mistake rests in the fact that the Substrates are broken over an edge of a shear pad on which the substrate rests. However, due to the curvature of the substrate, the substrate cannot be guaranteed to be held in the correct position during fracturing, and the fracture may occur elsewhere, as also shown in the example of Figure 3. Using a sharp splitting wedge for breaking off the cantilevered sections instead of a shear breaking platform ensures that the moment of force engages in the correct position (or along the correct line, i.e. as close as possible to the breakline of the cantilevered section), and the breaking off this is done as correctly and accurately as possible along the desired fault line.

in een verdere uitvoeringsvorm omvat de werkwijze verder volgende stappen:in a further embodiment, the method further comprises the following steps:

a. het immobiliseren van het substraat bij het bereiken van de eerste positie en voor het afbreken van de uitkragende strip, door middel van één of meerdere zuigers, bij voorkeur flexibele vacuüm pads, die zuigend aangrijpen op een nietuitkragend gedeelte van het substraat, waarbij een kromming van het vlak van het substraat gevolgd wordt;a. immobilizing the substrate upon reaching the first position and before breaking off the protruding strip, by means of one or more pistons, preferably flexible vacuum pads, which grip in a non-protruding part of the substrate, whereby a curvature of the plane of the substrate is monitored;

b. het immobiliseren van de afgebroken strip bij het bereiken van de tweede positie en voor het afbreken van de uitkragende schakeling, door middel van één of meerdere zuigers, bij voorkeur flexibele vacuüm pads, die zuigend aangrijpen op een niet-uitkragenti gedeelte van de afgebroken strip, waarbij een kromming van net viak van de afgebroken strip gevolgd wordt.b. immobilizing the broken-off strip upon reaching the second position and before breaking off the cantilever circuit, by means of one or more pistons, preferably flexible vacuum pads, which grip in a non-cantilevered part of the broken-off strip, following a curvature of just the broken strip.

BE2016/5506BE2016 / 5506

Hierbij dient in acht genomen te worden dat bovenstaande stappen tussen of gelijktijdig enkele van eerdergenoemde stappen kunnen plaatsvinden.It should be taken into account here that the above steps can take place between or simultaneously some of the aforementioned steps.

Een tweede fout die veie gekende Systemen maken is het gekiemd aanvoeren van de Substraten door middel van vlakke klemmen die geen rekening houden met de kromming van het substraat, en zo mogelijk a! breuken veroorzaken. Daarnaast kan dit klemmen tot Problemen leiden met componenten op de schakelingen, die hierdoor beschadigd kunnen raken en/of het klemmen bemoeilijken.A second mistake that many known Systems make is the sprouting of the Substrates by means of flat clamps that do not take into account the curvature of the substrate, and if possible a! cause fractures. In addition, this can lead to problems with components on the circuits, which can be damaged and / or make clamping more difficult.

Om bovenstaande Problemen te vermijden, stelt de aanvrager een werkwijze voor waarbij onder meer niet geopteerd wordt voor een klemmend aangrijpen en/of transporteren van de Substraten, maar voor een zuigend (enkelzijdig) aangrijpen van de Substraten (op een niet-uitkragend gedeelte), en langsheen een transportrichting vervoeren zonder de Substraten te klemmen (op het vlak van het substraat), Bovendien kunnen de zuigers over een zekere beweeglijkheid beschikken (kleine afwijkingen qua hoekstand van de zuiger, verticale en/of horizontale positie, deze afwijkingen zijn typisch enkeie graden of enkele mm, gezien de afwijkingen van het substraat ook van deze grootteorde kunnen zijn). Dit garandeerteen optimale aansluiting op het substraat te garanderen zonder dat dît noemenswaardige extra belastingen opievert. Dit kan bijvoorbeeld bereikt worden via het gebruik van een flexibel materiaal voor de zuigers. Daarbij zijn de zuigers qua positionering geplaatst in het vlak waarlangs de Substraten bewogen worden bij voorkeur substantieel onbeweeglijk, en worden de zuigers discontinu gebruikt. Eenmaal een substraat in de eerste positie gebracht is, zullen de zuigers aangrijpen op het substraat en dit immobiliseren. Na het afbreken van de uitkragende strip, iaten de zuigers het substraat weer los zodat dit kan verder opgeschoven worden langsheen de eerste transportrichting zodat het opnieuw in eerste positie gebracht wordt met een uitkragende extremale strip, waarna de zuigers opnieuw het substraat aangrijpen. Het voortbewegen van het substraat gebeurt geieid zodat het substraat de eerste transportrichting volgt, bijvoorbeeld door het aan weerszijden van het substraat voorzien van leidgoten (längs de randen van het substraat die parallel met de eerste transportrichting liggen). Het substraat kan dan voortgeduwd worden (aan proximale zijde), bijvoorbeeld door een duwinrichting. Deze duwinrichting doet bij verdere voorkeur ook nog dienst bij het voorkomen van een overslag bij het afbreken van de uitkragende strip, bijvoorbeeld door een overhangend stuk gedeelte te voorzien bij de duwinrichting die boven de proximale rand van het substraat hangt, en zo overslag van het substraat naar boven toe vermijdt (of omgekeerd Indien neerwaartse overslag dreigt door een andere opstelling).In order to avoid the above Problems, the applicant proposes a method whereby, among other things, it is not opted for a clamping engagement and / or transport of the Substrates, but for a sucking (one-sided) engagement of the Substrates (on a non-cantilevered part), and transport along a transport direction without clamping the Substrates (on the surface of the substrate), In addition, the pistons can have some mobility (small deviations in angle of the piston, vertical and / or horizontal position, these deviations are typically only a few degrees or a few mm, since the deviations of the substrate may also be of this magnitude). This guarantees an optimal connection to the substrate without this producing significant additional loads. This can be achieved, for example, through the use of a flexible material for the pistons. In addition, the pistons are positioned in position in the plane along which the substrates are moved, preferably substantially immobile, and the pistons are used discontinuously. Once a substrate has been brought into the first position, the pistons will engage and immobilize the substrate. After breaking off the protruding strip, the pistons release the substrate again so that it can be pushed further along the first conveying direction so that it is brought back into first position with a protruding extrema strip, after which the pistons engage the substrate again. The substrate is moved smoothly so that the substrate follows the first conveying direction, for example by providing guide channels on either side of the substrate (along the edges of the substrate which are parallel to the first conveying direction). The substrate can then be pushed (on the proximal side), for example by a pushing device. This pushing device furthermore preferably also serves to prevent a flashover when the protruding strip is broken off, for instance by providing an overhanging part at the pushing device which hangs above the proximal edge of the substrate, and thus the flashover of the substrate upwards (or vice versa If downward overtopping is threatened by another arrangement).

BE2016/5506BE2016 / 5506

Merk op dat bovenstaande uiteenzetting gebeurde uitgaande van een situatie waarin het substraat längs de eerste transportrichting verschoven wordt, maar dat dit eenvoudig kan geëxtra poleerd worden naar de situatie waarin de strips längs de tweede transportrichting verschoven worden.Note that the above explanation was based on a situation in which the substrate is shifted along the first transport direction, but this can easily be extrapolated to the situation in which the strips are shifted along the second transport direction.

Bij voorkeur zijn de zuigers voorzien van fiexibeie zuignappen, zodat deze de Substraten niet beschädigen en zieh kunnen aanpassen aan krommingen van het substraat of andere onvoorziene situaties.Preferably, the pistons are provided with flexible suction cups so that they do not damage the Substrates and can adapt to curves of the substrate or other unforeseen situations.

In een verdere uitvoeringsvorm is de extremale breuklijn van de eerste set in de eerste positie over een maximale afstand van 0.25 cm, bij voorkeur van 0.1 cm, bij nog verdere voorkeur van 0.06 cm, van de projectie van de eerste scherpe splijtwig verwijderd, en is de extremale breuklijn van de tweede set in de tweede positie over een maximale afstand van 0.25 cm, bij voorkeur van 0,1 cm, bij nog verdere voorkeur van 0.06 cm, van de projectie van de tweede scherpe splijtwig verwijderd.In a further embodiment, the extrema fracture line of the first set is in the first position a maximum distance of 0.25 cm, preferably 0.1 cm, even more preferably 0.06 cm, away from the projection of the first sharp splitting wedge, and the extrema fracture line of the second set in the second position a maximum distance of 0.25 cm, preferably 0.1 cm, even more preferably 0.06 cm, from the projection of the second sharp splitting wedge.

De splijtwig is zoais gezegd scherp, ten minste naar het vlak waar de Substraten in voortbewogen worden toe, en dient als tegenstand voor het substraat wanneer het uitkragende gedeelte van het substraat afgebroken wordt door hier een kracht op uit te oefenen, en dient dit ais een fulcrum of pivot waarover het uitkragende gedeelte van het substraat, de uitkragende strip, afgebroken wordt langsheen de breuklijn door een kracht uit te oefenen op de uitkragende strip, loodrecht op het vlak van de strip (en dus van het substraat). De splijtwig kan bijvoorbeeld een substantieel vlakke uitstekende richei zijn waarbij het vlak van de richel loodrecht Staat op het viak waarin de Substraten bewogen worden, en evenwijdig loopt met de breuklijnen waarover de Substraten gebroken worden over de richel.The splitting wedge is, so to speak, sharp, at least towards the plane in which the Substrates are advanced, and serves as an opposition to the substrate when the protruding portion of the substrate is broken off by applying a force to it, and this as a fulcrum or pivot over which the cantilever portion of the substrate, the cantilever strip, is broken along the score line by applying a force to the cantilever strip perpendicular to the plane of the strip (and thus of the substrate). For example, the splitting wedge may be a substantially planar projecting ledge in which the plane of the ridge is perpendicular to the square in which the Substrates are moved and is parallel to the fault lines over which the Substrates are broken across the ledge.

Opnieuw geldt eenzelfde redenering voor de werking van de tweede splijtwig, en wordt deze hier niet dieper besproken, maar wordt aangenomen dat een vakman aan de hand van de informatie uit dit document, over de informatie beschikt die nodig is.Again, the same reasoning applies to the operation of the second splitting wedge, and is not discussed in more detail here, but it is believed that a person skilled in the art, based on the information in this document, has the information that is needed.

In een verdere uitvoeringsvorm omvat het substraat één of meerdere afbreekbare verliesranden die van de rest van het substraat afgescheiden worden door vooraf aan minstens één zijde aangebrachte verzwakte breuklijnen. De voorgaande werkwijze wordt in dit geval voorafgegaan door volgende stappen:In a further embodiment, the substrate comprises one or more degradable loss edges which are separated from the rest of the substrate by attenuated fracture lines pre-applied on at least one side. In this case, the previous procedure is preceded by the following steps:

a. net immobiliseren van het substraat door middel van één of meerdere zuigers, bij voorkeur fiexibeie vacuum pads, die zuigend aangrijpen op het substraat, waarbij een kromming van het vlak van het substraat gevolgd wordt;a. just immobilizing the substrate by means of one or more pistons, preferably flexion vacuum pads, which suctionly engage the substrate, following a curvature of the surface of the substrate;

b. net klemmend vastgrijpen van het substraat aan minstens één rand van het substraat, waarvan minstens één van de vastgegrepen randen een afbreekbareb. just clampingly gripping the substrate on at least one edge of the substrate, of which at least one of the gripped edges has a degradable

BE2016/5506 veriiesrand is, bij voorkeur waarbij het kiemmend vastgrijpen aangepast is aan een kromming van het viak van de vastgegrepen afbreekbare veriiesrand;BE2016 / 5506 is a trim edge, preferably wherein the sprouting gripping is adapted to a curvature of the pad of the grippable degradable trim edge;

c. het afbreken van de gekiemde afbreekbare veriiesrand door het uitoefenen van een krachtmoment op de gekiemde afbreekbare veriiesrand, waarbij het krachtmoment uitgeoefend wordt rond een as op een maximaie afstand van 0.25 cm, bij voorkeur van 0.1 cm, bij nog verdere voorkeur van 0.06 cm, tot de breukiijn van de gekiemde afbreekbare veriiesrand.c. breaking off the sprouted degradable loss edge by applying a moment of force to the sprouted degradable loss edge, the moment of force being applied about an axis at a maximum distance of 0.25 cm, preferably from 0.1 cm, even more preferably from 0.06 cm, to the break line of the sprouted degradable loss edge.

Typisch zijn Substraten voor het aanvangen van het singulatie-proces voorzien van afbreekbare veriiesranden ('waste borders') die onder meer dienen voor het fysiek manipuleren van de Substraten zonder schakelingen te beschädigen, maar ook om informatie op aan te brengen omtrent het substraat (identificatoren en dergelijke). Bij het singuieren dienen deze eerst verwijderd te worden. Omdat deze veriiesranden te smai zijn om via bovenstaande werkwijze verwijderd te worden (kracht zou te dicht bij breukiijn moeten aangebracht worden, en dus groter moeten zijn, wat een minder voorspelbaar resultaat geeft, en dus meer kans op breuk). indien de veriiesranden toch op deze manier zouden verwijderd worden, zou een apparaat voor het uitvoeren van de werkwijze dan teikens zieh moeten aanpassen tijdens het singuieren van een substraat tussen afbreken van veriiesranden en afbreken van strips/schakelingen van de rest van het substraat/de strip. Om deze reden is gekozen voor een werkwijze die toegespitst is op het verwilderen van de veriiesranden, waarbij het krachtmoment om de veriiesrand te verwilderen, op de veriiesrand uitgeoefend wordt rond een as die zieh zo dicht mogelijk bij de breukiijn van de veriiesrand bevindt. Op deze wijze wordt gegarandeerd dat de veriiesrand iangsheen de breukiijn afgebroken wordt (en niet bijvoorbeeld een deel van het substraat mee afbreekt, of gedeeiteiijk vast blijft aan net substraat).Substrates are typically provided with degradable waste borders before the start of the singulation process, which serve, inter alia, for the physical manipulation of the Substrates without damaging circuits, but also for applying information about the substrate (identifiers and such). When singing, these must first be removed. Because these loss edges are too smooth to be removed by the above method (force should be applied too close to the break line, and thus be larger, which gives a less predictable result, and thus more chance of breakage). if the fringe edges were to be removed in this manner, an apparatus for performing the method would then have to adjust each other while singling a substrate between chipping fringe edges and chipping strips / circuits from the rest of the substrate / strip . For this reason, a method has been chosen which focuses on the naturalization of the edge of the loss, in which the moment of force to naturalize the edge of the loss is exerted on the edge of the loss around an axis which is as close as possible to the breaking line of the loss edge. In this way it is ensured that the edge of the line is broken off along the breaking line (and does not, for example, break off part of the substrate, or partly remains attached to the substrate).

Bij voorkeur is het aligneren van de bekken aanpasbaar ten opzichte van elkaar aanpasbaar om optimaal de veriiesranden te klemmen en deze op een correcte manier te verwijderen (dus waarbij de pivot-as met de breukiijn van de veriiesrand samenvalt). Zo is het de bedoeiing dat de bekken gepositioneerd zijn zodat het krachtmoment dat inwerkt via de bekken op de veriiesrand, uitgeoefend wordt rond een as die zieh op de breukiijn van de veriiesrand bevindt (of daar zo dicht mogelijk bij). Hiertoe kan het mogelijk zijn om de bekken te kaiibreren bij aanvang van het singuieren (of herkalibreren tussenin). Het beoogde resultaat hierblj is dat beide bekken goed staan om de krachten voor het krachtmoment aan te brengen over een gedeelte van de veriiesrand dat zieh uitstrekt van het extremale uiteinde van de veriiesrand tot zo dicht mogelijk bij de breukiijn, om te zorgen dat de veriiesrand voliedig afbreekt, en niet gedeeltelijk. Op die manier kan gegarandeerd worden dat er zo dicht mogelijk bij de asPreferably, the alignment of the jaws is adjustable relative to each other to optimally clamp the loss edges and remove them correctly (i.e., where the pivot axis coincides with the break line of the loss edge). For example, it is important that the jaws are positioned so that the moment of force acting through the jaws on the loss edge is exerted around an axis that is located on the breaking line of the loss edge (or as close to it as possible). To this end, it may be possible to calibrate the pelvis at the start of singing (or recalibrate in between). The intended result here is that both jaws are well positioned to apply the forces of force over a portion of the loss edge extending from the extremity end of the loss edge to as close as possible to the break line to ensure the loss edge is fully breaks down, and not partially. That way it can be guaranteed that it is as close to the axis as possible

BE2016/5506 waarrond het krachtmoment werkt, een kracht aangelegd kan worden op de veriiesrand vis de bekken.BE2016 / 5506 around which the moment of force works, a force can be applied to the veriiesrand vis the pelvis.

In een verdere uitvoeringsvorm omvat de werkwijze de voigende stap na het afbreken van de uitkragende strip:In a further embodiment, the method includes the next step after breaking off the protruding strip:

a. het ontvangen van de afgebroken strip, waarbij de afgebroken strip gepositioneerd wordt zodanig dat de breuklijnen van de eerste set van de afgebroken strip substantieel ioodrecht staan ten opzichte van de eerste scherpe spiijtwig ;a. receiving the broken strip, the broken strip being positioned such that the break lines of the first set of the broken strip are substantially perpendicular to the first sharp splitting wedge;

en optionee! omvattende voigende stap na het afbreken van de uitkragende elektronische schakeling:and optionee! comprising step after termination of the cantilevering electronic circuit:

b. het ontvangen van de afgebroken schakeiing.b. receiving the aborted circuit.

Door de afgebroken strip onmiddeilijk te ontvangen, bij voorkeur in een viak essentiee! evenwijdig met het viak waarin het substraat bewogen wordt, en de afgebroken strip te positioneren zoais hierboven aangegeven, kan de strip eenvoudig overgebracht worden naar een tweede breek-stap, om de afzonderlijke schakeiingen te singuleren. Bij verdere voorkeur iigt het viak waarin de afgebroken strip opgevangen wordt, iager dan het viak waarin het substraat bewogen wordt, zodanig dat de strip geleidelijk verschoven kan worden in dit viak naar een tweede breek-stap. Belangrijk hierbij is dat de afgebroken strip zeer correct opgelijnd is met de tweede spiijtwig zodanig dat de afzonderlijke schakeiingen correct gesinguieerd kunnen worden.By immediately receiving the broken strip, preferably in a few essentials! parallel to the tray in which the substrate is moved, and to position the broken strip as indicated above, the strip can be easily transferred to a second breaking step to singulate the individual circuits. Preferably, the square in which the broken strip is collected is lower than the square in which the substrate is moved, such that the strip can be gradually shifted in this square to a second breaking step. It is important here that the broken strip is very correctly aligned with the second splitting wedge in such a way that the individual circuits can be correctly tinged.

In een verdere uitvoeringsvorm vindt het zuigend aangrijpen van het substraat en/of de strip aan de onderzijde van respectievelijk het substraat en/of de strip plaats wanneer het substraat en/of de strip boven respectievelijk de eerste scherpe spiijtwig en/of de tweede scherpe spiijtwig respectievelijk in de eerste positie en/of de tweede positie zijn.In a further embodiment the suction-engaging of the substrate and / or the strip takes place on the underside of the substrate and / or the strip, respectively, when the substrate and / or the strip above the first sharp splitting wedge and / or the second sharp splitting wedge, respectively. are in the first position and / or the second position, respectively.

In een tweede aspect betreft de uitvinding een werkwijze voor het breken van een substraat langsheen een vooraf aan een zijde van het substraat aangebrachte, rechte, verzwakte breukiijn, omvattende voigende stappen:In a second aspect, the invention relates to a method of breaking a substrate along a straight, attenuated fracture line pre-arranged on one side of the substrate, comprising the following steps:

a. het voortbewegen van een substraat langsheen een richting evenwijdig met het substraat en loodrecht op de breukiijn, waarbij het substraat voortbewogen wordt voorbij een scherpe spiijtwig die zieh aan een overiiggende zijde van het substraat bevindt ten opzichte van de breukiijn, waarbij het substraat voortbewogen wordt tot een positie waarbij de breukiijn zieh voorbij ena. advancing a substrate along a direction parallel to the substrate and perpendicular to the fracture line, the substrate being advanced beyond a sharp splitting wedge located on an opposite side of the substrate from the breakline, advancing the substrate to a position where the break line is past and

BE2016/5506 substantieel evenwijdig met een projectie van de scherpe spiijtwig ioodrecht op het substraat bevindt, bij voorkeur met op een maximale afstand van 0.2.5 cm en bij verdere voorkeur van 0.1 cm, en bij nog verdere voorkeur van 0.06 cm, en waarbij een extremaal uiteinde van het substraat volledig uîtkragend iigt ten opzichte van de scherpe spiijtwig;BE2016 / 5506 is substantially parallel to a projection of the sharp splitting wedge perpendicular to the substrate, preferably at a maximum distance of 0.2.5 cm and more preferably 0.1 cm, and even more preferably 0.06 cm, and wherein a the extreme end of the substrate is fully protruding from the sharp splitting wedge;

b. het zuigend aangrijpen van het substraat na het voortbewegen van het substraat tot de positie, waarbij het substraat op één of meerdere plaatsen op het substraat zuigend aangegrepen wordt, en waarbij het zuigend aangrijpen van het substraat aangepast is om een kromming van het vlak van net substraat te volgen ;b. the suction-engaging of the substrate after advancing the substrate to the position, the substrate being suction-engaging in one or more locations on the substrate, and the suction-engaging of the substrate being adapted to a curvature of the plane of the substrate to follow ;

c. het afbreken van het uitkragende uiteinde van het substraat Iangsheen de breuklijn, door net aanieggen van een krachtmoment op het uitkragende uiteinde, waarbij het krachtmoment aangelegd wordt door het uitoefenen van een kracht op het uitkragende uiteinde, waarbij de kracht substantieel Ioodrecht op het substraat gericht is van de zijde waar de breuklijn aangebraeht is naar de overliggende zijde, en waarbij de scherpe spiijtwig dient als as voor het krachtmoment.c. breaking off the cantilevered end of the substrate along the fracture line, by just applying a moment of force to the cantilevering end, the moment of force being applied by applying a force to the cantilevering end, the force being directed substantially perpendicularly to the substrate from the side where the score line is applied to the opposite side, and the sharp wedge wedge serves as the axis for the moment of force.

Bovenstaande werkwijze is een aigemenere toepassing van de daarvoor beschreven werkwijze, en biedt op eenzelfde problematieken oplossingen als bij voorgenoemde werkwijze, en kan toegepast worden zowei voor het afbreken van strips van een substraat, als voor het afbreken van afzonderlijke schakelingen van een strip.The above method is a more general application of the method described above, and offers solutions to the same problems as in the above method, and can be applied both for breaking strips of a substrate and for breaking individual circuits of a strip.

Bij voorkeur worden de krachten van de werkwijzen van het eerste en het tweede aspect specifiek aangelegd op een rand van het substraat, bij voorkeur op een keramisch deel van het substraat. Op deze manier worden de meer cruciale delen van het substraat, die typisch koperofeen andere elektrische geieider omvatten, gespaard van belastingen die mogelijk tot breuk kunnen leiden.Preferably, the forces of the methods of the first and second aspects are specifically applied to an edge of the substrate, preferably to a ceramic portion of the substrate. In this way, the more critical parts of the substrate, which typically include copper or other electrical conductors, are spared from loads that could potentially lead to breakage.

In een verdere uitvoeringsvorm wordt een roterende actie van het substraat rond een as evenwijdig met de breuklijn substantieel beperkt en/of verhindere door net beperken van een beweging van een overliggende rand van het substraat ten opzichte van de rand waarop de kracht aangelegd wordt, waarbij het beperken van de beweging van de overliggende rand uitgevoerd wordt aan de zijde van het substraat waar de breuklijn aangebraeht is. Dit aspect kan eveneens, en bij voorkeur steeds, uitgevoerd worden op bij de werkwijze volgens het eerste aspect, op die manier ook de overslag van de strips vermijdend bij het afbreken van de afzonderlijke schakelingen.In a further embodiment, a rotating action of the substrate about an axis parallel to the score line is substantially limited and / or prevented by just limiting movement of an opposite edge of the substrate relative to the edge on which the force is applied, the limiting the movement of the opposite edge is performed on the side of the substrate where the score line is applied. This aspect can also, and preferably always, be carried out in the method according to the first aspect, in this way also avoiding the flashover of the strips when the individual circuits are broken off.

BE2016/5506BE2016 / 5506

Zoais in de figuren ook geïüustreerd wordt met een uitvoeringsvorm van een apparaat hiervoor, kan een failsafe-maatregel genomen worden dat net krachtmoment onder invloed waarvan de uitkragende strip van het substraat afgebroken wordt, niet zorgt voor een rotatie van het substraat (bijvoorbeeld bij siecht zuigend aangrijpen van de zuigers), maar nog steeds voor een afbreken van een strip (of schakeiing) van de rest van het substraat (of rest van de strip). Een mogeiijkheid hiertoe is het voorzien van een fysieke stopper tegen overslag die zieh op geringe afstand bevindt van het substraat.As is also illustrated in the figures with an embodiment of an apparatus for this, a failsafe measure can be taken that the moment of force under the influence of which the protruding strip of the substrate is broken off does not cause the substrate to rotate (for example, when sucking badly engagement of the pistons), but still to break off a strip (or switch) from the rest of the substrate (or remainder of the strip). A possibility for this is to provide a physical stop-over stopper which is located at a small distance from the substrate.

In een derde aspect betreft de uitvinding een instelling voor het singuleren van elektronische schakeiingen uit Substraten, waarbij de Substraten een eerste set vooraf aangebrachte verzwakte breuklijnen omvatten en een tweede set vooraf aangebrachte verzwakte breuklijnen omvatten, waarbij de eerste set en de tweede set substantieel loodrecht staan op eikaar, omvattende:In a third aspect, the invention relates to an arrangement for singulating electronic switches from Substrates, wherein the Substrates comprise a first set of pre-applied attenuated fault lines and a second set of pre-applied attenuated fault lines, the first set and the second set being substantially perpendicular on top of each other, comprising:

a. een eerste transportsysteem voor het gecontroleerd verplaatsen van een substraat in een viak evenwijdig met het substraat en langsheen een eerste transportrichting parallel met de breuklijnen van de eerste set, waarbij het eerste transportsysteem één of meerdere zuigers omvat die aangepast zijn voor het zuigend aangrijpen en immobiliseren van het substraat, bij voorkeur aan een niet met componenten voorziene zijde van het substraat, en waarbij de zuigers aangepast zijn om een kromming van het vlak van het substraat te volgen bij net aangrijpen en immobiliseren van het substraat;a. a first transport system for the controlled movement of a substrate in a plane parallel to the substrate and along a first transport direction parallel to the fault lines of the first set, the first transport system comprising one or more pistons adapted for suction engagement and immobilizing the substrate, preferably on a non-component side of the substrate, and the pistons adapted to follow a curvature of the plane of the substrate upon just engaging and immobilizing the substrate;

b. een eerste scherpe splijtwig waarover uitkragende strips van het substraat opeenvolgend afgebroken worden längs de breuklijnen van de tweede set, waarbij de eerste scherpe splijtwig zieh afwaarts bevindt längs de eerste transportrichting en onder het viak waarin de Substraten verplaatst worden, waarbij de eerste scherpe splijtwig een splijtrand omvat die substantieel evenwijdig is met het vlak waarin de Substraten verplaatst worden en substantieel loodrecht Staat ten opzichte van de eerste transportrichting, en bevindt de splijtrand zieh bij voorkeur op een maximale afstand van 0.25 cm, bij voorkeur van 0.10 cm, bij verdere voorkeur van 0.05 cm, tot het vlak waarin de Substraten verplaatst worden; enb. a first sharp splitting wedge over which protruding strips of the substrate are successively broken along the fracture lines of the second set, the first sharp splitting wedge being downward along the first transport direction and below the plane in which the Substrates are moved, the first sharp splitting wedge having a splitting edge which is substantially parallel to the plane in which the Substrates are moved and is substantially perpendicular to the first conveying direction, and the splitting edge is preferably at a maximum distance of 0.25 cm, preferably 0.10 cm, further preferably 0.05 cm cm, to the plane in which the Substrates are moved; and

c. een eerste breekeenheid voor net uitoefenen van een eerste kracht op een uitkragende strip van het geïmmobiliseerde substraat en het afbreken van de uitkragende strip van het geïmmobiliseerde substraat, waarbij de eerste breekeenheid aangepast is om de eerste kracht uit te oefenen op de uitkragendec. a first crushing unit for applying a first force to a cantilever strip of the immobilized substrate and breaking off the cantilever strip of the immobilized substrate, the first crushing unit being adapted to exert the first force on the cantilever

BE2016/5506 strip wanneer de uitkragende strip voiledig voorbij een projectie van tie spiijtrand van de eerste scherpe spiijtwig loodrecht op het viak waarin de Substraten verpiaatst worden, gepositioneerd is, waarbij de eerste kracht substantieel loodrecht op het vlak van het substraat Staat en gericht is van boven naar onder ten opzichte van het substraat, bij voorkeur waarbij de eerste kracht uitgeoefend wordt op een extremaal uiteintie van de uitkragende strip, bij verdere voorkeur op een keramisch gedeelte van het extremaai uiteinde van de uitkragende strip; waarbij de één of meerdere zuigers van net eerste transportsysteem aangepast zijn om het substraat zuigend aan te grijpen en te immobiliseren wanneer de uitkragende strip voiledig voorbij de projectie van de splijtrand van de eerste scherpe spiijtwig op het vlak waarin de Substraten verpiaatst worden, gepositioneerd is, voordat de eerste breekeenheid de eerste kracht uitoefent op de uitkragende strip.BE2016 / 5506 strip when the cantilever strip is positioned completely past a projection of the cutting edge of the first sharp cutting wedge perpendicular to the plane in which the Substrates are dislocated, the first force being substantially perpendicular to the plane of the substrate and directed from top to bottom relative to the substrate, preferably the first force being applied to an extremity of the protruding strip, further preferably to a ceramic portion of the extremity of the protruding strip; the one or more pistons of the first conveying system being adapted to grip and immobilize the substrate in a suction manner when the protruding strip is positioned completely past the projection of the splitting edge of the first sharp splitting wedge on the plane in which the Substrates are machined, before the first crushing unit applies the first force to the cantilever strip.

De insteiiing biedt een oplossing op de eerder besproken problematieken, en biedt onder meer als verbetering een sterk verlaagti foutenpercentage bij het singuleren van schakelingen uit Substraten. De instelling vermijdt immers waar mogelijk om druk of krachten uit te oefenen op het vlak van het substraat, behalve tijdens het breken zelf. Gezien het vlak van het substraat gevoelig is ten opzichte van belasting, wordt op die manier breuken vermieden. Dit treedt bij gekende Systemen onder meer op bij het klemmen van een substraat op vlakke wijze voor het breken. Verder wordt niet gewerkt met een breekoppervlakte, maar met een scherpe spiijtwig (breekweg, breekmes, ... en andere termen kunnen hier ook duiding bij geven), dat dient als tegenbalans voor het substraat (strip) langsheen de breuklijn van een uitkragende strip (schakeling), zodanig dat, bij het uitoefenen van een kracht op de uitkragende strip (schakeling), deze zal afbreken langsheen de breuklijn, aangezien er zeer gelokaliseerd een reactiekracht wordt geleverd op het substraat, vlakbij en langsheen de breuklijn. Bij gekende Systemen kan de uiteindelijke breuk ook op andere plaatsen voorkomen aangezien deze geen rekening houden met de eventuele kromming van het substraat (strip), of kan het substraat (strip) andere schade ondervinden door klemming bij het afbreken. Deze klemming gebeurt bij de voorgestelde instelling door middel van één of meerdere, bij voorkeur twee of vier, zuigers die zuigend aangrijpen op het substraat (strip) wanneer dit in de correcte positie is gebracht. Hierdoor wordt zo kort mogelijk een kracht uitgeoefend op net substraat, en gebeurt dît vooral niet via een klemming van het substraat (strip). Bovendien zijn de zuigers aangepast om het substraat (strip) aan te grijpen op een wijze aangepast aan de kromming van het substraat (strip). Verdere mogeiîjkheden hiertoe werden reeds eerder aangehaald (fiexibeie zulgnap, verstelbare zuigers, ...).The installation offers a solution to the problems discussed earlier, and offers, among other things, an improvement in a strongly reduced error rate when singling circuits from substrates. After all, the setting avoids where possible to exert pressure or forces on the surface of the substrate, except during the breaking itself. Since the plane of the substrate is sensitive to load, this prevents fractures. In known systems this occurs, inter alia, when clamping a substrate flat before breaking. Furthermore, we do not work with a breaking surface, but with a sharp wedge wedge (breaking path, breaking knife, ... and other terms can also provide an explanation), which serves as a counterbalance for the substrate (strip) along the fracture line of a protruding strip ( circuit), such that, when a force is applied to the cantilever strip (circuit), it will break along the fracture line, since a localized reaction force is delivered to the substrate, near and along the fracture line. In known systems, the eventual breakage may also occur in other places, as these do not take into account the possible curvature of the substrate (strip), or the substrate (strip) may suffer other damage due to clamping during breaking off. This clamping is done at the proposed setting by means of one or more, preferably two or four, pistons that grip the substrate (strip) when it is brought into the correct position. As a result, a force is exerted as short as possible on the substrate, and this is especially not done via a clamping of the substrate (strip). In addition, the pistons are adapted to engage the substrate (strip) in a manner adapted to the curvature of the substrate (strip). Further possibilities for this have been mentioned before (fiexibeie zgnap, adjustable pistons, ...).

BE2016/5506BE2016 / 5506

Het bereiken van de eerste positie, waarbij precies één strip (schakeiing) uitkragend gepositioneerd iigt ten opzichte van de eerste splijtwig, wordt bewerksteiligd door het transportsysteem, dat bij voorkeur een ondersteunend viak (of deelviakken) omvat waarlangs bet substraat verschoven wordt. Eenmaa! de eerste positie bereikt wordt, grijpen de zuigers het substraat aan (iogischerwijze op het niet-uitkragende gedeeite), zodat het substraat geïmmobilïseerd wordt. Zo kan, door uitoefenen van een kracht op het uitkragende gedeeite, een krachtmoment inwerken op dit uitkragende gedeeite dat voor het afbreken van dit uitkragende gedeeite zorgt langsheen de breuklijn van het uitkragende gedeeite. De aanwezigheid van de splijtwig onder het substraat (of boven, afhankelijk van de opstelling) zorgt dat de breuk optreedt langsheen de breuklijn zoals gewenst, door als fulcrum te werken voor net krachtmoment. Het zuigend aangrijpen door de zuigers zorgt ervoor dat het substraat niet slmpelweg kantelt door de inwerkende kracht en krachtmoment, maar dat het uitkragende gedeeite afgebroken wordt van de rest van het substraat dat op zijn plaats gehouden wordt. Eenmaal afgebroken, wordt het substraat verder bewogen tot een nieuw dee! (nieuwe strip) uitkragend komt te liggen in eerste positie.Reaching the first position, with exactly one strip (link) positioned cantilevered relative to the first splitting wedge, is accomplished by the transport system, which preferably includes a supporting pocket (or sub-pockets) along which the substrate is shifted. One month! the first position is reached, the pistons engage the substrate (logically on the non-cantilevered portion) so that the substrate is immobilized. For example, by exerting a force on the protruding portion, a moment of force can act on this protruding portion, which ensures that this protruding portion is broken off along the fault line of the protruding portion. The presence of the splitting wedge under the substrate (or above, depending on the arrangement) causes the fracture to occur along the fracture line as desired, acting as a fulcrum for the moment of force. Suctioning engagement by the pistons ensures that the substrate does not topple smoothly due to the acting force and torque, but that the protruding portion is broken off from the rest of the substrate that is held in place. Once broken down, the substrate is moved further to a new part! (new strip) protruding in the first position.

in een verdere uitvoering omvat de bovenstaande insteiiing verder:in a further embodiment, the above arrangement further includes:

d. een collecteersysteem voor het opvangen van afgebroken strips van de Substraten, bij voorkeur waarbij het collecteersysteem één of meerdere zuigers omvat voor het zuigend aangrijpen van de afgebroken strips;d. a collection system for collecting broken strips from the Substrates, preferably wherein the collection system comprises one or more pistons for sucking gripping of the broken strips;

e. een tweede transportsysteem voor het gecontroleerd verplaatsen van een opgevangen strip in een vlak evenwijdig met de opgevangen strip en langsheen een tweede transportrichting substantieel loodrecht op de breuklijnen van de eerste set op de opgevangen strip, waarbij het tweede transportsysteem één of meerdere zuigers omvat voor het zuigend aangrijpen en immobiliseren van de opgevangen strip, bij voorkeur aan een niet met componenten voorziene zijde van de opgevangen strip, en waarbij de zuigers aangepast zijn om een kromming van het viak van de opgevangen strip te volgen bij het aangrijpen en immobiliseren van de opgevangen strip, bij voorkeur waarin de één of meerdere zuigers van het tweede transportsysteem dee! uitmaken van de één of meerdere zuigers van het collecteersysteem;e. a second transport system for the controlled displacement of a collected strip in a plane parallel to the collected strip and along a second transport direction substantially perpendicular to the fault lines of the first set on the collected strip, the second transport system comprising one or more pistons for suctioning engaging and immobilizing the received strip, preferably on a non-component side of the received strip, and the pistons adapted to follow a curvature of the received strip's grip upon gripping and immobilizing the collected strip, preferably in which the one or more pistons of the second transport system forming the one or more pistons of the collection system;

f. een tweede scherpe splijtwig waarover uitkragende schakelingen van de strip opeenvolgend afgebroken worden längs de breuklijnen van de eerste set, waarbij de tweede scherpe splijtwig zieh afwaarts bevindt längs de tweede transportrichting en onder het viak waarin de strips verplaatst worden, waarbij de tweede scherpe splijtwig een spiljtrand omvat die substantiee! evenwijdig isf. a second sharp splitting wedge over which protruding circuits of the strip are broken off successively along the fracture lines of the first set, the second sharp splitting wedge being downward along the second transport direction and under the plane in which the strips are moved, the second sharp splitting wedge having a spike edge includes that substance! is parallel

BE2016/5506 met het vlak waarin de strips verplaatst worden en loodrecht is ten opzichte van de tweede transportrichting, en bevindt de splijtrand zieh bij voorkeur op een maximale afstand van 0.25 cm, bij voorkeur van 0.10 cm, bij verdere voorkeur van 0.05 cm, tot het viak waarin de strips verplaatst worden;BE2016 / 5506 with the plane in which the strips are moved and is perpendicular to the second transport direction, and the splitting edge is preferably at a maximum distance of 0.25 cm, preferably 0.10 cm, further preferably 0.05 cm, up to the square in which the strips are moved;

g, een tweede breekeenheid voor het uitoefenen van een tweede kracht op een uitkragende schakeling van de géimmobiiiseerde strip en het afbreken van de uitkragende schakeling van de geïmmobiliseerde strip, waarbij de tweede breekeenheid aangepast Is om de tweede kracht uit te oefenen op de uitkragende schakeling wanneer de uitkragende schakeling volledig voorbij een projectie van de splijtrand van de tweede scherpe splijtwig loodrecht op het vlak waarin de strips verplaatst worden, gepositioneerd is, waarbij de tweede kracht substantieel loodrecht op het viak van de strip Staat en gericht is van boven naar onder ten opzichte van de strip, bij voorkeur waarbij de tweede kracht uitgeoefend wordt op een extremaal uiteinde van de uitkragende schakeling, bij verdere voorkeur op een keramisch gedeelte van het extremaal uiteinde van de uitkragende schakeling; eng, a second breaking unit for applying a second force to a cantilever circuit of the immobilized strip and breaking off the cantilever circuit of the immobilized strip, the second breaking unit adapted to apply the second force to the cantilever circuit when the cantilever circuit is positioned completely beyond a projection of the splitting edge of the second sharp splitting wedge perpendicular to the plane in which the strips are moved, the second force being substantially perpendicular to the strip's head and oriented from top to bottom relative to of the strip, preferably the second force being applied to an outer end of the cantilever circuit, further preferably to a ceramic portion of the outer end of the cantilever circuit; and

h. optioneel een tweede coilecteersysteem voor het opvangen en doorgeven van afgebroken schakeiingen van de strips, bij voorkeur waarbij het tweede coilecteersysteem één of meerdere zuigers omvat voor het zuigend aangrijpen van de afgebroken schakeiingen;h. optionally a second coilecting system for receiving and transmitting broken circuits of the strips, preferably in which the second coilecting system comprises one or more pistons for sucking engagement of the broken circuits;

waarbij de één of meerdere zuigers van het tweede transportsysteem aangepast zijn om de strip zuigend aan te grijpen en te immobiliseren wanneer de uitkragende schakeling volledig voorbij de projectie van de splijtrand van de tweede scherpe splijtwig op het vlak waarin de strips verplaatst worden, gepositioneerd is, voordat de tweede breekeenheid de tweede kracht ultoefent op de uitkragende schakeling.the one or more pistons of the second conveying system adapted to suction-engage and immobilize the strip when the cantilever circuit is positioned completely beyond the projection of the splitting edge of the second sharp splitting wedge on the plane in which the strips are moved, before the second breaking unit applies the second force to the cantilever circuit.

De werking van deze uitbreiding op de instelling is substantieel geiijkaardig aan de oorspronkeiljke instelling, voor het afbreken van strips van het substraat en biedt geiijkaardige voordeien op de problematieken. Bijkomend wordt een coilecteersysteem voorzien voor de afgebroken strips, zodanig dat deze in een correcte positie gebracht worden en afgevoerd naar de tweede breekeenheid. Dit kan bijvoorbeeld door een specifieke vorm van het mechanisme dat de strips voortbeweegt, dat correct aiigneert met de rand van het substraat en het zo onder de juiste hoek verder duwt. De breekeenheden zijn verplaatsbaar langsheen de respectievelijke transportrichtingen zodat de insteilingen aangepast kunnen worden aan de specifieke breedtes/iengtes van strips en schakeiingen. Typisch zullen de breekeenheden zelfs na het afbreken van een strip/schakeling zieh opnieuw verwijderen van het substraat/de strip die overblijft,The effect of this extension on the setting is substantially similar to the original setting, for breaking off strips of the substrate and offers significant advantages to the problems. In addition, a coilecting system is provided for the broken strips, such that they are brought into a correct position and discharged to the second crushing unit. This can be done, for example, by a specific shape of the mechanism that moves the strips, which aligns correctly with the edge of the substrate and thus pushes it further at the correct angle. The crushing units are movable along the respective transport directions so that the supports can be adapted to the specific widths / lengths of strips and circuits. Typically, even after breaking a strip / circuit, the crushing units will again remove the substrate / strip that remains,

BE2016/5506 zodanig dat een volgende stap kan uitgevoerd worden. Dit wordt verder getoond in de figuren.BE2016 / 5506 in such a way that a next step can be carried out. This is further shown in the figures.

In een verdere uitvoering omvat de instelling verder:In a further embodiment, the institution further comprises:

i. een eerste stopper voor het beperken of vermijden van een substantieel loodrecht op het vlak van het substraat staande beweging van het ten opzichte van de uitkragende strip overiiggend uiteinde van het substraat; en/ofi. a first stopper for limiting or avoiding a substantially perpendicular movement of the end of the substrate opposite the protruding strip, perpendicular to the plane of the substrate; and / or

j. een tweede stopper voor het beperken of vermijden van een substantieel loodrecht op het vlak van de strip staande beweging van het ten opzichte van de uitkragende schakeling overiiggend uiteinde van de strip;j. a second stopper for limiting or avoiding a substantially perpendicular movement of the strip opposite the protruding circuit, which is perpendicular to the plane of the strip;

waarbij de eerste en/of de tweede stopper aangepast zijn om respeetievelijk het substraat en/of de strip respeetievelijk langsheen de eerste en/of de tweede transportrichting voort te bewegen respeetievelijk naar de eerste en/of de tweede breekeenheid toe.wherein the first and / or the second stopper are adapted to respectively move the substrate and / or the strip along the first and / or the second transport direction, respectively, towards the first and / or the second crushing unit.

De aanwezigheid van deze stoppers dienen ten eerste als versterking van het effect van de zuigers, namelijk net immobiliseren van de substraten/strips wanneer deze zieh in eerste/tweede positie bevinden. Deze kunnen de beweging van het substraat/strip loodrecht op het vlak daarvan beperken door een specifieke vorm van de stopper, bijvoorbeeld door een reeds besproken overhangend gedeelte van de stopper (zie ook figuren). Anderzijds wordt deze stopper ook gebruikt als duwinrichting voor het substraat/strip. Op deze manier wordt ook verzekerd dat de stopper de eerste werking (verhinderen beweging) kan uitvoeren gedurende het bewegen van het substraat/strip. Aangezien het om een eenvoudig voortduwen van het substraat/strip gaat, is een echte klemming niet meer nodig, zoals vaak gebruikt wordt in de bekende Systemen, wat gevaar op breuk vermindert.The presence of these stoppers serve firstly to enhance the effect of the pistons, namely to just immobilize the substrates / strips when they are in first / second position. These can limit the movement of the substrate / strip perpendicular to its plane by a specific shape of the stopper, for example by an already discussed overhang of the stopper (see also figures). On the other hand, this stopper is also used as a pushing device for the substrate / strip. In this way it is also ensured that the stopper can perform the first operation (preventing movement) during the movement of the substrate / strip. Since it is a simple pushing of the substrate / strip, a true clamping is no longer necessary, as is often used in the known systems, which reduces the risk of breakage.

In een vierde aspect betreft de uitvinding een instelling voor het afbreken van verliesranden van een substraat, waarbij de verliesranden längs minstens één zijde van het substraat afgescheiden zijn door middel van vooraf aangebrachte verzwakte breuklijnen, omvattende:In a fourth aspect, the invention relates to an institution for breaking off loss edges of a substrate, wherein the loss edges are separated from at least one side of the substrate by pre-applied attenuated fracture lines, comprising:

a. een houdsysteem voor het vasthouden van het substraat, bij voorkeur centraa! en/of aan een zijde van het substraat waar geen elektronische componenten aanwezig zijn, omvattende één of meerdere zuigers, bij voorkeur vacuüm pads, waarbij de één of meerdere zuigers aangepast zijn om een kromming van het vlak van het substraat te volgen bij het vasthouden van het substraat.a. a holding system for holding the substrate, preferably centers! and / or on one side of the substrate where no electronic components are present, comprising one or more pistons, preferably vacuum pads, the one or more pistons being adapted to follow a curvature of the plane of the substrate when holding the substrate.

BE2016/5506BE2016 / 5506

b. minstens één breeksysteem, omvattende een beweegbare klem, bij voorkeur een beweegbare bankschroef, met twee bekken voor het aan weerszijden klemmend aangrijpen van een veriiesrand van het substraat met de bekken, waarbij de beweegbare klem pivoteerbaar om een pivot-as aan een steun van het breeksysteem gehecht is, waarbij de pivot-as zieh op een maximale afstand van 0.5 cm, bij voorkeur 0.25 cm, bij verdere voorkeur 0.1 cm, van een extremaa! einde van één van de bekken bevindt, en bij nog verdere voorkeur waarbij de pivot-as substantieel samenvalt met de breuklijn van de geklemde veriiesrand.b. at least one break system, comprising a movable clamp, preferably a movable vise, with two jaws for gripping a loss edge of the substrate with the jaws on both sides, the movable clamp being pivotable about a pivot axis on a support of the breaking system the pivot axis is attached at a maximum distance of 0.5 cm, preferably 0.25 cm, more preferably 0.1 cm, from an extremity. end of one of the jaws, and still more preferably wherein the pivot axis substantially coincides with the fracture line of the clamped loss edge.

De aanvrager merkte dat voor het afbreken van een veriiesrand van een substraat, er betere resultaten behaaid werden door met een afzonderlijke insteiling hiertoe te opereren. Dit zorgt er onder meer voor dat de insteiling niet steeds dient aangepast te worden om verschillende situaties het hoofd te bieden, maar is ook meer toegespitst op het geval waarbij één van de randen niet langer met eenzeifde omzîchtigheid behandeid moet worden als bij het singuleren van schakeiingen onderling (of strips). Door de veriiesrand aan boven- en onderzijde te omklemmen met een bek, is het mogelijk deze correcter af te breken, (quasi) perfect iangs de breuklijn van de veriiesrand. Dit is mogelijk door het laten samenvallen van de as waarrond het krachtmoment op de veriiesrand aangebracht wordt, te iaten samenvallen met de breuklijn. Daarnaast wordt er voor gezorgd dat de klemmende bekken zo volledig mogelijk de veriiesrand bedekken en zodoende verzekeren dat de voliedige veriiesrand afgekraakt wordt van de rest van het substraat. Dit wordt bereikt door het breeksysteem met klemmende bekken aan te passen zodat het pivoteerbaar is omheen een instelbare as.The Applicant noted that before breaking off a loss edge of a substrate, better results were obtained by operating with a separate setting for this purpose. This ensures, among other things, that the set-up does not always have to be adjusted to cope with different situations, but is also more focused on the case where one of the edges no longer has to be treated with a same circumference as when singling switches. among themselves (or strips). By clamping the top and bottom of the loss edge with a jaw, it is possible to break it off more correctly, (almost) perfectly along the fracture line of the loss edge. This is possible by coinciding the axis around which the force moment is applied to the loss edge to coincide with the fracture line. In addition, care is taken that the clamping jaws cover the loss edge as completely as possible and thus ensure that the entire loss edge is cracked from the rest of the substrate. This is accomplished by adjusting the clamping jaw breaking system so that it is pivotable around an adjustable axis.

Optioneel kunnen de bekken aangepast worden om slechts over een deel van de lengte van de veriiesrand (afstand langsheen de breuklijn van de veriiesrand) aan te grijpen op de veriiesrand, om zo op een gepaste locatie kracht uit te oefenen op de veriiesrand aangepast aan de kromming van het substraat. Mogelijkheden hiertoe zijn bekken die aangrijpen op één of meerdere van de uiteinden van de veriiesrand iangs de lengterichting, of centraai iangs de lengterichting. Aiternatief kunnen ook intermittente aangrijpingen voorzien worden, bijvoorbeeld over het verlengde van breukiijnen loodrecht op de breuklijn van de veriiesrand in kwestie. Daarnaast kan het breeksysteem ook voorzien worden van een stationalr (ten opzichte van de pivoteerbare bekken) steunelement dat zieh uitstrekt onder (afhankelijk van draaizin weliswaar) net substraat weg van de veriiesrand (bij voorkeur onder breukiijnen loodrecht op de breuklijn van de veriiesrand) dat een tegenkracht vormt op het substraat, zodat een menselijke breekbeweging nog beter nagebootst wordt, en er dus zowel een krachtOptionally, the jaws can be adjusted to engage the loss edge only over part of the length of the loss edge (distance along the breakline of the loss edge), to apply force to the loss edge adapted to the curvature at an appropriate location of the substrate. Possibilities for this are jaws that engage one or more of the ends of the loss edge along the length direction, or centers along the length direction. Alternatively, intermittent engagements can also be provided, for example over the extension of fracture lines perpendicular to the fracture line of the loss edge in question. In addition, the breaking system can also be provided with a stational (relative to the pivotable jaws) support element which extends under (depending on the direction of rotation) the substrate away from the loss edge (preferably under breaking lines perpendicular to the break line of the loss edge) which counterforce forms on the substrate, so that a human breaking movement is even better imitated, and so there is both a force

BE2016/5506 wordt uitgeoefend zo dicht mogelijk bij de breuklijn van de veriiesrand, op de veriiesrand zeif, maar ook een tegenkracht wordt uitgeoefend op het substraat door dit stationair steuneiement, opnieuw bij voorkeur ook zo dicht mogeiijk bij de breukiijn van de veriiesrand.BE2016 / 5506 is exerted as close as possible to the breakline of the edge of the loss, on the edge of the edge, but a counterforce is also exerted on the substrate by this stationary support element, again preferably also as close as possible to the edge of the edge of the loss.

In een vijfde aspect betreff de uitvinding een systeem voor het singuleren van elektronische schakelingen uit Substraten met veriiesranden, omvattende:In a fifth aspect, the invention relates to a system for singulating electronic circuits from Loss Edge Substrates, comprising:

a. een insteliing voor het afbreken van veriiesranden van een substraat zoais beschreven in dit document;a. A setting for breaking off the edges of the substrate's edges as described in this document;

b. een transportsysteem voor het overbrengen van de van veriiesranden ontdane Substraten uit de insteiiing voor het afbreken van veriiesranden van het substraat naar de insteiiing voor het singuleren van elektronische schakelingen uit Substraten;b. a transport system for transferring the debris-depleted Substrates from the substrate for breaking off debris from the substrate to the electronic circuit singling circuitry;

c. een insteiiing voor het singuleren van elektronische schakelingen uit Substraten zoals beschreven in dit document.c. an arrangement for singulating electronic circuits from Substrates as described herein.

Het systeem combineert de voordelige aspecten van de eerder beschreven instellingen (en de eerder beschreven werkwijzen), om zo de probiematiek van de gekende gebrekige singulatie-systemen aan te pakken, namelijk dat deze de Substraten vaak te zeer belasten en zo tot breuken en onbruikbare schakelingen leiden.The system combines the advantageous aspects of the previously described settings (and the previously described methods), in order to address the probability of the known defective singulation systems, namely that these often overload the Substrates and thus to fractures and unusable circuits lead.

In een zesde aspect betreff de uitvinding een elektronische schakeling gesinguleerd uit een substraat, volgens een werkwijze zoais beschreven in dit document, bij voorkeur waarbij het singuleren uitgevoerd wordt met een systeem zoals beschreven in dit document.In a sixth aspect, the invention relates to an electronic circuit singulated from a substrate, according to a method described in this document, preferably wherein the singulation is performed with a system as described in this document.

Substraten behandeld volgens de werkwijzen en/of Systemen volgens de uitvinding worden statistisch op een efficiëntere wijze gesinguleerd dan technieken en Systemen uit de stand der techniek toelaten, en leiden aldus tot een lagere productiekost, een meer economised gebruik van grondstoffen en bovendien ook tot minder gevaar dat schakelingen pas tijdens gebruik toch breuken ondervinden door voorafgaande belastingen tijdens de productie die onder meer tot microscheuren leiden, dewelke tijdens het gebruik van de schakelingen verder kunnen uitgroeien tot fatale schade.Substrates treated according to the methods and / or Systems according to the invention are statistically more efficiently regulated than techniques and systems of the prior art allow, and thus lead to a lower production cost, a more economised use of raw materials and also to less danger that circuits only experience breaks during use due to prior loads during production, which, among other things, lead to micro-cracks, which can further develop into fatal damage during use of the circuits.

Bij het voorgaande dienen impliciet ook combinaties van verschillende van de beschreven stappen/onderdelen van werkwijzen/insteliingen als opgenomenThe foregoing implicitly also includes combinations of several of the described steps / parts of methods / settings

BE2016/5506BE2016 / 5506

In wat voigt, wordt de uitvinding beschreven a.d.h.v. niet-iimiterende voorbeeiden die de uitvinding illustreren, en die niet bedoeld zijn of geïnterpreteerd mögen worden om de omvang van de uitvinding te limiteren.In what follows, the invention is described by means of non-limiting examples which illustrate the invention, and which are not intended or are to be interpreted to limit the scope of the invention.

VOORBEELDENEXAMPLES

VOORBEELD 1:EXAMPLE 1:

In het eerste voorbeeld wordt een instelling beschreven, geillustreerd in Figuren 1, 6A, 6B en 7, voor het singuleren van strips en schakeiingen van een substraat (1). De Substraten omvatten typisch een keramische wafer of drager (2) met daarop, al of niet aan weerszijden een metaal laag (3). Deze metaal laag (3) is veelal bewerkt en/of voorzien van vermogenscomponenten. Daarnaast zijn de Substraten reeds vooraf verdeeld in afzonderlijke schakeiingen die in strips iîggen (kolommen en rijen), waarbij de afzonderlijke schakeiingen van eikaar gescheiden worden door zogenaamde verzwakte breuklijnen (onder meer element 4 in de figuren) in de keramische drager (2), die afbreken langsheen de breuklijn (4) vereenvoudigt, en automatisch en manueel singuleren mogelijk maakt.In the first example, a setting, illustrated in Figures 1, 6A, 6B and 7, for singulating strips and circuits of a substrate (1) is described. The Substrates typically comprise a ceramic wafer or support (2) with a metal layer (3) on either side or on either side. This metal layer (3) is usually processed and / or provided with power components. In addition, the Substrates are already pre-divided into separate circuits which are arranged in strips (columns and rows), the individual circuits being separated from one another by so-called weakened fault lines (including element 4 in the figures) in the ceramic support (2). breaking along the fracture line (4) simplifies and allows automatic and manual singling.

Het toestel of de instelling omvat een eerste transportsysteem dat het substraat (1) kan verplaatsen in een vlak evenwijdig met net substraat langsheen de eerste transportrichting (parallel met de breuklijnen van de eerste set). Dit eerste transportsysteem omvat in de uitvoering van de figuren 2 geleidende viakken of geieiders (11) waarover het substraat (1) kan schuiven en door ondersteund wordt. Verder omvat het eerste transportsysteem een eerste duweenheld (10) die geschikt is om een substraat (1) dat op de geieiders (11) rust, langsheen de eerste transportrichting (X-as) te bewegen door dit vooruit te duwen (en zelf ook langsheen deze eerste transportrichting, de X-as, te bewegen). Door voor een voldoende glad oppervlak te zorgen van de geieiders (11), wordt verzekerd dat er geen schade kan optreden aan de Substraten. Verder omvat het eerste transportsysteem één of meerdere zuigers (12) die aangepast zijn om de kromming van het viak van het substraat (1) te volgen (door bijvoorbeeld enige flexibiliteit in de bevestiging van de zuigers (12) en/of door een flexibele stof te gebruiken voor de zuigers/zuignappen). Deze zuigers (12) grijpen aan op het substraat (1) eenmaal dit een eerste positie bereikt, die hierna verder uitgelegd wordt, en immobiiiseren het substraat.The device or institution includes a first conveying system that can move the substrate (1) in a plane parallel to the substrate along the first conveying direction (parallel to the fracture lines of the first set). In the embodiment of the figures 2, this first conveying system comprises conductive pockets or guides (11) over which the substrate (1) can slide and is supported by it. Furthermore, the first transport system comprises a first push hero (10) which is suitable for moving a substrate (1) resting on the guides (11) along the first transport direction (X axis) by pushing it forward (and also along it this first transport direction, the X-axis). Providing a sufficiently smooth surface for the geysers (11) ensures that no damage can occur to the Substrates. Furthermore, the first conveying system comprises one or more pistons (12) adapted to follow the curvature of the bottom of the substrate (1) (e.g. by some flexibility in the attachment of the pistons (12) and / or by a flexible fabric to be used for the pistons / suction cups). These pistons (12) engage the substrate (1) once it reaches a first position, which will be explained further below, and immobilize the substrate.

De instelling omvat verder een eerste scherpe splijtwig (5 of 14) voor het breken van een uitkragende strip (20) van het substraat (1). Het substraat (1) wordt verder geschoven langsheen de geieiders (11) totdat één strip uitkraagt (20) voorbij de eerste splijtwig (5 of 14) (of toch de projectie daarvan op het viak van het substraat) en zo inThe setting further includes a first sharp splitting wedge (5 or 14) for breaking a protruding strip (20) from the substrate (1). The substrate (1) is slid further along the guides (11) until one strip (20) protrudes beyond the first splitting wedge (5 or 14) (or the projection thereof onto the bottom of the substrate) and so on

BE2016/5506 de eerste positie terechtkomt. Deze 'eerste positie' betekent dat de breuklijn (4) van de tweede set van de uïtkragende strip (20) langsheen de bovenste splijtrsnd van de eerste splijtwig (5 of 14) ligt, en bij voorkeur daar iets voorbij (wat zodoende een iets meer dan een voliedig uitkragende strip oplevert). Deze eerste splijtwig (5 of 14) (of toch de bovenste rend daarvan) bevindt zieh typisch op körte afstand van het viak waarin het substraat (1) verplaatst wordt.BE2016 / 5506 lands in the first position. This 'first position' means that the breakline (4) of the second set of the protruding strip (20) lies along the top splitting edge of the first splitting wedge (5 or 14), and preferably slightly beyond (thus slightly more yields a fully protruding strip). This first splitting wedge (5 or 14) (or at least the top yield thereof) is typically a short distance from the square in which the substrate (1) is moved.

Zodra het substraat (1) in eerste positie geïmmobiiiseerd wordt, komt een eerste breekeenheid (13) in werking. Deze ievert een eerste kracht op het substraat, en meer bepaaid op de uitkragende strip (20) (bij voorkeur zo distaa! mogelijk ten opzichte van de eerste splijtwig (5 of 14) voor maximaai krachtmoment, en om op een keramisch gedeeite van de uïtkragende strip (20) in te werken). De kracht is gericht op het vlak van het substraat (1) en naar de zijde van het substraat waaraan de eerste splijtwig (5 of 14) zieh bevindt toe. Dit kan bijvoorbeeld door de breekeenheid (13) gecontroleerd naar de uitkragende strip (20) toe en verder, zodoende kracht uitoefenend op de uitkragende strip (20). in het geval van het voorbeeld zoals in Figuur 7 is dit een neerwaartse beweging, langsheen de Z-as.As soon as the substrate (1) is immobilized in the first position, a first breaking unit (13) is activated. This provides a first force on the substrate, and more precisely on the cantilever strip (20) (preferably as distal as possible with respect to the first splitting wedge (5 or 14) for maximum torque, and to provide a ceramic portion of the cantilever strip (20)). The force is directed to the plane of the substrate (1) and towards the side of the substrate to which the first splitting wedge (5 or 14) is located. This can, for example, be controlled by the breaking unit (13) towards the protruding strip (20) and further, thus exerting force on the protruding strip (20). in the case of the example as in Figure 7, this is a downward movement along the Z axis.

De uitkragende strip (20) wordt op deze manier langsheen de breuklijn (4) (van de tweede set) afgebroken in zijn geheel en komt terecht op een iets lager gepositioneerd coilecteersysteem. Eenmaai de strip afgebroken is, trekt de eerste breekeenheid (13) zieh bij voorkeur terug, en wordt een tweede transportsysteem gebruikt dat de strip voortbeweegt in een viak evenwijdig met dat van de strip, en langsheen een tweede transportrichting (Y-as) die substantieel ioodrecht Staat op de breuklijnen van de eerste set op de opgevangen strip. Dit tweede transportsysteem beweegt de afgebroken strip verder met een tweede duweenheid (15) langsheen een tweede geleider (16) tot een tweede positie bereikt wordt, waarna de strip geïmmobiiiseerd wordt, bij voorkeur opnieuw met een tweede zuiger of stel zuigers (18). Het tweede transportsysteem functioneert grotendeels gelijkaardig met het eerste, de uitvoeringen zijn aldus ook vrij geiljk en zullen niet dieper besproken worden, maar geacht worden als een logische verderzetting van wat hiervoor beschreven werd van de uitvinding, zeker voor een expert in net veid, Ook de tweede positie is gelijkaardig als de eerste positie, zijnde de positie waarbij de strip een uitkragende schakeling heeft waarbij de breuklijn van eerste set van de uitkragende schakeling zieh net (ongeveer 0.1 mm tot 0.8 mm, bij voorkeur ongeveer 0.6 mm) voorbij de loodrechte projectie van de tweede scherpe splijtwig (17) op het vlak van de strip. Vervolgens treedt de tweede breekeenheid (19) in actie met geiijkaardige werking als de eerste breekeenheid (19), en breekt de uitkragende schakeling af langsheen de breuklijn van de eerste set van de uitkragende schakeling. Eenmaai de strip volledig in schakelingen in gesinguleerd (of reeds tijdens), treedt hetIn this way the protruding strip (20) is broken off along the fault line (4) (of the second set) in its entirety and ends up on a slightly lower coil coiling system. Once the strip has broken off, the first breaking unit (13) preferably retracts, and a second conveying system is used which advances the strip in a plane parallel to that of the strip, and along a second conveying direction (Y axis) which is substantially perpendicular Stands on the fault lines of the first set on the received strip. This second transport system moves the broken strip further with a second pushing unit (15) along a second guide (16) to a second position, after which the strip is immobilized, preferably again with a second piston or pair of pistons (18). The second transport system functions largely similar to the first, the versions are thus also quite cheerful and will not be discussed in more detail, but are considered as a logical continuation of what was described above of the invention, certainly for an expert in net ve, Also the second position is similar to the first position, being the position where the strip has a cantilever circuit with the breakline of the first set of the cantilever circuit just (about 0.1 mm to 0.8 mm, preferably about 0.6 mm) beyond the perpendicular projection of the second sharp splitting wedge (17) on the plane of the strip. Then, the second breaking unit (19) acts with similar operation as the first breaking unit (19), and the cantilever circuit breaks off along the break line of the first set of the cantilever circuit. Once the strip has been mingled in circuits (or already during), it occurs

BE2016/5506 eerste transportsysteem terug in werking om het substraat (1) voort te bewegen en een nieuwe uitkragende strip in eerste positie te brengen, en het eerste breekproces opnieuw te starten,BE2016 / 5506 first transport system back in operation to propel the substrate (1) and bring a new cantilever strip into first position, and start the first crushing process again,

Verder omvat de uitvoering een eerste en een tweede stopper (21), die onderdeel uitmaken van de eerste en tweede duweenheid (15). Door deze duweenheden te voorzien van een stopper (21) in de vorm van een overhangend uitsteeksei (21) zoais te zien op de figuren, wordt het röteren van het substraat (1) of de strip verhinderd bij het inwerken van de eerste of tweede kracht, aangezien de duweenheid (10 en/of 15) steeds meebeweegt met het geduwde substraat of strip. Dit is voornamelijk een bijkomende maatrege! ter verzekering ais de zuigers niet of onvoiiedig het substraat (1) of de strip zouden kunnen îmmobiiîseren bij inwerking van de eerste of tweede kracht. Het overhangende uitsteeksei (21) zai bij voorkeur vrij dicht (0.1 mm, 0.2 mm, 0.3 mm, 0.4 mm, 0.5 mm, 0,6 mm, 0.7 mm, 0.8 mm, 0.9 mm, 1 mm, 1,2 mm, 1.4 mm, 1.6 mm, 1.8 mm, 2 mm, ...) bij een strip om een beweging van het substraat of de strip zo vroeg mogeiijk te verhinderen.The embodiment further comprises a first and a second stopper (21), which are part of the first and second pushing unit (15). By providing these pushing units with a stopper (21) in the form of an overhanging protrusion (21) as seen in the figures, the rotation of the substrate (1) or the strip is prevented when the first or second force is applied since the pushing unit (10 and / or 15) always moves with the pushed substrate or strip. This is mainly an additional measure! As an assurance, the pistons may not or imperviously immobilize the substrate (1) or strip upon the action of the first or second force. The overhanging projection (21) should preferably be quite dense (0.1 mm, 0.2 mm, 0.3 mm, 0.4 mm, 0.5 mm, 0.6 mm, 0.7 mm, 0.8 mm, 0.9 mm, 1 mm, 1.2 mm, 1.4 mm, 1.6 mm, 1.8 mm, 2 mm, ...) with a strip to prevent movement of the substrate or strip as early as possible.

VOORBEELD 2:EXAMPLE 2:

In dit voorbeeld, geïliustreerd in Figuren 2, 4, 5A en 5B wordt een insteiling beschreven voor het afbreken van zogenaamde verlîesranden (9) van een substraat (1). Deze betreffen vrij smalle randen die opnieuw al vooraf verzwakt zijn langsheen rechte vooraf aangebrachte breuklijnen (4). Door de smalie randen is net vaak lästiger om hier op een accurate en secure wijze een krachtmoment (22) op aan te brengen voor het afbreken van de randen (9). De insteiling omvat enerzijds een houdsysteem (7) voor het vasthouden van het substraat (1). Dit gebeurt praktisch door één of meerdere zuigers (7) die het substraat (1) ongeveer centraal op één of meerdere locaties aan een zijde van het substraat zonder componenten zuigend aangrijpen door het creëren van een onderdruk. Opnieuw zijn de zuigers (7) aangepast om een kromming van het vlak van het substraat (1) te volgen.In this example, illustrated in Figures 2, 4, 5A and 5B, an arrangement is described for breaking down so-called loss edges (9) of a substrate (1). These concern fairly narrow edges which have already been weakened in advance along straight pre-arranged fracture lines (4). Because of the narrow edges it is often more difficult to apply a force moment (22) to this in an accurate and secure manner for breaking off the edges (9). On the one hand, the arrangement comprises a holding system (7) for holding the substrate (1). This is done practically by one or more pistons (7) which engage the substrate (1) approximately centrally at one or more locations on one side of the substrate without components, by creating an underpressure. Again the pistons (7) are adapted to follow a curvature of the plane of the substrate (1).

Daarnaast omvat de insteiling minstens één breeksysteem, bij voorkeur twee breeksystemen, Deze breeksystemen zijn aangepast om de verlîesranden (9) van het substraat (1) klemmend aan te grijpen. Praktisch zullen vaak twee verlîesranden (9) aangegrepen worden aan tegenoverliggende randen van het substraat (1), om deze vervolgens af te breken. De breeksystemen omvatten een beweegbare en verstelbare klem (6) die vastzitten aan een steun ten opzichte van het houdsysteem, waarbij de klem (6) bij voorkeur lijkt op een bankschroef (of het principe voigt), Deze klem (6) omvat twee bekken (6a, 6b) die het substraat (1) aan weerszijden van een veriiesrand (9) kunnen aangrijpen. Om deze reden zijn de bekken (6a, 6b) ook bij voorkeurIn addition, the arrangement comprises at least one breaking system, preferably two breaking systems. These breaking systems are adapted to grip the extension edges (9) of the substrate (1). In practice, two loss edges (9) will often be gripped at opposite edges of the substrate (1) and then break them down. The break systems include a movable and adjustable clamp (6) attached to a support relative to the holding system, the clamp (6) preferably resembling a vise (or the principle flexes), This clamp (6) includes two jaws ( 6a, 6b) which can engage the substrate (1) on either side of a loss edge (9). For this reason, the jaws (6a, 6b) are also preferred

BE2016/5506 endeding versteibaar (zowel naar en van elkaar toe, als längs elkaar), onder meer voor aanpassingen op maat van een specifieke schakeiing. De klem (6) is pivoteerbaar rond een pivot-as (8) opgesteld ten opzichte van het substraat (1), zodanig dar de pivot-as (8) samenvalt met de breuklijn (4) van de geklemde veriiesrand (9). Door de kiem (6) vervolgens te draaien rond de pivot-as (8), wordt een krachtmoment (22) aangebracht op de veriiesrand (9) en wordt deze vervolgens volledig afgebroken, aangezien de zuigers (7) de rest van het substraat (1) substantieel op zijn plaats houden. De insteiling voor het afbreken van verliesranden (9) kan aangepast worden om dit op alie randen tegeiijk uit te voeren, op 3 of 2 tegelijk, of dit rand per rand uitvoeren. Merk op dat in het voorbeeld de pivot-as (8) geen fysieke as is, maar een virtuele as.BE2016 / 5506 endeding can be adjusted (both towards and from each other, as well as along each other), including for adaptations tailored to a specific circuit. The clamp (6) is pivotable about a pivot axis (8) arranged relative to the substrate (1) such that the pivot axis (8) coincides with the score line (4) of the clamped loss edge (9). By then rotating the seed (6) around the pivot axis (8), a moment of force (22) is applied to the loss edge (9) and it is then completely broken off, since the pistons (7) rest the substrate ( 1) keep it substantially in place. The setting for breaking off loss edges (9) can be adjusted to perform this simultaneously on all edges, 3 or 2 at a time, or to perform this edge by edge. Note that in the example, the pivot axis (8) is not a physical axis, but a virtual axis.

Het is verondersteld dat de huidige uitvinding niet beperkt is tot de uitvoeringsvormen die hierboven beschreven zijn en dat enkele aanpassingen of veranderingen aan de beschreven voorbeelden kunnen toegevoegd worden zonder de toegevoegde conclusies te herwaarderen. Bijvoorbeeid, de huidige uitvinding werd beschreven met verwijzing naar Substraten, maar het mag duidelijk zijn dat de uitvinding kan toegepast worden op bv. specifieke producten zoals direct gebonden koper Substraten (DBC-substraten), maar ook andere.It is believed that the present invention is not limited to the embodiments described above and that some modifications or changes to the described examples can be added without revaluating the added claims. For example, the present invention has been described with reference to Substrates, but it is to be understood that the invention may be applied to e.g. specific products such as direct bonded copper Substrates (DBC substrates), but also others.

BE2016/5506BE2016 / 5506

Claims (14)

CONCLUSIESCONCLUSIONS 1. Werkwijze voor het singuieren van elektronische schakelingen uit een substraat, waarbij het substraat een eerste set vooraf aangebrachte verzwakte breuklijnen omvat en een tweede set vooraf aangebrachte verzwakte breuklijnen omvat, waarbij de eerste set en de tweede set substantieel ioodrecht staan op eikaar, omvattende volgende stappen:A method of singling electronic circuits from a substrate, the substrate comprising a first set of pre-applied attenuated breaklines and a second set of pre-applied attenuated breaklines, wherein the first set and the second set are substantially perpendicular to each other, comprising the following to step: a. her parallel met de breuklijnen van de eerste set voortbewegen van een substraat voorbij een eerste scherpe spiijtwig die zieh aan een overliggende zijde van het substraat bevindt ten opzichte van de breuklijnen, waarbij het substraat voortbewogen wordt tot een eerste positie waarbij een extremale breukiijn van de tweede set breukiijnen zieh voorbij en substantieel evenwijdig met een projectie van de eerste scherpe spiijtwig Ioodrecht op het substraat bevindt, en waarbij een extremale strip van het substraat voliedig uitkragend ligt ten opzichte van de eerste scherpe spiijtwig;a. Parallel to the fracture lines of the first set of advancing a substrate past a first sharp splitting wedge located on an opposite side of the substrate from the fracture lines, advancing the substrate to a first position with an extrema fracture line of the second set of fracture lines beyond and substantially parallel to a projection of the first sharp splice wedge is perpendicular to the substrate, and an extrema strip of the substrate is fully protruding from the first sharp splice wedge; b. het immobiliseren van het substraat bij het bereiken van de eerste positie en voor het afbreken van de uitkragende strip, door middei van één of meerdere zuigers, bij voorkeur flexibele vacuüm pads, die zuigend aangrijpen op een niet-uitkragend gedeeite van het substraat, waarbij een kromming van het viak van het substraat gevoigd wordt;b. immobilizing the substrate upon reaching the first position and before breaking off the cantilever strip, by means of one or more pistons, preferably flexible vacuum pads, which grip a non-cantilevered portion of the substrate, whereby a curvature of the bottom of the substrate is introduced; c, het afbreken van de uitkragende strip van het substraat Iangsheen de extremale breukiijn van de tweede set, door het aanieggen van een eerste krachtmoment op de uitkragende strip, waarbij het eerste krachtmoment aangelegd wordt door het uitoefenen van een eerste kracht op de uitkragende strip, waarbij de eerste kracht substantieel ioodrecht op het substraat gericht is van de zijde wear de breukiijn aangebracht is naar de overliggende zijde, bij voorkeur waarbij de tweede kracht uitgeoefend wordt op een keramisch gedeelte van de uitkragende strip, en waarbij de eerste scherpe spiijtwig dient als as voor het eerste krachtmoment;c, breaking off the cantilever strip from the substrate along the extrema fracture line of the second set, by applying a first moment of force to the cantilever strip, applying the first moment of force by applying a first force to the cantilever strip, the first force being directed substantially perpendicular to the substrate from the side wear, the break line is applied to the opposite side, preferably the second force being applied to a ceramic portion of the protruding strip, and the first sharp splitting wedge serving as the axis for the first moment of strength; d, het paraiiei met de breukiijnen van de tweede set voortbewegen van de afgebroken strip voorbij een tweede scherpe spiijtwig die zieh aan de overliggende zijde van de afgebroken strip bevindt ten opzichte van de breukiijnen, waarbij de afgebroken strip voortbewogen wordt tot een tweede positie waarbij een extremale breukiijn van de eerste set breuklijnen van de strip zieh voorbij en substantieel evenwijdig met een projectie van de tweede scherpe spiijtwig ioodrecht op het substraat bevindt, en waarbij een extremale elektronische schakeiing van ded, advancing the broken line of the second set of the broken strip past the second sharp splined wedge located on the opposite side of the broken strip from the broken lines, whereby the broken strip is advanced to a second position at which extrema breakline of the first set of breaklines of the strip beyond and substantially parallel to a projection of the second sharp splice wedge perpendicular to the substrate, and wherein an extrema electronic circuit of the BE2016/5506 afgebroken strip voiiedig uitkragend ligt ten opzichte van de tweede scherpe splijtwig;BE2016 / 5506 stripped strip is fully protruding from the second sharp splitting wedge; e. het immobiiiseren van de afgebroken strip bij het bereiken van de tweede positie en voor het afbreken van de uitkragende schakeling, door midde! van één of meerdere zuigers, bij voorkeur flexibele vacuüm pads, die zuigend aangrijpen op een niet-uitkragend gedeelte van de afgebroken strip, waarbij een kromming van het vlak van de afgebroken strip gevoigd wordt;e. immobilizing the broken strip upon reaching the second position and before breaking off the cantilever circuit, by middle! of one or more pistons, preferably flexible vacuum pads, which engages in suction on a non-cantilevered part of the broken strip, whereby a curvature of the surface of the broken strip is applied; f. het afbreken van de uitkragende schakeling van de strip langsheen de extremale breuklijn van de eerste set, door het aanleggen van een tweede krachtmoment op de uitkragende schakeling, waarbij het tweede krachtmoment aangelegd wordt door het uitoefenen van een tweede kracht op de uitkragende schakeling, waarbij de tweede kracht substantiee! loodrecht op de strip gericht is van de zijde waar de breuklijn aangebracht is naar de overliggende zijde, bij voorkeur waarbij de tweede kracht uitgeoefend wordt op een keramisch gedeelte van de uitkragende schakeling, en waarbij de tweede scherpe splijtwig dient als as voor het tweede krachtmoment.f. breaking off the cantilever circuit from the strip along the extremal break line of the first set, by applying a second moment of force to the cantilever circuit, applying the second moment of force by applying a second force to the cantilever circuit, the second force substantial! is oriented perpendicular to the strip from the side where the break line is applied to the opposite side, preferably with the second force applied to a ceramic portion of the cantilever circuit, and the second sharp splitting wedge serving as the shaft for the second moment of force. 2. Werkwijze volgens voorgaande conclusie 1, waarbij de extremale breuklijn van de eerste set in de eerste positie over een maximale afstand van 0.2.5 cm, bij voorkeur van 0.1 cm, bij nog verdere voorkeur van 0.06 cm, van de projectie van de eerste scherpe splijtwig verwijderd is, en waarbij de extremale breuklijn van de tweede set in de tweede positie over een maximale afstand van 0.25 cm, bij voorkeur van 0.1 cm, bij nog verdere voorkeur van 0.06 cm, van de projectie van de tweede scherpe splijtwig verwijderd is.The method of claim 1, wherein the extrema breakline of the first set in the first position is a maximum distance of 0.2.5 cm, preferably 0.1 cm, even more preferably 0.06 cm, from the projection of the first sharp splitting wedge is removed, and wherein the extrema breakline of the second set is in the second position a maximum distance of 0.25 cm, preferably 0.1 cm, even more preferably 0.06 cm, from the projection of the second sharp splitting wedge . 3. Werkwijze volgens één van de voorgaande conclusies 1 tot en met 2, waarbij het substraat één of meerdere afbreekbare verliesranden omvat die van de rest van het substraat afgescheiden worden door vooraf aan minstens één zijde aangebrachte verzwakte breukiijnen, omvattende volgende stappen:A method according to any one of the preceding claims 1 to 2, wherein the substrate comprises one or more degradable loss edges separated from the rest of the substrate by attenuated fracture lines pre-applied on at least one side, comprising the following steps: a. het immobiiiseren van het substraat door midde! van één of meerdere zuigers, bij voorkeur flexibele vacuüm pads, die zuigend aangrijpen op het substraat, waarbij een kromming van het vlak van het substraat gevoigd wordt;a. immobilizing the substrate by means of! one or more pistons, preferably flexible vacuum pads, which grip the substrate in a suction manner, whereby a curvature of the surface of the substrate is introduced; b. het klemmend vastgrijpen van het substraat aan minstens één rand van het substraat, waarvan minstens één van de vastgegrepen randen eenb. the clamping gripping of the substrate on at least one edge of the substrate, of which at least one of the gripping edges is a BE2016/5506 afbreekbare veriiesrand is, bij voorkeur waarbij het klemmend vastgrijpen aangepast is aan een kromming van het vlak van de vastgegrepen afbreekbare veriiesrand;BE2016 / 5506 is a degradable loss edge, preferably wherein the clamping gripping is adapted to a curvature of the plane of the grippable loss edge; c. het afbreken van de gekiemde afbreekbare veriiesrand door het uitoefenen van een krachtmoment op de gekiemde afbreekbare veriiesrand, waarbij het krachtmoment uitgeoefend wordt rond een as op een maximale afstand van 0.25 cm, bij voorkeur van 0.1 cm, bij nog verdere voorkeur van 0.06 cm, tot de breuklijn van de gekiemde afbreekbare veriiesrand.c. breaking off the sprouted degradable loss edge by applying a moment of force to the sprouted degradable loss edge, the moment of force being applied about an axis at a maximum distance of 0.25 cm, preferably from 0.1 cm, even more preferably from 0.06 cm, to the fracture line of the sprouted degradable loss edge. 4. Werkwijze volgens één van de voorgaande conclusies 1 tot en met 3, omvattende volgende stap na het afbreken van de uitkragende strip:Method according to one of the preceding claims 1 to 3, comprising the following step after breaking off the protruding strip: a. het ontvangen van de afgebroken strip, waarbij de afgebroken strip gepositioneerd wordt zodanig dat de breukiijnen van de eerste set van de afgebroken strip substantieel loodrecht staan ten opzichte van de eerste scherpe splijtwig;a. receiving the broken strip, the broken strip being positioned such that the break lines of the first set of the broken strip are substantially perpendicular to the first sharp splitting wedge; en optioneel omvattende volgende stap na het afbreken van de uitkragende elektronische schakeiing:and optionally comprising the following step after aborting the cantilever electronic circuit: b. het ontvangen van de afgebroken schakeling.b. receiving the aborted circuit. 5. Werkwijze volgens één van de voorgaande conclusies 1 tot en met 4, waarbij het zuigend aangrijpen van het substraat en/of de strip aan de onderzijde van respectievelijk het substraat en/of de strip piaatsvindt wanneer het substraat en/of de strip boven respectievelijk de eerste scherpe splijtwig en/of de tweede scherpe splijtwig respectievelijk in de eerste positie en/of de tweede positie zijn.A method according to any one of the preceding claims 1 to 4, wherein the suction gripping of the substrate and / or the strip finds the bottom of the substrate and / or the strip respectively when the substrate and / or the strip above respectively the first sharp splitting wedge and / or the second sharp splitting wedge are in the first position and / or the second position, respectively. 6. Werkwijze voor het breken van een substraat langsheen een vooraf aan een zijde van net substraat aangebrachte, rechte, verzwakte breuklijn, omvattende voigende stappen :A method for fracturing a substrate along a straight, attenuated fracture line pre-applied on one side of the substrate, comprising steps of: a. het voortbewegen van een substraat langsheen een richting evenwijdig met het substraat en loodrecht op de breuklijn, waarbij het substraat voortbewogen wordt voorbij een scherpe splijtwig die zieh aan een overliggende zijde van het substraat bevindt ten opzichte van de breuklijn, waarbij het substraat voortbewogen wordt tot een positie waarbij de breuklijn zieh voorbij en substantieel evenwijdig met een projectie van de scherpe splijtwig loodrecht op het substraat bevindt, bij voorkeur met op een maximale afstand van 0.25 cm en bij verderea. advancing a substrate along a direction parallel to the substrate and perpendicular to the fracture line, advancing the substrate beyond a sharp splitting wedge located on an opposite side of the substrate from the fracture line, advancing the substrate to a position where the score line is beyond and substantially parallel to a projection of the sharp splitting wedge perpendicular to the substrate, preferably at a maximum distance of 0.25 cm and further BE2016/5506 voorkeur van 0.1 cm, en waarbij een extremaal uiteinde van het substraat volledig uitkragend ligt ten opzichte van de scherpe splijtwig;BE2016 / 5506 preferred of 0.1 cm, and in which an extreme end of the substrate is fully protruding from the sharp splitting wedge; b. het zuigend aangrijpen van het substraat na het voortbewegen van het substraat tot de positie, waarbij het substraat op één of meerdere piaatsen op het substraat zuigend aangegrepen wordt, en waarbij het zuigend aangrijpen van het substraat aangepast is om een kromming van het vlak van het substraat te voigenb. suction-engaging the substrate after advancing the substrate to the position, the substrate being suction-engaging at one or more positions on the substrate, and the suction-engaging of the substrate being adapted to a curvature of the surface of the substrate to convey c. het afbreken van het uitkragende uiteinde van het substraat langsheen de breuklijn, door het aanieggen van een krachtmoment op het uitkragende uiteinde, waarbij het krachtmoment aangelegd wordt door her uitoefenen van een kracht op het uitkragende uiteinde, waarbij de kracht substantieel loodrecht op het substraat gericht is van de zijde waar de breuklijn aangebracht is naar de overiiggende zijde, en waarbij de scherpe splijtwig dient als as voor het krachtmoment.c. breaking off the cantilevering end of the substrate along the fracture line, by applying a moment of force to the cantilevering end, applying the momentum of force by applying a force to the cantilevering end, the force being directed substantially perpendicular to the substrate from the side where the break line is applied to the other side, and where the sharp splitting wedge serves as the axis for the moment of force. 7. Werkwijze volgens de voorgaande conclusie 6, waarbij de kracht aangelegd wordt op een rand van het substraat, bij voorkeur op een keramisch deel van het substraat.A method according to the preceding claim 6, wherein the force is applied to an edge of the substrate, preferably to a ceramic part of the substrate. 8. Werkwijze volgens de voorgaande conclusie 7, waarbij een roterende actie van het substraat rond een as evenwijdig met de breukiijn substantieel beperkt en/of verhindere wordt door het beperken van een beweging van een overiiggende rand van het substraat ten opzichte van de rand waarop de kracht aangelegd wordt, waarbij het beperken van de beweging van de overiiggende rand uitgevoerd wordt aan de zijde van het substraat waar de breukiijn aangebracht is.A method according to the preceding claim 7, wherein a rotating action of the substrate about an axis parallel to the fracture line is substantially limited and / or prevented by limiting movement of an opposite edge of the substrate relative to the edge at which the force is applied, limiting movement of the other edge is performed on the side of the substrate where the break line is applied. 9. Instelling voor het singuleren van elektronische schakelingen uit Substraten, waarbij de Substraten een eerste set vooraf aangebrachte verzwakte breukiîjnen omvatten en een tweede set vooraf aangebrachte verzwakte breukiîjnen omvatten, waarbij de eerste set en de tweede set substantieel loodrecht staan op elkaar, omvattende:An institution for singulating electronic circuits from Substrates, the Substrates comprising a first set of pre-applied attenuated fracture lines and a second set of pre-applied attenuated break lines, wherein the first set and the second set are substantially perpendicular to each other, comprising: a. een eerste transportsysteem voor het gecontroleerd verplaatsen van een substraat in een vlak evenwijdig met het substraat en langsheen een eerste transportrichting parallel met de breukiîjnen van de eerste set, waarbij het eerste transportsysteem één of meerdere zuigers omvat die aangepast zijn voor het zuigend aangrijpen en immobiiiseren van het substraat, bij voorkeur aan een niet met componenten voorziene zijdea. a first transport system for the controlled movement of a substrate in a plane parallel to the substrate and along a first transport direction parallel to the fracture lines of the first set, wherein the first transport system comprises one or more pistons adapted for suction engagement and immobilizing the substrate, preferably on a non-component side BE2016/5506 van het substraat, en waarbij de zuigers aangepast zijn om een kromming van het vlak van het substraat te volgen bij het aangrijpen en immobiliseren van het substraat;BE2016 / 5506 of the substrate, and wherein the pistons are adapted to follow a curvature of the plane of the substrate when gripping and immobilizing the substrate; b. een eerste scherpe spiijtwig waarover uitkragende strips van het substraat opeenvolgend afgebroken worden längs de breukiijnen van de tweede set, waarbij de eerste scherpe spiijtwig zieh afwaarts bevindt längs de eerste transportrichting en onder het vlak waarin de Substraten verplaatst worden, waarbij de eerste scherpe spiijtwig een splijtrand omvat die substantieel evenwijdig is met het vlak waarin de Substraten verplaatst worden en substantieel Ioodrecht Staat ten opzichte van de eerste transportrichting, en bevindt de splijtrand zieh bij voorkeur op een maximale afstand van 0.5 cm, bij voorkeur van 0.25 cm, bij verdere voorkeur van 0.1 cm, tot het vlak waarin de Substraten verplaatst worden; enb. a first sharp splitting wedge over which protruding strips of the substrate are broken off successively along the fracture lines of the second set, the first sharp splitting wedge being downward along the first conveying direction and below the plane in which the Substrates are moved, the first sharp splitting wedge having a splitting edge which is substantially parallel to the plane in which the Substrates are moved and is substantially perpendicular to the first conveying direction, and the splitting edge is preferably at a maximum distance of 0.5 cm, preferably 0.25 cm, further preferably 0.1 cm, to the plane in which the Substrates are moved; and c. een eerste breekeenheid voor het uitoefenen van een eerste kracht op een uitkragende strip van het geïmmobüiseerde substraat en het afbreken van de uitkragende strip van het geïmmobüiseerde substraat, waarbij de eerste breekeenheid aangepast îs om de eerste kracht uit te oefenen op de uitkragende strip wanneer de uitkragende strip volledig voorbij een projectie van de splijtrand van de eerste scherpe spiijtwig Ioodrecht op het vlak waarin de Substraten verplaatst worden, gepositioneerd is, waarbij de eerste kracht substantieel ioodrecht op het vlak van het substraat Staat en gericht is van boven naar onder ten opzichte van het substraat, bij voorkeur waarbij de eerste kracht uitgeoefend wordt op een extremaal uiteinde van de uitkragende strip, bij verdere voorkeur op een keramisch gedeelte van het extremaal uiteinde van de uitkragende strip;c. a first crushing unit for applying a first force to a protruding strip of the immobilized substrate and breaking off the protruding strip from the immobilized substrate, the first crushing unit adapted to apply the first force to the protruding strip when the protruding strip strip completely beyond a projection of the splitting edge of the first sharp splitting wedge is positioned perpendicular to the plane in which the Substrates are moved, the first force being substantially perpendicular to the plane of the substrate and oriented from top to bottom relative to the substrate, preferably wherein the first force is applied to an extremity of the protruding strip, further preferably to a ceramic portion of the extremity of the protruding strip; waarbij de één of meerdere zuigers van het eerste transportsysteem aangepast zijn om het substraat zuigend aan te grijpen en te immobiliseren wanneer de uitkragende strip volledig voorbij de projectie van de splijtrand van de eerste scherpe spiijtwig op het vlak waarin de Substraten verplaatst worden, gepositioneerd is, voordat de eerste breekeenheid de eerste kracht uitoefent op de uitkragende strip.the one or more pistons of the first conveying system being adapted to grip and immobilize the substrate in a suction manner when the cantilever strip is positioned completely beyond the projection of the splitting edge of the first sharp splitting wedge on the plane in which the Substrates are moved, before the first crushing unit applies the first force to the cantilever strip. 10. Instelling voor het sînguieren van elektronische schakelingen uit Substraten volgens de voorgaande conclusie 9, verder omvattende:An apparatus for swinging electronic circuits from substrates according to the preceding claim 9, further comprising: BE2016/5506BE2016 / 5506 d. een collecteersysteem voor het opvangen van afgebroken strips van de Substraten, bij voorkeur waarbij het collecteersysteem één of meerdere zuigers omvat voor het zuigend aangrijpen van de afgebroken strips;d. a collection system for collecting broken strips from the Substrates, preferably wherein the collection system comprises one or more pistons for sucking gripping of the broken strips; e. een tweede transportsysteem voor het gecontroleerd verplaatsen van een opgevangen strip in een viak evenwijdig met de opgevangen strip en langsheen een tweede transportrichting substantieel loodrecht op de breuklijnen van de eerste set op de opgevangen strip, waarbij het tweede transportsysteem één of meerdere zuigers omvat voor het zuigend aangrijpen en immobiliseren van de opgevangen strip, bij voorkeur aan een niet met componenten voorziene zijde van de opgevangen strip, en waarbij de zuigers aangepast zijn om een kromming van het viak van de opgevangen strip te voigen bij het aangrijpen en immobiliseren van de opgevangen strip, bij voorkeur waarin de één of meerdere zuigers van het tweede transportsysteem deel uitmaken van de één of meerdere zuigers van het collecteersysteem;e. a second conveying system for the controlled displacement of a collected strip in a flat parallel to the collected strip and along a second conveying direction substantially perpendicular to the fault lines of the first set on the collected strip, the second conveying system comprising one or more pistons for suctioning engaging and immobilizing the collected strip, preferably on a non-component side of the collected strip, and the pistons adapted to accommodate a curvature of the received strip's grip upon gripping and immobilizing the collected strip, preferably wherein the one or more pistons of the second transport system form part of the one or more pistons of the collection system; f. een tweede scherpe splijtwig waarover uitkragende schakeiingen van de strip opeenvolgend afgebroken worden längs de breuklijnen van de eerste set, waarbij de tweede scherpe splijtwig zieh afwaarts bevindt iangs de tweede transportrichting en onder het viak waarin de strips verplaatst worden, waarbij de tweede scherpe splijtwig een splijtrand omvat die substantieel evenwijdig is met het viak waarin de strips verplaatst worden en loodrecht is ten opzichte van de tweede transportrichting, en bevindt de splijtrand zieh bij voorkeur op een maximale afstand van 0.5 cm, bij voorkeur van 0.2.5 cm, bij verdere voorkeur van 0.1 cm, tot net viak waarin de strips verplaatst worden;f. a second sharp splitting wedge over which protruding switches of the strip are broken off successively along the fracture lines of the first set, the second sharp splitting wedge being downward along the second direction of transport and under the plane in which the strips are moved, the second sharp splitting wedge having a splitting edge which is substantially parallel to the plane in which the strips are moved and is perpendicular to the second conveying direction, and the splitting edge is preferably at a maximum distance of 0.5 cm, preferably 0.2.5 cm, more preferably of 0.1 cm, until just where the strips are moved; g. een tweede breekeenheid voor net uitoefenen van een tweede kracht op een uitkragende schakeiing van de geïmmobiliseerde strip en het afbreken van de uitkragende schakeiing van de geïmmobiliseerde strip, waarbij de tweede breekeenheid aangepast is om de tweede kracht uit te oefenen op de uitkragende schakeiing wanneer de uitkragende schakeiing voüedig voorbij een projectie van de splijtrand van de tweede scherpe splijtwig loodrecht op het viak waarin de strips verplaatst worden, gepositioneerd is, waarbij de tweede kracht substantieel loodrecht op het viak van de strip Staat en gericht is van boven naar onder ten opzichte van de strip, bij voorkeur waarbij de tweede kracht uitgeoefend wordt op een extremaai uiteinde van de uitkragende schakeiing, bij verdereg. a second breaking unit for applying a second force to a cantilevering circuit of the immobilized strip and breaking off the cantilevering circuit of the immobilized strip, the second breaking unit being adapted to apply the second force to the cantilevering circuit when the cantilevering circuit is fully positioned beyond a projection of the splitting edge of the second sharp splitting wedge perpendicular to the plane in which the strips are moved, the second force being substantially perpendicular to the strip's plane and directed from top to bottom relative to the strip, preferably the second force being applied to an extreme mowing end of the protruding circuit, with further BE2016/5506 voorkeur op een keramisch gedeelte van het extremaa! uiteinde van de uitkragende schakeiing; enBE2016 / 5506 preferred on a ceramic part of the extrema! end of the cantilevering circuit; and h. optionee! een tweede coliecteersysteem voor net opvangen en doorgeven van afgebroken schakeiingen van de strips, bij voorkeur waarbij het tweede coliecteersysteem één of meerdere zuigers omvat voor het zuigend aangrijpen van de afgebroken schakeiingen;h. optionee! a second colection system for just receiving and transmitting broken circuits of the strips, preferably wherein the second collation system comprises one or more pistons for sucking engagement of the broken circuits; waarbij de één of meerdere zuigers van het tweede transportsysteem aangepast zijn om de strip zuigend aan te grijpen en te immobiliseren wanneer de uitkragende schakeiing volledig voorbij de projectie van de spiijtrand van de tweede scherpe splijtwig op het viak waarin de strips verplaatst worden, gepositioneerd is, voordat de tweede breekeenheid de tweede kracht uitoefent op de uitkragende schakeiing.the one or more pistons of the second conveying system adapted to suction-engage and immobilize the strip when the cantilevering circuit is positioned completely beyond the projection of the splitting edge of the second sharp splitting wedge on the plane in which the strips are moved, before the second breaking unit exerts the second force on the cantilevering circuit. 11. Insteiling voor het singuleren van elektronische schakeiingen uit Substraten volgens één van de voorgaande conclusies 9 of 10, verder omvattende:The arrangement for singulating electronic circuits from Substrates according to any of the preceding claims 9 or 10, further comprising: i. een eerste stopper voor het beperken of vermijden van een substantieel loodrecht op het vlak van het substraat staande beweging van het ten opzichte van de uitkragende strip overiiggend uiteinde van het substraat; en/ofi. a first stopper for limiting or avoiding a substantially perpendicular movement of the end of the substrate opposite the protruding strip, perpendicular to the plane of the substrate; and / or j. een tweede stopper voor het beperken of vermijden van een substantieel loodrecht op het viak van de strip staande beweging van het ten opzichte van de uitkragende schakeiing overiiggend uiteinde van de strip;j. a second stopper for limiting or avoiding a substantially perpendicular movement of the end of the strip relative to the protruding circuit standing perpendicular to the strip; waarbij de eerste en/of de tweede stopper aangepast zijn om respectievelijk het substraat en/of de strip respectievelijk langsheen de eerste en/of de tweede transportrichting voort te bewegen respectievelijk naar de eerste en/of de tweede breekeenheid toe.wherein the first and / or the second stopper are adapted to advance the substrate and / or the strip, respectively, along the first and / or the second transport direction, respectively, towards the first and / or the second crushing unit. 12. Insteiling voor net afbreken van verliesranden van een substraat, waarbij de verliesranden längs minstens één zijde van het substraat afgescheiden zijn door middel van vooraf aangebrachte verzwakte breuklijnen, omvattende:12. Device for just breaking off loss edges of a substrate, wherein the loss edges are separated from at least one side of the substrate by pre-applied attenuated fracture lines, comprising: a. een houdsysteem voor het vasthouden van het substraat, bij voorkeur centraal en/of aan een zijde van het substraat waar geen elektronische componenten aanwezig zijn, omvattende één of meerdere zuigers, bij voorkeur vacuüm pads, waarbij de één of meerdere zuigers aangepast zijn om een kromming van het viak van het substraat te volgen bij het vasthouden van het substraat.a holding system for holding the substrate, preferably centrally and / or on one side of the substrate where no electronic components are present, comprising one or more pistons, preferably vacuum pads, the one or more pistons being adapted to monitor a curvature of the substrate's plane when holding the substrate. BE2016/5506BE2016 / 5506 b. minstens één breeksysteem, omvattende een beweegbare kiem, bij voorkeur een beweegbare bankschroef, met twee bekken voor het aan weerszijden klemmend aangrijpen van een geklemde veriiesrand van het substraat met de bekken, waarbij de beweegbare kiem pivoteerbaar om een pivot-as aan een steun van het breeksysteem gehecht is, waarbij de pivot-as zieh ορ een maximale afstand van 0.5 cm, bij voorkeur 0.25 cm, bij verdere voorkeur 0.1 cm, van een extremaal einde van één van de bekken bevindt, en bij nog verdere voorkeur waarbij de pivot-as substantieel samenvalt met de breuklijn van de geklemde veriiesrand.b. at least one breaking system, comprising a movable core, preferably a movable vise, with two jaws for gripping a clamped loss edge of the substrate with the jaws on both sides, the movable core pivoting about a pivot axis on a support of the fracture system is attached, the pivot axis being at a maximum distance of 0.5 cm, preferably 0.25 cm, more preferably 0.1 cm, from an extremity of one of the jaws, and still more preferably with the pivot axis substantially coincides with the fracture line of the clamped loss edge. 13. Systeem voor het singuleren van elektronische schakelingen ult Substraten met verliesranden, omvattende:13. System for singulating electronic circuits ult Substrates with loss edges, comprising: a. een instelling voor het afbreken van verliesranden van een substraat volgens de voorgaande conclusie 12;a. A setting for breaking down loss edges of a substrate according to the preceding claim 12; b. een transportsysteem voor het overbrengen van de van verliesranden ontdane Substraten uit de instelling voor het afbreken van verliesranden van het substraat naar de instelling voor het singuleren van elektronische schakelingen uit Substraten;b. a transport system for transferring the debris-depleted Substrates from the decomposition decomposition substrate to the electronic circuit singling circuitry of the Substrates; c. een instelling voor het singuleren van elektronische schakelingen uit Substraten voigens één van de voorgaande conclusies 9 tot en met 11.c. an institution for singulating electronic circuits from substrates according to any one of the preceding claims 9 to 11. 14. Elektronische schakeling gesinguleerd uit een substraat, met een werkwijze volgens één van de voorgaande conclusies 1 tot en met 5, bij voorkeur waarbij het singuleren uitgevoerd wordt met een systeem volgens de voorgaande conclusie 13.Electronic circuitry singulated from a substrate, by a method according to any one of the preceding claims 1 to 5, preferably wherein the singulation is performed with a system according to the preceding claim 13. BE2016/5506BE2016 / 5506 GEÄUTOMÄTISEERD SYSTEEM VOOR HET SINGUIEREN VAN SCHAKELINGEN UIT DBC-SURSTRATEN, EN WERKWIJZE DÂARVOORAutomated system for swinging circuits from DBC-SURSTRATES, and method for this
BE2016/5506A 2016-06-29 2016-06-29 Automated system for the singulation of circuits from DBC substrates, and method thereof BE1024350B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BE2016/5506A BE1024350B1 (en) 2016-06-29 2016-06-29 Automated system for the singulation of circuits from DBC substrates, and method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BE2016/5506A BE1024350B1 (en) 2016-06-29 2016-06-29 Automated system for the singulation of circuits from DBC substrates, and method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
BE1024350A1 true BE1024350A1 (en) 2018-01-29
BE1024350B1 BE1024350B1 (en) 2018-02-05

Family

ID=56550652

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BE2016/5506A BE1024350B1 (en) 2016-06-29 2016-06-29 Automated system for the singulation of circuits from DBC substrates, and method thereof

Country Status (1)

Country Link
BE (1) BE1024350B1 (en)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6060215U (en) * 1983-09-30 1985-04-26 関西日本電気株式会社 Board dividing device
FR2586159A1 (en) * 1985-08-07 1987-02-13 Comptoir Europ Mat Electro Breaking machine
DE59408996D1 (en) * 1993-03-02 2000-01-20 Ceramtec Ag Process for producing separable plates from brittle material with high accuracy
JP5376282B2 (en) * 2008-03-25 2013-12-25 日本電気硝子株式会社 Glass plate folding method and glass plate folding device
JP5623791B2 (en) * 2010-06-01 2014-11-12 株式会社ディスコ Processing method of sapphire substrate
JP5796774B2 (en) * 2011-08-24 2015-10-21 日本電気硝子株式会社 Cleaving method and apparatus for brittle plate
DE102013104055B4 (en) * 2013-04-22 2023-08-31 Rogers Germany Gmbh Base substrate, metal-ceramic substrate produced from a base substrate and method for producing a base substrate

Also Published As

Publication number Publication date
BE1024350B1 (en) 2018-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2592029B2 (en) Method and apparatus for dividing a flat glass panel
JP4892916B2 (en) Thin glass folding device and folding method
CN102144287B (en) Sheet peeling apparatus and sheet peeling method
US8070567B2 (en) Automatic deboning method and apparatus for deboning bone laden meat
JP4204653B2 (en) Sheet peeling apparatus and method
US20070158381A1 (en) Method and device for breaking scored glass sheets
TWI427046B (en) Broken material of the brittle material substrate
JP3603981B2 (en) Pig thigh removal machine and pig thigh removal method
DE19950068A1 (en) Device for separating/removing thin, breakable, plate-shaped substrates of various formats removes plates using shaking motion in arc about rotation point at base of plate, adhesion point
TWI612016B (en) Cracking device
EP1321397A1 (en) Method and device for depalletising stacks of blanks
CN105029652B (en) A kind of full-automatic peeling machine for orange
TWI654677B (en) Substrate cracking device
KR20160019849A (en) Method and device for dividing brittle material substrate
TWI643828B (en) Scribing device
JP2006156633A (en) Processing device of fragile member
BE1024350A1 (en) Automated system for the singulation of circuits from DBC substrates, and method thereof
JP2001081591A (en) Starting sheet automatic stripping method and device
CN103681435A (en) Protective tape stripping method and protective tape stripping device
TWI591030B (en) Substrate breaking device
JPH08253336A (en) Method for breaking off sheet glass and apparatus therefor
JP3767283B2 (en) Method and apparatus for peeling parts from adhesive plate
JP4417482B2 (en) Binding band cutting device, binding band processing device, and paper sheet processing device
KR101425906B1 (en) Tape holding mechanism, sheet peeling apparatus, and sheet peeling method
US5060924A (en) Device for picking up one piece of cloth from a stack of cloth pieces

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Effective date: 20180205