ATE83072T1 - Einrichtung zur messung des durchflusses von fluessigkeiten. - Google Patents

Einrichtung zur messung des durchflusses von fluessigkeiten.

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ATE83072T1
ATE83072T1 AT89201249T AT89201249T ATE83072T1 AT E83072 T1 ATE83072 T1 AT E83072T1 AT 89201249 T AT89201249 T AT 89201249T AT 89201249 T AT89201249 T AT 89201249T AT E83072 T1 ATE83072 T1 AT E83072T1
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flow
measuring
fluid
temperature
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AT89201249T
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Paul Jan Bernard Nijdam
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Brooks Instr Bv
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AT89201249T 1988-05-18 1989-05-17 Einrichtung zur messung des durchflusses von fluessigkeiten. ATE83072T1 (de)

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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8900474A (nl) * 1989-02-24 1990-09-17 Bronkhorst High Tech Bv Massa-debietmeter met temperatuursensoren.
US5237866A (en) * 1991-05-10 1993-08-24 Brooks Instrument B.V. Flow sensor for measuring high fluid flow rates
KR940011791B1 (ko) * 1992-04-15 1994-12-26 금성일렉트론주식회사 온도안정화 매스 플로우 컨트롤러 센서
DE4335332A1 (de) * 1993-10-18 1995-04-20 Bitop Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur insbesondere nicht invasiven Ermittlung mindestens eines interessierenden Parameters eines Fluid-Rohr-Systems
NL1001674C2 (nl) * 1995-11-17 1997-05-21 Berkin Bv Debietmeter.
US5868159A (en) * 1996-07-12 1999-02-09 Mks Instruments, Inc. Pressure-based mass flow controller
NL1014797C2 (nl) * 2000-03-30 2001-10-02 Berkin Bv Massadebietmeter.
DE10031813C2 (de) * 2000-06-30 2002-08-01 Fafnir Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen des Durchflusses eines Gasgemisches
JP4502256B2 (ja) * 2004-09-07 2010-07-14 株式会社山武 流量センサ
US8302471B2 (en) * 2005-12-02 2012-11-06 Melexis Nv Calorimetric flow meter having high heat conductivity strips
US20090077862A1 (en) 2007-09-25 2009-03-26 Schwab Scott D Lubricity additives and methods of producing lubricity additives
US7971480B2 (en) * 2008-10-13 2011-07-05 Hitachi Metals, Ltd. Mass flow controller having a first pair of thermal sensing elements opposing a second pair of thermal sensing elements
JP2013026283A (ja) * 2011-07-15 2013-02-04 Toshiba Corp 干渉露光装置
KR101261627B1 (ko) * 2011-12-07 2013-05-06 인제대학교 산학협력단 열 유속 측정 장치 및 이를 포함하는 열 유속 측정 시스템
DE102011120899B4 (de) * 2011-12-12 2015-08-20 Karlsruher Institut für Technologie Verfahren und Verwendung einer Vorrichtung zur Bestimmung des Massenstroms eines Fluids
DE102012201214A1 (de) * 2012-01-27 2013-08-01 Siemens Aktiengesellschaft Durchfluss-Sensor
DE102014101792A1 (de) * 2014-02-13 2015-08-13 Aixtron Se Vorrichtung zum Bestimmen des Massenflusses eines Gases beziehungsweise Gasgemisches mit ineinandergeschachtelten rohrförmigen Filamentanordnungen
JP2017173143A (ja) * 2016-03-24 2017-09-28 セイコーエプソン株式会社 流量検出装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2594618A (en) * 1945-08-11 1952-04-29 Atomic Energy Commission Thermal flowmeter
BE622482A (de) * 1962-08-31
US3650151A (en) * 1970-11-18 1972-03-21 Tylan Corp Fluid flow measuring system
DE2856289A1 (de) * 1978-12-27 1980-07-17 Babcock Bsh Ag Verfahren und vorrichtung zur thermischen massenstrommessung
EP0014934B1 (de) * 1979-02-17 1984-08-01 Battelle-Institut e.V. Vorrichtung zur Messung des Massenflusses und des Wärmeflusses sowie Verfahren zur Bestimmung des Massenflusses
NL7902313A (nl) * 1979-03-23 1980-09-25 Kema Nv Warmtehoeveelheidsmeter.
US4270386A (en) * 1979-08-23 1981-06-02 Teledyne, Inc. Indirectly heated thermal flowmeter
US4440021A (en) * 1980-07-29 1984-04-03 Abouchar John W Mass flow meter with reduced attitude sensitivity
US4484471A (en) * 1981-09-26 1984-11-27 Joshua Swithenbank Flow meters
US4686856A (en) * 1983-02-28 1987-08-18 Vavra Randall J Mass flow meter

Also Published As

Publication number Publication date
EP0342763B1 (de) 1992-12-02
CN1019146B (zh) 1992-11-18
DE68903678T2 (de) 1993-04-22
JP2559848B2 (ja) 1996-12-04
JPH0219715A (ja) 1990-01-23
DE68903678D1 (de) 1993-01-14
GR3006629T3 (de) 1993-06-30
CA1320359C (en) 1993-07-20
EP0342763A1 (de) 1989-11-23
ES2037393T3 (es) 1993-06-16
US4972707A (en) 1990-11-27
CN1038160A (zh) 1989-12-20

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