ATE79653T1 - Verfahren und vorrichtung zum behandeln eines langgestreckten beschichteten substrats, so behandelte substrate und artikel aus polymerischen materialien, verstaerkt mit diesen substraten. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum behandeln eines langgestreckten beschichteten substrats, so behandelte substrate und artikel aus polymerischen materialien, verstaerkt mit diesen substraten.

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ATE79653T1
ATE79653T1 AT87201958T AT87201958T ATE79653T1 AT E79653 T1 ATE79653 T1 AT E79653T1 AT 87201958 T AT87201958 T AT 87201958T AT 87201958 T AT87201958 T AT 87201958T AT E79653 T1 ATE79653 T1 AT E79653T1
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coated substrate
elonged
articles
treated
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AT87201958T
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Wilfried Coppens
Hugo Lievens
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Bekaert Sa Nv
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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AT87201958T 1986-10-31 1987-10-12 Verfahren und vorrichtung zum behandeln eines langgestreckten beschichteten substrats, so behandelte substrate und artikel aus polymerischen materialien, verstaerkt mit diesen substraten. ATE79653T1 (de)

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DE (1) DE3781245T2 (de)
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