ATE53371T1 - Ultrasauberes epitaxiales silicium und verfahren zu dessen herstellung. - Google Patents

Ultrasauberes epitaxiales silicium und verfahren zu dessen herstellung.

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ATE53371T1
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ultraclean epitxial
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PCT/US1983/001043 WO1984000353A1 (en) 1982-07-12 1983-07-11 Ultra-pure epitaxial silicon

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