ATE522844T1 - Verfahren zur aufbringung einer polymerschicht auf eine fläche einer unterlage, die mindestens eine vertiefte zone umfasst - Google Patents

Verfahren zur aufbringung einer polymerschicht auf eine fläche einer unterlage, die mindestens eine vertiefte zone umfasst

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ATE522844T1
ATE522844T1 AT08354001T AT08354001T ATE522844T1 AT E522844 T1 ATE522844 T1 AT E522844T1 AT 08354001 T AT08354001 T AT 08354001T AT 08354001 T AT08354001 T AT 08354001T AT E522844 T1 ATE522844 T1 AT E522844T1
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liquid mixture
applying
polymer layer
recessed zone
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AT08354001T
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Christiane Puget
David Henry
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Commissariat Energie Atomique
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/162—Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner

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