ATE443872T1 - Verfahren und vorrichtung zur verarbeitung von analogen ausgangssignalen von kapazitiven sensoren - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur verarbeitung von analogen ausgangssignalen von kapazitiven sensoren

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ATE443872T1 AT01998839T AT01998839T ATE443872T1 AT E443872 T1 ATE443872 T1 AT E443872T1 AT 01998839 T AT01998839 T AT 01998839T AT 01998839 T AT01998839 T AT 01998839T AT E443872 T1 ATE443872 T1 AT E443872T1
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Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10233604A1 (de) * 2002-07-24 2004-02-19 Alfred Brühn Parametrische Verstärkungstechnik als Verfahren zur hochempfindlichen Phasenmessung in Vorrichtungen und Geräten als universelle Sensor- und Brückenverstärker
DE10307950B4 (de) * 2003-02-25 2005-10-27 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Einrichtung zur Überwachung einer rotierenden Welle und/oder daran angebrachter Elemente
DE10321962B4 (de) * 2003-05-15 2005-08-18 Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zum Simulieren einer Drehrate und Verwendung von simulierten Drehraten zur initialen Kalibrierung von Drehratensensoren oder zur In-Betrieb-Nachkalibrierung von Drehratensensoren
DE102004003181B3 (de) * 2004-01-22 2005-08-11 Robert Bosch Gmbh Mikromechanischer Sensor mit einer Auswerteschaltung
JP4411529B2 (ja) * 2004-08-05 2010-02-10 株式会社デンソー 振動型角速度センサ
JP4600031B2 (ja) * 2004-12-17 2010-12-15 パナソニック電工株式会社 角速度検出装置
KR100688527B1 (ko) * 2005-02-03 2007-03-02 삼성전자주식회사 아날로그 반도체 장치를 테스트하는 디지털 테스트 장치
US7477711B2 (en) * 2005-05-19 2009-01-13 Mks Instruments, Inc. Synchronous undersampling for high-frequency voltage and current measurements
US8059102B2 (en) * 2006-06-13 2011-11-15 N-Trig Ltd. Fingertip touch recognition for a digitizer
JP5324440B2 (ja) 2006-07-12 2013-10-23 エヌ−トリグ リミテッド デジタイザのためのホバリングおよびタッチ検出
US8686964B2 (en) * 2006-07-13 2014-04-01 N-Trig Ltd. User specific recognition of intended user interaction with a digitizer
JP4816346B2 (ja) * 2006-09-06 2011-11-16 トヨタ自動車株式会社 容量変化検出装置およびその方法
DE102006055589B4 (de) 2006-11-24 2012-07-19 Infineon Technologies Ag Messvorrichtung und Messgrößensensor mit gekoppelter Verarbeitungs- und Anregungsfrequenz
JP4591580B2 (ja) * 2008-02-07 2010-12-01 株式会社デンソー 周期信号処理装置
JP2009258009A (ja) 2008-04-18 2009-11-05 Panasonic Corp 物理量検出回路およびそれを備える物理量センサ装置
US20100079170A1 (en) * 2008-09-29 2010-04-01 Infineon Technologies Ag Apparatus and method for the analysis of a periodic signal
JP4879252B2 (ja) * 2008-12-03 2012-02-22 日立オートモティブシステムズ株式会社 角速度検出装置
IT1392553B1 (it) * 2008-12-11 2012-03-09 St Microelectronics Rousset Dispositivo elettronico a capacita' variabile e dispositivo microelettromeccanico incorporante tale dispositivo elettronico
EP2616822B1 (en) 2010-09-18 2015-07-01 Fairchild Semiconductor Corporation Micromachined 3-axis accelerometer with a single proof-mass
KR20130057485A (ko) 2010-09-18 2013-05-31 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션 미세 전자 기계 시스템에 미치는 응력을 감소시키기 위한 패키징
EP2616389B1 (en) 2010-09-18 2017-04-05 Fairchild Semiconductor Corporation Multi-die mems package
EP2616771B8 (en) 2010-09-18 2018-12-19 Fairchild Semiconductor Corporation Micromachined monolithic 6-axis inertial sensor
KR101443730B1 (ko) 2010-09-18 2014-09-23 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션 미세기계화 다이, 및 직교 오차가 작은 서스펜션을 제조하는 방법
US9278845B2 (en) 2010-09-18 2016-03-08 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS multi-axis gyroscope Z-axis electrode structure
KR101311966B1 (ko) 2010-09-20 2013-10-14 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션 감소된 션트 커패시턴스를 갖는 관통 실리콘 비아
WO2012040211A2 (en) 2010-09-20 2012-03-29 Fairchild Semiconductor Corporation Microelectromechanical pressure sensor including reference capacitor
DE102010041967A1 (de) 2010-10-05 2012-04-05 Zf Friedrichshafen Ag Verfahren zum Ermitteln einer Neigung eines Fahrzeuges in Fahrtrichtung
US9062972B2 (en) 2012-01-31 2015-06-23 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS multi-axis accelerometer electrode structure
US8978475B2 (en) 2012-02-01 2015-03-17 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS proof mass with split z-axis portions
US9488693B2 (en) 2012-04-04 2016-11-08 Fairchild Semiconductor Corporation Self test of MEMS accelerometer with ASICS integrated capacitors
EP2648334B1 (en) 2012-04-05 2020-06-10 Fairchild Semiconductor Corporation Mems device front-end charge amplifier
EP2647955B8 (en) 2012-04-05 2018-12-19 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS device quadrature phase shift cancellation
US9069006B2 (en) 2012-04-05 2015-06-30 Fairchild Semiconductor Corporation Self test of MEMS gyroscope with ASICs integrated capacitors
EP2647952B1 (en) 2012-04-05 2017-11-15 Fairchild Semiconductor Corporation Mems device automatic-gain control loop for mechanical amplitude drive
US9094027B2 (en) 2012-04-12 2015-07-28 Fairchild Semiconductor Corporation Micro-electro-mechanical-system (MEMS) driver
US9625272B2 (en) 2012-04-12 2017-04-18 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS quadrature cancellation and signal demodulation
DE102013014881B4 (de) 2012-09-12 2023-05-04 Fairchild Semiconductor Corporation Verbesserte Silizium-Durchkontaktierung mit einer Füllung aus mehreren Materialien
DE102013100045B4 (de) * 2012-12-18 2022-07-14 Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co Kg Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Prozessgröße
US9644963B2 (en) 2013-03-15 2017-05-09 Fairchild Semiconductor Corporation Apparatus and methods for PLL-based gyroscope gain control, quadrature cancellation and demodulation
US9668035B2 (en) * 2014-04-18 2017-05-30 Rosemount Aerospace, Inc. Microelectromechanical rate sensor
DE102016207987A1 (de) * 2016-05-10 2017-11-16 Robert Bosch Gmbh Sensor- und/oder Aktorvorrichtung und Verfahren zum Versetzen einer seismischen Masse in harmonische Schwingungen
US20180335458A1 (en) * 2017-05-18 2018-11-22 Cirrus Logic International Semiconductor Ltd. Capacitance sensor
DE102020213286A1 (de) * 2020-10-21 2022-04-21 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren zur Bestimmung einer Phasenlage eines Drehratensignals oder eines Quadratursignals, Verfahren zur Anpassung einer Demodulationsphase und Drehratensensor
CN118707135B (zh) * 2024-06-06 2025-11-04 浙江大学 一种可变量程的摆式加速度计差分电容测量电路的制作方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4253066A (en) * 1980-05-13 1981-02-24 Fisher Charles B Synchronous detection with sampling
US4509017A (en) * 1981-09-28 1985-04-02 E-Systems, Inc. Method and apparatus for pulse angle modulation
US4547737A (en) * 1983-07-29 1985-10-15 Rca Corporation Demodulator of sampled data FM signals from sets of four successive samples
US5258720A (en) * 1984-03-02 1993-11-02 Itt Corporation Digital sample and hold phase detector
US4613974A (en) * 1984-03-16 1986-09-23 Vokac Peter R Method and system for modulating a carrier signal
US5142286A (en) * 1990-10-01 1992-08-25 General Electric Company Read-out photodiodes using sigma-delta oversampled analog-to-digital converters
US5162723A (en) * 1991-02-11 1992-11-10 Hewlett-Packard Company Sampling signal analyzer
US5461916A (en) * 1992-08-21 1995-10-31 Nippondenso Co., Ltd. Mechanical force sensing semiconductor device
US5459432A (en) * 1993-07-22 1995-10-17 Rockwell International Corporation Use of a chopper and a sigma-delta modulator for downconverting and digitizing an analog signal including information modulated by a carrier
US5512843A (en) * 1993-11-15 1996-04-30 Martin Marietta Energy Systems, Inc. Monitoring method and apparatus using high-frequency carrier
US5495204A (en) * 1994-12-19 1996-02-27 Bei Electronics, Inc. Digital FM demodulator and method with enhanced resolution
DE4447005A1 (de) * 1994-12-29 1996-07-04 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate
US5805583A (en) * 1995-08-25 1998-09-08 Terayon Communication Systems Process for communicating multiple channels of digital data in distributed systems using synchronous code division multiple access
DE19653021A1 (de) * 1996-12-19 1998-06-25 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate
DE19653020A1 (de) * 1996-12-19 1998-06-25 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate
DE10107547A1 (de) * 2001-02-17 2002-08-29 Bosch Gmbh Robert Verfahren und Vorrichtung zur Synchronmodulation mehrfach modulierter Signale

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US7054778B2 (en) 2006-05-30
EP1337861A1 (de) 2003-08-27

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