ATE162412T1 - Verfahren zur transformierung eines flüssigkeitsstromes in einen gasstrom und vorrichtung zur durchführung dieses verfahrens - Google Patents

Verfahren zur transformierung eines flüssigkeitsstromes in einen gasstrom und vorrichtung zur durchführung dieses verfahrens

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ATE162412T1
ATE162412T1 AT93200361T AT93200361T ATE162412T1 AT E162412 T1 ATE162412 T1 AT E162412T1 AT 93200361 T AT93200361 T AT 93200361T AT 93200361 T AT93200361 T AT 93200361T AT E162412 T1 ATE162412 T1 AT E162412T1
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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