ATE110163T1 - Verfahren und vorrichtung für das messen des alignierungszustandes. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung für das messen des alignierungszustandes.

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ATE110163T1
ATE110163T1 AT90306276T AT90306276T ATE110163T1 AT E110163 T1 ATE110163 T1 AT E110163T1 AT 90306276 T AT90306276 T AT 90306276T AT 90306276 T AT90306276 T AT 90306276T AT E110163 T1 ATE110163 T1 AT E110163T1
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AT
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measurement
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sensor units
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alignment
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AT90306276T
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Raimo Mattila
Original Assignee
Imatran Voima Oy
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
    • G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means

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