AT525939A3 - Positioniervorrichtung und Verfahren zum Positionieren eines Gegenstandes - Google Patents

Positioniervorrichtung und Verfahren zum Positionieren eines Gegenstandes

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AT525939A3 ATA50106/2022A AT501062022A AT525939A3 AT 525939 A3 AT525939 A3 AT 525939A3 AT 501062022 A AT501062022 A AT 501062022A AT 525939 A3 AT525939 A3 AT 525939A3
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Positioniervorrichtung (1) zum Positionieren eines Gegenstandes, aufweisend: ein bewegliches Positionierungsteil (3); ein feststehendes Basisteil (2) mit einem ersten Permanentmagneten (5) zur Ausübung einer permanentmagnetischen Haltekraft (FHalte) von dem Basisteil (2) auf das Positionierungsteil (3), wobei der erste Permanentmagnet (5) eine erste Koerzitivfeldstärke (Hc1) besitzt; einen Aktuator (8) zum Verändern einer Position (P) des Positionierungsteils (3); und eine Regelungseinrichtung (9), die dazu eingerichtet ist, die Position (P) des Positionierungsteils (3) mit Hilfe des Aktuators (8) zu regeln, wobei das Basisteil (2) einen zweiten Permanentmagneten (6) mit einer im Vergleich zur ersten Koerzitivfeldstärke (Hc1) geringeren zweiten Koerzitivfeldstärke (Hc2) und eine elektrische Einstellwicklung (14) aufweist, wobei mit Hilfe der Einstellwicklung (14) die Magnetisierung des zweiten Permanentmagneten (6) einstellbar ist, um die permanentmagnetische Haltekraft (FHalte) von dem Basisteil (2) auf das Positionierungsteil (3) zu verändern. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Positionierverfahren.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015201096A1 (de) * 2015-01-22 2016-07-28 Carl Zeiss Smt Gmbh Anordnung zur Halterung eines Bauteils in einer Lithographieanlage sowie Lithographieanlage
US20190278102A1 (en) * 2016-07-25 2019-09-12 Optotune Ag Optical device for enhancing resolution of an image using multistable states

Patent Citations (2)

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DE102015201096A1 (de) * 2015-01-22 2016-07-28 Carl Zeiss Smt Gmbh Anordnung zur Halterung eines Bauteils in einer Lithographieanlage sowie Lithographieanlage
US20190278102A1 (en) * 2016-07-25 2019-09-12 Optotune Ag Optical device for enhancing resolution of an image using multistable states

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