AT522016B1

AT522016B1 - Nadelkarte

Info

Publication number: AT522016B1
Application number: ATA9/2019A
Authority: AT
Inventors: Gaggl Dipl -Ing Dr Rainer
Original assignee: Rainer Gaggl Dipl Ing Dr
Priority date: 2019-01-14
Filing date: 2019-01-14
Publication date: 2025-12-15
Also published as: AT522016A1; WO2020148227A1

Abstract

Eine Nadelkarte (1) zum Prüfen von Bauteilen (9) unter Gasatmosphäre weist eine Kammer (2) auf, in der über eine Leitung (11) durch eine Öffnung (13) beim Prüfen von Gassensoren Prüfgas und beim Prüfen von Wafern mit Chips Schutzgas zugeführt wird. Die Nadelkarte (1) weist in dem die Kammer (2) seitlich begrenzenden Ring (4) Kanäle (15) auf, die in Öffnungen (14) in der Stirnfläche (7) des Ringes (4) münden. Die Kanäle (15) münden in einen Sammelkanal (16), durch den über eine Leitung (17) Gas aus einem Spalt (8) zwischen der Nadelkarte (1) und dem zu prüfenden Bauteil (9) und gegebenenfalls in den Spalt (8) eintretende Luft abgezogen wird.

Description

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Beschreibung

[0001] Die Erfindung betrifft eine Nadelkarte zum Prüfen von elektrischen/elektronischen Bauteilen unter Gasatmosphäre.

[0002] Beim Prüfen von Halbleiter-Bauelementen, beispielsweise Wafern, wird häufig so vorgegangen, dass das Prüfen des Halbleiter-Bauteils unter Schutzgasatmosphäre ausgeführt wird.

[0003] Auch das Prüfen von Gassensoren mit Hilfe von Nadelkarten wird ausgeführt, indem in dem zu prüfenden Bereich ein Prüfgas (Testgas) vorliegt.

[0004] Bei den bekannten Vorrichtungen zum Prüfen von elektrischen/elektronischen Bauteilen unter Gasatmosphäre ergibt sich das Problem, dass Schutzgas und/oder Prüfgas unkontrolliert austritt, was nicht nur zu Verlusten an Gas führt, sondern auch problematisch ist, wenn das Gas (Schutzgas oder Prüfgas) gesundheitsgefährdend oder giftig ist.

[0005] DE 20 2013 005 907 U1 zeigt und beschreibt eine Vorrichtung zum elektrischen Prüfen von elektrischen Prüflingen, insbesondere von Wafern. Die bekannte Vorrichtung besitzt einen Prüfkopf, in dem Prüfkontakte zum elektrischen Kontaktieren des Prüflings vorgesehen sind. In der Wandung des als Kammer ausgebildeten Prüfkopfes ist eine Auslassöffnung zum Ausbringen von Schutzgas in einen Kontaktierbereich vorgesehen, um in dem Kontaktierbereich die gewünschte Konzentration des Schutzgases und/oder die Strömungsgeschwindigkeit des Schutzgases einzustellen.

[0006] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Nadelkarte der eingangs genannten Gattung zur Verfügung zu stellen, mit der zuverlässig verhindert ist, dass Schutzgas oder Prüfgas, das die Gasatmosphäre bildet, unkontrolliert austritt.

[0007] Gelöst wird diese Aufgabe erfindungsgemäß mit einer Nadelkarte, die die Merkmale von Anspruch 1 aufweist.

[0008] Bevorzugte und vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Nadelkarte sind Gegenstand der Unteransprüche.

[0009] Da bei der erfindungsgemäßen Nadelkarte nicht nur eine Leitung zum Zuführen des die Gasatmosphäre bildenden Gases, sondern auch wenigstens eine Leitung zum Abziehen von Gas vorgesehen ist, kann überschüssiges Schutzgas oder Prüfgas („Testgas“) abgesaugt werden, bevor es durch den Spalt zwischen der Nadelkarte und dem zu prüfenden Bauteil (Wafer oder Gassensor) unkontrolliert austritt.

[0010] Beim Verwenden der erfindungsgemäßen Nadelkarte kann auch so gearbeitet werden, dass die Leistung des Absaugens aus der Kammer höher ist als die Leistung des Zuführens von Gas (Schutzgas oder Prüfgas) in die Kammer, was den vorteilhaften Effekt hat, dass durch den Spalt zwischen der Nadelkarte und dem zu prüfenden Bauteil Luft einströmt und durch die Leitung zum Abziehen von Gas abgezogen wird. Dies verhindert das unkontrollierte Ausströmen von Gas (Schutzgas oder Prüfgas) aus der Gasatmosphäre.

[0011] In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Leitung zum Zuführen von Gas (Schutzgas oder Prüfgas) in die Kammer der Nadelkarte, in welcher Kammer die Gasatmosphäre vorliegt, in der Mitte der Nadelkarte vorgesehen.

[0012] Insbesondere bei dieser Ausführungsform ist es bevorzugt, wenn mehrere Öffnungen zum Abziehen von Gas (Schutzgas oder Prüfgas) aus der Kammer mit Gasatmosphäre vorgesehen sind, die bevorzugt rings um das Zentrum der Kammer bzw. der Nadelkarte vorgesehen sind.

[0013] Beispielsweise ist vorgesehen, dass von der Stirnfläche der ringförmigen Seitenwand der Kammer mehrere Kanäle ausgehen, die zu einem ringförmigen Kanal führen, an dem wenigstens eine Leitung zum Abziehen von Gas angeschlossen ist.

[0014] Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels, das schematisch in der angeschlossenen Zeichnung

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im Schnitt dargestellt ist.

[0015] Eine Nadelkarte 1 besitzt eine Kammer 2, die durch eine obere Platte 3 und seitlich durch einen Ring 4 begrenzt ist. An der von der Platte 3 abgekehrten Seite des Ringes 4 sind Prüfnadeln 5 vorgesehen, die durch Kunststoffmasse 6 an dem Ring 4 festgelegt sind.

[0016] Die freie Stirnfläche 7 des Ringes 4, die von der Kunststoffmasse 6 gebildet wird, ist mit einen Spalt 8 bildenden Abstand von einem Wafer als zu prüfenden Bauteil 9 angeordnet, der auf einem beliebigen Träger 10 aufliegend angeordnet ist.

[0017] In der Deckplatte 3 der Kammer 2 mündet mit einer Öffnung 13 eine Leitung 11, durch die das zum Bilden der Gasatmosphäre in der Kammer 2 vorgesehene Gas (Schutzgas, Prüfgas) zugeführt wird.

[0018] Das zugeführte Gas verteilt sich in der Kammer 2, wie dies durch die Pfeile 12 angedeutet ist.

[0019] Von der Stirnfläche 7 des Ringes 4 gehen von Öffnungen 14 Kanäle 15 aus, die in einem ringförmigen Sammelkanal 16 in der Deckplatte 3 münden. Von dem Sammelkanal 16 geht wenigstens eine Leitung 17 aus, durch die Gas abgesaugt wird.

[0020] Bei einer bevorzugten Betriebsweise der beschriebenen Nadelkarte 1 wird die Leistung des Zuführens von Gas (Menge an Gas je Zeiteinheit), das in der Kammer 2 die Gasatmosphäre bilden soll, so gewählt, dass weniger Gas zugeführt wird, als durch die eine Leitung 17 abgezogen (abgesaugt) wird. Diese Betriebsweise der Nadelkarte 1 (es wird in der Zeiteinheit der Kammer 2 weniger Gas zugeführt als Gas abgezogen wird) hat den vorteilhaften Effekt, dass sich eine Strömung von Luft in Richtung der Pfeile 19 durch den Spalt 8 zu den Öffnungen 14 der Kanäle 15 ergibt, sodass der Austritt von Gas der Gasatmosphäre durch den Spalt 8 zuverlässig verhindert ist. Dabei besteht keine Gefahr, dass Luft in die Kammer 2 eindringt und die Gasatmosphäre in dieser Kammer 2 beeinträchtigt, weil Luft, bevor sie in die Kammer 2 gelangen kann, aus dem Spalt 8 durch die Kanäle 15 abgesaugt wird.

[0021] Zusammenfassend kann ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wie folgt beschrieben werden:

[0022] Eine Nadelkarte 1 zum Prüfen von Bauteilen 9 unter Gasatmosphäre weist eine Kammer 2 auf, in der über eine Leitung 11 durch eine Öffnung 13 beim Prüfen von Gassensoren Prüfgas und beim Prüfen von Wafern mit Chips Schutzgas zugeführt wird. Die Nadelkarte 1 weist in dem die Kammer 2 seitlich begrenzenden Ring 4 Kanäle 15 auf, die in Öffnungen 14 in der Stirnfläche 7 des Ringes 4 münden. Die Kanäle 15 münden in einen Sammelkanal 16, durch den über eine Leitung 17 Gas aus einem Spalt 8 zwischen der Nadelkarte 1 und dem zu prüfenden Bauteil 9 und gegebenenfalls in den Spalt 8 eintretende Luft abgezogen wird.

Claims

A ‚hes AT 522 016 B1 2025-12-15 Ss N Patentansprüche

1. Nadelkarte (1) zum Prüfen von elektrischen/elektronischen Bauteilen (9) unter Gasatmosphäre, gekennzeichnet durch eine Kammer (2), durch wenigstens eine Leitung (11) zum Zuführen des die Gasatmosphäre bildenden Gases, die an die Kammer (2) angeschlossen ist, und durch wenigstens eine an die Kammer (2) angeschlossene Leitung (17) zum Abziehen von Gas, wobei die Öffnung (14) der Kammer (2), an welche die Leitung (17) zum Abziehen von Gas angeschlossen ist, vom Zentrum der Kammer (2) einen größeren Abstand aufweist als die Öffnung (13), an welche die Leitung (11) zum Zuführen von Gas angeschlossen ist.

2. Nadelkarte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnung (13), von welcher die Leitung (11) zum Zuführen von Gas in die Kammer (2) ausgeht, in der Mitte der Kammer (2) vorgesehen ist.

3. Nadelkarte nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnung (14) , von welcher die Leitung (17) zum Abziehen von Gas aus der Kammer (2) wenigstens indirekt ausgeht, mit Abstand von der Mitte der Kammer (2) vorgesehen ist.

4. Nadelkarte nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Öffnungen (14), durch die Gas aus der Kammer (2) abgezogen wird, vorgesehen sind.

5. Nadelkarte nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnungen (14) rings um die Kammer (2) vorgesehen sind.

6. Nadelkarte nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnung (14) mit einem Sammelkanal (16) in Verbindung steht, an welchen die Leitung (17) zum Abziehen von Gas angeschlossen ist.

7. Nadelkarte nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Sammelkanal (16) ein ringförmiger Kanal ist, der in der Platte (3) der Nadelkarte (1) vorgesehen ist.

8. Nadelkarte nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnung (14), an welche die Leitung (17) zum Abziehen von Gas aus der Kammer (2) angeschlossen ist, in einem Ring (4), der die Kammer (2) seitlich begrenzt, vorgesehen ist.

9. Nadelkarte nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnung (14) in einer dem zu prüfenden Bauteil (9) zugekehrten Stirnfläche (7) des Ringes (4) vorgesehen ist.

10. Nadelkarte nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Leitung (11) zum Zuführen von Gas beim Prüfen von Halbleitern, wie Wafern, als Leitung (11) zum Zuführen von Schutzgas ausgebildet ist.

11. Nadelkarte nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Leitung (11) zum Zuführen von Gas beim Prüfen von Gassensoren als Leitung (11) zum Zuführen von Prüfgas ausgebildet ist.

12. Nadelkarte nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Stirnfläche (7) des Ringes (4) in Gebrauchslage der Nadelkarte (1) mit einen Spalt (8) bildendem Abstand vom zu prüfenden Bauteil (9) angeordnet ist.

13. Nadelkarte nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand 300 bis 500 Mikrometer beträgt.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen