AT515950B1

AT515950B1 - Schleifverfahren für plattenartiges Werkstück

Info

Publication number: AT515950B1
Application number: AT505802015A
Authority: AT
Original assignee: Disco Corp
Priority date: 2014-07-04
Filing date: 2015-07-03
Publication date: 2019-11-15
Also published as: JP2016016457A; AT515950A3; AT515950A2; JP6389660B2; DE102015212289A1

Abstract

In einem einleitenden Schleifschritt wird ein plattenartiges Werkstück, das auf einem Einspanntisch gehalten ist, unter Benutzung einer Schleifeinheit geschliffen, bis die Stärke des plattenartigen Werkstücks auf eine Stärke verringert ist, die größer als eine Endstärke ist. In einem Stärkemessschritt im Anschluss an den einleitenden Schleifschritt wird die Stärke des plattenartigen Werkstücks, das auf dem Einspanntisch gehalten ist, unter Benutzung einer Stärkemesseinheit an mehreren Messpositionen mit unterschiedlichem Abstand zur Drehachse des Einspanntischs gemessen. In einem Bestimmungsschritt im Anschluss an den Stärkemessschritt wird die Differenz zwischen einem Maximalwert und einem Minimalwert von mehreren Stärken, die im Stärkemessschritt gemessen wurden, berechnet, und es wird bestimmt, ob die oben berechnete Differenz zwischen dem Maximalwert und dem Minimalwert geringer als die oder gleich der Differenz zwischen einer zulässigen Maximalstärke und einer zulässigen Minimalstärke für die Endstärke ist oder nicht.

Description

[0001] Die vorliegende Erfindung betrifft ein Schleifverfahren zum Schleifen eines plattenartigen oder plattenförmigen Werkstücks zum Verringern der Stärke des plattenartigen Werkstücks.

BESCHREIBUNG DES STANDS DER TECHNIK [0002] Beim Schleifen eines plattenartigen Werkstücks zum Verringern der Stärke des plattenartigen Werkstücks wird die Stärke des plattenartigen Werkstücks während des Schleifens gemessen. Zu dem Zeitpunkt, an dem die Stärke des plattenartigen Werkstücks auf eine Zielstärke verringert ist, wird das Schleifen beendet. Ein Verfahren zum Messen der Stärke des plattenartigen Werkstücks enthält ein Verfahren, das Kontaktstärkemessmittel nutzt, wie in der japanischen Patentschrift Nr. 5025200 beschrieben, und ein Verfahren, das kontaktlose Stärkemessmittel nutzt, wie in der japanischen Patent-Auslegeschrift Nr. 2009-50944 beschrieben.

[0003] Es gibt jedoch einen Fall, in dem die Stärke des geschliffenen plattenartigen Werkstücks gemäß der radialen Position auf dem plattenartigen Werkstück variiert, d.h. gemäß dem Abstand zur Drehachse eines Einspanndrehtischs, der das plattenartige Werkstück hält. Zum Bewältigen derartiger Stärkevariationen des plattenartigen Werkstücks offenbart die japanische Patent-Auslegeschrift Nr. 2011-235388 eine Technik des Messens der Stärke eines plattenartigen Werkstücks, das auf einem Einspanndrehtisch gehalten ist, an mehreren Positionen mit unterschiedlichem Abstand zur Drehachse des Einspanntischs, Speichern der Messdaten zur Stärke des plattenartigen Werkstücks und Verwenden der Messdaten als Verwaltungsdaten zum Bestimmen, ob jedes Bauelement (Chip), das durch Aufteilen des plattenartigen Werkstücks erhalten wird, gut ist oder nicht. Ferner offenbart die japanische Patent-Auslegeschrift Nr. 2008-264913 eine Technik des Messens der Stärke eines plattenartigen Werkstücks, das auf einem Einspanndrehtisch gehalten ist, an mehreren Positionen mit unterschiedlichem Abstand zur Drehachse des Einspanntischs und Anpassens der Neigung des Einspanntischs gemäß den Messdaten zur Stärke des plattenartigen Werkstücks, um dadurch Stärkevariationen des plattenartigen Werkstücks zu vermindern.

KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG [0004] Bei dem Verfahren, das in der japanischen Patent-Auslegeschrift Nr. 2011-235388 beschrieben ist, können die Messdaten zur Stärke des plattenartigen Werkstücks zum Bestimmen verwendet werden, ob jedes Bauelement (Chip) gut ist oder nicht. Es gibt jedoch keine Garantie dafür, dass die Stärke jedes Chips innerhalb einer Zieltoleranz liegt, sodass der Ertrag nicht verbessert werden kann.

[0005] Ferner können bei dem Verfahren, das in der japanischen Patent-Auslegeschrift Nr. 2008-264913 beschrieben ist, Stärkevariationen des plattenartigen Werkstücks gemäß dem Abstand zur Drehachse des Einspanntischs durch Anpassen der Neigung des Einspanntischs verringert werden. Es gibt jedoch keine Garantie dafür, dass die Stärke jedes Chips innerhalb einer Zieltoleranz liegt.

[0006] Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Schleifverfahren für ein plattenartiges Werkstück vorzusehen, das die Anzahl der Chips, deren Stärke innerhalb der Toleranz liegt, maximiert, wobei die Chips durch Aufteilen eines plattenartigen Werkstücks erhalten werden, wodurch der Ertrag verbessert ist.

[0007] Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Schleifverfahren für ein plattenartiges Werkstück vorgesehen, das eine Schleifvorrichtung nutzt, die einen Einspanntisch zum Halten eines plattenartigen Werkstücks, Drehmittel zum Drehen des Einspanntischs, Schleifmittel mit einem Abriebglied zum Schleifen der oberen Oberfläche des plattenartigen Werkstücks,

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AT 515 950 B1 2019-11-15 österreichisches patentamt das auf dem Einspanntisch gehalten ist, wodurch die Stärke des plattenartigen Werkstücks verringert wird, Stärkemessmittel zum kontaktlosen Messen der Stärke des plattenartigen Werkstücks, das durch das Schleifmittel geschliffen wird, und Messpositionsbewegungsmittel zum Bewegen der Stärkemessmittel in der radialen Richtung des Einspanntischs enthält, wobei das Schleifverfahren für ein plattenartiges Werkstück einen einleitenden Schleifschritt des Schleifens des plattenartigen Werkstücks, das auf dem Einspanntisch gehalten ist, unter Benutzung des Schleifmittels, bis die Stärke des plattenartigen Werkstücks auf eine Stärke verringert ist, die größer als eine vorgegebene Endstärke ist, einen Stärkemessschritt des Messens der Stärke des plattenartigen Werkstücks, das auf dem Einspanntisch gehalten ist, unter Benutzung des Stärkemessmittels an mehreren Messpositionen mit unterschiedlichem Abstand zur Drehachse des Einspanntischs beim Bewegen des Stärkemessmittels in der radialen Richtung des Einspanntischs nach dem Durchführen des einleitenden Schleifschritts, einen Bestimmungsschritt des Berechnens der Differenz zwischen einem Maximalwert und einem Minimalwert von mehreren Stärken, die im Stärkemessschritt gemessen wurden, und des Bestimmens, ob die oben berechnete Differenz zwischen dem Maximalwert und dem Minimalwert geringer als die oder gleich der Differenz zwischen einer zulässigen Maximalstärke und einer zulässigen Minimalstärke für die vorgegebene Endstärke ist oder nicht; und einen Fertigschleifschritt des Anpassens eines Schleifbetrags für das plattenartige Werkstück gemäß dem Bestimmungsergebnis im Bestimmungsschritt und dann des Schleifens des plattenartigen Werkstücks gemäß dem Schleifbetrag unter Benutzung des Schleifmittels, um dadurch die Stärke des plattenartigen Werkstücks auf die vorgegebene Endstärke zu verringern, enthält.

[0008] Es wird das plattenartige Werkstück, wenn im Bestimmungsschritt bestimmt wird, dass die Differenz zwischen dem Maximalwert und dem Minimalwert geringer als die oder gleich der Differenz zwischen der zulässigen Maximalstärke und der zulässigen Minimalstärke ist, im Fertigschleifschritt geschliffen, bis der Minimalwert größer als die oder gleich der Minimalstärke wird und der Maximalwert geringer als die oder gleich der Maximalstärke wird.

[0009] Es wird das plattenartige Werkstück, wenn im Bestimmungsschritt bestimmt wird, dass die Differenz zwischen dem Maximalwert und dem Minimalwert größer als die Differenz zwischen der zulässigen Maximalstärke und der zulässigen Minimalstärke ist, im Fertigschleifschritt geschliffen, bis der Bereich von Abschnitten, in dem die Stärke des plattenartigen Werkstücks innerhalb des Bereichs von der zulässigen Maximalstärke zur zulässigen Minimalstärke liegt, maximal wird.

[0010] Gemäß dem Schleifverfahren der vorliegenden Erfindung wird die Endstärke im Fertigschleifschritt demgemäß gesteuert, ob der Stärkevariationsbereich des plattenartigen Werkstücks, das im einleitenden Schleifschritt geschliffen wurde, geringer als die oder gleich der Toleranz für die Endstärke ist oder nicht. Dementsprechend kann der Bereich von Abschnitten, wo die Stärke des plattenartigen Werkstücks innerhalb der Toleranz für die Endstärke liegt, maximiert werden. Infolgedessen kann von der Anzahl der Chips, die durch Aufteilen des plattenartigen Werkstücks erhalten sind, die Anzahl von Chips, deren Stärke innerhalb der Toleranz für die Endstärke liegt, maximiert werden, wodurch der Ertrag verbessert ist.

[0011] In dem Falle, in dem der Bereich von Stärkevariationen des plattenartigen Werkstücks, das im einleitenden Schleifschritt geschliffen wurde, geringer als die oder gleich der Toleranz für die Endstärke ist, wird das plattenartige Werkstück geschliffen, bis der Minimalwert größer als die oder gleich der Minimalstärke wird und der Maximalwert geringer als die oder gleich der Maximalstärke wird. Dementsprechend kann die Stärke des plattenartigen Werkstücks derart hergestellt werden, dass sie innerhalb der Toleranz an allen Positionen liegt. Infolgedessen können die Stärken von allen der Chips, die durch Aufteilen des plattenartigen Werkstücks erhalten sind, derart hergestellt sein, dass sie innerhalb der Toleranz liegen, wodurch der Ertrag verbessert ist.

[0012] In dem Falle, in dem der Bereich von Stärkevariationen des plattenartigen Werkstücks, der im einleitenden Schleifschritt geschliffen wurde, größer als die Toleranz für die Endstärke ist, wird das plattenartige Werkstück geschliffen, bis der Bereich von Abschnitten, wo die Stärke

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des plattenartigen Werkstücks innerhalb der Toleranz liegt, maximal wird. Dementsprechend kann von der Anzahl der Chips, die durch Aufteilen des plattenartigen Werkstücks erhalten sind, die Anzahl von Chips, deren Stärken innerhalb der Toleranz für die Endstärke liegen, maximiert sein, wodurch der Ertrag verbessert ist.

[0013] Die obigen und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art und Weise ihrer Ausführung gehen aus einer Prüfung der folgenden Beschreibung und beiliegenden Ansprüche unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen, die einige bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen, deutlicher hervor und verdeutlichen die Erfindung selbst am besten.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

[0014] FIG. 1 [0015] FIG. 2	ist eine Perspektivansicht einer Schleifvorrichtung; ist eine Perspektivansicht, die einen Einspanntisch, Schleifmittel und Stärkemessmittel zeigt;
[0016] FIG. 3	ist eine Teilschnittseitenansicht, die den Einspanntisch, Schleifmittel, Stärkemessmittel und Messpositionsbewegungsmittel zeigt;
[0017] FIG. 4	ist eine Obenansicht, die Messpositionen zeigt, an denen die Stärke des plattenartigen Werkstücks gemessen wird;
[0018] FIG. 5	ist ein Schaubild, das die Verteilung der Messpositionen in Bezug zum Abstand von der Mitte des plattenartigen Werkstücks und zum Drehwinkel des plattenartigen Werkstücks zeigt;
[0019] FIG. 6	ist ein Schaubild, das die Verteilung der Messpositionen in Bezug zum Abstand von der Mitte des plattenartigen Werkstücks und zum Abstand eines Messwegs zeigt;
[0020] FIG. 7	ist ein Schaubild, das die Stärke des plattenartigen Werkstücks zeigt, die in einem Messschritt gemessen wird;
[0021] FIG. 8	ist ein Schaubild, das ein erstes Beispiel der Stärke des plattenartigen Werkstücks zeigt, das in einem Fertigschleifschritt geschliffen wurde;
[0022] FIG. 9	ist ein Schaubild, das ein zweites Beispiel der Stärke des plattenartigen Werkstücks zeigt, das im Fertigschleifschritt geschliffen wurde; und
[0023] FIG. 10	ist ein Schaubild, das ein drittes Beispiel der Stärke des plattenartigen Werkstücks zeigt, das im Fertigschleifschritt geschliffen wurde.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN [0024] Unter Bezugnahme auf FIG. 1 ist eine Schleifvorrichtung 10 gezeigt. Die Schleifvorrichtung 10 ist eine Vorrichtung zum Schleifen eines plattenartigen Werkstücks, wie etwa eines Wafers, an dem mehrere Bauelemente ausgebildet sind, wodurch die Stärke des plattenartigen Werkstücks auf eine vorgegebene Stärke verringert wird. Die Schleifvorrichtung 10 enthält einen Roboter 111 zum Laden/Abladen des plattenartigen Werkstücks, Positionierungsmittel 12 zum Positionieren des plattenartigen Werkstücks vor dem Schleifen, Zufuhrmittel 112 zum Überführen des plattenartigen Werkstücks, das durch das Positionierungsmittel 12 positioniert wurde, drei Einspanntische 14a, 14b und 14c zum Halten des plattenartigen Werkstücks, das durch das Zufuhrmittel 112 überführt wurde, einen Drehtisch 13 zum Bewegen der Einspanntische 14a bis 14c, zwei Stücke von Schleifmitteln 15a und 15b zum Schleifen des plattenartigen Werkstücks, das auf den Einspanntischen 14a bis 14c gehalten ist, zwei Stücke von Aufgabemitteln 16a und 16b zum jeweiligen Bewegen der Schleifmittel 15a und 15b, zwei Stücke von Stärkemessmitteln 171 und 172 zum Messen der Stärke des plattenartigen Werkstücks, das auf den Einspanntischen 14a bis 14c gehalten ist, Rückholmittel 113 zum Überführen des plattenartigen Werkstücks nach dem Schleifen und Reinigungsmittel 18 zum Reinigen des plattenartigen

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Werkstücks, das durch das Rückholmittel 113 überführt wurde.

[0025] Der Roboter 111 fungiert zum Herausnehmen des plattenartigen Werkstücks, das in einer Kassette 21a gelagert ist, vor dem Schleifen und Überführen desselben zum Positionierungsmittel 12, und fungiert außerdem zum Überführen des plattenartigen Werkstücks, das durch das Reinigungsmittel 18 gereinigt wurde, nach dem Schleifen zu einer Kassette 21b und Lagern desselben in der Kassette 21b. Jeder der Einspanntische 14a bis 14c weist eine Haltefläche parallel zu einer XY-Ebene auf, die durch die ±X-Richtung und die ±Y-Richtung definiert ist. Die Haltefläche ist zum Halten des plattenartigen Werkstücks unter Saugwirkung geeignet. Jeder der Einspanntische 14a bis 14c ist durch Drehmittel 19 (siehe FIG. 3) zum Drehen um eine Achse parallel zur ±Z-Richtung senkrecht zur XY-Ebene drehbar.

[0026] Der Drehtisch 13 ist um eine Achse parallel zur ±Z-Richtung drehbar. Die Einspanntische 14a bis 14c befinden sich auf einer oberen Oberfläche des Drehtischs 13 parallel zur XYEbene an drei Positionen gleich beabstandet zur Mitte (Achse) des Drehtischs 13 in der radialen Richtung und gleich beabstandet zueinander in der Umfangsrichtung. Durch die Drehung des Drehtischs 13 wird jeder der Einspanntische 14a bis 14c zum selektiven Einnehmen einer Lade-/Abladeposition, in der das plattenartige Werkstück vor dem Schleifen durch das Zufuhrmittel 12 geladen wird oder nach dem Schleifen durch das Rückholmittel 113 abgeladen wird, einer ersten Schleifposition, in der das plattenartige Werkstück durch das Schleifmittel 15a geschliffen wird, und einer zweiten Schleifposition bewegt, in der das plattenartige Werkstück durch das Schleifmittel 15b geschliffen wird.

[0027] Das Zufuhrmittel 112 fungiert zum Überführen des plattenartigen Werkstücks, das durch das Positionierungsmittel 12 positioniert wurde, zu einem der Einspanntische 14a bis 14c, der an der Lade-/Abladeposition eingerichtet ist. Dementsprechend ist das plattenartige Werkstück auf einem der Einspanntische 14a bis 14c in dem Zustand gehalten, in dem die Mitte des plattenartigen Werkstücks mit der Mitte (Achse) des Einspanntischs zusammenfällt, welcher an der Lade-/Abladeposition eingerichtet ist.

[0028] Jedes der Schleifmittel 15a und 15b enthält eine Drehwelle, die in der ±Z-Richtung verläuft, eine Anbringung 150, die am unteren Ende der Drehwelle Befestigt ist, und eine Schleifscheibe 151, die an der unteren Oberfläche der Anbringung 150 angebracht ist. Mehrere Abriebglieder 22 sind an der unteren Oberfläche der Schleifscheibe 151 befestigt. Die Abriebglieder 22 im Schleifmittel 15a sind zum Grobschleifen bestimmt, während die Abriebglieder 22 im Schleifmittel 15b zum Fertigschleifen bestimmt sind. Obgleich die Schleifvorrichtung 10, die in FIG. 1 gezeigt ist, die zwei Stücke von Schleifmitteln 15a und 15b enthält, kann die in der vorliegenden Erfindung nutzbare Schleifvorrichtung ein einzelnes Schleifmittel enthalten. In diesem Falle kann der Drehtisch 13 weggelassen sein.

[0029] Jedes der Aufgabemittel 16a und 16b enthält eine Kugelumlaufspindel 160, die in der ±Z-Richtung verläuft, eine Führungsschiene 161, die parallel zur Kugelumlaufspindel 160 verläuft, einen Motor 162 zum Drehen der Kugelumlaufspindel 160 und ein bewegliches Glied 163, das durch die Drehung der Kugelumlaufspindel 160 wie durch die Führungsschiene 161 geführt in der ±Z-Richtung beweglich ist. Das bewegliche Glied 163 des Aufgabemittels 16a ist am Schleifmittel 15a befestigt, und das bewegliche Glied 163 des Aufgabemittels 16b ist am Schleifmittel 15b befestigt. Dementsprechend wird, wenn der Motor 162 zum Drehen der Kugelumlaufspindel 160 betrieben wird, das bewegliche Glied 163 in der ±Z-Richtung bewegt, um dadurch jedes der Schleifmittel 15a und 15b vertikal zu bewegen. Genauer gesagt werden, wenn das Aufgabemittel 16a zum Bewegen des Schleifmittels 15a in der -Z- Richtung betrieben wird, die Abriebglieder 22 im Schleifmittel 15a in Angrenzung an die obere Oberfläche des plattenartigen Werkstücks gebracht, das auf einem der Einspanntische 14a bis 14c gehalten ist, der an der ersten Schleifposition eingerichtet ist, wobei die Schleifscheibe 151 im Schleifmittel 15a gedreht wird und der Einspanntisch 14 (der einen der Einspanntische 14a bis 14c darstellt), der an der ersten Schleifposition eingerichtet ist, ebenfalls gedreht wird, wodurch Grobschleifen am plattenartigen Werkstück ausgeführt wird. Gleicherweise werden, wenn das Aufgabemittel 16b zum Bewegen des Schleifmittels 15b in der -Z-Richtung betrieben wird, die Abriebglieder

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AT 515 950 B1 2019-11-15 österreichisches patentamt im Schleifmittel 15b in Angrenzung an die obere Oberfläche des plattenartigen Werkstücks gebracht, das auf einem der Einspanntische 14a bis 14c gehalten ist, der an der zweiten Schleifposition eingerichtet ist, wobei die Schleifscheibe 151 im Schleifmittel 15b gedreht wird und der Einspanntisch 14, der an der zweiten Schleifposition eingerichtet ist, ebenfalls gedreht wird, wodurch Fertigschleifen am plattenartigen Werkstück ausgeführt wird.

[0030] Das Stärkemessmittel 171 ist ein Kontaktstärkemessmittel, wie beispielsweise in der japanischen Patentschrift Nr. 5025200 beschrieben. Das Stärkemessmittel 171 weist zwei Kontaktglieder auf, wobei eines der zwei Kontaktglieder mit der oberen Oberfläche des plattenartigen Werkstücks tritt und das andere Kontaktglied mit der oberen Oberfläche des Einspanntischs 14 tritt, der an der ersten Schleifposition eingerichtet ist. Die Höhendifferenz zwischen den zwei Kontaktgliedern wird als die Stärke des plattenartigen Werkstücks bestimmt, das auf dem Einspanntisch 14 gehalten ist, der an der ersten Schleifposition eingerichtet ist. Das Stärkemessmittel 171 kann die Stärke des plattenartigen Werkstücks während des Schleifens des plattenartigen Werkstücks durch das Schleifmittel 15a messen.

[0031] Das Stärkemessmittel 172 ist ein kontaktloses Stärkemessmittel, wie beispielsweise in der japanischen Patent-Auslegeschrift Nr. 2009-50944 beschrieben. Das Stärkemessmittel 172 fungiert zum Messen der Stärke des plattenartigen Werkstücks, das auf dem Einspanntisch 14 gehalten ist, der an der zweiten Schleifposition eingerichtet ist. Das Stärkemessmittel 172 kann die Stärke des plattenartigen Werkstücks während des Schleifens des plattenartigen Werkstücks durch das Schleifmittel 15b messen. Da das Stärkemessmittel 172 kontaktlos ist, kann Verkratzen der oberen Oberfläche des plattenartigen Werkstücks vermieden werden.

[0032] Wie in FIG. 2 gezeigt, enthält das Stärkemessmittel 172 einen Messabschnitt 721 zum Messen der Stärke eines plattenartigen Werkstücks 30, das auf dem Einspanntisch 14 gehalten ist, einen Armabschnitt 722 zum Stützen des Messabschnitts 721 und einen Wellenabschnitt 723 zum Stützen des Armabschnitts 722. Der Einspanntisch 14 stellt einen der Einspanntische 14a bis 14c dar, die in FIG. 1 gezeigt sind.

[0033] Der Wellenabschnitt 723 ist um eine Achse 729 (siehe FIG. 3) parallel zur ±Z-Richtung drehbar. Der Wellenabschnitt 723 wird durch Messpositionsbewegungsmittel 173 (siehe FIG. 3) bewegt, wodurch er den Armabschnitt 722 schwenkt. Infolgedessen kommt es zu einer Änderung der Messposition, an der der Messabschnitt 721, der sich am Vorderende des Armabschnitts 722 befindet, die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 misst. Dementsprechend wird durch Betreiben des Messpositionsbewegungsmittels 173 der Abstand zwischen der Messposition und der Drehachse des Einspanntischs 14 geändert.

[0034] Der Messabschnitt 721 ist zum Messen der Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 beispielsweise gemäß der Interferenz von Licht konfiguriert. Genauer gesagt erzeugt der Messabschnitt 721 Licht mit einer Transmissionswellenlänge zum plattenartigen Werkstück 30 und führt dieses Licht dem plattenartigen Werkstück 30 zu. Dieses Licht wird auf dem plattenartigen Werkstück 30 reflektiert, und resultierendes reflektiertes Licht vom plattenartigen Werkstück 30 wird durch den Messabschnitt 721 erkannt. Das Licht, das vom Messabschnitt 721 zugeführt werden soll, weist ein verhältnismäßig breites Spektrum auf, und das Licht wird sowohl auf der oberen Oberfläche des plattenartigen Werkstücks 30 als auch auf der unteren Oberfläche des plattenartigen Werkstücks 30 reflektiert, sodass Interferenz zwischen dem reflektierten Licht von der oberen Oberfläche des plattenartigen Werkstücks 30 und dem reflektierten Licht von der unteren Oberfläche des plattenartigen Werkstücks 30 auftritt. Durch Analysieren der spektralen Verteilung des Interferenzlichts aufgrund dieser Interferenz wird die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 gemessen. Dieses Messverfahren erfordert das Messen der Höhe der Haltefläche des Einspanntischs 14 nicht. Dementsprechend kann die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 an jeglicher Messposition akkurat gemessen werden, selbst wenn die Haltefläche des Einspanntischs 14 Unebenheiten aufweist.

[0035] Die Abriebglieder 22, die im Schleifmittel 15b enthalten sind, sind ringförmig entlang des Außenumfangs der Schleifscheibe 151 angeordnet. Wenn die Schleifscheibe 151 gedreht wird, werden die Abriebglieder 22 ebenfalls gedreht, sodass sie die Drehachse des Einspanntischs

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AT 515 950 B1 2019-11-15 österreichisches patentamt durchlaufen. Der Messabschnitt 721 in dem Bereich, in dem die Abriebglieder 22 nicht an die obere Oberfläche des plattenartigen Werkstücks 30 angrenzen. Dementsprechend kann die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 während des Schleifens des plattenartigen Werkstücks 30 durch das Schleifmittel 15b gemessen werden.

[0036] Wie in FIG. 3 gezeigt, enthält das Messpositionsbewegungsmittel 173 einen Motor 731, der zum Betrieb in Vorwärts- und Rückwärtsdrehrichtung geeignet ist, und einen Riemen 732 zum Übertragen des Drehmoments auf den Wellenabschnitt 723, sodass der Wellenabschnitt 723 durch den Betrieb des Motors 731 gedreht werden kann. Wenn das Messpositionsbewegungsmittel 173 zum Drehen des Wellenabschnitts 723 betrieben wird, wird die Messposition des Messabschnitts 721 in der radialen Richtung des Einspanntischs 14 bewegt. Demgegenüber wird, wenn das Drehmittel 19 zum Drehen des Einspanntischs 14 betrieben wird, das plattenartige Werkstück 30 gedreht, das auf dem Einspanntisch 14 gehalten ist. Dementsprechend kann der Messabschnitt 721 die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 an nahezu allen Positionen außer der zentralen Position des plattenartigen Werkstücks 30 messen.

[0037] Es wird nun ein Schleifverfahren zum Schleifen des plattenartigen Werkstücks 30 unter Benutzung der Schleifvorrichtung 10 beschrieben.

[0038] (1) Halteschritt [0039] Das plattenartige Werkstück 30 wird vom Roboter 111 aus der Kassette 21a genommen und dann zum Positionierungsmittel 12 überführt. Danach wird das plattenartige Werkstück 30 durch das Positionierungsmittel 12 an einer vorgegebenen Position eingerichtet und als Nächstes durch das Zufuhrmittel 112 zum Einspanntisch 14 an der Lade-/Abladeposition überführt. Das plattenartige Werkstück 30, das auf dem Einspanntisch 14 angeordnet ist, wird unter Saugwirkung darauf gehalten.

[0040] (2) Erster Schleifschritt [0041] Danach wird der Drehtisch 13 zum Bewegen des Einspanntischs 14, der das plattenartige Werkstück 30 hält, zur ersten Schleifposition gedreht. Danach wird das plattenartige Werkstück 30, das auf dem Einspanntisch 14 gehalten ist, durch das Schleifmittel 15a grobgeschliffen. Während dieses Grobschleifens wird die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 durch das Stärkemessmittel 171 gemessen. Wenn die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 eine vorgegebene Stärke wird, die größer als eine vorgegebene Endstärke ist, ist der erste Schleifschritt abgeschlossen.

[0042] (3) Zweiter Schleifschritt [0043] Danach wird der Drehtisch 13 zum Bewegen des Einspanntischs 14, der das plattenartige Werkstück 30 hält, welches durch das Schleifmittel 15a geschliffen wurde, zur zweiten Schleifposition gedreht. Danach wird das plattenartige Werkstück 30, das auf dem Einspanntisch 14 gehalten ist, an der zweiten Schleifposition durch das Schleifmittel 15b geschliffen. Während dieses Schleifens wird die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 durch das Stärkemessmittel 172 gemessen. Wenn die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 zur vorgegebenen Endstärke wird, ist der zweite Schleifschritt abgeschlossen. Der zweite Schleifschritt wird nun detaillierter beschrieben. Der zweite Schleifschritt setzt sich aus einem einleitenden Schleifschritt des Schleifens des plattenartigen Werkstücks 30, bis die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 eine vorgegebene Stärke wird, die größer als die Endstärke ist, einen Stärkemessschritt des Messens der Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 an mehreren Positionen mit unterschiedlichem Abstand zur Drehachse des Einspanntischs 14, einem Bestimmungsschritt des Bestimmens, wie das Fertigschleifen gemäß der Stärke, die im Stärkemessschritt gemessen wurde, auszuführen ist, und einem Fertigschleifschritt des Ausführens des Fertigschleifens gemäß dem Bestimmungsergebnis im Bestimmungsschritt zusammen.

[0044] (3-1) Einleitender Schleifschritt [0045] Das plattenartige Werkstück 30, das auf dem Einspanntisch 14 gehalten ist, wird durch das Schleifmittel 15b zum Verringern der Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 geschliffen.

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Während dieses einleitenden Schleifens wird die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 durch das Stärkemessmittel 172 gemessen. Wenn die Stärke, die durch das Stärkemessmittel 172 gemessen wird, eine vorgegebene Stärke wird, die größer als die Endstärke ist, ist der einleitende Schleifschritt abgeschlossen.

[0046] (3-2) Stärkemessschritt [0047] Die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30, das im einleitenden Schleifschritt geschliffen wurde, wird an mehreren Positionen durch das Stärkemessmittel 172 gemessen. Beispielsweise werden, wie in FIG. 4 gezeigt, mehrere Messpositionen 41a, 41b, 41c und 41 d auf mehreren konzentrischen Kreisen mit unterschiedlichem Durchmesser jeweils um die Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 eingerichtet, wobei die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 an diesen Messpositionen 41a bis 41 d durch das Stärkemessmittel 172 gemessen wird. Genauer gesagt wird der Messabschnitt 721 des Stärkemessmittels 172 durch das Messpositionsbewegungsmittel 173 in einem vorgegebenen Abstand zur Mitte des Einspanntischs 14 positioniert. In diesem Zustand wird der Einspanntisch 14 durch das Drehmittel 19 gedreht, und die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 wird in vorgegebenen Zeitintervallen durch das Stärkemessmittel 172 gemessen. Da die Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 mit der Mitte des Einspanntischs 14 zusammenfällt, kann die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 an mehreren Positionen gemessen werden, die auf einem ersten Kreis um die Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 eingerichtet sind.

[0048] Danach wird der Messabschnitt 721 des Stärkemessmittels 172 durch das Messpositionsbewegungsmittel 173 in der radialen Richtung des Einspanntischs 14 bewegt, wodurch der Abstand zwischen der Mitte des Messtischs 14 und der Messposition des Messabschnitts 172 geändert wird. In diesem Zustand wird der Drehtisch 14 durch das Drehmittel 19 gedreht, und die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 wird in vorgegebenen Zeitintervallen durch das Stärkemessmittel 172 gemessen. Dementsprechend kann die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 an mehreren Positionen gemessen werden, die auf einem zweiten Kreis mit abweichendem Durchmesser vom ersten Kreis um die Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 eingerichtet sind. Dieser Vorgang wird vorgegebene Male wiederholt. Infolgedessen kann die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 an mehreren Positionen gemessen werden, die auf jedem von mehreren konzentrischen Kreisen mit unterschiedlichem Durchmesser um die Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 eingerichtet sind. In FIG. 4 sind die mehreren konzentrischen Kreise durch die verschiedenen radialen Positionen 41a bis 41 d bezeichnet.

[0049] Wenn die Zeitintervalle des Messens der Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 durch das Messmittel 172 festgelegt sind und die Drehgeschwindigkeit des Einspanntischs 14, der durch das Drehmittel 19 gedreht werden soll, ebenfalls festgelegt ist, sind die Messpositionen 41a bis 41 d, an denen das Stärkemessmittel 172 die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 misst, wie in FIG. 5 gezeigt dargestellt, wobei alle der Messpositionen 41a bis 41 d dieselben Winkelintervalle (horizontale Achse) von umfänglichen Messpositionen unabhängig vom Abstand (vertikale Achse) zur Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 aufweisen.

[0050] Jedoch ist, wie in FIG. 6 gezeigt, der Abstand (horizontale Achse) eines Messwegs auf jedem der konzentrischen Kreise unterschiedlich. Das heißt, je länger der Abstand (vertikale Achse) zur Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 ist, desto größer ist die Länge jeden Kreises, d.h. des Messwegs, und daher ist die Beabstandung zwischen jeglichen benachbarten der umfänglichen Messpositionen desto größer. Anders gesagt, je länger der Abstand zur Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 ist, desto größer der Bereich von Abschnitten des plattenartigen Werkstücks 30, an denen die Stärke an den umfänglichen Messpositionen gemessen und durch Messwerte dargestellt wird. Umgekehrt ist, je kürzer der Abstand zur Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 ist, desto kleiner der Bereich von derartigen Abschnitten des plattenartigen Werkstücks 30. Unter Berücksichtigung dieser Tatsache wird der folgende Bestimmungsschritt gemäß dem Bereich von derartigen Abschnitten des plattenartigen Werkstücks 30 ausgeführt, der durch die Messwerte statt durch die Anzahl der Messwerte dargestellt ist. Alternativ kann derart Steuerung durchgeführt werden, dass die Beabstandung zwischen den umfänglichen

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Messpositionen auf dem Messweg unter den konzentrischen Kreisen gleich wird. Genauer gesagt kann diese Steuerung durch Ändern der Drehgeschwindigkeit des Einspanntischs 14 für die Messpositionen 41a bis 41 d oder durch Ändern der Abtastzeit für die Messpositionen 41a bis 41d durchgeführt werden. Beispielsweise ist die Drehgeschwindigkeit des Einspanntischs 14 bei einer Zunahme des Abstands zur Mitte des Einspanntischs 14 erhöht. Alternativ nimmt die Abtastzeit bei einer Zunahme des Abstands zur Mitte des Einspanntischs 14 ab. Infolgedessen wird die Messdichte auf dem Messweg unter den konzentrischen Kreisen gleich. In diesem Fall ist es nicht notwendig, den Abstand von der Mitte des Einspanntischs 14 zu jeder Messposition beim Berechnen des Medianwerts oder Durchschnitts von Messwerten der Stärke im folgenden Bestimmungsschritt zu multiplizieren. Der Medianwert ist ein Wert, der sich in der Mitte von mehreren Messwerten befindet. Beispielsweise wird in dem Fall, in dem fünf Messpositionen vorliegen, der dritte Wert bei Zählung ab dem größten Wert und ab dem kleinsten Wert als der Medianwert definiert. In dem Fall, in dem die Zahl von Messpositionen gerade ist, wird der Durchschnitt der zwei mittleren Werte als der Medianwert definiert. Beispielsweise wird in dem Fall, in dem sechs Messpositionen vorliegen, der Durchschnitt des dritten Werts bei Zählung ab dem größten Wert und des dritten Werts bei Zählung ab dem kleinsten Wert als der Medianwert definiert.

[0051] (3-3) Bestimmungsschritt [0052] Gemäß den mehreren Messwerten der Stärke, die im oben genannten Stärkemessschritt gemessen wurden, bestimmt eine Steuersektion (nicht gezeigt), wie etwa ein Rechner, der in der Schleifvorrichtung 10 eingegliedert ist, einen Schleifbetrag, um den das Fertigschleifen im nächsten Schritt durchgeführt werden soll. Beispielsweise bezeichnet Bezugszeichen 431 in FIG. 7 die mehreren Messwerte der Stärke, die im Stärkemessschritt gemessen wurden. Ein Minimalwert 432 und ein Maximalwert 433 werden zum Berechnen einer Differenz 434 zwischen dem Maximalwert 433 und dem Minimalwert 432 aus den mehreren Messwerten 431 extrahiert.

[0053] Bezugszeichen 421 in FIG. 7 bezeichnet eine Zielendstärke des plattenartigen Werkstücks 30. Die Zielendstärke 421 darf eine vorgegebene Toleranz aufweisen. Bezugszeichen

422 und 423 bezeichnen einen zulässigen Minimalwert (zulässige Minimalstärke) bzw. einen zulässigen Maximalwert (zulässige Maximalstärke). Eine Differenz (Toleranz) 424 zwischen dem zulässigen Maximalwert 423 und dem zulässigen Minimalwert 422 wird im Voraus gespeichert und mit der oben berechneten Differenz 434 verglichen.

[0054] Unter der Voraussetzung, dass der Fertigschleifschritt unter denselben Bedingungen wie jenen des vorhergehenden Schritts durchgeführt wird, kann die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 insgesamt um denselben Betrag verringert werden. Dementsprechend wird unter dieser Voraussetzung die Differenz zwischen einem Maximalwert und einem Minimalwert für die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 am Ende des Fertigschleifens gleich der Differenz 434.

[0055] Unter Bezugnahme auf FIG. 8 ist die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 am Ende des Fertigschleifens durch Bezugszeichen 441 angezeigt. Die Stärke 441 weist einen Maximalwert 443 und einen Minimalwert 442 auf, und die Differenz dazwischen ist durch Bezugszeichen 444 angezeigt. In dem Fall, in dem die Differenz 434, die FIG. 7 gezeigt ist, geringer als die oder gleich der Toleranz 424 ist, wird die Differenz 444, die in FIG. 8 gezeigt ist, geringer als die oder gleich der Toleranz 444, wie in FIG. 8 gezeigt. Dementsprechend wird der folgende Fertigschleifschritt derart ausgeführt, dass der Minimalwert 442 größer als die oder gleich der zulässigen Minimalstärke 422 wird und der Maximalwert 443 geringer als die oder gleich der zulässigen Maximalstärke 423 wird. Infolgedessen kann die Stärke 441 des plattenartigen Werkstücks 30 derart hergestellt werden, dass sie innerhalb der Toleranz 424 an allen Positionen auf dem plattenartigen Werkstück 30 liegt. Die Differenz, die durch Subtrahieren der zulässigen Minimalstärke 422 vom Minimalwert 432, der in FIG. 7 gezeigt ist, erhalten wird, wird als ein maximaler Schleifbetrag definiert, und die Differenz, die durch Subtrahieren der zulässigen Maximalstärke

423 vom Maximalwert 433, der in FIG. 7 gezeigt ist, erhalten wird, wird als ein minimaler Schleifbetrag definiert. Dann wird der Schleifbetrag beim fertigschleifen im Bereich vom minima

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AT 515 950 B1 2019-11-15 österreichisches patentamt len Schleifbetrag zum maximalen Schleifbetrag ausgewählt. Beispielsweise wird der Durchschnitt des minimalen Schleifbetrags und des maximalen Schleifbetrags als der Schleifbetrag beim Fertigschleifen benutzt. Dementsprechend ist es, selbst wenn die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 an jeglicher Position, an der die Messung nicht vorgenommen wurde, kleiner als der Minimalwert 432 oder größer als der Maximalwert 433 wird, möglich, die Möglichkeit zu minimieren, dass die Stärke 441 des plattenartigen Werkstücks 30 am Ende des Fertigschleifens an jeglicher Position außerhalb der Toleranz 424 liegen könnte.

[0056] In dem Fall, in dem die Differenz 434 zwischen dem Maximalwert 433 und dem Minimalwert 432 größer als die Toleranz 424 ist, wird die Differenz 444 zwischen dem Maximalwert 443 und dem Minimalwert 442 der Stärke 441 des plattenartigen Werkstücks 30 am Ende des Fertigschleifens ebenfalls größer als die Toleranz 424. Dementsprechend kann in diesem Fall die Stärke 441 des plattenartigen Werkstücks 30 an einigen Positionen außerhalb der Toleranz 424 liegen. In diesem Fall wird der Schleifbetrag im Fertigschleifschritt, der später ausgeführt werden soll, derart bestimmt, dass der Bereich von Abschnitten des plattenartigen Werkstücks 30, in dem die Stärke 441 innerhalb der Toleranz 424 liegt, maximal wird.

[0057] Beispielsweise liegen in dem Fall, in dem das plattenartige Werkstück 30 geschliffen wird, bis der Minimalwert 442 der Stärke 441 des plattenartigen Werkstücks 30 am Ende des Fertigschleifens die zulässige Minimalstärke 422 erreicht, wie in FIG. 9 gezeigt, Abschnitte vor, an denen die Stärke 441 des plattenartigen Werkstücks 30 größer als die zulässige Maximalstärke 423 wird. Ferner liegen in dem Fall, in dem das plattenartige Werkstück 30 geschliffen wird, bis der Maximalwert 443 der Stärke 441 des plattenartigen Werkstücks 30 am Ende des Fertigschleifens den zulässigen Maximalwert 423 erreicht, wie in Figur 10 gezeigt, Abschnitte vor, an denen die Stärke 441 des plattenartigen Werkstücks 30 geringer als die zulässige Minimalstärke 422 wird.

[0058] Auf diese Art und Weise wird die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30, das im einleitenden Schleifschritt geschliffen wurde, durch das Stärkemessmittel 172 zum Erhalten der Messdaten 431 gemessen. In dem Fall, in dem die Differenz 434 zwischen dem Minimalwert 432 und dem Maximalwert 433 der Messdaten 431 größer als die Toleranz 424 ist, wird der Schleifbetrag beim Fertigschleifen unter Bezugnahme auf die Messdaten 431 derart gesteuert, dass der Bereich von Abschnitten, an denen die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 am Ende des Fertigschleifens innerhalb der Toleranz liegt, maximal wird.

[0059] Beispielsweise wird die Steuerung des Schleifbetrags folgendermaßen durchgeführt:

[0060] Von den Messdaten 431, die im einleitenden Schleifschritt erhalten werden, werden der Medianwert der Messdaten an der Messposition 41a, der Medianwert der Messdaten an der Messposition 41b, der Medianwert der Messdaten an der Messposition 41c und der Medianwert der Messdaten an der Messposition 41 d bestimmt.

[0061] Der Medianwert an jeder Messposition wird mit dem Abstand von der Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 zur Messposition zum Erhalten eines Produkts multipliziert. Dann werden die Produkte für alle die Messpositionen zum Erhalten einer Summe addiert. Dann wird diese Summe durch die Summe der Abstände von der Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 zu allen den Messpositionen dividiert, wodurch der Medianwert der Stärke erhalten wird. Genauer gesagt wird unter der Voraussetzung, dass die Messpositionen die mehreren Messpositionen 41a bis 41 d auf den konzentrischen Kreisen um die Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 sind, und dass die Abstände von der Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 zu diesen Messpositionen 41a, 41b, 41c und 41 d durch die Bezugszeichen ra, rb, rc bzw. rd bezeichnet sind, der Medianwert der Stärke durch den folgenden Ausdruck dargestellt.

[0062] Medianwert der Stärke des plattenartigen Werkstücks 30, das im einleitenden Schleifschritt geschliffen wurde = (Medianwert der Stärke an der Messposition 41a x ra + Medianwert der Stärke an der Messposition 41b x rb + Medianwert der Stärke an der Messposition 41c x rc + Medianwert der Stärke an der Messposition 41 d x rd)/(ra + rb + rc + rd).

[0063] Im Fertigschleifschritt des Schleifens des plattenartigen Werkstücks 30 nach dem Durch9/19

AT 515 950 B1 2019-11-15 österreichisches patentamt führen des einleitenden Schleifschritts wird das plattenartige Werkstück 30 geschliffen, bis der oben erhaltene Medianwert ein Zielwert 425 für die Endstärke wird. Der Zielwert 425 ist auf einen Zwischenwert in der Toleranz 424 eingestellt.

[0064] Tatsächlich wird die Differenz zwischen dem oben erhaltenen Medianwert und einem durch das Stärkemessmittel 172 gemessenen Messwert am Beginn des Fertigschleifens berechnet. Zu diesem Zeitpunkt wird der Messwert auf einem der konzentrischen Kreise durch das Stärkemessmittel 172 erhalten. Beispielsweise wird in dem Fall, in dem die Messung an der Messposition 41c durchgeführt wird, die Differenz zwischen dem oben erhaltenen Medianwert und dem Medianwert der Messwerte, die an der Messposition 41c erhalten werden, berechnet.

[0065] Danach werden die Abriebglieder 22 mit der oberen Oberfläche des plattenartigen Werkstücks 30 zum Schleifen der oberen Oberfläche plattenartigen Werkstücks 30 in Kontakt gebracht, während die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 unter Benutzung des Stärkemessmittels 172 gemessen wird. Wenn die Summe des Messwerts durch das Stärkemessmittel 172 und der oben erhaltenen Differenz gleich dem Zielwert 425 werden, ist das Schleifen abgeschlossen. Infolgedessen wird der Bereich von Abschnitten des plattenartigen Werkstücks 30, an dem die Stärke innerhalb der Toleranz 424 liegt, maximal.

[0066] Während der Medianwert der Messwerte, die durch das Stärkemessmittel 172 an den Messpositionen 41a bis 41d erhalten werden, benutzt wird, kann der Durchschnitt der Messwerte an jeder Messposition benutzt werden.

[0067] Im Falle des Benutzens des Medianwerts kann ein Messwert, der aufgrund von Staub, der zwischen der oberen Oberfläche des Einspanntischs und der unteren Oberfläche des plattenartigen Werkstücks 30 aufgefangen ist, örtlich groß ist, als ein anormaler Wert betrachtet werden, und dieser Messwert kann aus der Berechnung ausgeschlossen werden.

[0068] (3-4) Fertigschleifschritt [0069] Das plattenartige Werkstück 30, das auf dem Einspanntisch 14 gehalten ist, wird durch das Schleifmittel 15b unter denselben Bedingungen erneut geschliffen. Wenn das plattenartige Werkstück 30 um den Schleifbetrag geschliffen ist, der im Bestimmungsschritt bestimmt wurde, ist das Fertigschleifen abgeschlossen. Wenn beispielsweise die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30, die durch das Stärkemessmittel 172 im Fertigschleifschritt gemessen wird, ein Wert wird, der durch Subtrahieren des Schleifbetrags, der im Bestimmungsschritt bestimmt wurde, von der Stärke, die im Stärkemessschritt an derselben Messposition gemessen wurde, dass ist das Fertigschleifen beendet.

[0070] Auf diese Art und Weise wird die Stärke des plattenartigen Werkstücks, das im einleitenden Schleifschritt geschliffen wird, an mehreren Positionen gemessen, und der Schleifbetrag beim Fertigschleifen wird demgemäß bestimmt, ob die Differenz zwischen dem Maximalwert und dem Minimalwert der gemessenen Stärke geringer als die oder gleich der Toleranz für die Endstärke ist oder nicht. Dementsprechend kann der Bereich von Abschnitten, in dem die Stärke des plattenartigen Werkstücks am Ende des Fertigschleifens innerhalb der Toleranz liegt, maximiert sein. Infolgedessen kann von allen den Chips, die durch das Aufteilen des plattenartigen Werkstücks erhalten werden, die Anzahl von Chips, deren Stärken innerhalb der Toleranz liegen, maximiert werden. In dem Fall, in dem die Differenz zwischen dem Maximalwert und dem Minimalwert der gemessenen Stärke geringer als die oder gleich der Toleranz für die Endstärke ist, wird der Schleifbetrag beim Fertigschleifen derart bestimmt, dass der Minimalwert größer als die oder gleich der zulässigen Minimalstärke wird und der Maximalwert geringer als die oder gleich der zulässigen Maximalstärke wird. Dementsprechend kann die Stärke des plattenartigen Werkstücks an all den Positionen derart hergestellt werden, dass sie innerhalb der Toleranz liegt, sodass die Anzahl von Chips, deren Stärken innerhalb der Toleranz liegen, maximiert werden kann.

[0071] Demgegenüber wird in dem Fall, in dem die Differenz zwischen dem Maximalwert und dem Minimalwert der gemessenen Stärke größer als die Toleranz für die Endstärke ist, der Schleifbetrag beim Fertigschleifen derart bestimmt, dass der Bereich von Abschnitten, in dem

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AT 515 950 B1 2019-11-15 österreichisches patentamt die Stärke außerhalb der Toleranz liegt, minimal wird. Dementsprechend kann die Anzahl von Chips, die innerhalb der Toleranz liegen, maximiert werden.

[0072] Daher kann die Anzahl von Chips, deren Stärken innerhalb der Toleranz liegen, einfach durch Ändern des Schleifbetrags beim Fertigschleifen maximiert werden. Dementsprechend kann im Vergleich mit dem Verfahren, das in der japanischen Patent-Auslegeschrift Nr. 2008264913 beschrieben ist und bei dem die Neigung des Einspanntischs angepasst wird, eine Rechenmenge zum Erleichtern der Anpassung verringert werden, sodass die Zeit, die zum Schleifen erforderlich ist, verkürzt werden kann. Insbesondere in dem Fall, in dem die Chips, die durch Aufteilen des plattenartigen Werkstücks erhalten werden, Leistungsbauelementchips sind, beträgt die Toleranz für die Endstärke beispielsweise Mikrometer im Zehnerbereich, die größer als die Toleranz (beispielsweise mehrere Mikrometer) im Falle gewöhnlicher Bauelementchips ist. In einem derartigen Fall, in dem die Toleranz für die Endstärke groß ist, kann die Stärke des plattenartigen Werkstücks einfach durch Ändern des Schleifbetrags beim Fertigschleifen leicht derart hergestellt werden, dass sie innerhalb der Toleranz an allen Positionen liegt.

[0073] Ferner kann das vergangene Verfahren, das den Schritt des Anpassens des Einspanntischs enthält, Stärkevariationen aufgrund jeglicher anderer Faktoren als dem Abstand zur Mitte des plattenartigen Werkstücks, wie etwa Unebenheiten auf der Haltefläche des Einspanntischs, nicht unterstützen. Im Gegensatz dazu kann das Verfahren der vorliegenden Erfindung Stärkevariationen aufgrund jeglicher anderen Faktoren als dem Abstand zur Mitte des plattenartigen Werkstücks unterstützen, nicht nur durch Messen der Stärke des plattenartigen Werkstücks an mehreren radialen Positionen mit unterschiedlichem Abstand zur Mitte des plattenartigen Werkstücks, sondern außerdem durch Messen der Stärke des plattenartigen Werkstücks an mehreren Umfangspositionen mit gleichem Abstand zur Mitte des plattenartigen Werkstücks.

[0074] Im einleitenden Schleifschritt können die Messpositionen, an denen das Stärkemessmittel die Stärke des plattenartigen Werkstücks misst, jegliche Positionen sein, da die akkurate Messung der Stärke im nachfolgenden Stärkemessschritt durchgeführt wird.

[0075] Im Stärkemessschritt sind die Messpositionen, an denen das Stärkemessmittel die Stärke des plattenartigen Werkstücks misst, nicht notwendigerweise konzentrisch angeordnet, sondern es genügt, dass die Abstände zur Mitte des plattenartigen Werkstücks voneinander abweichen. Beispielsweise kann die Messposition des Stärkemessmittels durch das Messpositionsbewegungsmittel langsam in der radialen Richtung des plattenartigen Werkstücks bewegt werden und der Einspanntisch durch das Drehmittel gedreht werden. In diesem Zustand wird die Stärke des plattenartigen Werkstücks durch das Stärkemessmittel in vorgegebenen Zeitintervallen gemessen, sodass die Messpositionen in diesem Falle spiralig angeordnet sind.

[0076] Im Bestimmungsschritt werden in der obigen Beschreibung die zwei Werte oder der minimale Schleifbetrag und der maximale Schleifbetrag zum Berechnen des Bereichs von Abschnitten benutzt, an dem die Stärke außerhalb der Toleranz liegt. Als Modifikation können zwei oder mehr Werte, die im Bereich vom minimalen Schleifbetrag zum maximalen Schleifbetrag ausgewählt sind, zum Berechnen des Bereichs von Abschnitten benutzt werden, in dem die Stärke außerhalb der Toleranz liegt. Dann kann der Schleifbetrag, der dem berechneten minimalen Bereich entspricht, als der Schleifbetrag für das Fertigschleifen eingestellt werden.

[0077] Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen beschränkt. Der Schutzumfang der Erfindung ist durch die beiliegenden Ansprüche definiert, und alle Änderungen und Modifikationen, die innerhalb der Äquivalenz des Schutzumfangs der Ansprüche liegen, sind daher durch die Erfindung umfasst.

Claims

1. Schleifverfahren für ein plattenartiges Werkstück, das eine Schleifvorrichtung nutzt, die einen Einspanntisch zum Halten eines plattenartigen Werkstücks, Drehmittel zum Drehen des Einspanntischs, Schleifmittel mit einem Abriebglied zum Schleifen der oberen Oberfläche des plattenartigen Werkstücks, das auf dem Einspanntisch gehalten ist, wodurch die Stärke des plattenartigen Werkstücks verringert wird, Stärkemessmittel zum kontaktlosen Messen der Stärke des plattenartigen Werkstücks, das durch das Schleifmittel geschliffen wird, und Messpositionsbewegungsmittel zum Bewegen der Stärkemessmittel in der radialen Richtung des Einspanntischs enthält, wobei das Schleifverfahren für ein plattenartiges Werkstück Folgendes beinhaltet:

einen einleitenden Schleifschritt des Schleifens des plattenartigen Werkstücks, das auf dem Einspanntisch gehalten ist, unter Benutzung des Schleifmittels, bis die Stärke des plattenartigen Werkstücks auf eine Stärke verringert ist, die größer als eine vorgegebene Endstärke ist;

einen Stärkemessschritt des Messens der Stärke des plattenartigen Werkstücks, das auf dem Einspanntisch gehalten ist, unter Benutzung des Stärkemessmittels an mehreren Messpositionen mit unterschiedlichem Abstand zur Drehachse des Einspanntischs beim Bewegen des Stärkemessmittels in der radialen Richtung des Einspanntischs nach dem Durchführen des einleitenden Schleifschritts;

einen Bestimmungsschritt des Berechnens der Differenz zwischen einem Maximalwert und einem Minimalwert von mehreren Stärken, die im Stärkemessschritt gemessen wurden, und des Bestimmens, ob die oben berechnete Differenz zwischen dem Maximalwert und dem Minimalwert geringer als die oder gleich der Differenz zwischen einer zulässigen Maximalstärke und einer zulässigen Minimalstärke für die vorgegebene Endstärke ist oder nicht; und einen Fertigschleifschritt des Anpassens eines Schleifbetrags für das plattenartige Werkstück gemäß dem Bestimmungsergebnis im Bestimmungsschritt und dann des Schleifens des plattenartigen Werkstücks gemäß dem Schleifbetrag unter Benutzung des Schleifmittels, um dadurch die Stärke des plattenartigen Werkstücks auf die vorgegebene Endstärke zu verringern, wobei das plattenartige Werkstück, wenn im Bestimmungsschritt bestimmt wird, dass die Differenz zwischen dem Maximalwert und dem Minimalwert geringer als die oder gleich der Differenz zwischen der zulässigen Maximalstärke und der zulässigen Minimalstärke ist, im Fertigschleifschritt geschliffen wird, bis der Minimalwert größer als die oder gleich der Minimalstärke wird und der Maximalwert geringer als die oder gleich der Maximalstärke wird, oder das plattenartige Werkstück, wenn im Bestimmungsschritt bestimmt wird, dass die Differenz zwischen dem Maximalwert und dem Minimalwert größer als die Differenz zwischen der zulässigen Maximalstärke und der zulässigen Minimalstärke ist, im Fertigschleifschritt geschliffen wird, bis der Bereich von Abschnitten, in dem die Stärke des plattenartigen Werkstücks innerhalb des Bereichs von der zulässigen Maximalstärke zur zulässigen Minimalstärke liegt, maximal wird.