AT503958B1

AT503958B1 - Tdi-bildaufnahmeeinheit

Info

Publication number: AT503958B1
Application number: AT0018507A
Authority: AT
Original assignee: Arc Austrian Res Centers Gmbh
Priority date: 2007-02-05
Filing date: 2007-02-05
Publication date: 2008-02-15
Also published as: DE102008003996A1; AT503958A4

Description

Die Erfindung betrifft eine TDI-Bildaufnahmeeinheit gemäss dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
TDI-Bildaufnahmeeinheiten besitzen Flächensensoren mit einer Vielzahl von neben- bzw. untereinander benachbart bzw. aufeinanderfolgend angeordneten Pixel-Zeilen, auf welche Zeilen der aufzunehmende, sich relativ zur Aufnahmeeinheit bewegende Gegenstand abgebildet wird; jede Zeile wird dabei von einer Gegenstandszeile belichtet. Um eine Akkumulierung der von denselben Gegenstandszeilen abgeleiteten Zeileninformationen zu erhalten, werden die Gegenstandszeilen nacheinander auf eine vorgegebene Anzahl von Zeilen des Flächensensors abgebildet und die für die einzelnen Abbildungen derselben Gegenstandszeile auf die entsprechenden Zeilen erhaltenen Zeileninformationen werden nach ihrem Auslesen akkumuliert.

Die Aufnahme von Gegenständen mit TDI-Bildaufnahmeeinheiten und die erforderlichen Abbildungsmodalitäten sind bekannt. TDI bedeutete time delay Integration. Um Gegenstände, insbesondere für Prüfzwecke, genauer abzubilden bzw. den Informationsgehalt (insbesondere Farbinformation und/oder Helligkeitsinformationen bzw. Information über verschiedene spektrale Empfindlichkeit) zu erhöhen und gleichzeitig jedoch den Aufbau des Flächensensors möglichst einfach zu halten und den erforderlichen Rechenaufwand zur Akkumulierung der Zeileninformationen gering zu halten, ist eine TDI-Bildaufnahmeeinheit der eingangs genannten Art mit den im Anspruch 1 angeführten Merkmalen gekennzeichnet.

Ein Verfahren der eingangs genannten Art, bei dem der Rechenaufwand gering gehalten wird, ist mit den im Kennzeichen des Anspruches 10 angeführten Merkmalen gekennzeichnet.
Ein vereinfachter Aufbau und Steuerungsaufwand ergibt sich, wenn anstelle von Akkumulatoren an zumindest eine, vorzugsweise an alle, der jeweils ersten Zeile(n) mit unterschiedlicher Sensitivität jeweils ein Zwischenspeicher zur Aufnahme und Weitergabe der Zeileninformation anstelle eines Akkumulators angeschlossen ist.
Zur taktweisen Weitergabe von ausgelesenen Zeileninformationen, deren richtigen Zuordnung und deren taktrichtigen Akkumulierung sind die Merkmale der Ansprüche 3 oder 4 vorteilhaft. Ein hardwaremässig einfacher Aufbau ergibt sich mit den Merkmalen des Anspruches 5. Ein zweckmässiger und einfacher Aufbau des Flächensensors ergibt sich mit den Merkmalen der Ansprüche 6 bis 9.

Es ist von Vorteil, wenn die Information zumindest einer, vorzugsweise jeder, der jeweils ersten Zeilen einer jeden unterschiedliche Sensitivität spektralen Empfindlichkeit an jeweils einen Anfangszeilen-Zwischenspeicher ausgelesen wird; bei dieser Vorgangsweise kann ein Akkumulator für diese ersten Zeilen entfallen. Ein an dieser Stelle vorgesehener Akkumulator erfüllt hier lediglich die Funktion eines Schieberegisters. Ferner ist vorgesehen, dass die jeweilige von den jeweils ersten Zeilen mit einer bestimmten Sensitivität ausgelesene Zeileninformation über die an dieselbe Sensitivität wie diese erste Zeile aufweisenden Zeilen angeschlossenen Akkumulatoren taktweise weitergegeben und in jedem Akkumulator die weitergegebene Information und die von der jeweiligen Zeile ausgelesenen Zeileninformation akkumuliert werden.

Es wird dabei derart vorgegangen, dass eine Verzögerung der Weitergabe von bereits akkumulierten Informationen von einem Akkumulator zum nächstfolgenden Akkumulator durch Zwischenspeichern erfolgt, derart, dass Zeileninformationen, die von einer Zeile einer bestimmten Sensitivität ausgelesen werden, dann bei dem Akkumulator der folgenden Zeile derselben spektralen Empfindlichkeit einlangen, wenn die Zeileninformation dieser folgenden Zeile an den Akkumulator ausgelesen wird, sodass eine Akkumulierung der weitergegebenen und ausgelesenen Informationen für dieselbe Gegenstandszeile und von Zeilen derselben Sensitivität erfolgt.
Im folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert, das den schematischen Aufbau einer TDI-Bildaufnahmeeinheit zeigt, die einen Flächensensor,

an dessen Zeilen angeschlossene Akkumulatoren und eine nicht dargestellte Steuereinheit umfasst. Die Steuereinheit steuert die Weitergabe der Informationen über die Datenleitungen 3. Die vorhandenen Sensorzeilen , können nach vorgegebenen anwendungsspezifischen Kriterien, insbesondere entsprechend ihrer unterschiedlichen Sensitivität, angeordnet sein. Es muss am Flächensensor 1 zumindest zwei Zeilen derselben Sensitivität geben und zumindest zwei Zeilen unterschiedlicher Sensitivität geben. Es ist vorgesehen, dass die einzelnen Zeilen Li des Flächensensors 1 über die Länge bzw. die Pixel einer Zeile bezüglich der aufzunehmenden Bildparameter bzw.

Bildmerkmale oder -eigenschaften gleiche Sensitivität, z.B. die gleiche vorgegebene spektrale Empfindlichkeit R, G und/oder die gleiche Hell-Dunkel-Sensitivität besitzen, dass zumindest zwei Zeilen untereinander bezüglich der aufzunehmenden Bildparameter bzw. Bildmerkmale oder -eigenschaften unterschiedliche Sensitivität und/oder unterschiedliche Hell-Dunkel-Sensitivität aufweisen, dass zumindest zwei Zeilen bezüglich der aufzunehmenden Bildparameter bzw. Bildmerkmale oder -eigenschaften untereinander gleiche Sensitivität und/oder die gleiche Hell-Dunkel-Sensitivität aufweisen.
Es kann vorgesehen sein, dass die Zeilen ein regelmässiges Muster entsprechend ihrer Sensitivität bilden bzw. Periodizität zeigen.

Im einfachsten und üblicherweise auch günstigsten Fall können die Sensorzeilen Li zu Gruppen zusammengefasst werden, wobei alle Zeilen einer Gruppen untereinander unterschiedliche Sensitivität, z.B. spektrale Empfindlichkeit R, G aufweisen. Zeilen gleicher Sensitivität bzw. spektraler Empfindlichkeit besitzen in den einzelnen Gruppen gleiche Plätze bzw. zeigen die Sensitivitäten in den Gruppen dieselbe Reihenfolge. Es wird vermerkt, dass die Zusammenfassung zu Gruppen nicht zwingend notwendig ist. So kann ein Flächensensor 1 z.B. eine Vielzahl von R, G und B Zeilen enthalten, jedoch im Extremfall nur eine UV Zeile, für die somit keine Akkumulation sondern nur ein Auslesen entsprechend einer einstufigen Akkumulierung erfolgt. Zwei Sensorzeilen L1L2mit den spektralen Empfindlichkeiten R, G bilden die erste Gruppe Qi auf dem Flächensensor 1.

Es wird vermerkt, dass an Stelle der spektralen Empfindlichkeiten R, G auch beliebige andere spektrale Empfindlichkeiten für die Zeilen vorgegeben sein können, z.B. spektrale Empfindlichkeit für UV, IR, Schwarz-Weiss oder speziell vorgegebene andere Wellenlängen, z.B. blau, cyan, magenta, gelb. Des weiteren wird vermerkt, dass sich die Zeilen bezüglich ihrer Sensitivität nicht notwendigerweise durch spektrale Empfindlichkeit unterscheiden müssen, sondern sich prinzipiell durch alle Eigenschaften der Bilder, die von den Pixel der Zeilen unterschieden werden können bzw. unterschiedliche Zeileninformation bewirken, so z.B. auch durch Schwarz-Weiss- oder hell/dunkel-Empfindlichkeit, unterscheiden können.

Die Sensitivität der einzelnen Zeilen des Zeilensensors 1 werden z.B. durch Aufbringung entsprechender Filtermasken auf die Zeilen des Halbleiterchips oder Vorgabe von Materialeigenschaften wie z.B. Dotierungen der Sensorzeilen vorgegeben. Der Flächensensor wird vor allem in CMOS-Technik gefertigt. Der Zeilensensor 1 umfasst eine Anzahl von Gruppen Qi von Zeilen Z" wobei von den Zeilen in einer Gruppe zumindest zwei Zeilen unterschiedliche Sensitivität aufweisen. Es wird bemerkt, dass die Anzahl der Zeilen auf dem Flächensensor 1 und somit die Anzahl m der Sensorzeilen je Gruppe und die Anzahl n der Gruppen Qiauf dem Flächensensor 1 beliebig gewählt werden kann. An jede dieser Zeilen schliesst eine Datenleitung 3 an, mit der die Zeileninformationen der jeweiligen Zeile mit einer Steuereinheit im vorgegebenen Takt an den angeschlossenen Akkumulator Aiweitergeleitet wird.

Es kann zur Vereinfachung des Aufbaus des Flächensensors 1 vorgesehen sein, dass an die einzelnen Zeilen der ersten Gruppe Qijeweils ein AnfangsZwischenspeicher Azi zur Aufnahme und Weitergabe der Zeileninformation anstelle eines Akkumulators angeschlossen ist.
Bei der Abbildung und Aufnahme von m - n Gegenstandszeilen auf den Flächensensor 1 erfolgt in einem von der Steuereinheit vorgegebenen Takt das Auslesen der Zeileninformation jeder der mit jeweils einer Gegenstandszeile belichteten m - n Sensorzeilen Li. Nach jedem Belichtungs- und Ausleseschritt erfolgt ein neuerlicher Belichtungs- und Ausleseschritt, und zwar nach einer Zeitspanne, in der sich jede der abgebildeten Gegenstandszeilen am Flächensensor 1 um exakt eine Sensorzeile, d. h. auf die jeweils folgende bzw. benachbarte Zeile, weiterbewegt hat.

Die für Zeilen L1L3, L5... gleicher Sensitivität, z.B. spektraler Empfindlichkeit, z.B. R, und für dieselbe Gegenstandszeile erhaltenen Zeileninformationen werden in den Akkumulatoren A1,A3, A5.... akkumuliert.
Wie aus der Zeichnung ersichtlich, bilden jeweils zwei Sensorzeilen eine Gruppe Q, und besitzen unterschiedliche spektrale Empfindlichkeiten R, G. Von der nicht dargestellten Steuereinheit werden die Zeilen des Flächensensors 1 taktweise ausgelesen. Das Auslesen der einzelnen Zeilen erfolgt derart, dass taktweise bzw. für jeden Belichtungsschritt sämtliche belichtete Sensorzeilen ausgelesen werden. Die ausgelesene Zeileninformation jeder Gegenstandszeile wird über die Datenleitungen 3 an die Akkumulatoren Ai bzw. Anfangs-Zwischenspeicher Azi weitergeleitet.

An jede Sensorzeile Zi des Flächensensors 1 ist jeweils genau ein Zeilenakkumulator Ai allenfalls an die Zeilen der ersten Gruppe bzw. an jeweils erste Zeile einer oder aller unterschiedliche Sensitivitäten aufweisenden Zeilen jeweils ein Anfangs-Zwischenspeicher Azi angeschlossen. Zwischen die einzelnen Akkumulatoren Ai ist in dem Ausführungsbeispiel jeweils ein einzelner Zwischenspeicher Zi eingeschaltet da zwischen zwei Zeilen derselben Sensitivität, z.B. spektralen Empfindlichkeit gemäss Ausführungsbeispiel, immer jeweils genau eine Zeile einer anderen Sensitivität, z.B. spektralen Empfindlichkeit, liegt. Es wird derart vorgegangen, dass vor jedem Ausleseschritt von Zeileninformationen in die Akkumulatoren Ai bzw. die jeweiligen Anfangs-Zwischenspeicher Azi der bisherige Inhalt des Akkumulators bzw.

Anfangs-Zwischenspeichers dem jeweils folgenden Zwischenspeicher Zi (der zur Aufnahme von Information dieser spektralen Empfindlichkeit bereit steht) und der Inhalt der Zwischenspeicher zu dem jeweils folgenden Akkumulator (derselben Sensitivität) weitergeleitet wird. Dadurch erfolgen das Auslesen der Zeileninformationen und die Weiterbewegung der Gegenstandszeilen auf dem Flächensensor 1 synchron. Während der Ausleseschritte erfolgt auch die Akkumulation der Zeileninformationen.

Wenn eine Gegenstandszeile auf die Zeile Li mit der spektralen Empfindlichkeit R in der ersten Gruppe Qi abgebildet wurde und diese Information in den an diese Zeile1angeschlossenen Akkumulator A^ oder AnfangsZwischenspeicher Azi ausgelesen wurde, so erfolgt sobald dieselbe Gegenstandszeile die Zeile L3mit der spektralen Empfindlichkeit R der Gruppe Q2erreicht hat und die aufgenommene Information dieser Zeile L3in den Akkumulator A3ausgelesen wurde, eine Akkumulation mit der aus der Zeile L1ausgelesenen Zeileninformation, die mittlerweile vom Akkumulator Ai oder Anfangs-Zwischenspeicher AZ1über den Zwischenspeicher Z an den Akkumulator A3weitergegeben wurde.
Sofern zwischen zwei Sensorzeilen gleicher Sensitivität mehr als eine Sensorzeile anderer
Sensitivität liegt,

sind entsprechend mehr Zwischenspeicher zwischen die an die Zeilen mit derselben Sensitivität angeschlossenen Akkumulatoren einzuschalten. Die Anzahl der Zwischenspeicher entspricht der Anzahl von Zeilen, die zwischen Zeilen gleicher Sensitivität liegen.
Bei dieser Vorgangsweise ist durch das mit der Gegenstandsbewegung synchrone Weiterschieben der Information gewährleistet, dass die jeweils von einer Zeile mit einer bestimmten spektralen Empfindlichkeit ausgelesene Zeileninformation einer bestimmten Gegenstandszeile nur zu der bereits vorliegenden Information derselben Gegenstandszeile akkumuliert wird, welche von einer Zeile bzw. Zeilen derselben Sensitivität aufgenommen wurde.

Diese Zeileninformationen werden zwar zu verschiedenen Zeitpunkten von verschiedenen Sensorzeilen ausgelesen, können aber unter Zuhilfenahme der Zwischenspeicher in den zugeordneten Akkumulatoren takt- bzw. zeitrichtig akkumuliert werden.
Die Weiterleitung der Informationen aus den vorzugsweise von Schieberegistern gebildeten Zwischenspeichern zum nächsten Akkumulator erfolgt im Wesentlichen gleichzeitig mit dem Auslesen der Zeileninformationen aus den Sensorzeilen, sodass zu diesem Zeitpunkt eine entsprechende Akkumulierung vorgenommen werden kann.

Claims

Bei dieser Vorgangsweise ist eine Reduktion der Adressier- und Steuerleitungen bzw. entsprechenden Adressier- und Steuereinheiten möglich. Es sind nur kurze Datenleitungen erforderlich. Die Ergebnisse der Akkumulierung bzw. die Ausgangswerte der den jeweils letzten Zeilen einer bestimmten Sensitivität zugeordneten Akkumulatoren werden einer Auswerteeinheit 2 zur Weiterverarbeitung und/oder Anzeige zugeführt. Die Erfindung betrifft ferner einen Flächensensor 1 gemäss den Ansprüchen 10 bis 13. Dieser Flächensensor 1 ist einfach aufgebaut und liefert in kurzer Rechenzeit akkumulierte Zeileninformationen. Die erfindungsgemässe Bildaufnahmeeinheit sowie der erfindungsgemässe Flächensensor funktionieren sowohl mit Snapshot-Sensorals als auch mit Rolling-Shutter-Sensorals. Bei RollingShutter-Sensorals entsteht das Abbild eines Objektes durch die Aufnahme von einzelnen Zeilen. Die Aufnahme einer Zeile wiederum gliedert sich in drei Phasen: dem Rücksetzen aller Bildpunkte einer Zeile, dem Integrieren aller Bildpunkte einer Zeile sowie dem Auslesen aller Bildpunkte einer Zeile. Erst mit dem Abschluss der Integrationsphase ist der Inhalt des Bildpunktes des Abbildes fixiert. Bei Snapshot- bzw. Central Shutter-Sensorals entsteht auch hier das Abbild eines Objektes durch die Aufnahme von einzelnen Zeilen. Die Aufnahme einer Zeile wiederum gliedert sich auch hier in drei Phasen: dem Rücksetzen aller Bildpunkte einer Zeile, dem Integrieren aller Bildpunkte einer Zeile sowie dem Auslesen aller Bildpunkte einer Zeile. Jedoch werden, im Gegensatz zum Verschluss-Modus rolling shutter die Reset- und die Integrationsphase für alle Zeilen zeitlich verknüpft. Lediglich das Auslesen der einzelnen Zeilen erfolgt separat. Patentansprüche:

1. TDI-Bildaufnahmeeinheit umfassend einen Flächensensor (1 ) und eine diesem zugeordnete Steuereinheit für das Auslesen und Akkumulieren der Zeileninformationen, dadurch gekennzeichnet,

- dass die einzelnen Zeilen (Li) des Flächensensors (1 ) über die Länge bzw. die Pixel einer Zeile bezüglich der aufzunehmenden Bildparameter bzw. Bildmerkmale oder -eigenschaften gleiche Sensitivität, z.B. die gleiche vorgegebene spektrale Empfindlichkeit R, G bzw. Schwarz-Weiss-Empfindlichkeit und/oder die gleiche Hell-Dunkel-Sensitivität, besitzen,

- dass zumindest zwei Zeilen bezüglich der aufzunehmenden Bildparameter bzw. Bildmerkmale oder -eigenschaften untereinander unterschiedliche Sensitivität, z.B. die vorgegebene unterschiedliche spektrale Empfindlichkeit R, G bzw. Schwarz-Weiss-Empfindlichkeit und/oder unterschiedliche Hell-Dunkel-Sensitivität, aufweisen, - dass zumindest zwei Zeilen bezüglich der aufzunehmenden Bildparameter bzw. Bildmerkmale oder -eigenschaften untereinander gleiche Sensitivität, z.B. die gleiche vorgegebene spektrale Empfindlichkeit R, G bzw. Schwarz-Weiss-Empfindlichkeit und/oder die gleiche Hell-Dunkel-Sensitivität, aufweisen, und

- dass zur taktweisen Akkumulierung der aus allen Zeilen (Li) mit der gleichen Sensitivität taktweise nach jedem Belichtungsschritt ausgelesenen Zeileninformationen an jede Zeile

(Li) des Flächensensors (1), gegebenenfalls ausgenommen die für jede unterschiedliche Sensitivität jeweils erste bzw. am Anfang des Zeilensensors (1) gelegene Zeile (L1L2), ein Akkumulator (Ai) angeschlossen ist.

2. TDI-Bildaufnahmeeinheit nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass an die für unterschiedliche Sensitivitäten jeweils erste bzw. am Anfang des Zeilensensors (1) gelegene Zeile (L1, L2) jeweils ein Anfangs-Zwischenspeicher (Azi) zur Aufnahme und Weitergabe der Zeileninformation dieser Zeile angeschlossen ist.

3.

TDI-Bildaufnahmeeinheit nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen die an, insbesondere nicht unmittelbar aufeinanderfolgend am Flächensensor gelegenen, Zeilen (Li) derselben Sensitivität angeschlossenen Anfangs-Zwischenspeicher (Azi) und/oder Akkumulatoren (Ai) jeweils Zwischenspeicher (Zi) zur temporären Speicherung der Zeileninformation zwischengeschaltet sind.

4. TDI-Bildaufnahmeeinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit das taktweise Auslesen der Zeileninformationen in die einzelnen an die Zeilen (Li) angeschlossenen Akkumulatoren (Ai) und/oder Anfangs-Zwischenspeicher (Azi) unter Einhaltung der Akkumulierungsvorgaben eines TDI-Abbildungsverfahrens steuert, insbesondere Zeileninformationen, die von derselben abgebildeten Gegenstandszeile und von Zeilen gleicher Sensitivität stammen, akkumuliert.

5. TDI-Bildaufnahmeeinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl der Zwischenspeicher (Zi) zwischen den an die Zeilen (Li) derselben vorgegebenen Sensitivität angeschlossenen Anfangs-Zwischenspeicher und/oder Akkumulatoren der zwischen diesen' Zeilen liegenden Anzahl von eine andere Sensitivität aufweisenden Zeilen entspricht.

6. TDI-Bildaufnahmeeinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Akkumulatoren (Ai), die Anfangs-Zwischenspeicher (Azi) und die Zwischenspeicher (Zi) auf dem Trägerbauteil des Flächensensors (1) angeordnet sind, auf dem die Zeilen (Li) angeordnet sind.

7. TDI-Bildaufnahmeeinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Pixel der Zeilen (Li) mit einer sich über die gesamte Länge der Zeile erstreckenden Filtermaske versehen sind oder entsprechend gleiche Materialeigenschaften, z.B. Dotierung, aufweisen.

8. TDI-Bildaufnahmeeinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Zeilen (Li) entsprechend ihrer unterschiedlichen Sensitivität ein regelmässiges

Muster bilden.

9. TDI-Bildaufnahmeeinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Zeilen (Li) entsprechend ihrer unterschiedlichen Sensitivität ein regelmässiges, periodisch wiederkehrendes Muster bilden und innerhalb einer Periode alle Zeilen unterschiedliche Sensitivität besitzen.

10. Flächensensor (1 ) für das Auslesen und Akkumulieren von Zeileninformationen entsprechend einem TDI-Verfahren, insbesondere für eine TDI-Bildaufnahmeeinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet,

- dass die einzelnen Zeilen (Li) des Flächensensors (1 ) über die Länge bzw. die Pixel einer Zeile bezüglich der aufzunehmenden Bildparameter bzw. Bildmerkmale oder -eigenschaften gleiche Sensitivität, z.B. die gleiche vorgegebene spektrale Empfindlichkeit R, G bzw. Schwarz-Weiss-Empfindlichkeit und/oder die gleiche Hell-Dunkel-Sensitivität, besitzen, - dass zumindest zwei Zeilen bezüglich der aufzunehmenden Bildparameter bzw. Bildmerkmale oder -eigenschaften untereinander unterschiedliche Sensitivität und/oder unterschiedliche Hell-Dunkel-Sensitivität aufweisen,

- dass zumindest zwei Zeilen bezüglich der aufzunehmenden Bildparameter bzw. Bildmerkmale oder -eigenschaften untereinander gleiche Sensitivität und/oder gleiche HellDunkel-Sensitivität aufweisen, und

- dass zur taktweisen Akkumulierung der aus allen Zeilen (Li) mit der gleichen Sensitivität taktweise nach jedem Belichtungsschritt ausgelesenen Zeileninformationen an jede Zeile (Li) des Flächensensors (1), gegebenenfalls ausgenommen die für jede unterschiedliche Sensitivität jeweils erste bzw. am Anfang des Zeilensensors (1 ) gelegene Zeile (L^ L2), ein Akkumulator (Ai) angeschlossen ist.

11. Flächensensor nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass an die für unterschiedliche Sensitivitäten jeweils erste bzw. am Anfang des Zeilensensors (1) gelegene Zeile (Li, L2) jeweils ein Anfangs-Zwischenspeicher (Azi) zur Aufnahme und Weitergabe der Zeileninformation dieser Zeile angeschlossen ist.

12. Flächensensor nach Anspruch 10 oder 11 , dadurch gekennzeichnet, dass am Flächensensor (1) eine Steuereinheit integriert ist, die das taktweise Auslesen der Zeileninformationen in die einzelnen an die Zeilen (Li) angeschlossenen Akkumulatoren (Ai) und/oder AnfangsZwischenspeicher (Azi) unter Einhaltung der Akkumulierungsvorgaben eines TDI-Abbildungsverfahrens steuert, insbesondere Zeileninformationen, die von derselben abgebildeten Gegenstandszeile und von Zeilen gleicher Sensitivität stammen, akkumuliert.

13. Flächensensor nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen die an, insbesondere nicht unmittelbar aufeinanderfolgend am Flächensensor gelegenen, Zeilen (Li) derselben Sensitivität angeschlossenen Anfangs-Zwischenspeicher (Azi) und/oder Akkumulatoren (Ai) jeweils Zwischenspeicher (Zi) zur temporären Speicherung der Zeileninformation zwischengeschaltet sind und/oder dass die Anzahl der Zwischenspeicher (Zi) zwischen den an die Zeilen (Li) derselben vorgegebenen Sensitivität angeschlossenen Anfangs-Zwischenspeicher und/oder Akkumulatoren der zwischen diesen Zeilen liegenden Anzahl von eine andere Sensitivität aufweisenden Zeilen entspricht und/oder dass die Akkumulatoren (Ai), die Anfangs-Zwischenspeicher (Azi) und die Zwischenspeicher (Zi) auf dem Trägerbauteil des Flächensensors (1 ) angeordnet sind, auf dem die Zeilen (Li)

angeordnet sind und/oder dass die Pixel der Zeilen (Li) mit einer sich über die gesamte Länge der Zeile erstreckenden Filtermaske versehen sind oder entsprechend gleiehe Materialeigenschaften, z.B. Dotierung, aufweisen und/oder die Zeilen (Li) entsprechend ihrer unterschiedlichen Sensitivität eine bestimmte Reihenfolge besitzen und/oder dass die Zeilen (Li) entsprechend ihrer unterschiedlichen Sensitivität ein regelmässiges, periodisch wiederkehrendes Muster bilden und innerhalb einer Periode alle Zeilen unterschiedliche Sensitivität besitzen.