AT397726B - Einrichtung zur messung elektrostatischer gleichfelder - Google Patents

Description

AT 397 726 B

Oie Erfindung betrifft eine Einrichtung gemäß dem-Oberbegriff des Patentanspruches 1.

Zur Messung elektrostatischer Glelchfelder sind eine Reihe von Verfahren bekannt z ß- die Ablenkung von Betastrahlen; rotierende Systeme, z.B. Abdeckungsfeldmühlen oder Zylinderfeldmühlen, vibrierende Schwingersysteme usw. Be! den vibrierenden Schwingereystemen sind Systeme bekannt, bei denen die s Bewegung der Elektroden In Richtung der Feldlinien erfolgt (US-PS 4724393). Einrichtungen, bei denen die Bewegung dar Elektroden senkrecht zur Richtung der Feldlinien erfolgt, wobei die Elektrodenebene ebenfalls senkrecht zur FeldRraenrichtung steht sind z.B. aus der US-PS 4 720 682 bzw. der DE-OS 3 015 85Θ bekannt Dabei werden eine oder zwei elektrisch verbundene Elektroden, die auf den Enden der Schenkel einer Stimmgabel angebracht sind, periodisch durch ein Abdeckungsfenster entweder dem zu το messenden Feld ausgesetzt oder ihm gegenüber abgeschirmt. Die genannten Elektroden dienen dabei als Signalauffänger.

In ähnlicher Weise funktionieren Anordnungen, bä denen eine SignaJauffangelektrode periodisch von einer oder mehreren Abdeckelektroden periodisch abgedeckt oder freigelegt wird.

Zur taufenden Messung elektrostatischer Glelchtelder in Luft oder Vakuum ist grundsätzlich «ne ;s mechanische Etektrodenbewegung erforderlich, womit durch periodisches Abdecken bzw. Freilegen einer Sensorelektrode auf dieser ein Ladungszufluß bzw. -abfluS bewirkt wird, der sich äs Wechselstrom auswerten läßt Diese Elektrodenbewegung bewirkt Kapazitätsschwankungen, die z.B. in einer Abdeckungs-feldmühle sowie in allen genannten vibrierenden Sensorsystemen zu Störsignalen führt sobald elektrisch geladene Staubpartikel in den Sensor eindringen bzw. sich auf den Sensorflächen ablagem. Da der Sensor 20 zum Feld hin offen sein muß, läßt sich eine Verschmutzung nicht vermeiden, wodurch die erreichbare Empfindlichkeit hzw. Nullpunkt-Stabilität limitiert wird.

Eine Analyse dieses Effektes ist z.B. in F. Buschbeck "Messungen elektrischer Gleichfelder in Luft" in Mikroelektronik 89, Berichte der Informationstagung ME 69, S.91, Springer Verlag, dargelegt Hierin wird gezeigt daß Wir diese insbesondere durch auf den Sensorelektroden abgelagerte Verunreinigungen, ζ,Β. 25 Staubteilchon, hervorgerufenen Störeffekte die Variation der Streukapazität zwischen der Sensoratekbiode und den umgebenden, auf Bezugspotential befindlichen Metalfteiien verantwortlich ist wobei es gleichgültig ist, ob sich die Sensorelektrode selbst oder andere metallische Teile bewegen.

Die Verschmutzung von Sensoren äußert sich darin, daß ladungstragende Schmutzpartikel in einer variablen Kapazität Störströme verursachen, die sich dann dem durch das zu messende Feld entstehenden so Signalstrom überlagern und dadurch das Meßresuitat verfälschen.

Ziel der Erfindung ist die Erstellung einer Einrichtung der eingangs genannten Art, bet der der Einfluß von Verschmutzungen minimiert wird; dieses Ziel wird mit den im Kennzeichen des Patentanspruches 1 angeführten Merkmalen erreicht

Vorteilhaffe erflndungsgemäße AusfQhrungsfbrmen der erfindungsgemäßen Einrichtung stad der felgen· äs den Beschreibung, den Patentansprüchen und den Zeichnungen zu entnehmen.

Fig.1a,1b,1c und Id zeigen eine erste Ausführungsform einer ertindungsgemäßen Einrichtung, Fig.2a,2b und 2c verschiedene Ansichten einer zweiten Ausführungsferm, Rg.3a. 3b und 3c verschiedene Ansichten einer dritten Ausführungsform, Fig.4 schemalisch eine weiter» Ausführungsform, die an eine Auswerteeinheit angeschlossen ist und Fig.5 und 6 weitere Ausführungsformen. 40 Fig.1a,lb,ic und 1d zeigen eine erste Ausführungsform einer ertindungsgemäßen Enrichtung. Zwei Sensorelektroden 5,6 sind auf Isotierschichten 2 und 2* angeordnet und durch die isofierschichten 22ü elektrisch von dm Enden eines zwei Tragarme Τ.Γ besitzenden gabelförmigen, leitfähigen Trägers 1, z.B. einer Stimmgabel, isoliert befestigt die Befestigung der Isolierschichten 2,2' erfolgt entweder direkt an den Tragarm V,1” oder es können auf den Isolierschichten 22! metallische Abschirmelekbroden aufgebracht 46 und diese leitend mit dem Träger 1 verbunden wenden. Die Sensorefektroden 5,6 werden in der Stellung Fig,1b durch die über die Tragarme 1\1” mit dem Bezugspotential 7 verbundenen und als Abschtrmelektro-den wirkenden Endflächen der Tragarme IM” gegenüber dem zu messenden Feld E abgeschirmt, während sie in der Stellung Fig.la zum Feld E hin offen liegen. Anstelle oder zusätzlich zu den abschirmertden Endflächen des Trägers 1 können auf der Rückseite der Isolierschichten auch metallische, so elektrisch fettende Abschlrmelektroden 3,4 angeordnot sein. Die Enden des gabelförmigen Trägers 1 werden mittels einer beliebigen Antriebseinheit 20, z.B. einem Magnetmotor, angenähert bzw. voneinander entfernt Fig.la zeigt die beiden die Sesorelektroden 5,6 und die Abschirmelektroden 3.4 bzw. die Endflächen der Tragarme 17Γ umfassenden Zweischichtelektroden in entfernter und Fig.ib in einander angenäherter Steilung, In der die beiden Sensorelektroden 5,6 gegen das zu vermessende Feld E 5s abgedeckt sind. Die beiden Sensorefektroden 5,6 sind miteinander mit einer flexiblen elektrischen metallischen Leitung 8 in einem Punkt 9 verbunden, von welchem Punkt S die Meßleitung zur Auswerteeinheit 11 geführt ist 2

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Die Enden des Trägers 1 der Tragarme 1M” sind elektrisch mit dem Bezugspotential 7 verbunden: die Sensoreiektroden 5,6 sind Ober die flexiblen Leitungen 8 mit 9 verbunden, in geöffnetem Zustand der Stimmgabel bzw. des Trägers 1 kann das elektrische Feld E in die Sonde zu den Sensoreiektroden 5,6 eindringen, wogegen im geschlossenen Zustand des Trägers 1 das Feld E nicht eindringen kann. Die 5 Kapazität zwischen dem Träger 1 bzw. den Abschirmelektroden 3,4 und den Elektroden 5 bzw. 8 bleibt während des gesamten Bewegungsablaufes konstant, da steh die Abstände von 3 zu 6 und von 4 zu 5 nicht verändern. Die zwischen den Sensoreiektroden 5 und 6 auftretenden Kapazitätsschwankungen erfolgen zwischen äquipotentiellen Elekfroden und durch Verschmutzung verursachte Störströme werden Ober die Verbindungsieitung 8 kurzgeschlossen. Diese Sensoranordnung hat ihr EmpfindHchkeitsmaximum auf der io Symmetrieachse des Schwingers in Richtung seiner Öffnung. Die Bewegungsanregung der Stimmgabel kann mit beliebigen bekannten Methoden, z.B. mit dem schematisch angedeuteten Magnetmotor 20, erfolgen.

Rg.1a zeigt wie sich dio Sensoreiektroden 5.8 zum Feld E hin öffnen, während Rg.1b den abgeschat-teten Zustand (Faraday'schar Käfig aufgrund der Abschirmung durch 3,4) zeigt Dem Sensorausgangspunkt iS 9 kann somit ein teldstärkepraportianaler Wechselstrom entnommen werden. Die Kapazität von 5 und 6 gegenüber 3,4,1 verändert sich durch die Bewegung nicht In einer solchen Anordnung wird ein Staubpartikel mit der Störladung q, welcher sich z-B. auf der Elektrodenfläche 6 absetzt (siehe Fig.ic). aufgrund des Schwingkondensatoreffoktesdurch die Variation der Kapazität 02 zur bewegten gegenüberliegenden Elektrode 5 einen Störstrom is verursachen, der sich aber über den Stromkreis 5,8,9,8,6,C1 kurzschließt und zo daher das Sensorsystem nicht verläßt und dadurch das Meßrosultat nicht störend beeinflußt

Gemäß Fig.2a.2b und 2c ist an den beiden äußeren Enden eines auf Bezugspotential befindlichen Federträgers 1 bzw. einer Stimmgabel Je eine Zweischichtelektrode angebracht, deren Oberflächen zur Ausbildung von Sensor- und Abschirmelektroden 3,4,5.6 metallisiert sind, wobei die Abschirmelektroden 3 und 4 über den Träger 1 mit Bezugspotentiai 7 elektrisch verbunden sind: während die einander 25 zugewandten Sensorelekbodenßächen 5,8 über flexible Letter 8 miteinander und mit der Ausgangsklemme 9 für das Meßsignal bzw. mft einer Meßleitung 8* verbunden sind.

Die Zweischichtalefctroden werden Im wesentlichen parallel zu ihren Rächen vetschwenkt Jm geöffneten Zustand des Trägers {Fi&2a> können die Sensoreiektroden 5,6 der ZwetechichtBlektroden vom äußeren Feld E erreicht werden, wogegen sie sich im geschlossenen Zustand (Fig.2b) gegenseitig bzw. durch die 3o auf der Rückseite der Isolierkörper 2.2* ausgebifdeten Abschirmelektroden 3,4 weitgehend abschirmen.

Die Empfindlichkeitscharakteristik dieser Anordnung ist annähernd halbkugelförmig. Die Bswegungsan-regung der Stimmgabel bzw. des Trägers 1 kann wiederum mit beliebigen bekannten Methoden erfolgen.

Flg.3a und 3b zeigen eine Anordnung, bei der an den beiden Enden eines Trägers bzw. einer Stimmgabel 1 jeweils eine Zweischichtelektrode angebracht ist, die aufeinander zu auskragen und deren 35 Oberflächenschichten 3,4,5 und 6 metallisiert auf Isolierkörpem 2,2’ aufgebracht sind. Die äußeren Ab· schirme!©ktroden 3 und 4 werden über den gemeinsamen Träger i mit Bezugpotential 7 elektrisch verbunden, wogegen die inneren einender gegenüberliegenden Sensorflächen 5 und 6 über flexible Leiter 8 galvanisch bzw. elektrisch leitend mit der Ausgangsklemme B und miteinander verbunden sind.

In Fig. 3c ist ein Detail der einander gegenüberliegenden äquipotentiellen Bektrodenflächen 5 und 8 40 dargestelit, so wie sie in FIg.3b In geöffnetem Zustand der Sensoreinrichtung dargestellt Ist Im geöffneten Zustand kann die Sensorfläche 6 vom äußeren Feld E erreicht werden, wogegen im geschlossenen Zustand des Trägers 1 die Sensorfläche 6 durch die Zweischichtelektrode 3,5 abgeschirmt ist In diesem Fall hat die Eieidrodenfläche 5 nicht die Wirkung einer Sensorfläche, weil sie nicht dem elektrischen Feld E ausgesetzt werden kann; sie wirkt wie eine Guardelektrode. « Die Staubempfllchkeit der an sich bekannten Abdeckungsfoldmühle läßt sich ebenfalls durch die erfindungsgemäße Vorgangsweise beheben. Dazu wird das Flügelrad 40, so wie in Fig.4 dargestelit, auf die leitfähige Welle 10 aufgesetzt und als Zweiechichtelektrode ausgeführt. Dabei wird die dem elektrischen Feld E zugewandte, auf dem Flügelrad aufgebrachte, leitfähige Abschirmstektrodenschicht 3 über die Welle 10 und den Schleifkontakt 24 mit dem Bezugspotential 7 in bekannter Weise verbunden. Die mittlere so Schicht 2 des Flügelrades ist ein Isolator, der eine elektrisch teitfähige Guardelektrode 5 trägt, welche über einen von der Welle 10 Isoliert getrogenen Schleifkontakt 18 und die Leitung 8 mit dem Sensorausgang 8 verbunden ist, mit dem auch die von dem Isotierkörper 13. z.B. an einem gehäusefesten, auf Sezugspoten-flal 7 liegenden Träger od.dgl., getragene Sensorelektrode 6 und der Eingang 9 der Auswerteschaltung 11 über die Leitung 8 elektrisch leitend verbunden sind; die Auswerteschaltung generiert in bekannter Weise 55 das Meßresultat für eine Anzeigeeinheit 12.

Mit 14 ist die Lagerung der Welle 10 bezeichnet Die Dicke des Isolators 13 sollte mögltcht groß sein, um Kapazrtätsschwankungen gegenüber den Teilen auf Bezugspotential gering zu hatten. Auch in diesem Fall sind die auf gleichem Potential liegenden, einander gegenüberliegenden Elektroden 5 und 8 Ober den 3

Claims (15)

1. AT 397 726 B Schleifkontakt 18 und die Leitung δ eieidrisch leitend verbunden. Wiederum ist zu bemerken, daß der Träger der Sensoreiektrode 6 auf Bezugspotenäat 7 liegt Zu bemerken ist allgemein, daß die Rückseiten der Isolierkörper 2 bzw. 2’ mit metallischen Abschirmelektroden 3 bzw. 4 bedeckt sein können und diese elektrisch leitend mit einem auf Bezugspotential 5 befindlichen Träger 1 bzw. Tragarmen 1’,1” verbunden sein können; mit gleicher Wirkung könnte jedoch auch der Träger 1 insbesondere in seinem Endbereich derart breit bzw. flächig gestaltet sein bzw. in seinem Endbereich eine der Größe des Isolierkörpers 2 bzw. 2' entsprechende Flächenausdehnung besitzen, sodaß der Träger die Rückseite des Isolierkörpers 2,2' abdeckt und damit die entsprechende Kapazität zur Sensoreiektrode 5 bzw. 6 aufrecht erhält το Wesentlich zur Durchführung der Erfindung ist die Anordnung zumindest einer Sensoreiektrode 6. Es ist möglich, daß auch eine die Sensoreiektrode 6 abdackende Guardelektrade 5 als Sensoreiektrode eingesetzt wird, wie es den Fig.t und 2 zu entnehmen ist; den Ausführungsformen gemäß den Fig.3 und 4 ist jedoch eine Anordnung einer Sensoreiektrode 6 zu entnehmen, bei der die Guardelektrade 5 nicht gut die Funktion einer Sensoreiektrode übernehmen kann, da sie nicht dem zu vermessenden Feld zugekehrt werden kann, re sondern in ihrer Funktion lediglich die Abdeckung der Sensoreiektrode 6 bewirkt. Die Ausbildung der Zweischichtelektrode erfolgt z.B. durch Aufdampfen oder Aufkleben entsprechender metallischer leitfähiger Schichten auf einen Isolierkörper; die Verbindung der Zweischichteiektrode mit einem Träger erfolgt durch elektrisch leitende Verbindungsarten, z.B. Löten oder Verkleben mH elektrisch leitendem Kleber. so Fig.5 zeigt eine weitere Ausfübrungsform einer erfindungsgemäßon Einrichtung. Bei dieser Einrichtung ist Innerhalb eines Gehäuses 30, welches im Bereich einer Gehäuseöffnung 31 die Funktion einer Abschirmelektrode 3 Übernimmt, ein elastischer Träger 33 angsordnet, der in seinem Endbereich eine Sensoreiektrode 6 unter Zwischenschaltung eines Isolierkörpers 2 trägt In der Gehäusewand 30 ist ein Fenster 31 gegenüberliegend der Sensoreiektrode 6 ausgespart, durch welches Fenster 31 die Sensoreiek-25 trade 6 dem zu vermessenden Feld E ausgesetzt werden kann; der Träger 33 bewegt die Sensoreiektrode β entweder in Richtung auf das Fenster 31 zu und davon weg oder quer vor dem Fenster hin und her, sodaß die Sensoreiektrode 8 mehr oder weniger dem elektrischen Feld ausgesetzt wird. Unter Zwischenschaltung einer Isoiierungsschicht 2 ist auf der Gehäusewand 30 eine Guardelektrade S aufgebracht, die mit der Sensoreiektrode 6 über eine Leitung 8 elektrisch leitend verbunden ist im Punkt 9 30 erfolgt der Anschluß der Auswerteeinheit. Zumindest die Teile 30,3,4 und 33 sind mit Bezugspotential verbunden. Vorteilhaft ist es. wenn der Träger 33 ein Gabelträger ist und an seinem anderen Ende ebenfalls eine der Elektrode 6 entsprechende Elektrode 6’ trägt, um symmetrische Massen zu vermeiden. Fig.6 zeigt eine AusfUhrungsform, bei der ein z.B. in einem Gehäuseboden feststehender elektrisch se leitfähiger Träger 34 vorgesehen Ist, der unter Zwischenschaltung einer Isolierschicht 2 eine Sensoreiektrode 6 trägt. Die Rückseite der Isolierschicht 2 kann mit einer Abschkmelektrode 4 abgedeckt sein. Vor bzw. oberhalb der Sensorfläche 8 ist eine Guardotektrode 8 angeordnet, die unter Zwischenschaltung eines Isolierkörpers 2' auf den Tragarmen IM” eines elektrisch leitffihigen Trägers 33 angeordnet ist, welcher Träger 33 bzw. von ihm und/oder vom Isolierkörper 2’ getragene Abschirmelektroden 3 mit Bezugspotsntial 40 7 verbunden ist bzw. sind. Die Tragarme 1M" werden quer oder parallel zur Oberfläche dar Sensoreiektrode Θ in Schwingungen versetzt, wobei sich ihre Enden voneinander entfernen bzw. annähem, wodurch die Durchgangsöffnung 31 für das elektrostatische Feld E bzw. die dem elektrischen Feld ausgesetzte Räche < der Sensoreiektrode 6 entsprechend verändert wird. Die Guardelektrade 5 und die Sensoreiektrode 6 sind wiederum über eine Leitung 8 elektrisch leitend verbunden, die an einem Meßpunkt 9 mit einer Auswerte· 46 einhelt 11 verbunden ist Der Träger 1 bzw. die Tragarme 1',1" können von starren oder federelastischen Bauteilen gebildet werden. Es können gabelförmige Träger oder getrennt angeordnete Enzeltragarme vorgesehen sein. Patentansprüche so 1. Einrichtung zur Messung elektrostatischer Gleichfelder mit zumindest einer elektrisch leitenden und elektrisch isoliert angeordneten Sensoreiektrode, die gegenüber dem zu vermessenden Gleichfeld periodisch zumindest teilweise abgedeckt bzw. freigesetzt bzw. diesem periodisch mehr oder weniger ausgesetzt wird, wob« der durch den hervorgerufenen Ladungszu- bzw. -abfiuß bedingte Wechselstrom 55 in einer an die Sensoreiektrode abgeschlossenen Auswerteeinheit ausgewertet wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensoreiektrode (6) zumindest eine Guardelektrade <5) zugeordnet ist, daß zumindest eine der beiden Elektroden in eine Relativbewegung gegenüber der anderen versetzbar ist und daß die beiden Elektroden (5,3) über einen elektrischen Leiter (8) miteinander verbunden sind, daß jede 4 AT 397 726 B dieser Elektroden (5,5) auf der der Gegenetektrods abgewandten Seite durch eine mit ihr mechanisch starr verbundene Abschirmelektrode (3,4), die eieidrisch mit dem Bezugspotential (7) verbunden ist, abgeschirmt ist sodaß bei ihrer Bewegung eine Schwankung ihrer Kapazität in Bezug auf umliegende mit Bezugspotential verbundenen MetalHeile (1,3,4,7), insbesondere in Bezug auf Abschimelektnoden s (3.4) bzw. auf Bezugspotential befindliche Gehäuseteile (30), die mit die Elektroden (5,6) tragenden fsoRerbauteilen ¢2,21) kombiniert sind, weitgehend ausgeschaltet ist
2. 2. Enrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die direkte elektrisch leitende Verbindung (8) zwischen den Elektroden (5.8) an einen Meßpunkt (9) zur Abnahme der Meßsignale dar io Sensoretektrode(n) (6,6) bzw. des Wechsolstromsignales geführt ist, der direkt an den Eingang der Auswerteeinheit (11), insbesondere an den Eingang eines Eingangsverstärkers angeschlossen ist
3. 3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet daß die Guardelektrode (5) ebenfalls als Sensoreiektrods ausgebildet und eingesetzt ist is
4. 4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorelektrode (6) und/oder die Guardelektrode (5) auf einem isofierkörper bzw. einer Isolierschicht (2^*,13> angeordnet sind, der bzw, die auf ihrer der SensorelektrodenflSche (6) bzw. der Guardelektrodenftäche (5) abgewandten Seite mit zumindest einer elektrisch mit Bezugspotential (7) verbundenen Abschirm- 20 schicht bzw. Abschirmelektrode (3,4) versehen bzw. von einem elektrisch mit Bezugspotential (7) verbundenen Träger (1,34) oder einem Gehäusebauteil (30) getragen ist, gegenüber denen die Sensoreiektrods (6) und die Guardelektrode (5) konstante Kapazitäten besitzen.
5. 5. Enrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensoretektrode 2s (5.6) und ihre von Abschinmelektroden (3,4) und/oder einer Endfläche des Trägers (1) gebildeten Abschirmschicht im wesentlichen parallel und durch die Isolierschicht (2,20 getrennt verlauten und <Se Sensoretektrode (5.6). die Abschirmschicht und die Isolierschicht (2.2·) einen mechanisch starren Bauteil bzw. eine Zweischichteiektrode bilden. so 6. Enrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorelektrode (6) und die die ais Sensoretektrode ausgebildete Guardelektrode (5) im wesentlichen frei bzw. unbeeinflußt von Ihrer Kapazität gegenüber auf Bezugspotential (7) befindlichen, insbesondere metallischen Gehäuse bzw. Meßeinrichtungsteilen engeordnet sind, z.B. jeweils an den Enden von aus einem Gehäuse frei herausragenden auf Bezugspotential befindlichen bzw. geerdeten Trägem (1) angeordnet sind. 26
6. 7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Eiektrodenflächen der Sensoretektrode (6) und der Guardelektrode (5) in Abdecksteltung einander gegentlberiiegen.
7. 8. Enrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der isofierbauteil 40 (2.2M3) von dem auf Bezugspotential (7) befindlichen Träger (1) getragen ist.
8. 9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschirmelektro-den (3,4) von einer mit dem auf Bezugspotential (7) befindlichen Träger (1) In Iahender Verbindung stehenden metallischen Oberflächenschicht (3,4) auf dem Isoilerbauteil (2,2*) gebildet sind 45
9. 16. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß an jedem Ende eines gabelförmigen, auf Bezugspotential befindlichen Trägers (1) jeweils eine Sensoretektrode (5,6) auf einer Isolierschicht <2£·) angeordnet ist und daß die beiden einander gegenüberliegenden, elektrisch leitend verbundenen und mit Ihren Flächen aufeinander zu- und voneinander wegbeweg baren Sensoretektro- so den (5.6) in Offenstellung des gabelförmigen Trägers (i) dem zu vermessenden Gleichteld (E) ausgesetzt and und in Geschlossenstellung des Trägers (1) einander gegenseitig bzw. mittels der Endbereiche ihrer Trägerarme und/oder mH auf der Isolierschicht (2Ü1) aufgebrachten, mit dem Träger (1) leitend verbundenen Abschinmetektrodan (3,4) gegenüber dem Gleichteld (E) abdecken (Fig.la,1b).
10. 11. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß an jedem Ende eines gabelförmigen Trägers (1) eine plattenförmige Zweischichteiektrode, jeweils umfassend eine von einem auf seiner Rückseite gegebenenfalls mit einer Abschirmetektrcde (3,4) versehenen Isoiierbauteil (2,2') 5 55 AT 397 726 B getragene Sensorelektrode (5,6) angeordnet ist, welche Zweischichtetektroden mit ihren Flächen in zueinander Im wesentlichen parallelen Ebenen verschwenkbar sind und die durch eine Entfernung der Trägerenden in eine Position verbringbar sind, in der die eine Sensorelektrode zumindest teilweise dem elektrischen GtefehfeJd (E) aosgesetzt und die durch eine Annäherung der Trägerenden in eine Steilung 5 verbringbar sind, in der die eine Sensorelektrode (6) von der anderen Sensorelektrode (5) zumindest teilweise abgedeckt ist (Rg.2a,2b,2c).
11. 12. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, das an jedem Ende eines gabelförmigen Trägers (1) In einem Winkel, insbesondere etwa im rechten Winkel zum jeweiligen io Tragarm (1\1") eine in Bewegungsrichtung auskragende Zweischichtelektrode, jeweils umfassend eine von einem auf seiner Rückseite mit einer Abschiimefektrode (3,4) versehenen Isolierbauteil (2,2'} getragene Sensorelektrode (5,6) angeordnet ist und daß bei Annäherung der Trägerarme (1\1") die Sensorelektroden in eine zumindest teilweise überlappende Lage verstellbar sind und daß bei Ausoin-anderbewegung der Trägerarme (T, 1") eine Sensorelektrode (6) zumindest teilweise dem Gleichfeld ts (E) ausgesetzt ist (Fig.3a.3b,3c).
12. 13. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9. dadurch gekennzeichnet daß die dem elektrischen Gtefehfeld (E) ausgesetzte. von einer Isolierschicht (13) getragene Sensorelektrode (6) mit einer rotierbaren, von einer auf einem Ausnehmungen besitzenden Flügelrad (40) angeordneten und von so einer mit einer Abschirmelektrode (3) versehenen Isolierschicht (2) getragenen Guardeleklrode (5) zeitweise abgedeckt bzw. zeitweise freigesetzt ist, daß die Abschirmelektrode (3) über die Welle (10) des Flügelrades (40) mit Bezugspotential (7) verbunden ist und daß die Sensorelektrode (6) Ober einen von der Weile (10) getragenen Schleifkontakt (16) elektrisch leitend mit der Guardetektrode (5) verbunden Ist. (Fig.4). 2S
13. 14. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet daß vor einem für das zu vermessende Feld (E) offenem Fenster (31) in einem auf Bezugspotentlai (7) befindlichen Gehäuse bzw. in einer Gehäusewaid (30) eine Sensorelektrode (6) auf einem Träger (33) auf das Fenster (31) zu- bzw. von diesem weg oder quer vor dem Fenster (31) hin- und herbewegbar angeordnet ist und so daß auf der Innenfläche des Gehäuses bzw. der Gehäusewand (30) unter Zwischenlage einer Isolierschicht (2) eine Guardetektrode (5) angeordnet bzw. ausgebildet und über eine elektrische Leitung (8) direkt mit der Sensorelektrode (6) verbunden ist (Fig.5). 16L Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet daß eine Sensorelektrode äs (6) unter Zwischenschaltung einer Isolierschichte (2) von einem feststehenden bzw. gehäusefesten, bei 7 mit Bezugspotential verbundenen, Träger (34) getragen ist, vor deren Etektrodenftäche eine von zumindest einer Guardeleklrode (5) begrenzte, für das zu vermessende Feld (E) offene und ln ihrer Öffnungsfläche veränderliche Ausnehmung (31) ausgebildet ist, daß die die Ausnehmung begrenzenden Guardelektroden (5) unter Zwischenschaltung einer Isolierschicht (2) von einem Tragarmen OM”) 40 eines auf Bezugspotentiai (7) befindlichen Trägers (33) getragen und in eine oszillierende Bewegung parallel zur Sensorelektrode (8) versetzt sind und daß die Guardelektroden ¢) mit der Sensorelektrode (6) elektrisch leitend verbunden ist (sind) (Flg.6).
14. 16. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß als Träger für zwei 45 relativ zueinander verstellbare Zwischenschicht- bzw. Seneorelektroden (5,6) ein federnder Gabelträger vorgesehen ist, wobei die Gabelenden motorisch. z.B. mit einem Magnetmotor (21), gegeneinander verstellbar sind.
15. 17. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß als Trageinheit bzw. so anstelle eines gabelförmigen Trägers zwei nebeneinanderfiegende, mit Bezugspotential (7) verbundene Einzelträger (1',1"). z.B. Federblätter, vorgesehen sind, von deren Endbereich jeweils eine Zweischicht' etektrode getragen ist und daß zumindest einer der Einzetträger mit einem Antrieb, z.B. Magnefmotor, In eine Relativbewegung gegenüber dem anderen Einzelträger versetzbar ist 55 Hiezu 8 Blatt Zeichnungen 6