AT383145B - Verfahren zum herstellen von schichtwerkstoff oder schichtwerkstuecken - Google Patents

Verfahren zum herstellen von schichtwerkstoff oder schichtwerkstuecken

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AT383145B
AT383145B AT0006285A AT6285A AT383145B AT 383145 B AT383145 B AT 383145B AT 0006285 A AT0006285 A AT 0006285A AT 6285 A AT6285 A AT 6285A AT 383145 B AT383145 B AT 383145B
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Klaus Goerke
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Michael Dipl Ing Steeg
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Glyco Metall Werke
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering

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