AT341630B - Aluminium-tantal-schichten fur dunnschichtschaltungen, leiterbahnen sowie diskrete widerstande und kondensatoren und verfahren zur herstellung derselben - Google Patents

Aluminium-tantal-schichten fur dunnschichtschaltungen, leiterbahnen sowie diskrete widerstande und kondensatoren und verfahren zur herstellung derselben

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AT341630B AT889673A AT889673A AT341630B AT 341630 B AT341630 B AT 341630B AT 889673 A AT889673 A AT 889673A AT 889673 A AT889673 A AT 889673A AT 341630 B AT341630 B AT 341630B
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2546675C3 (de) * 1975-10-17 1979-08-02 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Verfahren zum Herstellen einer Dünnschichtschaltung
DE2703636C3 (de) * 1977-01-28 1985-10-10 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Regenerierfähiger elektrischer Kondensator und Verfahren zu seiner Herstellung
DE2719988C2 (de) * 1977-05-04 1983-01-05 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Amorphe, Tantal enthaltende mindestens bis 300 Grad C temperaturstabile Metallschicht und Verfahren zu ihrer Herstellung
JPS6045008A (ja) * 1983-08-22 1985-03-11 松下電器産業株式会社 薄膜コンデンサの製造方法
US4671110A (en) * 1984-12-06 1987-06-09 Kock Michiel D De Level sensing device
EP0289835B1 (de) * 1987-04-28 1991-12-27 Yoshida Kogyo K.K. Amorphe Alluminiumlegierungen
FR2642891B1 (fr) * 1989-02-03 1993-12-24 Marchal Equip Automobiles Resistance shunt
US5142308A (en) * 1989-02-28 1992-08-25 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head having heat generating resistor made of non-single crystalline substance containing ir and ta
US5500301A (en) * 1991-03-07 1996-03-19 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho A1 alloy films and melting A1 alloy sputtering targets for depositing A1 alloy films
DE69321862T2 (de) * 1992-04-07 1999-05-12 Koji Hashimoto Temperatur resistente amorphe Legierungen
US6348113B1 (en) 1998-11-25 2002-02-19 Cabot Corporation High purity tantalum, products containing the same, and methods of making the same
US6140909A (en) * 1999-03-23 2000-10-31 Industrial Technology Research Institute Heat-generating resistor and use thereof
US6692586B2 (en) 2001-05-23 2004-02-17 Rolls-Royce Corporation High temperature melting braze materials for bonding niobium based alloys

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3013193A (en) * 1960-01-11 1961-12-12 Battelle Development Corp Compound semiconductor devices
US3627577A (en) * 1968-05-22 1971-12-14 Bell Telephone Labor Inc Thin film resistors
US3737343A (en) * 1971-04-19 1973-06-05 Bell Telephone Labor Inc Technique for the preparation of ion implanted tantalum-aluminum alloy

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Publication number Publication date
BE806831A (fr) 1974-02-15
SU518166A3 (ru) 1976-06-15
YU283373A (en) 1982-06-30
NL7311843A (de) 1974-05-02
IN142001B (de) 1977-05-14
US3955039A (en) 1976-05-04
GB1398254A (en) 1975-06-18
IT998990B (it) 1976-02-20
NO136126B (de) 1977-04-12
DE2253490A1 (de) 1974-07-11
CH559410A5 (de) 1975-02-28
FR2204850B1 (de) 1978-06-23
FR2204850A1 (de) 1974-05-24
DE2253490B2 (de) 1975-10-30
NL183111C (nl) 1988-07-18
NO136126C (no) 1977-07-20
AU6079473A (en) 1975-03-27
JPS5815933B2 (ja) 1983-03-28
SE392360B (sv) 1977-03-21
LU67831A1 (de) 1973-08-28
JPS4977174A (de) 1974-07-25
ATA889673A (de) 1977-06-15

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