AT284204B - Verfahren zum Herstellen einer Photolackmaske für Halbleiterzwecke - Google Patents

Verfahren zum Herstellen einer Photolackmaske für Halbleiterzwecke

Info

Publication number
AT284204B
AT284204B AT738468A AT738468A AT284204B AT 284204 B AT284204 B AT 284204B AT 738468 A AT738468 A AT 738468A AT 738468 A AT738468 A AT 738468A AT 284204 B AT284204 B AT 284204B
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
producing
photoresist mask
semiconductor purposes
semiconductor
purposes
Prior art date
Application number
AT738468A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Application granted granted Critical
Publication of AT284204B publication Critical patent/AT284204B/de

Links

Classifications

    • H10P76/2042—
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
    • G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)
AT738468A 1967-07-31 1968-07-29 Verfahren zum Herstellen einer Photolackmaske für Halbleiterzwecke AT284204B (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES0111122 1967-07-31

Publications (1)

Publication Number Publication Date
AT284204B true AT284204B (de) 1970-09-10

Family

ID=7530754

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT738468A AT284204B (de) 1967-07-31 1968-07-29 Verfahren zum Herstellen einer Photolackmaske für Halbleiterzwecke

Country Status (6)

Country Link
AT (1) AT284204B (de)
CH (1) CH486040A (de)
DE (1) DE1572835A1 (de)
FR (1) FR1575123A (de)
NL (1) NL6810010A (de)
SE (1) SE356828B (de)

Also Published As

Publication number Publication date
CH486040A (de) 1970-02-15
SE356828B (de) 1973-06-04
FR1575123A (de) 1969-07-18
DE1572835A1 (de) 1970-02-26
NL6810010A (de) 1969-02-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CH505473A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung
CH506206A (de) Verfahren zum Betrieb einer Stromrichteranordnung
CH532959A (de) Verfahren zum Kristallisieren einer binären Halbleiterverbindung
AT287018B (de) Verfahren zum Herstellen einer Flachdruckform
CH432656A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
CH483726A (de) Verfahren zum Zerlegen einer Halbleiterscheibe
CH516227A (de) Verfahren zum Herstellen einer Sperrschicht-Halbleitervorrichtung
CH403436A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
CH490511A (de) Verfahren zum Herstellen eines Formstückes
DE1800347B2 (de) Verfahren zum herstellen einer halbleiteranordnung
CH485327A (de) Verfahren zum Herstellen von Fotolackmasken für Halbleiterzwecke
CH416575A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
CH458299A (de) Verfahren zum Herstellen einer einkristallinen Halbleiterschicht
AT292786B (de) Verfahren zum herstellen einer halbleiteranordnung
CH457630A (de) Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterdetektors
CH485328A (de) Vorrichtung zum Herstellen einer Photolackmaschine
CH468721A (de) Verfahren zum gleichzeitigen Herstellen einer Vielzahl von Halbleiterbauelementen
AT284204B (de) Verfahren zum Herstellen einer Photolackmaske für Halbleiterzwecke
CH483928A (de) Verfahren zum Herstellen einer Typentrommel
CH479163A (de) Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelementes
CH474859A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung
CH408223A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
CH408876A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
CH421303A (de) Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
CH452708A (de) Verfahren zum Herstellen einer aus gegeneinander isolierten Halbleiterbereichen bestehenden Halbleitervorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
ELJ Ceased due to non-payment of the annual fee