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Vorrichtung zum Einbringen der Probe in eine Apparatur zur
Untersuchung von metallischen Proben
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Erfindungatmosphärischem Druck unterworfen werden können, in diesem Teil mit der Vakuumeinrichtung verbunden sind und der Träger so verdrehbar ist, dass jede seiner Bohrungen über den Raum bringbar ist, und dass jede Bohrung (mit ihrem Deckel, ihrem Probenträger und ihrer Probe) eine Zwischenstellung (gegenüber dem Kanal) zwischen dem Kanal und der Öffnung durchläuft, in welcher Stellung die Probe einem stärkeren Vakuum unterworfen wird.
Die Zeichnungen, welche nicht massstabgerecht sind, dienen zur Erläuterung der Erfindung.
Fig. l ist eine schematische Darstellung eines Vertikalschnittes der erfindungsgemässen Vorrichtung, die Ebene dieses Schnittes geht durch die vertikale Achse 1 des Elektronengeschützes oder des Raumes 2 und die Rotationsachse 3 der Scheibe 4. Das Elektronengeschütz 2 enthält den emittierenden Glühfaden 5, der durch die Drähte 6 gespeist wird. Unter der Wirkung einer starken Potentialdifferenz (z. B. 10 kV), die in den Zeichnungen nicht abgebildet ist, werden die vom Glühfaden emittierten Elektronen nach oben in Form eines Bündels 7 auf die Probe 8 gerichtet, auf welcher sie eine Strahlung erzeugen, deren Bündel 7 durch ein Fenster 10 aus dem Raum 2 austritt. Dieser unter vermindertem Druck stehende Raum 2 (die Anlage zur Erzeugung des Vakuums ist nicht eingezeichnet) weist oben eine Öffnung 12 auf, die durch die geneigte Ebene 11 begrenzt ist.
Oberhalb der geneigten Ebene 11 und ausserhalb des Raumes 2 rotiert eine kreisförmige Scheibe 4 um ihre Achse 3 und ist durch den Drahzapfen 14 und in einer kreisförmigen Schulter 13 geführt. Die Scheibe 4 liegt an der Ebene 11 unter Abdichtung mit einer zusammengesetzten Dich - tung, die durch die Punkte 15 angedeutet ist, an. Die Scheibe 4 ist versehen mit drei Löchern 16, welche hinsichtlich der Achse 3 symmetrisch und zueinander in einem Winkel von 1200 angeordnet sind.
Diese Löcher dienen zur Aufnahme eines Probenhalters 17 und sind mit einem Deckel 18 be- deckt, dessen Ränder unter Abdichtung mittels einer Dichtung 19 auf der Scheibe aufliegen. 20 und
21 bezeichnen Leitungskanäle im Gehäusekörper ; diese Kanäle sind unterhalb der Unterseite 22 ver- bunden und dienen dazu, die gesamte Vorrichtung unter Vakuum (,.., 10-3 mm Hg) zu setzen.
Fig. 2 zeigt eineDraufsicht auf den Träger 4. Man sieht die drei Deckel 18, die zueinander in einem Winkel von 1200 stehen, dieAchse 3, die Umrisslinien der Dichtungen 19 und die Löcher 16, in welche die Probenhalter eingesetzt sind. Fig. 3 stellt den gleichen Träger dar, jedoch in der Ansicht von unten. Man unterscheidet hier die drei Löcher 16, die Achse 3 und die Dichtung 15 Kreisum- fang 23 ausserhalb der Löcher 16, Kreisumfang 24, an dessen Aussenseite sich die Löcher befinden, und sechs strahlenförmig angeordnete Speichen 25, welche die beiden Kreisumfänge 23, 24 mitein- ander verbinden, wobei sie den Kreisring in sechs gleiche Teile teilen. Die Speichen 25 sindam Träger 4 durch Schrauben 26 befestigt.
Die beiden kreisförmigen Dichtungen sind jede in einer kleinen runden Nut 27, die im Träger angebracht ist, gelagert. Fig. 4 zeigt eine Draufsicht auf das Gehäuse, das den Raum 2 umschliesst, nachdem der Träger 4 abgehoben wurde. Man sieht die Achse l, die Umriss- linien 28 der Achse 3, den Sitz 29 derDrehzapfen 14, die runde Schulter 13, die Öffnung 12 in der Ebene 11 und die Kanalöffnungen 20 und 21 im Gehäusekörper.
Die Vorrichtung funktioniert wie folgt : Während eines Messvorganges befindet sich einer der drei Probenhalter in Stellung I (Fig. 2), wo er einem Elektronenbeschuss ausgesetzt wird ; der zweite Probenhalter ist in Stellung II oberhalb des Kanales 21, wo er gehoben und durch einen andern ersetzt und dann einem Vakuum unterworfen wird. Diese drei Probenhalter sind mittels Dichtungen, die sie völlig umgeben, hinsichtlich des Druckes voneinander isoliert. Wenn die Messung beendet ist, wird der Träger 4 im Sinne des Pfeiles um seine Achse 3 um 1200 gedreht, wobei die drei Proben in Hinsicht auf den Druck voneinander isoliert bleiben. Die Probenhalter, die die Stellungen IJ und III einnehmen, be- setzen in diesem Augenblick die Stellungen II, III und I.
Es kann sofort mit einer neuen Messung begonnen werden, da der Vakuumverlust im Behälter wegen der Verbindung des Behälters mit dem Probenhalter, der aus Stellung m kommt, minimal ist ; es ge- nügt, die Pumpe, die zum Erzeugen des Vakuums von 10. mm Hg im Raum dient, in Betrieb zu halten.
Während dieser Zeit wird die Probe, die aus Stellung I kommt, in Stellung II gehalten, wo sie vorübergehend atmosphärischem Druck unterworfen wird, so dass sie herausgenommen und durch eine neue Probe ersetzt werden kann. Zur gleichen Zeit befindet sich die Probe, die von Stellung II kommt (Zelle steht unter dem ersten Vakuum) in Stellung m, wo sie einem Vakuum von 10-5mm Hg unterworfen wird und somit zur Einführung in den Raum 2 vorbereitet ist. Der Zyklus wird fortgesetzt, indem die Proben im Umlauf ausgetauscht werden.
Während der Drehung des Trägers 4 verschieben sich die kreisförmigen Dichtungen 23 und 24 mit dem Träger, die sich in der Nut 27 nicht verformen können ; die radialen Dichtungen 25 ver-
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