AT229418B - Gerät zum Messen der spezifischen Leitfähigkeit von Halbleitermaterial - Google Patents

Description

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  Gerät zum Messen der spezifischen Leitfähigkeit von Halbleitermaterial 
 EMI1.1 
 

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   In der Zeichnung ist perspektivisch ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemässen Gerätes dargestellt. 



     Zwischen Magnetpolschuhen l   ist an einem dünnen Faden 2 ein Prüfling 3 aus dem zu untersuchenden Halbleitermaterial aufgehängt. Die Aufhängung ist derart ausgeführt, dass sie eine Verdrehung des Prüflings ausschliesst. Zu diesem Zweck kann z. B. eine Aufhängung mit Doppelfaden verwendet werden. Die Polschuhe 1 des Magneten weisen zwecks Erzeugung eines inhomogenen Feldes Abschrägungen auf. Zwischen den Polschuhen 1 wird mittels Erregerwicklungen 10 ein magnetisches Feld erzeugt. Mit dem Prüfling 3 ist ein undurchsichtiger Ansatz 4 verbunden, der geeignet ist, die von einer Lichtquelle 5 ausgesendeten und durch ein Linsensystem 6 gebündelten Lichtstrahlen 7 zu unterbrechen. Die Lichtstrahlen 7 fallen auf ein lichtempfindliches Element 8, in dem die Lichtimpulse in elektrische Impulse umgewandelt werden. 



  Die elektrischen Impulse werden dann einem Zählerwerk 9 zugeführt. 



   Der aus dem zu   prüfenden Halbleitermaterial hergestellte   Prüfling muss am Pendel aufgehängt und in eine Schwingung von vorgegebener Anfangsamplitude versetzt werden. Bei ausgeschaltetem Erregerstrom muss dann die Schwingungszahl bestimmt werden, bei welcher die Schwingungsamplitude des Pendels vom Anfangswert auf einen bestimmten Endwert abgesunken ist. Nachher muss die Messung bei eingeschaltetem Erregerstrom wiederholt werden. Im letzteren Falle entstehen im Prüfling Wirbelströme, welche Verluste zur Folge haben, die der   spezifischen Leitfähigkeit   des Prüflings proportional sind.

   Infolge der höheren Verluste ist nun auch die Dämpfung der Pendelbewegung stärker, so dass eine geringere Anzahl von Schwingungen erforderlich ist, um die Schwingungsamplitude vom vorgegebenen Anfangswert auf den ebenfalls vorgegebenen Endwert zu vermindern. Aus der Abnahme der Schwingungszahl kann die spezifische Leitfähigkeit des Prüflings bestimmt werden. Zweckmässig wird das Gerät mit Hilfe von Prüflingen bekannter spezifischer Leitfähigkeit geeicht. 



   Es ist erkennbar,. dass das erfindungsgemässe Gerät keine galvanische Verbindung zwischen Prüfling und Messgerät erfordert und auch Messungen an sehr kleinen Prüflingen ermöglicht, wobei die Messung bei sehr niedrigen Frequenzen des Erregerstromes erfolgen kann. Die Dämpfung der Schwingungen ist nämlich von den absoluten Abmessungen unabhängig, da bei geometrisch ähnlichen Anordnungen sowohl die kinetische Energie als auch die Verlustleistung der Wirbelströme dem Volumen des Prüflings proportional sind, wenn die magnetische   Induktion und der spezifische Widerstand des Prüflings   die gleichen sind.

Claims (1)

1. PATENTANSPRUCH : Gerät zum Messen der spezifischen Leitfähigkeit von Halbleitermaterial mit einem zwischen den Polschuhen eines Magneten angebrachten Pendel, dadurch gekennzeichnet, dass die Schwungmasse (3) des Pendels (2, 3, 4) aus dem zu prüfenden Halbleitermaterial besteht und dass eine an sich bekannte Vorrichtung zum Zählen der Schwingungszahl des Pendels vorgesehen ist, die aus einer Lichtquelle, einem gegenüber der Lichtquelle angeordneten lichtempfindlichen Element (8) und einem von diesem Element gesteuerten Zählwerk (9) besteht, wobei das Licht (7) der Lichtquelle mit Hilfe des Pendels (2, 3, 4) bei denvonderLeitfähigkeitdes zu prüfenden Halbleitermaterials abhängigen Schwingungsbewegungen periodisch unterbrochen wird.