JPS63298178A - Ic test system - Google Patents

Ic test system

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JPS63298178A
JPS63298178A JP62133815A JP13381587A JPS63298178A JP S63298178 A JPS63298178 A JP S63298178A JP 62133815 A JP62133815 A JP 62133815A JP 13381587 A JP13381587 A JP 13381587A JP S63298178 A JPS63298178 A JP S63298178A
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基夫 植田
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真平 長谷川
Toshiyuki Shimizu
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Abstract

PURPOSE:To achieve a higher testing speed, by a method wherein the execution by lines of a test program is controlled with a higher-order processor, actual execution of the program is done with lower-order processors and the results of testing are outputted with signal lines one per element to be tested. CONSTITUTION:A plurality of lower-order processors 23A-23N are connected to a higher-order processor 21. The processor 21 decides whether a program line read is executed or not checking a state of testing an element to be tested and assigns actual execution of the program line decided to be executed to any of the processors 23A-23N provided at a lower order. The processors 23A-23N judge the propriety of a test data obtained for the element being tested and the results of judgement are supplied to the processor 21 separately through signal lines 27A-27N one per element being tested.

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は階層構造をした分散型アーキテクチャを有す
るICテストシステムに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application This invention relates to an IC test system having a hierarchical distributed architecture.

「従来の技術」 第3図は従来のICテストシステムの構成例を示す図で
ある。ICテストシステムでは、被試験素子を試験する
テストシーケンスが記述されたプログラムが記憶装置(
図示せず)に格納されており、中央処理装置11が記憶
装置からそのテストプログラムを読出して順次実行する
ように構成され、例えば半導体メモリ素子を試験するた
めのテスト動作の全てを中央処理装置11が制御するよ
うになっている。
"Prior Art" FIG. 3 is a diagram showing an example of the configuration of a conventional IC test system. In an IC test system, a program containing a test sequence for testing a device under test is stored in a storage device (
(not shown), and the central processing unit 11 is configured to read the test program from the storage device and execute it sequentially. For example, the central processing unit is now under control.

中央処理装置11には制御線12によりハードウェアモ
ジュール13A、13B、13C〜13Nが接続されて
おり、中央処理装置12がテストプログラムを解読して
実行するに伴って出力する制御信号はこれらハードウェ
アモジュール13A。
Hardware modules 13A, 13B, 13C to 13N are connected to the central processing unit 11 by control lines 12, and the control signals output when the central processing unit 12 decodes and executes the test program are connected to these hardware modules. Module 13A.

13B、13C〜13Nに供給される。13B, 13C to 13N.

その制御信号は、例えば、被試験素子の所定の入力端子
に対して5.25Vの直流信号を供給するための制御信
号であり、この制御信号が供給されると、例えばハード
ウェアモジュール13Aは5.25■の直流信号を被試
験素子の指定された入力端子に対して供給する。
The control signal is, for example, a control signal for supplying a 5.25V DC signal to a predetermined input terminal of the device under test, and when this control signal is supplied, for example, the hardware module 13A .25■ DC signal is supplied to the designated input terminal of the device under test.

また、中央処理装置11が出力する制御信号は例えば信
号を測定することを指令する制御信号であり、直流電圧
を測定するためのハードウェアモジュール13Bは、こ
の4制御信号が供給されると、被試験素子の指定された
出力端子に接続され、その信号電圧を測定する。
Further, the control signal outputted by the central processing unit 11 is, for example, a control signal instructing to measure a signal, and when the hardware module 13B for measuring DC voltage is supplied with these four control signals, the It is connected to the designated output terminal of the test element and its signal voltage is measured.

これ等のハードウェアモジュール13A、13B。These hardware modules 13A, 13B.

13C〜13N、はマイクロプロセッサ14が組み込ま
れていてもよい。汎用の論理素子だけで試験回路を組む
と膨大な個数の論理素子を必要としても、論理回路の多
くの部分をマイクロプロセッサ14で組むことにより回
路基板を小型に構成することができる。この場合のマイ
クロプロセッサ14は単なる論理素子の代替えであり、
予め決められたシーケンス制御をするだけであって、特
別の判断制御機能を必要とするような使い方は一般にさ
れてない。
13C to 13N may have a microprocessor 14 incorporated therein. Even if a huge number of logic elements are required if the test circuit is constructed using only general-purpose logic elements, the circuit board can be made compact by constructing many parts of the logic circuit using the microprocessor 14. The microprocessor 14 in this case is simply a replacement for a logic element,
It only performs predetermined sequence control, and is not generally used in a way that requires a special judgment control function.

このようなICテストシステムでは、ハードウェアモジ
ュール13A、13B、13C〜13Nは数にして通常
は、数十回路以上が備えられており、入出力端子の数が
比較的に少ない被試験素子は数個の素子を同時に試験す
ることができる。
In such an IC test system, the hardware modules 13A, 13B, 13C to 13N are usually equipped with several dozen circuits or more, and the number of devices under test with a relatively small number of input/output terminals is several. individual devices can be tested simultaneously.

「発明が解決しようとする問題点」 中央処理装置はプログラムの解読と実行、つまり、被試
験素子の試験を行うための制御信号をハードウェアモジ
ュールなどに出力すると共に、被試験素子が出力する信
号の測定及び測定結果の良否の判定など、ICテストシ
ステムの動作に必要とされるあらゆる演算制御を行う必
要がある。
"Problem to be Solved by the Invention" The central processing unit decodes and executes programs, that is, outputs control signals for testing the device under test to hardware modules, and also outputs signals output by the device under test. It is necessary to carry out all kinds of arithmetic and control operations required for the operation of the IC test system, such as measuring and determining whether the measurement results are good or bad.

例えば、テストプログラムに記述されている電圧信号を
被試験素子に供給する場合には、中央処理装置はそのデ
ジタルデータ値をハードウェアモジュールに供給したり
、被試験素子の出力信号を測定する場合には、得られた
測定値を必要に応じて補正換算し、所定の判定表と比較
して良否の判定をしたり或いはランク付けをすることも
ある。
For example, when supplying the voltage signal described in the test program to the device under test, the central processing unit supplies the digital data value to the hardware module, or when measuring the output signal of the device under test. In some cases, the obtained measured values are corrected and converted as necessary, and compared with a predetermined judgment table to judge the quality or failure, or to rank them.

このようにして実行された試験結果は各ハードウェアモ
ジュール毎にその試験結果或いは測定データが記憶され
、その記憶されている試験結果を集めて、総合的に判断
するごとによりその被試験素子に関する良不良の判定を
下している。更に、各試験項目についての測定値の判定
及び総合に多大な時間を費やすことになり、速やかな試
験を行うことができない。とりわけ電流信号人力−電圧
信号出力特性、電圧信号人力−電流信号出力特性のよう
なりCテストを多数の入出力端子を有する被試験素子に
対して迅速且つ正確な試験を実施するのは不可能に近い
The test results or measurement data executed in this way are stored for each hardware module, and each time the stored test results are collected and comprehensively judged, the quality of the device under test is determined. It has been judged as defective. Furthermore, a large amount of time is spent in determining and synthesizing the measured values for each test item, making it impossible to conduct tests quickly. In particular, it becomes impossible to perform C tests quickly and accurately on devices under test that have a large number of input and output terminals, such as current signal manual input - voltage signal output characteristics and voltage signal manual input - current signal output characteristics. close.

またICテストシステムでは、一台の中央処理装置にシ
ステム制御の全てを任せていると、試験速度が遅くなる
ので、複数の処理装置を用いて構成された分散処理シス
テムを考えることもできる。
Furthermore, in an IC test system, if all system control is left to one central processing unit, the testing speed will be slow, so a distributed processing system configured using a plurality of processing units can also be considered.

このような分散処理システムでは1、各処理装置がそれ
ぞれ担当して行った各種の試験項目について、一台の主
処理装置がそれら試験結果を順次集め、集められた結果
を調べることによって、その被試験素子について良不良
を判定する必要のあることは同じである。しかも、同時
に複数個の被試験素子をテストする場合には一層複雑な
処理分けをしなければならず、試験結果の収集、分別及
び総合に時間が掛り、被試験素子についての速やかな試
験結果を得ることができず、試験速度の向上を図ること
ができない。
In such a distributed processing system, one main processing unit sequentially collects the test results for various test items performed by each processing unit and examines the collected results. The need to determine whether the test element is good or bad is the same. Moreover, when testing multiple devices under test at the same time, more complicated processing must be performed, and it takes time to collect, separate, and synthesize the test results, and the test results for the devices under test can be quickly obtained. Therefore, it is not possible to improve the test speed.

[問題点を解決するための手段1 この発明では、テストシーケンスが記述されたテストプ
ログラムを行単位で実行することを上位の中央処理装置
が制御し、そのプログラム行に記述されている制御内容
の実際の解読及び実行は、中央処理装置に制御される下
位の処理装置に委ねられる。その下位の処理装置はプロ
グラム行を実行することによりハードウェアモジュール
へアクセスし、或いはテストステータスの更新などを行
う。
[Means for Solving the Problems 1] In this invention, a higher-level central processing unit controls the execution of a test program in which a test sequence is written line by line, and executes the control content written in each line of the program. Actual decoding and execution is left to lower-level processing units controlled by the central processing unit. The lower processing device executes a program line to access the hardware module or update the test status.

更にこの発明では、複数の被試験素子に対して同時に試
験を施して得られた試験項目別測定値の良不良の判定を
下位の各処理装置が行い、判定結果は同時に試験された
被試験素子ごとに異なるデータ線に一括して上位の処理
装置へ出力される。
Furthermore, in this invention, each lower-level processing device determines whether the measured values for each test item obtained by simultaneously testing multiple devices under test are good or bad, and the determination results are sent to the devices under test that are simultaneously tested. The data are collectively output to a higher-level processing device on different data lines.

「発明の作用」 この発明の構成によれば、中央処理装置はテストプログ
ラムの行単位による実行するを制御し、プログラム行の
実際の解読及び実行は専用の複数の処理装置によって分
散して行われる。また、同時に試験された複数個の被試
験素子についての試験結果はそれぞれ被試験素子側に唯
一本の信号線に出力される。
"Operation of the Invention" According to the configuration of the present invention, the central processing unit controls the execution of the test program line by line, and the actual decoding and execution of the program lines is performed in a distributed manner by a plurality of dedicated processing units. . Further, the test results for a plurality of devices under test that are tested simultaneously are outputted to only one signal line on the side of each device under test.

「実施例」 第1図はこの発明のICテストシステムの構成例を示す
ブロック図である。この例では、ICテストシステムは
記憶装置(図示せず)に格納されているテストプログラ
ムの実行するを制御する上位の処理装置21と、この上
位の処理装置21に制御バス22を介して接続され、そ
の上位の処理装置21の制御の下にプログラム行の実際
の実行をする複数の下位の処理装置23A、23B、2
3C〜23Nと、これ等下位の処理装置23A、23B
Embodiment FIG. 1 is a block diagram showing a configuration example of an IC test system of the present invention. In this example, the IC test system is connected to a higher-level processing device 21 that controls the execution of a test program stored in a storage device (not shown) and to this higher-level processing device 21 via a control bus 22. , a plurality of lower processing devices 23A, 23B, 2 which actually execute the program lines under the control of the upper processing device 21.
3C to 23N and their lower processing devices 23A and 23B
.

23C〜23Nに制御線24を通じて制御されるハード
ウェアモジュール25A、25B、25C〜25Nとで
階層的に構成される。
It is hierarchically constituted by hardware modules 25A, 25B, and 25C to 25N, which are controlled through control lines 24 to 23C to 23N.

即ち、被試験素子を試験するテストプログラムは試験の
手順が行単位で記述され、上位処理装置21はそのテス
トプログラムを行単位で記憶装置から順次読出し、その
読出したプログラム行について実行するか否かを制御す
る。
That is, in a test program for testing the device under test, the test procedure is written line by line, and the host processing unit 21 sequentially reads the test program line by line from the storage device, and determines whether or not to execute the read program line. control.

この上位の処理装置21には複数の下位の処理装置23
A、23B、23C〜23Nが接続されており、上位処
理装置21は被試験素子のテスト状態をみながら読出し
たプログラム行を実行するかどうかを決め、実行するを
決めたプログラム行の実際の実行は下位に設けられた複
数の処理装置23A、23B、23C〜23Nの何れか
に委ねられる。
This upper processing device 21 has a plurality of lower processing devices 23.
A, 23B, 23C to 23N are connected, and the host processing unit 21 determines whether or not to execute the read program line while checking the test status of the device under test, and actually executes the program line that it has decided to execute. is entrusted to any one of the plurality of processing devices 23A, 23B, 23C to 23N provided at the lower level.

下位の各処理装置23A、23B、23C〜23Nは被
試験素子に対するテスト信号を制御するに適した専用の
処理装置であり、それぞれに接続されているハードウェ
アモジュール25A、25B。
The lower processing devices 23A, 23B, 23C to 23N are dedicated processing devices suitable for controlling test signals for the device under test, and are connected to hardware modules 25A, 25B, respectively.

25C〜25Nを制御するに適した機械語をプログラム
言語としている。処理装置23は上位の処理装置21か
らプログラム行の実行を委嘱されると、そのプログラム
行を解読し、プログラム行の実行に入る。つまり、処理
装置23A、23B。
The programming language is a machine language suitable for controlling 25C to 25N. When the processing device 23 is entrusted with executing a program line from the higher-level processing device 21, it decodes the program line and starts executing the program line. That is, the processing devices 23A and 23B.

23C〜23Nは被試験素子に対するテスト信号の入出
力をする手順が記述された制御プログラムを、図には示
してないが記憶装置に保持しており、与えられたプログ
ラム行の解読結果によりその制御プログラムを読出して
、プログラム行に記述されている信号の入出力制御をす
る手順を実行する。
23C to 23N hold a control program in a storage device (not shown in the figure) that describes the procedure for inputting and outputting test signals to and from the device under test, and the control program is controlled based on the result of decoding the given program line. Read the program and execute the procedure for controlling input/output of the signals written in the program line.

この下位の処理装置23A、23B、23C〜23Nは
それぞれに接続されているノ\−ドウエアモジュール2
5A、25B、25C〜25Nにアクセスしたり、テス
ト状態(端子の接続や測定器の状態)等を変更したりす
るのに便利な命令語体系をもち、且つマクロ命令化され
ているので上位処理袋W21が、その命令語体系でハー
ドウェアモジュール25A、25B、25C〜25Nに
対して直接同じ処理をさせるより数十倍の処理速度が得
られるように構成されている。このようにICテストシ
ステムは、多数の入出力端子を有する被試験素子に対す
るDCテストをするに際し迅速な制御をすることができ
る。
These lower processing devices 23A, 23B, 23C to 23N are connected to node/ware modules 2, respectively.
It has a command system that is convenient for accessing 5A, 25B, 25C to 25N and changing the test status (terminal connections and measuring instrument status), etc., and is converted into macro commands, so it can be easily processed by higher-level processing. The bag W21 is configured to obtain a processing speed several tens of times faster than when the hardware modules 25A, 25B, 25C to 25N directly perform the same processing using its instruction word system. In this way, the IC test system can perform rapid control when performing a DC test on a device under test having a large number of input/output terminals.

また、処理装置23は、上位処理装置21から実行の委
嘱を受けたプログラム行をそのまま実行するだけではな
く、プログラム行を解読し、その解読結果に対して、被
試験素子に対して予め情報が与えられている機能条件、
例えば、最小クロック幅、入力条件、タイミング関係或
いは禁止条件などをチェックし、誤った入力信号を与え
てしまったり、甚だしくは被試験素子の破損を招くよう
な信号状態に陥ることがないように判断しながら被試験
素子に試験信号を出力し或いは出力信号の測定を行う。
In addition, the processing device 23 not only executes the program line that has been entrusted to execute from the host processing device 21 as it is, but also decodes the program line and provides information in advance to the device under test based on the decoding result. given functional conditions,
For example, check the minimum clock width, input conditions, timing relationships, prohibition conditions, etc., and make judgments to avoid giving incorrect input signals or falling into signal conditions that could seriously damage the device under test. while outputting a test signal to the device under test or measuring the output signal.

ハードウェアモジュール25A、25B、25C〜25
Nは下位の処理装置23A、23B、23C〜23Nの
プログラム行の実行に伴う制御信号が供給され、被試験
素子の指定された入力端子に対してテスト信号1例えば
5.25Vの直流信号を出力したり或いは被試験素子の
指定された出力端子からの信号を測定することができる
Hardware modules 25A, 25B, 25C-25
N is supplied with a control signal accompanying the execution of the program line of the lower processing units 23A, 23B, 23C to 23N, and outputs a test signal 1, for example, a 5.25V DC signal to a specified input terminal of the device under test. Alternatively, signals from specified output terminals of the device under test can be measured.

このハードウェアモジュール25A、25B。These hardware modules 25A, 25B.

25C〜25Nはマイクロプロセッサ26を含んでいて
もよい。このマイクロプロセッサ26は、多数の論理素
子を置き換えただけの、複雑な判断機能を必要としない
決められたシーケンスを高速に行うものである。このマ
イクロプロセッサ26は汎用のプロセッサが使用され、
その動作が予めプログラミングされていて、処理装置2
3がらの命令により被試験素子に対する信号の入出力を
制御卸することができる。
25C-25N may include a microprocessor 26. This microprocessor 26 simply replaces a large number of logic elements and executes a determined sequence at high speed without requiring complex judgment functions. This microprocessor 26 is a general-purpose processor,
The operation is programmed in advance and the processing device 2
The input and output of signals to and from the device under test can be controlled using three commands.

以上のように下位の処理装置23A、23B。As described above, the lower processing devices 23A and 23B.

23C〜23Nは上位の処理装置21の制御の下に被試
験素子に対する試験の実際の処理の全てを実行し、上位
の処理装置21は下位の各処理装置23A、23B、2
3C〜23Nのプログラム行の実行制御及び試験結果の
良否判定結果の収集など、ICテストシステム全体の有
機的動作の制御のみを行う。
23C to 23N execute all of the actual processing for testing the device under test under the control of the higher-level processing device 21, and the higher-level processing device 21 executes all of the actual processing for testing the device under test under the control of the higher-level processing device 21.
It only controls the organic operations of the entire IC test system, such as controlling the execution of program lines 3C to 23N and collecting the pass/fail judgment results of test results.

更に、この発明では、下位の処理装置23A。Furthermore, in this invention, the lower processing device 23A.

23B、23C〜23Nは被試験素子について得られた
試験データについてその良否を判定し、その判定結果は
被試験素子別にそれぞれ唯一本づつの信号線27A、2
7B〜27Nを介して上位の処理装置に供給される。
23B, 23C to 23N judge whether the test data obtained for the device under test is good or bad, and the judgment result is sent to the signal lines 27A, 2, which are the only one for each device under test.
It is supplied to the upper processing device via 7B to 27N.

第2図はこの発明の実施例の要部の構成例を示す図であ
る。この実施例では、4つの信号線27A。
FIG. 2 is a diagram showing an example of the configuration of essential parts of an embodiment of the present invention. In this embodiment, four signal lines 27A.

27B〜27Dが示されており、最大で4個の被試験素
子30A、30B〜30Dの試験が同時にできるように
構成されている場合である。下位の各処理装置23A、
23B、23C〜23Nと上位の処理装置21とが各信
号線27A、、27B〜27Dを用いてそれぞれワイヤ
ードオア回路31A。
27B to 27D are shown, and this is a case in which a maximum of four devices under test 30A, 30B to 30D can be tested simultaneously. Each lower processing device 23A,
23B, 23C to 23N and the upper processing device 21 form wired OR circuits 31A using respective signal lines 27A, 27B to 27D.

31B、31C〜31Nと31Pとを介して接続され、
下位の各処理装置23A、23B、23C〜23Nはそ
れぞれの内部状態を示すステータス32A、32B、3
2C〜32Nを各信号線27A。
Connected via 31B, 31C to 31N and 31P,
Each lower processing device 23A, 23B, 23C to 23N has a status 32A, 32B, 3 indicating its internal state.
2C to 32N to each signal line 27A.

27B〜27Dに乗せることができるように構成される
27B to 27D.

ICテストシステムは各試験素子30A、30B〜30
Dに対して多くの試験を実施し、通常は、それらの試験
項目の全てに合格した場合にだけその被試験素子30A
、30B〜30Dを良品と判定する。この信号線27A
、27B〜27Dは各被試験素子30A、30B〜30
Dに関しての最終判定結果をそれぞれ収集するのに用い
られる。
The IC test system has each test element 30A, 30B to 30
A number of tests are conducted on D, and normally the device under test 30A is tested only if it passes all of the test items.
, 30B to 30D are determined to be non-defective products. This signal line 27A
, 27B to 27D are the respective devices under test 30A, 30B to 30
It is used to collect the final judgment results regarding D.

例えば、第1の被試験素子30Aの出力信号は、ハード
ウェアモジュール25aにより測定され、その測定デー
タはハードウェアモジュール25aを制御している下位
の処理装置23A、23B。
For example, the output signal of the first device under test 30A is measured by the hardware module 25a, and the measurement data is sent to the lower processing devices 23A and 23B controlling the hardware module 25a.

23Cに読み込まれる。下位の処理装置23A。Loaded into 23C. Lower processing device 23A.

23B、23Cはそれらの測定データを必要に応して補
正し、最終的に求められたデータ値と基準値とを比較し
て各データ値の良否を判定する。各判定結果は判定ステ
ータス32aとして信号線27Aに出力される。第2の
被試験素子30Bに関しても、他のハードウェアモジュ
ール25bを用いて同様に試験が実施され、その測定デ
ータは下位の処理装置23B、23C,・・・で良否が
判定され、各試験項目の判定ステータス32bが信号線
27Bに出力される。第3.第4の被試験素子30C。
23B and 23C correct the measured data as necessary, and compare the finally obtained data value with a reference value to determine the quality of each data value. Each determination result is output to the signal line 27A as a determination status 32a. The second device under test 30B is similarly tested using another hardware module 25b, and the measurement data is judged pass/fail by the lower processing devices 23B, 23C, etc., and each test item is The determination status 32b is output to the signal line 27B. Third. Fourth device under test 30C.

30Dに対する試験もその他のハードウェアモジュール
25c、25dを用いて実施され、それぞれの判定ステ
ータス32c、32d はそれぞれ信号線27C,27
Dに出力される。
The test for 30D is also conducted using other hardware modules 25c and 25d, and the respective judgment statuses 32c and 32d are transmitted through signal lines 27C and 27, respectively.
Output to D.

この発明の構成によれば、各試験項目について、良の判
定されるとステータスは’OJに操作され、不良と判定
されるとステータスが「1」に操作される。それらの「
0」或いは’IJのステータスはワイヤードオア回路3
1A、31B、31C〜31Nを介して信号線27A、
27B〜27Dに出力されるので、例えば、第1の信号
線27Aに接続されるステータス32aが1つでも「1
」に操作されていると、第1の信号線27Aは’IJの
信号が乗せられて上位の処理装置21には’IJなる信
号が供給される。つまり、第1の被試験素子30Aは不
良と判断される。他方、信号線27Aに接続される全て
のステータス32aが’OJに操作されていると、この
場合だけ信号線27Aには’OJの信号が乗せられる。
According to the configuration of the present invention, when each test item is judged to be good, the status is changed to 'OJ', and when it is judged to be bad, the status is changed to '1'. Them"
0" or 'IJ status is wired OR circuit 3
Signal line 27A, via 1A, 31B, 31C to 31N,
27B to 27D, for example, even one status 32a connected to the first signal line 27A is "1".
'', the first signal line 27A carries the signal 'IJ', and the upper processing device 21 is supplied with the signal 'IJ'. In other words, the first device under test 30A is determined to be defective. On the other hand, if all the statuses 32a connected to the signal line 27A are operated to 'OJ', the 'OJ signal is carried on the signal line 27A only in this case.

この「0」の信号が上位の処理語W 21で読み取られ
ると、被試験素子30Aは良品と判断される。従って、
上位の処理装置21までの信号線27A、27B〜27
Dに乗せられている信号を一回読込むだけで、被試験素
子30A、30B〜30Dに関してそれぞれ全試験項目
が良であったか否かの最終結果を知ることができ、次の
処理を迅速且つ適切に進めることができる。
When this "0" signal is read by the upper processing word W 21, the device under test 30A is determined to be non-defective. Therefore,
Signal lines 27A, 27B to 27 to the upper processing device 21
By reading the signal carried on D only once, you can know the final result of whether or not all test items were passed for each of the devices under test 30A, 30B to 30D, and the next processing can be carried out quickly and appropriately. You can proceed.

第2図での説明では、ハードウェアモジュール25a 
、25b 〜25d (第2図)は各被試験素子3OA
、30B〜30Dべつに特定して用いられるように説明
したが、同一のハードウェアモジュール25が複数の被
試験素子30A、30B〜30Dに対する試験に時分割
的に割り当てられても良い例えば、1つのハードウェア
モジュール25A(第1図)が2つの被試験素子30A
、30Bに対して使用されるように制御することもでき
る。この場合には、そのハードウェアモジュール25A
による2つの測定データは、そのハードウェアモジュー
ル25Aを制御する下位の処理装置23Aの内部におい
て分別処理されてそれぞれ別のステータスとして信号v
A27A、27Bに乗せるように制御される。
In the explanation in FIG. 2, the hardware module 25a
, 25b to 25d (Fig. 2) are 3OA of each device under test.
, 30B to 30D, the same hardware module 25 may be time-divisionally allocated to testing multiple devices under test 30A, 30B to 30D, for example, one hardware The hardware module 25A (Fig. 1) connects two devices under test 30A.
, 30B. In this case, the hardware module 25A
The two measurement data are separately processed inside the lower processing device 23A that controls the hardware module 25A, and are each output as a signal v as a separate status.
It is controlled to be placed on A27A and 27B.

また下位の各処理装置23A、23B、23C〜23N
から上位の処理装置21への接続は信号線27とワイヤ
ードオア回路31に限るものではなく、この発明を実現
するための同等の手段を用いて構成しても良い。
In addition, each lower processing device 23A, 23B, 23C to 23N
The connection from to the higher-level processing device 21 is not limited to the signal line 27 and the wired-OR circuit 31, but may be constructed using equivalent means for realizing the present invention.

「発明の効果」 以上に説明したように、この発明によれば、上位に在る
処理装置は専らプログラム行の実行するを制御するよう
に構成し、プログラム行の実際の実行は下位の複数の処
理装置に分散させるようにした階層構造での制御を採る
ようにした。このように分散型アーキテクチャによる処
理速度の向上を図ると共に、各階層毎に最適な命令語体
系を使用しているので制御信号を出力するまでの処理が
非常に早くなり、被試験素子に対するテストを高速に行
うことができる。
``Effects of the Invention'' As explained above, according to the present invention, the higher-level processing device is configured to exclusively control the execution of the program line, and the actual execution of the program line is controlled by the lower-level multiple processing units. Control was adopted in a hierarchical structure that was distributed among processing devices. In this way, the distributed architecture improves processing speed, and since the optimal command system is used for each layer, the processing up to the output of control signals becomes extremely fast, making it easier to test the device under test. It can be done quickly.

また、この発明の構成によれば、同時に複数の被試験素
子について多数の項目にわたる試験をしても、その多項
目の試験結果は被試験素子別に異なる信号線にまとめて
出力されるようにした。従って、上位の処理装置は各被
試験素子ごとに1本の信号線を通して唯1回だけステー
タスを読込めばそれらの良不良を直ちに知ることができ
、試験速度の向上に多大な効果がある。
Further, according to the configuration of the present invention, even if multiple items are tested on multiple devices under test at the same time, the test results for the multiple items are output together to different signal lines for each device under test. . Therefore, by reading the status of each device under test only once through one signal line, the upper processing device can immediately know whether the devices are good or bad, which has a great effect on improving the testing speed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の実施例を示す構成図、第2図はこの
発明の要部を示す回路構成図、第3図は従来のICCス
ストシステムの構成例を示す図である。 11:中央処理装置、12:制御線、13ニハードウエ
アモジユール、14:マイクロプロセッサ、21:上位
の処理装置、22:制御用ハス、23:下位の処理装置
、24:制御線、25:ハードウェアモジュール、26
二マイクロプロセソサ、27:信号線、30:被試験素
子、31:ワイヤードオア回路、32:ステータス。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a circuit block diagram showing essential parts of the present invention, and FIG. 3 is a diagram showing an example of the structure of a conventional ICC suspension system. 11: central processing unit, 12: control line, 13 hardware module, 14: microprocessor, 21: upper processing unit, 22: control lotus, 23: lower processing unit, 24: control line, 25: hardware module, 26
2 microprocessor, 27: signal line, 30: device under test, 31: wired OR circuit, 32: status.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)テストプログラムの実行を制御する上位の処理装
置と、 その上位の処理装置により制御され、テストプログラム
を行単位でモジュールアクセスする命令、テストステー
タスを更新する命令を実行する複数の下位の処理装置と
、 上位の処理装置により制御され、命令の実行に伴って被
試験素子に対する試験信号の発生、被試験素子の出力信
号の測定をそれぞれ行う複数のハードウェアモジュール
と から成るICテストシステムであって、 下位の各処理装置の複数の被試験素子に対する良不良判
定する手段を有し、その結果を同時に測定する被試験素
子ごとに、上位の処理装置及び下位の各処理装置間のデ
ータバスの異ビット線に出力する手段が設けられて成る
ICテストシステム。
(1) A higher-level processing device that controls the execution of the test program, and multiple lower-level processes that are controlled by the higher-level processing device and execute instructions that access the test program line by line module and instructions that update the test status. It is an IC test system consisting of a device and a plurality of hardware modules that are controlled by a higher-level processing unit and each generate test signals for the device under test and measure output signals of the device under test in accordance with the execution of instructions. It has means for determining pass/fail for multiple devices under test in each lower processing device, and the results are measured simultaneously for each device under test. An IC test system comprising means for outputting to different bit lines.
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