JP6311720B2 - レーザ装置、該レーザ装置を備えた露光装置及び検査装置 - Google Patents
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Description
第1構成形態のレーザ装置における、レーザ光発生部1Aの概要構成および作用を説明するための説明図を図2に示す。レーザ光発生部1Aは、レーザ光源11Aと強度変調器12とを備える。レーザ光源11Aは、第1レーザ光源11aと第2レーザ光源11bとから構成される。
第2構成形態のレーザ装置における、レーザ光発生部1Bの概要構成および作用を説明するための説明図を図3に示す。レーザ光発生部1Bは、レーザ光源11Bと強度変調器12とを備え、レーザ光源11Bは、第1レーザ光源11cと第2レーザ光源11dとから構成される。なお、第1構成形態のレーザ装置と同様の構成要素には、同一符号および同じ用語を用いている。
第3構成形態のレーザ装置における、レーザ光発生部1Cの概要構成および作用を説明するための説明図を図4に示す。本構成形態のレーザ装置は、レーザ光源11Cから出力されたレーザ光が複数に分割され、分割数に応じて、強度変調器12、ファイバ増幅器21、および波長変換光学素子31,32からなる波長変換光学系30が複数並列に設けられて、各列から任意のオン/オフパターンで紫外光を出力可能に構成される。図4には分割数を4とした場合を例示する。なお、既述した第1,第2構成形態のレーザ装置と同様の構成部分には、同一番号を付して重複説明を省略する。
第4構成形態のレーザ装置における、レーザ光発生部1Dの概要構成および作用を説明するための説明図を図5に示す。レーザ光発生部1Dは、レーザ光源11Dと強度変調器12とを備え、レーザ光源11Dは単一の第1レーザ光源11aにより構成される。本構成形態のレーザ装置は、レーザ光源11Dから出力されるレーザ光(ベース光)のパルス波形が単一であり、強度変調器12が切り出す透過率波形が高透過率波形と低透過率波形の2つの高低ゲート状の波形である点を特徴とする。
第5構成形態のレーザ装置における、レーザ光発生部1Eの概要構成および作用を説明するための説明図を図6に示す。レーザ光発生部1Eは、レーザ光源11Eと強度変調器12を備え、レーザ光源11Eは、第1レーザ光源11aと第2レーザ光源11bとから構成される。本構成形態のレーザ光源11Eから出力されるレーザ光(ベース光)が第1シード光切り出し用の第1ベース光と第2シード光切り出し用の第2ベース光の2つあり、強度変調器12が切り出す透過率波形が高透過率波形と低透過率波形の2つの高低ゲート状の波形である点を特徴とする。
日本国特許出願2013年第222263号(2013年10月25日出願)
1 レーザ光発生部 2 増幅部
3 波長変換部 8 制御部
11(11A,11B,11C,11D,11E) レーザ光源
11a 第1レーザ光源 11b 第2レーザ光源
11c 第1レーザ光源 11d 第2レーザ光源
12 強度変調器 21 ファイバ増幅器(増幅器)
30 波長変換光学系 31,32 波長変換光学素子
80 パルス制御回路 81 第1レーザドライバ
82 第2レーザドライバ 83 EOMドライバ
84 光検出器
85 パルス同期制御回路(同期回路) 86 パルス制御回路
87 パルス制御回路 88 パルス制御回路
500 露光装置
502 照明光学系 503 マスク支持台
504 投影光学系 505 露光対象物支持テーブル
513 フォトマスク 515 露光対象物
550 露光装置
552 照明光学系 553 ミラー
554 投影光学系 555 露光対象物支持テーブル
563 可変成形マスク 565 露光対象物
570 露光装置
572 整形光学系 573 ミラー
574 対物光学系 575 露光対象物支持テーブル
583 ポリゴンミラー 585 露光対象物
600 検査装置
602 照明光学系 603 被検物支持台
604 投影光学系 613 被検物
615 TDIセンサ
Claims (17)
- 予め設定された所定周波数のパルス波形のレーザ光を発生するレーザ光源と、
前記所定周波数またはその整数倍の周波数で透過率が変化する透過率波形で駆動され、前記レーザ光源から出力されたレーザ光を切り出して出射する強度変調器と、
前記強度変調器の作動を制御する制御部と、
前記強度変調器から出力されたレーザ光を増幅する増幅器と、
前記増幅器により増幅されたレーザ光を波長変換する波長変換光学素子とを備え、
前記制御部は、前記パルス波形に対する前記透過率波形の相対的なタイミングを変化させることにより前記強度変調器から出射するレーザ光のパルス波形を変化させ、前記波長変換光学素子から所定波形のパルス光を出力させる
ように構成したレーザ装置であって、
前記強度変調器から出射されるレーザ光は、前記所定周波数の第1パルス波形のレーザ光と、前記所定周波数であるが前記第1パルス波形のレーザ光とタイミングが異なる第2パルス波形のレーザ光とのいずれかを含み、
前記第1パルス波形のレーザ光は、前記波長変換光学素子における波長変換効率が相対的に高く前記パルス光が発生するように設定された光であり、
前記第2パルス波形のレーザ光は、エネルギーは前記第1パルス波形のレーザ光と略同一であるが、前記波長変換光学素子における波長変換効率が相対的に低く前記パルス光が発生しないように設定された光である、レーザ装置。 - 前記レーザ光源は、前記所定周波数で第1パルス波形のレーザ光を発生する第1レーザ光源と、前記所定周波数であるが前記第1パルス波形のレーザ光と異なるタイミングで第2パルス波形のレーザ光を発生する第2レーザ光源とを有し、
前記強度変調器には、前記第1レーザ光源から出力された前記第1パルス波形のレーザ光と前記第2レーザ光源から出力された前記第2パルス波形のレーザ光とが合波されて入射し、
前記透過率波形は、前記所定周波数でレーザ光を透過する透過状態とレーザ光を遮断する遮断状態とが切り替わるオン/オフゲート状の波形であり、
前記制御部は、前記第1パルス波形および前記第2パルス波形に対する前記透過率波形の相対的なタイミングを変化させることにより、前記強度変調器を透過するレーザ光のパルス波形を変化させる請求項1に記載のレーザ装置。 - 前記第1パルス波形のレーザ光と前記第2パルス波形のレーザ光とは、ピーク強度が異なる請求項2に記載のレーザ装置。
- 前記第1パルス波形のレーザ光と前記第2パルス波形のレーザ光とは、波長が異なる請求項2または3に記載のレーザ装置。
- 前記第1パルス波形のレーザ光と前記第2パルス波形のレーザ光とは、前記波長変換光学素子に入射する際の偏光状態が異なる請求項2〜4のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 前記第1レーザ光源および前記第2レーザ光源は、半導体レーザである請求項2〜5のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 前記第1レーザ光源は、前記第1パルス波形のレーザ光を前記所定周波数で発生するモードロックレーザであり、
前記第2レーザ光源は半導体レーザであり、
前記モードロックレーザから出力された前記第1パルス波形のレーザ光を検出する光検出器と、
前記光検出器により検出された前記第1パルス波形に基づいて、前記第2レーザ光源の駆動電源および前記制御部に同期信号を出力する同期回路と
を備えた請求項2〜6のいずれか一項に記載のレーザ装置。 - 前記第1レーザ光源から出力された前記第1パルス波形のレーザ光と、前記第2レーザ光源から出力された前記第2パルス波形のレーザ光とは、一度合波された後に複数に分岐され、
前記強度変調器、前記増幅器、および前記波長変換光学素子は前記複数に分岐された分岐光路ごとに設けられており、
前記制御部が、前記分岐光路ごとに前記第1パルス波形および前記第2パルス波形に対する前記透過率波形の相対的なタイミングを変化させることにより、各前記波長変換光学素子からパルス波形が異なる複数のパルス光を出力可能に構成した請求項2〜7のいずれか一項に記載のレーザ装置。 - 前記レーザ光源は、前記所定周波数で第1ベース波形のレーザ光を発生する第1レーザ光源と、前記所定周波数であるが前記第1ベース波形のレーザ光と異なるタイミングで第2ベース波形のレーザ光を発生する第2レーザ光源とを有し、
前記強度変調器には、前記第1レーザ光源から出力された前記第1ベース波形のレーザ光と、前記第2レーザ光源から出力された前記第2ベース波形のレーザ光とが合波されて入射し、
前記透過率波形は、前記第1ベース波形のレーザ光から前記第1パルス波形のレーザ光を切り出す第1透過率波形と、前記第2ベース波形のレーザ光から前記第2パルス波形のレーザ光を切り出す第2透過率波形とが、それぞれ前記所定周波数で交互に繰り返されるゲート状の波形であり、
前記制御部は、前記第1ベース波形および前記第2ベース波形に対する前記透過率波形の相対的なタイミングを変化させることにより、前記強度変調器を透過するレーザ光のパルス波形を変化させる請求項1に記載のレーザ装置。 - 前記第1パルス波形のレーザ光と前記第2パルス波形のレーザ光とは、ピーク強度が異なる請求項9に記載のレーザ装置。
- 前記第1ベース波形のレーザ光と前記第2ベース波形のレーザ光とは、波長が異なる請求項9または10に記載のレーザ装置。
- 前記第1ベース波形のレーザ光と前記第2ベース波形のレーザ光とは、前記波長変換光学素子に入射する際の偏光状態が異なる請求項9〜11のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 前記第1レーザ光源から出力された前記第1ベース波形のレーザ光と、前記第2レーザ光源から出力された前記第2ベース波形のレーザ光とは、一度合波された後に複数に分岐され、
前記強度変調器、前記増幅器、および前記波長変換光学素子は前記複数に分岐された分岐光路ごとに設けられており、
前記制御部が、前記分岐光路ごとに前記第1ベース波形および前記第2ベース波形に対する前記透過率波形の相対的なタイミングを変化させることにより、各前記波長変換光学素子からパルス波形が異なる複数のパルス光を出力可能に構成した請求項9〜12のいずれか一項に記載のレーザ装置。 - 請求項1〜13のいずれか一項に記載のレーザ装置と、
所定の露光パターンが形成されたフォトマスクを保持するマスク支持部と、
露光対象物を保持する露光対象物支持部と、
前記レーザ装置から出力されたレーザ光を前記マスク支持部に保持されたフォトマスクに照射する照明光学系と、
前記フォトマスクを透過した光を前記露光対象物支持部に保持された露光対象物に投影する投影光学系と
を備えた露光装置。 - 請求項1〜13のいずれか一項に記載のレーザ装置と、
複数の可動ミラーを有し任意パターンの光を生成する可変成形マスクと、
露光対象物を保持する露光対象物支持部と、
前記レーザ装置から出力されたレーザ光を前記可変成形マスクに照射する照明光学系と、
前記可変成形マスクを介して生成された前記任意パターンの光を前記露光対象物支持部に保持された露光対象物に投影する投影光学系と
を備えた露光装置。 - 請求項1〜13のいずれか一項に記載のレーザ装置と、
露光対象物を保持する露光対象物支持部と、
前記レーザ装置から出力されたレーザ光を偏向し、前記露光対象物支持部に保持された露光対象物上で走査させる偏向部と、
前記偏向部により偏向された光を前記露光対象物に結像させる対物光学系と
を備えた露光装置。 - 請求項1〜13のいずれか一項に記載のレーザ装置と、
被検物を保持する被検物支持部と、
前記レーザ装置から出力されたレーザ光を前記被検物支持部に保持された被検物に照射する照明光学系と、
前記被検物からの光を検出器に投影する投影光学系と
を備えた検査装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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