WO2025009337A1 - 光導波路基板、光学モジュール、および光導波路基板の製造方法 - Google Patents

光導波路基板、光学モジュール、および光導波路基板の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2025009337A1
WO2025009337A1 PCT/JP2024/021063 JP2024021063W WO2025009337A1 WO 2025009337 A1 WO2025009337 A1 WO 2025009337A1 JP 2024021063 W JP2024021063 W JP 2024021063W WO 2025009337 A1 WO2025009337 A1 WO 2025009337A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
optical waveguide
markers
marker
glass substrate
optical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2024/021063
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
雄一 水戸瀬
哲也 中西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Publication of WO2025009337A1 publication Critical patent/WO2025009337A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device

Definitions

  • This disclosure relates to an optical waveguide substrate, an optical module, and a method for manufacturing an optical waveguide substrate.
  • This application claims priority to Japanese Application No. 2023-110707, filed on July 5, 2023, and incorporates all of the contents of said Japanese application by reference.
  • Patent Document 1 discloses a method for forming an optical waveguide in a transparent crystal substrate having linear and nonlinear optical properties. This method includes the steps of irradiating a first substrate having linear optical properties with a femtosecond laser to form a first optical waveguide, aligning the position for bonding the first substrate on which the first optical waveguide is formed to a second substrate having nonlinear optical properties, and bonding the aligned first substrate and second substrate to form a transparent crystal substrate.
  • An optical waveguide substrate includes a glass substrate.
  • the glass substrate has an optical waveguide section including one or more optical waveguides formed inside the glass substrate, and a plurality of markers that are provided inside the glass substrate and serve as indicators for the positions of the one or more optical waveguides.
  • the plurality of markers are provided at fixed relative positions in the thickness direction of the glass substrate with respect to the closest portion of the optical waveguide section, and are spaced apart from the optical waveguide section when viewed along the thickness direction.
  • FIG. 1 is a perspective view illustrating an optical module according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a plan view illustrating an optical module according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 3 is a side view illustrating an optical module according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing a cross section perpendicular to the extending direction of the optical waveguide.
  • FIG. 5 is an enlarged plan view showing the glass substrate.
  • FIG. 6 is a partial cross-sectional view taken along the line VI-VI shown in FIG.
  • FIG. 7 is a schematic diagram showing a cross section of a marker.
  • FIG. 8 is a flowchart showing a method for manufacturing an optical module.
  • An optical waveguide may be formed inside a glass substrate.
  • the difference in refractive index between the glass substrate and the optical waveguide is small, it is difficult to visually recognize the optical waveguide. Therefore, the position of the optical waveguide cannot be efficiently identified, and there is a problem that it takes time to align the optical waveguide and the optical component connected to the optical waveguide.
  • An optical waveguide substrate includes a glass substrate.
  • the glass substrate has an optical waveguide section including one or more optical waveguides formed inside the glass substrate, and a plurality of markers that are provided inside the glass substrate and serve as indicators for the positions of the one or more optical waveguides.
  • the plurality of markers are provided at fixed relative positions in the thickness direction of the glass substrate with respect to the closest portion of the optical waveguide section, and are spaced apart from the optical waveguide section when viewed along the thickness direction.
  • a number of markers are provided inside the glass substrate as indicators of the position of the optical waveguide.
  • the relative positional relationship between the number of markers and the optical waveguide is predetermined, so by visually checking the number of markers, the position of the optical waveguide formed inside the glass substrate can be easily identified.
  • the number of markers are provided at fixed relative positions in the thickness direction of the glass substrate to the closest part of the optical waveguide portion, making it easy to evaluate the relative positional relationship between the number of markers and the optical waveguide.
  • the number of markers are separated from the optical waveguide portion when viewed along the thickness direction of the glass substrate, so that the number of markers can be easily visually checked from the thickness direction of the glass substrate.
  • the multiple markers may be provided in an area close to one plate surface facing the thickness direction of the glass substrate relative to the closest portion of the optical waveguide.
  • the intensity of the laser light when forming the multiple markers is made greater than the intensity of the laser light when forming the optical waveguide in order to increase the visibility of the multiple markers.
  • the multiple markers are formed using the same optical system as that used to form the optical waveguide, the multiple markers are formed in an area close to the laser light incidence surface relative to the optical waveguide due to the difference in the intensity of the laser light.
  • the optical waveguide and the multiple markers can be formed without changing the optical system. This simplifies the process of forming the optical waveguide and the multiple markers.
  • the positions of the multiple markers in the thickness direction of the glass substrate may be the same as the positions of the closest parts of the optical waveguide section. This eliminates the need to consider the difference in the positions of the multiple markers and the optical waveguide in the thickness direction of the glass substrate. This makes it easier to evaluate the relative positional relationship between the multiple markers and the optical waveguide.
  • the diameter of the holes may be smaller than the width of the cross section of each first optical waveguide. This improves the accuracy of identifying the positions of the multiple markers. Therefore, the accuracy of identifying the positions of the optical waveguides is improved.
  • the average density of each of the multiple markers may be 0.8 times or less the average density of the glass in the region of the glass substrate excluding the optical waveguide portion and the multiple markers. In this case, the visibility of the scatterers is further improved. Therefore, the position of the optical waveguide inside the glass substrate can be more easily identified.
  • the multiple markers may be 10 ⁇ m or more away from the optical waveguide section. If each of the multiple markers is mainly formed of voids or is a scatterer formed of multiple voids, the stress caused by the voids may affect the optical propagation characteristics of the optical waveguide section. By providing the multiple markers at a position 10 ⁇ m or more away from the optical waveguide section, the effect of the stress caused by the voids on the optical propagation characteristics of the optical waveguide section can be reduced.
  • the glass substrate may have a first end face and a second end face.
  • the optical waveguide portion may include a first optical waveguide.
  • the first optical waveguide may have a first end in a region close to the first end face and a second end in a region close to the second end face.
  • the multiple markers may include a first marker that is a mark indicating the position of the first end and a second marker that is a mark indicating the position of the second end.
  • the position of the first end in the thickness direction of the glass substrate may be different from the position of the second end in the thickness direction.
  • the relative position of the first marker in the thickness direction of the glass substrate with respect to the first end may be the same as the relative position of the second marker in the thickness direction with respect to the second end. Even for such an optical waveguide in which the positions of both ends in the thickness direction of the glass substrate are different from each other, the position of each end can be easily identified by the first marker and the second marker.
  • the plurality of markers may further include a third marker which is a mark indicating the position of the second end.
  • the first optical waveguide When viewed along the thickness direction of the glass substrate, the first optical waveguide may be located between the second marker and the third marker. The second end may be present inside the glass substrate. The distance between the second end and the second marker in the extension direction of the first optical waveguide may be equal to the distance between the second end and the third marker in the extension direction of the first optical waveguide. In this way, by the first optical waveguide being located between the second marker and the third marker, the position of the second end can be more easily identified. In addition, it is particularly difficult to visually recognize the optical waveguide when the end of the optical waveguide is present inside the glass substrate.
  • the position of the second end can be easily identified even if the second end is located inside the glass substrate.
  • An optical module includes any one of the optical waveguide substrates [1] to [10] above, and an optical component optically coupled to the optical waveguide section.
  • the glass substrate has a first end face.
  • the optical waveguide section includes a first optical waveguide.
  • the first optical waveguide has a first end in a region close to the first end face.
  • the optical component is optically coupled to the first optical waveguide at the first end face.
  • the multiple markers include a first marker that is a mark indicating the position of the first end. When viewed along the thickness direction, the first marker is not covered by the optical component.
  • the optical module when the optical component is disposed at a predetermined fixed position relative to the glass substrate, the first marker inside the glass substrate can be viewed without being obstructed by the optical component. This facilitates optical axis alignment between the glass substrate and the optical component.
  • a method for manufacturing an optical waveguide substrate includes the steps of forming an optical waveguide section including one or more optical waveguides by irradiating the interior of a glass substrate with laser light, and forming a plurality of markers that are marks indicating the positions of the one or more optical waveguides by irradiating the interior of the glass substrate with laser light.
  • the plurality of markers are formed at fixed relative positions in the thickness direction of the glass substrate to the nearest portion of the optical waveguide section.
  • the plurality of markers are spaced apart from the optical waveguide section when viewed along the thickness direction of the glass substrate.
  • Each of the plurality of markers is a scatterer formed mainly by voids or formed by scattering the plurality of voids.
  • the inside of the glass substrate is irradiated with laser light to form an optical waveguide section and a plurality of markers that indicate the position of the optical waveguide. Since the relative positional relationship between the plurality of markers and the optical waveguide is predetermined, the position of the optical waveguide formed inside the glass substrate can be easily identified by visually checking the plurality of markers. In addition, since the plurality of markers are provided at a fixed relative position in the thickness direction of the glass substrate with respect to the closest part of the optical waveguide section, it is easy to evaluate the relative positional relationship between the plurality of markers and the optical waveguide.
  • the plurality of markers are separated from the optical waveguide section when viewed along the thickness direction of the glass substrate, the plurality of markers can be easily visually checked from the thickness direction of the glass substrate.
  • the plurality of markers which are mainly formed by voids or are scatterers formed by scattering the plurality of voids, by irradiating the laser light, the plurality of markers can be easily formed together with the optical waveguide section also formed by irradiating the laser light.
  • the intensity of the laser light in the step of forming the multiple markers may be greater than the intensity of the laser light in the step of forming the optical waveguide portion.
  • multiple markers that are mainly formed by voids or are scatterers formed by scattering multiple voids can be formed inside the glass substrate.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an optical module A according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a plan view showing the optical module A.
  • FIG. 3 is a side view showing the optical module A.
  • the optical module A includes an optical waveguide substrate 1A and a fiber array 20 (optical component).
  • the optical waveguide substrate 1A has a glass substrate 1.
  • the glass substrate 1 faces the fiber array 20 in the x direction and is fixed to the fiber array 20.
  • the glass substrate 1 has a flat plate shape.
  • the glass substrate 1 has a rectangular shape in a plan view.
  • glass substrate 1 As a material for the glass substrate 1, glass having a transmittance of 90% or more for light with a wavelength of 1100 nm or more and 1650 nm or less through a substrate with a thickness of 0.5 cm can be suitably used. Examples of such glass include synthetic quartz glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass, and alkali silicate glass.
  • the glass substrate 1 includes a main surface 2, an end surface 3 (first end surface), an end surface 4 (second end surface), an optical waveguide portion 10, and a plurality of markers.
  • the plurality of markers include two first markers 6, a plurality of second markers 5, a plurality of third markers 8, and two fourth markers 7.
  • the main surface 2 is one of the plate surfaces facing the thickness direction of the glass substrate 1, and is the surface of the glass substrate 1 along the x direction and the y direction intersecting the x direction.
  • the normal direction of the main surface 2 coincides with the thickness direction of the glass substrate 1.
  • the thickness direction of the glass substrate 1 is defined as the z direction.
  • the end surface 3 is the surface of the glass substrate 1 along the y direction and the z direction.
  • the end surface 3 is continuous with the main surface 2 and is provided, for example, perpendicular to the main surface 2.
  • the glass substrate 1 and the fiber array 20 face each other.
  • the end surface 4 is the surface of the glass substrate 1 on the opposite side to the fiber array 20 with respect to the end surface 3.
  • the end surface 4 is continuous with the main surface 2 and is inclined with respect to the main surface 2.
  • the normal vector of the end surface 4 includes a component facing the positive direction of the z direction.
  • the main surface 2, the end surface 3, and the end surface 4 are, for example, flat.
  • the optical waveguide section 10 includes a plurality of optical waveguides 11 (first optical waveguides) and a plurality of optical waveguides 12 (second optical waveguides).
  • the plurality of optical waveguides 11 and the plurality of optical waveguides 12 are high refractive index regions in which glass has been altered by, for example, multiphoton absorption.
  • the direction in which the optical waveguide section 10 extends intersects with both the end face 3 and the end face 4.
  • the direction in which the optical waveguide section 10 extends is mainly the x direction.
  • the plurality of optical waveguides 11 are provided inside the glass substrate 1 and are arranged side by side in the y direction. As shown in FIG. 3, each optical waveguide 11 includes a region a, a region b, and a region c.
  • the region a is a region closer to the end face 4 than the center of each optical waveguide 11.
  • the plurality of optical waveguides 11 extend in the x direction along the main surface 2 and are arranged side by side in the y direction.
  • Region b is a central region of the multiple optical waveguides 11.
  • the multiple optical waveguides 11 are curved and arranged side by side in the y direction.
  • Region c is a region closer to the end face 3 than region b of the multiple optical waveguides 11.
  • Region c of the multiple optical waveguides 11 is farther away from the main surface 2 than region a.
  • Region c of the multiple optical waveguides 11 extends in the x direction and is arranged side by side in the y direction.
  • the multiple optical waveguides 12 are provided inside the glass substrate 1 and are arranged side by side in the y direction.
  • the multiple optical waveguides 12 extend in the x direction parallel to the main surface 2 throughout.
  • the multiple optical waveguides 12 are arranged farther away from the main surface 2 than region a of the optical waveguide 11.
  • Region c of the multiple optical waveguides 11 and the multiple optical waveguides 12 are arranged alternately in the y direction when viewed along the z direction.
  • the distance between the optical waveguide 11 near the end face 3 and the optical waveguide 12 adjacent to the optical waveguide 11 is equal to the distance between the optical waveguide 11 near the end face 4 and another optical waveguide 11 adjacent to the optical waveguide 11, and the distance between the optical waveguide 12 and another optical waveguide 12 adjacent to the optical waveguide 12.
  • the z-direction positions of the ends 11a (first ends) of the multiple optical waveguides 11 in the region close to the end face 3 are the same as the z-direction positions of the ends 12a of the multiple optical waveguides 12 in the region close to the end face 3 (included in the end face 3 in the illustrated example).
  • the ends 11a, 12a are included in the end face 3 and exposed from the glass substrate 1, but the ends 11a, 12a may be located inside the glass substrate 1 away from the end face 3.
  • the z-direction position of the ends 11b (second ends) of the multiple optical waveguides 11 in the region close to the end face 4 is different from the z-direction position of the ends 12b of the multiple optical waveguides 12 in the region close to the end face 4.
  • the ends 11b, 12b are away from the end face 4, but the ends 11b, 12b may be included in the end face 4 and exposed from the glass substrate 1. In the vicinity of the end face 4, the ends 11b of the multiple optical waveguides 11 are closer to the main surface 2 than the ends 12b of the multiple optical waveguides 12.
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing the cross section of each optical waveguide 11 and each optical waveguide 12, i.e., a cross section perpendicular to the direction in which each optical waveguide 11 and each optical waveguide 12 extends.
  • the relative refractive index difference of each optical waveguide 11 and each optical waveguide 12 with respect to the glass of the glass substrate 1 is, for example, 0.2% to 0.5%.
  • the cross-sectional shape of each optical waveguide 11 and each optical waveguide 12 is square, the length of one side of the cross section of each optical waveguide 11 and each optical waveguide 12 is, for example, 3 ⁇ m to 7.5 ⁇ m.
  • the cross-sectional shape of each optical waveguide 11 and each optical waveguide 12 is circular, the diameter of the cross section of each optical waveguide 11 and each optical waveguide 12 is, for example, 4 ⁇ m to 9 ⁇ m.
  • the two first markers 6, the multiple second markers 5, the multiple third markers 8, and the two fourth markers 7 are marks that indicate the positions of the multiple optical waveguides 11 and the multiple optical waveguides 12 provided inside the glass substrate 1.
  • the two first markers 6, the multiple second markers 5, the multiple third markers 8, and the two fourth markers 7 are provided at constant relative positions in the z direction with respect to the nearest part of the optical waveguide section 10 (i.e., the distance from the optical waveguide section 10 in the z direction is uniform), and are separated from the optical waveguide section 10 as viewed along the z direction.
  • the two first markers 6, the multiple second markers 5, the multiple third markers 8, and the two fourth markers 7 are provided in an area close to the main surface 2 with respect to the nearest part of the optical waveguide section 10.
  • the second markers 5 and the third markers 8 are marks indicating the positions of the ends 11b of the optical waveguides 11.
  • the second markers 5 and the third markers 8 are provided in the glass substrate 1 near the region a of the optical waveguides 11. As shown in FIG. 5, the second markers 5 are spaced apart from the optical waveguide section 10 in a direction (y direction) intersecting the direction in which the optical waveguide section 10 extends (x direction) when viewed along the z direction, and are arranged side by side along the x direction.
  • the third markers 8 are spaced apart from the optical waveguide section 10 in a direction (y direction) intersecting the direction in which the optical waveguide section 10 extends (x direction) when viewed along the z direction, and are arranged side by side along the x direction.
  • the optical waveguides 11 are located between a group consisting of only the second markers 5 and a group consisting of only the third markers 8.
  • an imaginary straight line S1 is assumed to pass through the ends 11b of the multiple optical waveguides 11 and to be parallel to the y-axis.
  • the distance W1 between the line S1 and the second marker 5 in the region closest to the end face 4 among the multiple second markers 5 is equal to the distance W2 between the line S1 and the third marker 8 in the region closest to the end face 4 among the multiple third markers 8.
  • the distance between the end 11b and the second marker 5 in the direction in which the optical waveguide 11 extends (x direction) is equal to the distance between the end 11b and the third marker 8 in the same direction.
  • FIG. 6 is a partial cross-sectional view taken along line VI-VI in FIG. 1.
  • the distance D1 between the second markers 5 and the optical waveguide 11 closest to the second markers 5 among the optical waveguide section 10 is 10 ⁇ m or more.
  • the distance D2 between the third markers 8 and the optical waveguide 11 closest to the third markers 8 among the optical waveguide section 10 is 10 ⁇ m or more.
  • the second marker 5 and the third marker 8 are provided in an area closer to the main surface 2 than the closest part of the optical waveguide section 10.
  • the centers of the second marker 5 and the third marker 8 are located in an area closer to the main surface 2 by a distance W5 than the center of the optical waveguide 11.
  • the size of the distance W5 is, for example, 3 ⁇ m or more and 10 ⁇ m or less.
  • the distance between the marker and the optical waveguide closest to the marker is a predetermined distance.
  • the two first markers 6 are provided in a region inside the glass substrate 1 that is closer to the end surface 3 than the center of the glass substrate 1.
  • the two first markers 6 are marks that indicate the positions of the ends 11a of the multiple optical waveguides 11 and the ends 12a of the multiple optical waveguides 12.
  • the two first markers 6 are provided away from the optical waveguide section 10 in a direction (y direction) that intersects with the direction in which the optical waveguide section 10 extends (x direction).
  • the multiple optical waveguides 11 and the multiple optical waveguides 12 are located between the first first marker 6 and the second first marker 6.
  • the relative position of the first marker 6 in the z direction with respect to the ends 11a and 12a is the same as the relative position of the second marker 5 in the z direction with respect to the ends 11b and 12b. That is, the distance in the z direction between the ends 11a, 12a and the first marker 6 is equal to the distance in the z direction between the ends 11b, 12b and the second marker 5. The distance from the end face 3 to the first first marker 6 is equal to the distance from the end face 3 to the second first marker 6.
  • the two fourth markers 7 are provided in the glass substrate 1 in a region closer to the end surface 4 than the center of the glass substrate 1.
  • the two fourth markers 7 are marks indicating the positions of the ends 12b of the multiple optical waveguides 12.
  • the two fourth markers 7 are provided away from the optical waveguide section 10 (more specifically, the multiple optical waveguides 12) in a direction (y direction) intersecting the direction in which the optical waveguide section 10 extends (x direction).
  • the multiple optical waveguides 12 are located between the first fourth marker 7 and the second fourth marker 7.
  • an imaginary straight line S2 that passes through the ends 12b of the multiple optical waveguides 12 and is parallel to the y axis is assumed.
  • the distance W3 between the first fourth marker 7 and the straight line S2 is equal to the distance W4 between the second fourth marker 7 and the straight line S2.
  • the distance between the end 12b and the fourth marker 7 in the extension direction (x direction) of the optical waveguide 12 is uniform for all fourth markers 7.
  • FIG. 7 is a diagram showing a schematic cross section of the first marker 6, the second marker 5, the third marker 8, and the fourth marker 7.
  • the shapes of the first marker 6, the second marker 5, the third marker 8, and the fourth marker 7 are substantially spherical, and the cross section is substantially circular.
  • FIG. 7(a) shows a case where each of the first marker 6, the second marker 5, the third marker 8, and the fourth marker 7 is mainly formed by a single void 9a.
  • the void 9a is, for example, a vacuum hole or an air bubble.
  • the diameter of the void 9a i.e., the diameter D of the first marker 6, the second marker 5, the third marker 8, and the fourth marker 7, is smaller than the width L (see FIG. 4) of the cross section of the optical waveguides 11 and 12.
  • the width L of the optical waveguides 11 and 12 and the diameter D of the first marker 6, the second marker 5, the third marker 8, and the fourth marker 7 satisfy the following mathematical formula (1).
  • the diameter D may be smaller than half the width L. That is, the width L and the diameter D may satisfy the following formula (2). D/L ⁇ 0.5...(2)
  • FIG. 7(b) shows a case where each of the first marker 6, the second marker 5, the third marker 8, and the fourth marker 7 is a scatterer formed by scattering a plurality of minute voids 9b.
  • Each of the plurality of voids 9b has a diameter of several tens to several hundreds of nanometers, for example, called a nanograting.
  • the average density of each of the first marker 6, the second marker 5, the third marker 8, and the fourth marker 7 is, for example, 0.8 times or less the average density of the glass in the region of the glass substrate 1 excluding the optical waveguide portion 10, the first marker 6, the second marker 5, the third marker 8, and the fourth marker 7.
  • the average density can be measured, for example, by STEM analysis.
  • the fiber array 20 has a block portion 25, a fiber fixing portion 24, a cover portion 26, and a tape fiber 21.
  • the block portion 25 has a rectangular parallelepiped shape.
  • a V-groove 23 is provided on the surface facing the z direction in a region of the block portion 25 closer to the glass substrate 1 than the center of the block portion 25.
  • the fiber fixing portion 24 has an approximately rectangular parallelepiped shape.
  • the fiber fixing portion 24 is provided on the block portion 25 in a region closer to the glass substrate 1 than the center of the block portion 25.
  • the cover portion 26 has a rectangular shape in a plan view. The upper surface of the cover portion 26 is curved in the xz plane.
  • the cover portion 26 is provided on the block portion 25 on the opposite side to the glass substrate 1 with respect to the center of the block portion 25.
  • the cover portion 26 is in contact with the fiber fixing portion 24.
  • the tape fiber 21 is provided inside the cover portion 26 on the block portion 25.
  • the tape fiber 21 includes a plurality of optical fibers 22.
  • the portions of the optical fibers 22 extending from the tape fiber 21 are housed in the V-groove 23 and pressed against and fixed to the fiber fixing portion 24.
  • Each of the optical fibers 22 is optically coupled to each of the optical waveguides 11 or each of the optical waveguides 12 at the end surface 3 of the glass substrate 1.
  • the number of optical fibers 22 is the same as the total number of the optical waveguides 11 and the optical waveguides 12. As shown in FIG. 2, when the glass substrate 1 and the fiber array 20 are fixed to each other facing each other, the two first markers 6 are not covered by the fiber array 20 when viewed along the z direction. This makes the two first markers 6 visible from the z
  • FIG. 8 is a flowchart showing a method for manufacturing the optical module A.
  • a glass substrate having a main surface 2 is prepared.
  • a laser beam is irradiated into the interior of the glass substrate to form an optical waveguide section 10 including a plurality of optical waveguides 11 and a plurality of optical waveguides 12.
  • the laser beam is irradiated by, for example, focusing laser beam from a femtosecond laser at a position where the optical waveguide section 10 is to be formed using a focusing optical system.
  • the optical waveguide section 10 is formed by modifying the glass inside the glass substrate by multiphoton absorption caused by, for example, the irradiation of the femtosecond laser. Then, in step ST3, two first markers 6, a plurality of second markers 5, a plurality of third markers 8, and two fourth markers 7 are formed by irradiating the interior of the glass substrate 1 with laser beam.
  • the laser light is irradiated by focusing, for example, laser light from a femtosecond laser at the intended positions for forming the first marker 6, the second marker 5, the third marker 8, and the fourth marker 7 using the same focusing optical system as in step ST2.
  • the intensity (or power) of the laser light for forming the first marker 6, the second marker 5, the third marker 8, and the fourth marker 7 is greater than the intensity (or power) of the laser light for forming the multiple optical waveguides 11 and the multiple optical waveguides 12.
  • the laser light for forming the first marker 6, the second marker 5, the third marker 8, and the fourth marker 7 may be laser light from a picosecond laser.
  • step ST3 when forming the scatterers shown in FIG. 7(b) as the first marker 6, the second marker 5, the third marker 8, and the fourth marker 7, the condition for forming the scatterers is expressed by the following formula (3), where the softening point of the glass is T [K] and the power of the irradiated laser light is P [mW]. T/P ⁇ 15[K/mW]...(3) Alternatively, the condition for forming a scatterer may be expressed by the following equation (4). T/P ⁇ 13[K/mW]...(4)
  • a plurality of markers (first marker 6, second marker 5, third marker 8, and fourth marker 7) that are marks indicating the positions of the optical waveguides 11 and 12 are provided inside the glass substrate 1. Since the relative positional relationship between the plurality of markers and the optical waveguides 11 and 12 is predetermined, the positions of the optical waveguides 11 and 12 formed inside the glass substrate 1 can be easily identified by visually checking the plurality of markers. This makes it possible to provide an optical waveguide substrate 1A that is easy to align each of the plurality of optical waveguides 11 and the plurality of optical waveguides 12 with each of the plurality of optical fibers 22 of the fiber array 20.
  • the plurality of markers are provided at a fixed relative position in the thickness direction (z direction) of the glass substrate 1 with respect to the closest part of the optical waveguide section 10, it becomes easy to evaluate the relative positional relationship between the plurality of markers and the optical waveguides 11 and 12.
  • the multiple markers are spaced apart from the optical waveguide section 10 when viewed along the thickness direction of the glass substrate 1, the multiple markers can be easily viewed from the thickness direction of the glass substrate 1.
  • the multiple markers may be provided in an area close to the main surface 2 of the glass substrate 1 relative to the closest portion of the optical waveguide section 10.
  • the intensity of the laser light when forming the multiple markers is made greater than the intensity of the laser light when forming the optical waveguides 11 and 12 in order to increase the visibility of the multiple markers.
  • the multiple markers are formed using the same optical system as that used to form the optical waveguide section 10, the multiple markers are formed in an area close to the laser light incidence surface (i.e., the main surface 2) relative to the optical waveguide section 10 due to the difference in intensity of the laser light.
  • the optical waveguides 11 and 12 and the multiple markers can be formed inside the glass substrate 1 without changing the optical system. This simplifies the process of forming the optical waveguides 11 and 12 and the multiple markers.
  • each of the multiple markers may be formed mainly by holes 9a (or 9b).
  • This increases the difference in refractive index between the glass constituting the glass substrate 1 and the multiple markers. This improves the visibility of the multiple markers, making it easier to identify the positions of the optical waveguides 11 and 12.
  • the diameter D of the holes 9a may be smaller than the width L of the cross section of the optical waveguides 11 and 12. This improves the accuracy of identifying the positions of the multiple markers. Therefore, the accuracy of identifying the positions of the optical waveguides 11 and 12 is improved.
  • the multiple markers When each of the multiple markers is mainly formed by voids 9a (or 9b) as in this embodiment, the multiple markers may be 10 ⁇ m or more away from the optical waveguide section 10.
  • the stress caused by the voids 9a (or 9b) may affect the optical propagation characteristics of the optical waveguide section 10.
  • the effect of the stress caused by the voids 9a (or 9b) on the optical propagation characteristics of the optical waveguide section 10 can be reduced.
  • the multiple markers by providing the multiple markers at a position 10 ⁇ m or more away from the optical waveguide section 10, the multiple markers can be separated from the area where crosstalk of the optical waveguide section 10 may occur.
  • the glass substrate 1 may have an end surface 3 and an end surface 4.
  • the optical waveguide section 10 may include an optical waveguide 11.
  • the optical waveguide 11 may have an end 11a in a region close to the end surface 3 and an end 11b in a region close to the end surface 4.
  • the multiple markers may include a first marker 6 that is a mark indicating the position of the end 11a and a second marker 5 that is a mark indicating the position of the end 11b.
  • the position of the end 11a in the thickness direction (z direction) of the glass substrate 1 may be different from the position of the end 11b in the thickness direction.
  • the relative position of the first marker 6 in the thickness direction of the glass substrate 1 with respect to the end 11a may be the same as the relative position of the second marker 5 in the thickness direction with respect to the end 11b. Even for such an optical waveguide 11 in which the positions of both ends 11a and 11b in the thickness direction of the glass substrate 1 are different from each other, the positions of each end 11a and 11b can be easily identified by the first marker 6 and the second marker 5.
  • the multiple markers may further include a third marker 8 that is a mark indicating the position of the end 11b.
  • the optical waveguide 11 When viewed along the thickness direction (z direction) of the glass substrate 1, the optical waveguide 11 may be located between the second marker 5 and the third marker 8. The end 11b may be present inside the glass substrate 1. In this way, by positioning the optical waveguide 11 between the second marker 5 and the third marker 8, the position of the end 11b can be more easily identified. In addition, it is difficult to visually recognize the optical waveguides 11 and 12, especially when the end 11b of the optical waveguide 11 and the end 12b of the optical waveguide 12 are present inside the glass substrate 1.
  • the distance W1 between the end 11b and the second marker 5 in the extension direction (x direction) of the optical waveguide 11 is equal to the distance W2 between the end 11b and the third marker 8 in the extension direction of the optical waveguide 11.
  • the distance W3 between the end 12b and the first fourth marker 7 in the extension direction (x direction) of the optical waveguide 12 is equal to the distance W4 between the end 12b and the second fourth marker 7 in the extension direction of the optical waveguide 12.
  • each of the multiple markers may be a scatterer formed by scattering multiple voids 9b. Scattering of the voids 9b in the scatterer, i.e., multiple voids 9b being densely dispersed, scatters light and improves the visibility of the multiple markers. Therefore, the positions of the optical waveguides 11, 12 inside the glass substrate 1 can be more easily identified. In addition, by providing multiple voids 9b with small diameters, the accuracy of the formation position of the multiple markers is improved compared to the case of providing a single void 9a with a large diameter.
  • the average density of each of the multiple markers may be 0.8 times or less the average density of the glass in the area of the glass substrate 1 excluding the optical waveguide section 10 and the multiple markers. In this case, the visibility of the scatterer is further improved. Therefore, the positions of the optical waveguides 11, 12 inside the glass substrate 1 can be more easily identified.
  • the first marker 6 inside the glass substrate 1 is not covered by the fiber array 20. Therefore, when the fiber array 20 is placed at a predetermined fixed position relative to the glass substrate 1, the first marker 6 inside the glass substrate 1 can be viewed without being obstructed by the fiber array 20. This makes it easy to align the optical axes of the glass substrate 1 and the fiber array 20.
  • a laser beam is irradiated inside the glass substrate to form a plurality of markers that indicate the positions of the optical waveguide section 10 and the optical waveguides 11 and 12.
  • the plurality of markers can be easily formed together with the optical waveguide section 10 that is also formed by irradiating the laser beam.
  • the intensity of the laser light in step ST3, which forms the multiple markers may be greater than the intensity of the laser light in step ST2, which forms the optical waveguide portion 10.
  • multiple markers that are mainly formed by the voids 9a or are scatterers formed by scattering the multiple voids 9b can be formed inside the glass substrate.
  • the first marker 6, the second marker 5, the third marker 8, and the fourth marker 7 are provided in a region close to the main surface 2 (one of the plate surfaces) with respect to the optical waveguide portion 10.
  • the present invention is not limited to this embodiment, and the positions of the first marker 6, the second marker 5, the third marker 8, and the fourth marker 7 may be the same as the positions of the nearest parts of the optical waveguide portion 10 in the z direction.
  • the positions of the center lines of the optical waveguides 11 and 12 and the center points of the multiple markers in the z direction may be the same. This makes it possible to avoid the need to consider the difference in the positions of the multiple markers and the optical waveguides 11 and 12 in the thickness direction of the glass substrate 1. This makes it easy to evaluate the relative positional relationship between the multiple markers and the optical waveguides 11 and 12.
  • the optical waveguide section 10 may be formed by, for example, an ion exchange method.
  • the optical waveguide section 10 and the multiple markers can be formed by the same device.
  • the accuracy of the formation position of the multiple markers relative to the optical waveguide section 10 can be improved. Therefore, the accuracy of identifying the position of the optical waveguide section 10 can be further improved.
  • the present disclosure has been specifically described above based on the embodiments, the present disclosure is not limited to the above embodiments and can be modified within the scope of the present disclosure.
  • an example is shown in which a plurality of second markers 5 and a plurality of third markers 8 are provided, but a single second marker 5 and a single third marker 8 may be provided.
  • the first marker 6 and the fourth marker 7 are not limited to the above embodiments, and a plurality of markers may be formed so as to be aligned in the x direction, like the second marker 5 and the third marker 8.
  • the optical waveguide section 10 includes a plurality of optical waveguides 11 and a plurality of optical waveguides 12, but the optical waveguide section 10 may include only one of the optical waveguides 11 and the optical waveguide 12, or both.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

光導波路基板（１Ａ）は、ガラス基板（１）を備える。ガラス基板（１）は、ガラス基板（１）の内部に形成された一または複数の光導波路（１１、１２）を含む光導波路部（１０）と、ガラス基板（１）の内部に形成された、一または複数の光導波路（１１、１２）の位置を示す目印である複数のマーカー（５、６、７、８）と、を有する。複数のマーカー（５、６、７、８）は、光導波路部（１０）の最も近い部分に対してガラス基板（１）の厚み方向（ｚ方向）に一定の相対位置に設けられ、厚み方向（ｚ方向）に沿って見て光導波路部（１０）から離れている。

Description

光導波路基板、光学モジュール、および光導波路基板の製造方法
　本開示は、光導波路基板、光学モジュール、および光導波路基板の製造方法に関する。本出願は、２０２３年７月５日出願の日本出願第２０２３－１１０７０７号に基づく優先権を主張し、前記日本出願に記載された全ての記載内容を援用する。
　特許文献１には、線形光学特性および非線形光学特性を有する透明結晶基板の中に、光導波路を形成する方法が開示されている。この方法は、線形光学特性を有する第１の基板にフェムト秒レーザを照射して第１の光導波路を形成する工程と、第１の光導波路が形成された第１の基板と非線形光学特性を有する第２の基板とを接合する位置をアラインメントする工程と、アラインメントされた第１の基板と第２の基板とを接合して、透明結晶基板を形成する工程とを含む。
国際公開第２０２２／２１５２７４号公報 特開２００３－５７４７３号公報
　本開示の一実施形態による光導波路基板は、ガラス基板を備える。ガラス基板は、ガラス基板の内部に形成された一または複数の光導波路を含む光導波路部と、ガラス基板の内部に設けられた、一または複数の光導波路の位置を示す目印である複数のマーカーと、を有する。複数のマーカーは、光導波路部の最も近い部分に対してガラス基板の厚み方向に一定の相対位置に設けられ、厚み方向に沿って見て光導波路部から離れている。
図１は、本開示の実施形態に係る光学モジュールを示す斜視図である。 図２は、本開示の実施形態に係る光学モジュールを示す平面図である。 図３は、本開示の実施形態に係る光学モジュールを示す側面図である。 図４は、光導波路の延びる方向に垂直な断面を模式的に示す図である。 図５は、ガラス基板を示す拡大平面図である。 図６は、図１に示されるＶＩ－ＶＩ線に沿った部分断面図である。 図７は、マーカーの断面を模式的に示す図である。 図８は、光学モジュールの製造方法を示すフローチャートである。
［本開示が解決しようとする課題］
　ガラス基板の内部に、光導波路が形成される場合がある。しかしながら、ガラス基板と光導波路との屈折率差は小さいので、光導波路を視認することは難しい。したがって、光導波路の位置を効率的に特定することができず、光導波路と、光導波路に接続される光学部品との接続における調心に時間がかかるという問題がある。
［本開示の効果］
　本開示によれば、ガラス基板の内部に形成された光導波路の位置を容易に特定可能な光導波路基板、光学モジュール、および光導波路基板の製造方法を提供できる。
［本開示の実施形態の説明］
　最初に、本開示の実施形態の内容を列記して説明する。
　［１］本開示の一実施形態による光導波路基板は、ガラス基板を備える。ガラス基板は、ガラス基板の内部に形成された一または複数の光導波路を含む光導波路部と、ガラス基板の内部に設けられた、一または複数の光導波路の位置を示す目印である複数のマーカーと、を有する。複数のマーカーは、光導波路部の最も近い部分に対してガラス基板の厚み方向に一定の相対位置に設けられ、厚み方向に沿って見て光導波路部から離れている。
　光導波路の位置を示す目印である複数のマーカーがガラス基板の内部に設けられる。複数のマーカーと光導波路との相対位置関係は予め定まっているので、複数のマーカーを視認することにより、ガラス基板の内部に形成された光導波路の位置を容易に特定することができる。加えて、複数のマーカーが、光導波路部の最も近い部分に対してガラス基板の厚み方向に一定の相対位置に設けられることにより、複数のマーカーと光導波路との相対位置関係の評価が容易となる。加えて、複数のマーカーが、ガラス基板の厚み方向に沿って見て光導波路部から離れていることにより、ガラス基板の厚み方向から複数のマーカーを容易に視認することができる。
　［２］上記［１］の光導波路基板において、複数のマーカーは、光導波路部の最も近い部分に対してガラス基板の厚み方向を向く一方の板面に近い領域に設けられてもよい。ガラス基板の内部に複数のマーカーおよび光導波路をレーザ光の照射により形成する場合、複数のマーカーの視認性を高めるため、複数のマーカーを形成する際のレーザ光の強度は、光導波路を形成する際のレーザ光の強度よりも大きくされる。加えて、光導波路を形成する際に用いる光学系と同一の光学系を用いて複数のマーカーを形成する場合、レーザ光の強度の違いにより、複数のマーカーは光導波路に対してレーザ光入射面に近い領域に形成される。言い換えると、複数のマーカーが光導波路部の最も近い部分に対してガラス基板の一方の板面に近い領域に設けられることにより、光学系を変更せずに光導波路と複数のマーカーとを形成することができる。これにより、光導波路および複数のマーカーを形成する工程を簡略化できる。
　［３］上記［１］の光導波路基板において、ガラス基板の厚み方向における複数のマーカーの位置は光導波路部の最も近い部分の位置と同じであってもよい。これにより、ガラス基板の厚み方向における複数のマーカーと光導波路との位置の違いを考慮せずに済む。したがって、複数のマーカーと光導波路との相対位置関係の評価が容易となる。
　［４］上記［１］から［３］のいずれか１つの光導波路基板において、複数のマーカーのそれぞれは、空孔により主に形成されてもよい。これにより、ガラス基板を構成するガラスと複数のマーカーとの屈折率差が大きくなる。よって、複数のマーカーの視認性が向上するので、光導波路の位置を更に容易に特定することができる。
　［５］上記［４］の光導波路基板において、空孔の直径は、各第１光導波路の横断面の幅よりも小さくてもよい。これにより、複数のマーカーの位置の特定精度が向上する。したがって、光導波路の位置の特定精度が向上する。
　［６］上記［１］から［３］のいずれか１つの光導波路基板において、複数のマーカーのそれぞれは、複数の空孔が散乱して形成された散乱体であってもよい。散乱体における空孔の散乱によって、複数のマーカーの視認性が向上する。したがって、ガラス基板の内部における光導波路の位置を更に容易に特定することができる。加えて、直径の小さな空孔を複数設けることにより、直径の大きな単一の空孔を設ける場合と比較して、複数のマーカーの形成位置の精度が向上する。
　［７］上記［６］の光導波路基板において、複数のマーカーのそれぞれの平均密度は、ガラス基板のうち光導波路部および複数のマーカーを除く領域のガラスの平均密度の０．８倍以下であってもよい。この場合、散乱体の視認性がより向上する。したがって、ガラス基板の内部における光導波路の位置を更に容易に特定することができる。
　［８］上記［４］から［７］のいずれか１つの光導波路基板において、複数のマーカーは、光導波路部から１０μｍ以上離れていてもよい。複数のマーカーのそれぞれが、空孔により主に形成されるか、または複数の空孔で形成された散乱体である場合、空孔により生じる応力が光導波路部の光伝搬特性に影響を与えるおそれがある。複数のマーカーが、光導波路部から１０μｍ以上離れた位置に設けられることにより、空孔により生じる応力が光導波路部の光伝搬特性に与える影響を低減できる。
　［９］上記［１］から［８］のいずれか１つの光導波路基板において、ガラス基板は第１端面および第２端面を有してもよい。光導波路部は第１光導波路を含んでもよい。第１光導波路は、第１端面に近い領域の第１端部と、第２端面に近い領域の第２端部とを有してもよい。複数のマーカーは、第１端部の位置を示す目印である第１マーカーと、第２端部の位置を示す目印である第２マーカーとを含んでもよい。ガラス基板の厚み方向における第１端部の位置は、厚み方向における第２端部の位置と異なってもよい。第１端部に対する、ガラス基板の厚み方向における第１マーカーの相対位置は、第２端部に対する、厚み方向における第２マーカーの相対位置と同一であってもよい。このような、ガラス基板の厚み方向における両端部の位置が互いに異なる光導波路に対しても、第１マーカーおよび第２マーカーによって各端部の位置を容易に特定することができる。
　［１０］上記［９］の光導波路基板において、複数のマーカーは、第２端部の位置を示す目印である第３マーカーを更に含んでもよい。ガラス基板の厚み方向に沿って見て、第１光導波路は第２マーカーと第３マーカーとの間に位置してもよい。第２端部はガラス基板の内部に存在してもよい。第１光導波路の延びる方向における第２端部と第２マーカーとの距離は、第１光導波路の延びる方向における第２端部と第３マーカーとの距離と等しくてもよい。このように、第１光導波路が第２マーカーと第３マーカーとの間に位置することにより、第２端部の位置を更に容易に特定することができる。加えて、光導波路の端部がガラス基板の内部に存在する場合には特に、光導波路を視認しづらい。第１光導波路の延びる方向における第２端部と第２マーカーとの距離が、第１光導波路の延びる方向における第２端部と第３マーカーとの距離と等しいことによって、第２端部がガラス基板の内部に存在する場合であっても、第２端部の位置を容易に特定することができる。
　［１１］本開示の一実施形態による光学モジュールは、上記［１］から［１０］のうちいずれか一つの光導波路基板と、光導波路部と光学的に結合される光学部品とを備える。ガラス基板は、第１端面を有する。光導波路部は第１光導波路を含む。第１光導波路は、第１端面に近い領域の第１端部を有する。光学部品は第１端面において第１光導波路と光学的に結合される。複数のマーカーは、第１端部の位置を示す目印である第１マーカーを含む。厚み方向に沿って見て、第１マーカーは光学部品によって覆われない。この光学モジュールによれば、光学部品をガラス基板に対して所定の固定位置に配置した状態において、ガラス基板の内部にある第１マーカーを光学部品に妨げられることなく視認することができる。したがって、ガラス基板と光学部品との光軸合わせが容易となる。
　［１２］本開示の一実施形態による光導波路基板の製造方法は、ガラス基板の内部にレーザ光を照射することにより、一または複数の光導波路を含む光導波路部を形成する工程と、ガラス基板の内部にレーザ光を照射することにより、一または複数の光導波路の位置を示す目印である複数のマーカーを形成する工程と、を含む。複数のマーカーは、光導波路部の最も近い部分に対してガラス基板の厚み方向に一定の相対位置に形成される。複数のマーカーは、ガラス基板の厚み方向に沿って見て光導波路部から離れている。複数のマーカーのそれぞれは、空孔により主に形成されるか、または複数の空孔が散乱して形成された散乱体である。
　この製造方法によれば、ガラス基板の内部にレーザ光を照射することにより、光導波路部、および光導波路の位置を示す目印である複数のマーカーが形成される。複数のマーカーと光導波路との相対位置関係は予め定まっているので、複数のマーカーを視認することにより、ガラス基板の内部に形成された光導波路の位置を容易に特定することができる。加えて、複数のマーカーが、光導波路部の最も近い部分に対してガラス基板の厚み方向に一定の相対位置に設けられることにより、複数のマーカーと光導波路との相対位置関係の評価が容易となる。加えて、複数のマーカーが、ガラス基板の厚み方向に沿って見て光導波路部から離れていることにより、ガラス基板の厚み方向から複数のマーカーを容易に視認することができる。加えて、空孔により主に形成されるか、または複数の空孔が散乱して形成された散乱体である複数のマーカーをレーザ光の照射により形成することによって、同じくレーザ光の照射により形成される光導波路部とともに、複数のマーカーを容易に形成することができる。
　［１３］上記［１２］の製造方法において、複数のマーカーを形成する工程におけるレーザ光の強度は、光導波路部を形成する工程におけるレーザ光の強度よりも大きくてもよい。例えばこのような方法によって、空孔により主に形成されるか、または複数の空孔が散乱して形成された散乱体である複数のマーカーを、ガラス基板の内部に形成することができる。
　［本開示の実施形態の詳細］
　本開示の光導波路基板、光学モジュール、および光導波路基板の製造方法の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本開示はこれらの例示に限定されるものではなく、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。以下の説明では、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
　（実施形態）
　図１は、本開示の実施形態に係る光学モジュールＡを示す斜視図である。図２は、光学モジュールＡを示す平面図である。図３は、光学モジュールＡを示す側面図である。光学モジュールＡは、光導波路基板１Ａとファイバアレイ２０（光学部品）とを備える。光導波路基板１Ａは、ガラス基板１を有する。ガラス基板１は、ファイバアレイ２０とｘ方向に向かい合ってファイバアレイ２０に固定されている。ガラス基板１の形状は、平板状である。ガラス基板１は、平面視にて長方形の形状を有している。ガラス基板１の材料としては、１１００ｎｍ以上１６５０ｎｍ以下の波長の光の、厚さ０．５ｃｍの基板における透過率が９０％以上であるガラスを好適に用いることができる。このようなガラスとしては、合成石英ガラス、ボロシリケートガラス、アルミノシリケートガラス、およびアルカリシリケートガラスが例示される。ガラス基板１は、主面２と、端面３（第１端面）と、端面４（第２端面）と、光導波路部１０と、複数のマーカーとを含む。複数のマーカーは、２つの第１マーカー６と、複数の第２マーカー５と、複数の第３マーカー８と、２つの第４マーカー７とを含む。
　主面２は、ガラス基板１の厚み方向を向く一方の板面であり、ｘ方向およびｘ方向と交差するｙ方向に沿ったガラス基板１の表面である。主面２の法線方向は、ガラス基板１の厚み方向と一致する。ここでは、ガラス基板１の厚み方向をｚ方向と定義する。端面３は、ｙ方向およびｚ方向に沿ったガラス基板１の表面である。端面３は、主面２に連続しており、主面２に対して例えば垂直に設けられている。端面３において、ガラス基板１とファイバアレイ２０とが互いに向かい合っている。端面４は、端面３に対してファイバアレイ２０とは反対側のガラス基板１の表面である。端面４は、主面２に連続しており、主面２に対して傾斜を有している。端面４の法線ベクトルは、ｚ方向の正方向を向く成分を含んでいる。主面２、端面３および端面４は、例えば平坦である。
　光導波路部１０は、複数の光導波路１１（第１光導波路）と、複数の光導波路１２（第２光導波路）とを含む。複数の光導波路１１および複数の光導波路１２は、例えば多光子吸収によってガラスが変質した高屈折率領域である。光導波路部１０の延びる方向は、端面３および端面４の双方と交差している。光導波路部１０の延びる方向は、主にｘ方向である。複数の光導波路１１は、ガラス基板１の内部に設けられており、ｙ方向に並んで設けられている。図３に示されるように、各光導波路１１は、領域ａと、領域ｂと、領域ｃとを含む。領域ａは、各光導波路１１の中央部よりも端面４に近い領域である。領域ａにおいて、複数の光導波路１１は主面２に沿ってｘ方向に延びており、ｙ方向に並んで設けられている。領域ｂは、複数の光導波路１１の中央部の領域である。領域ｂにおいて、複数の光導波路１１は湾曲しており、ｙ方向に並んで設けられている。領域ｃは、複数の光導波路１１の領域ｂよりも端面３に近い領域である。複数の光導波路１１の領域ｃは、領域ａと比較して、主面２から離れている。複数の光導波路１１の領域ｃは、ｘ方向に延びており、ｙ方向に並んで設けられている。複数の光導波路１２は、ガラス基板１の内部に設けられており、ｙ方向に並んで設けられている。複数の光導波路１２は、全体にわたって主面２と平行にｘ方向に延びている。複数の光導波路１２は、光導波路１１の領域ａと比較して、主面２から離れて設けられている。複数の光導波路１１の領域ｃと複数の光導波路１２とは、ｚ方向に沿って見て交互にｙ方向に並んでいる。
　端面３付近における光導波路１１と、光導波路１１と隣り合う光導波路１２との間隔は、端面４付近における光導波路１１と、光導波路１１と隣り合う別の光導波路１１との間隔、および、光導波路１２と、光導波路１２と隣り合う別の光導波路１２との間隔と等しい。端面３に近い領域の複数の光導波路１１の端部１１ａ（第１端部）のｚ方向の位置は、端面３に近い領域の（図示例では端面３に含まれる）複数の光導波路１２の端部１２ａのｚ方向の位置と同一である。図示例では端部１１ａ，１２ａは端面３に含まれてガラス基板１から露出しているが、端部１１ａ，１２ａは端面３から離れてガラス基板１の内部に位置してもよい。端面４に近い領域の複数の光導波路１１の端部１１ｂ（第２端部）のｚ方向の位置は、端面４に近い領域の複数の光導波路１２の端部１２ｂのｚ方向の位置と異なっている。図示例では端部１１ｂ，１２ｂは端面４から離れているが、端部１１ｂ，１２ｂは端面４に含まれてガラス基板１から露出してもよい。端面４付近において、複数の光導波路１１の端部１１ｂは、複数の光導波路１２の端部１２ｂよりも主面２に近い。
　図４は、各光導波路１１および各光導波路１２の横断面、すなわち各光導波路１１および各光導波路１２が延びる方向に垂直な断面を模式的に示す図である。ガラス基板１のガラスに対する各光導波路１１および各光導波路１２の比屈折率差は、例えば０．２％以上０．５％以下である。図４（ａ）に示すように、各光導波路１１および各光導波路１２の断面形状が正方形である場合、各光導波路１１および各光導波路１２の断面の一辺の長さは、例えば３μｍ以上７．５μｍ以下である。図４（ｂ）に示すように、各光導波路１１および各光導波路１２の断面形状が円形である場合、各光導波路１１および各光導波路１２の断面の直径は、例えば４μｍ以上９μｍ以下である。
　再度図１から図３を参照する。２つの第１マーカー６と、複数の第２マーカー５と、複数の第３マーカー８と、２つの第４マーカー７とは、ガラス基板１の内部に設けられた、複数の光導波路１１および複数の光導波路１２の位置を示す目印である。２つの第１マーカー６と、複数の第２マーカー５と、複数の第３マーカー８と、２つの第４マーカー７とは、光導波路部１０の最も近い部分に対してｚ方向に一定の相対位置に設けられ（すなわちｚ方向における光導波路部１０との距離が均一であり）、ｚ方向に沿って見て光導波路部１０から離れている。図示例において、２つの第１マーカー６と、複数の第２マーカー５と、複数の第３マーカー８と、２つの第４マーカー７とは、光導波路部１０の最も近い部分に対して主面２に近い領域に設けられている。
　図５は、ガラス基板１の端面４付近を示す拡大平面図である。複数の第２マーカー５および複数の第３マーカー８は、複数の光導波路１１の端部１１ｂの位置を示す目印である。複数の第２マーカー５および複数の第３マーカー８は、ガラス基板１の内部において、複数の光導波路１１の領域ａの近傍に設けられている。図５に示すように、複数の第２マーカー５は、ｚ方向に沿って見て、光導波路部１０の延びる方向（ｘ方向）と交差する方向（ｙ方向）に光導波路部１０から離れており、ｘ方向に沿って並んで設けられている。複数の第３マーカー８は、ｚ方向に沿って見て、光導波路部１０の延びる方向（ｘ方向）と交差する方向（ｙ方向）に光導波路部１０から離れており、ｘ方向に沿って並んで設けられている。ｚ方向に沿って見て、複数の光導波路１１は、複数の第２マーカー５のみからなる群と、複数の第３マーカー８のみからなる群との間に位置する。ここで、複数の光導波路１１の端部１１ｂを通り、ｙ軸に平行な架空の直線Ｓ１を想定する。複数の第２マーカー５のうち最も端面４に近い領域の第２マーカー５と、直線Ｓ１との距離Ｗ１は、複数の第３マーカー８のうち最も端面４に近い領域の第３マーカー８と、直線Ｓ１との距離Ｗ２と等しい。言い換えると、光導波路１１の延びる方向（ｘ方向）における端部１１ｂと第２マーカー５との距離は、同方向における端部１１ｂと第３マーカー８との距離と等しい。
　図６は、図１に示されるＶＩ－ＶＩ線に沿った部分断面図である。図６に示すように、複数の第２マーカー５と、光導波路部１０のうち複数の第２マーカー５に最も近い光導波路１１との距離Ｄ１は１０μｍ以上である。同様に、複数の第３マーカー８と、光導波路部１０のうち複数の第３マーカー８に最も近い光導波路１１との距離Ｄ２は１０μｍ以上である。第１マーカー６および第４マーカー７についても同様である。また、前述したように、第２マーカー５および第３マーカー８は、光導波路部１０の最も近い部分に対して主面２に近い領域に設けられている。言い換えると、第２マーカー５および第３マーカー８の中心は、光導波路１１の中心に対して距離Ｗ５だけ主面２に近い領域に位置している。距離Ｗ５の大きさは、例えば３μｍ以上１０μｍ以下である。第１マーカー６および第４マーカー７についても同様である。すなわち、マーカーと、マーカーに最も近い光導波路との距離は、所定の距離にある。
　図２および図３に示すように、２つの第１マーカー６は、ガラス基板１の内部において、ガラス基板１の中央部よりも端面３に近い領域に設けられている。２つの第１マーカー６は、複数の光導波路１１の端部１１ａ、および複数の光導波路１２の端部１２ａの位置を示す目印である。２つの第１マーカー６は、ｚ方向に沿って見て、光導波路部１０の延びる方向（ｘ方向）と交差する方向（ｙ方向）に光導波路部１０から離れて設けられている。ｚ方向に沿って見て、複数の光導波路１１および複数の光導波路１２は、第１の第１マーカー６と、第２の第１マーカー６との間に位置する。端部１１ａ，１２ａに対する、ｚ方向における第１マーカー６の相対位置は、端部１１ｂ，１２ｂに対する、ｚ方向における第２マーカー５の相対位置と同一である。すなわち、ｚ方向における端部１１ａ，１２ａと第１マーカー６との距離は、ｚ方向における端部１１ｂ，１２ｂと第２マーカー５との距離と等しい。端面３から第１の第１マーカー６までの距離は、端面３から第２の第１マーカー６までの距離と等しい。
　図５に示すように、２つの第４マーカー７は、ガラス基板１の内部において、ガラス基板１の中央部よりも端面４に近い領域に設けられている。２つの第４マーカー７は、複数の光導波路１２の端部１２ｂの位置を示す目印である。２つの第４マーカー７は、ｚ方向に沿って見て、光導波路部１０の延びる方向（ｘ方向）と交差する方向（ｙ方向）に光導波路部１０（より具体的には複数の光導波路１２）から離れて設けられている。ｚ方向に沿って見て、複数の光導波路１２は、第１の第４マーカー７と、第２の第４マーカー７との間に位置する。ここで、複数の光導波路１２の端部１２ｂを通り、ｙ軸に平行な架空の直線Ｓ２を想定する。第１の第４マーカー７と、直線Ｓ２との距離Ｗ３は、第２の第４マーカー７と、直線Ｓ２との距離Ｗ４と等しい。言い換えると、光導波路１２の延びる方向（ｘ方向）における端部１２ｂと第４マーカー７との距離は、全ての第４マーカー７において均一である。
　図７は、第１マーカー６、第２マーカー５、第３マーカー８、および第４マーカー７の断面を模式的に示す図である。第１マーカー６、第２マーカー５、第３マーカー８、および第４マーカー７の形状は、略球状であり、断面形状は略円形である。図７（ａ）は、第１マーカー６、第２マーカー５、第３マーカー８、および第４マーカー７のそれぞれが、単一の空孔９ａにより主に形成されている場合を示す。空孔９ａは、例えば真空孔または気泡である。空孔９ａの直径すなわち第１マーカー６、第２マーカー５、第３マーカー８、および第４マーカー７の直径Ｄは、光導波路１１，１２の横断面の幅Ｌ（図４を参照）よりも小さい。すなわち、光導波路１１，１２の幅Ｌと、第１マーカー６、第２マーカー５、第３マーカー８、および第４マーカー７の直径Ｄとは、次の数式（１）を満たす。
　Ｄ／Ｌ＜１　・・・（１）
或いは、直径Ｄは、幅Ｌの半分よりも小さくてもよい。すなわち、幅Ｌと直径Ｄとは、次の数式（２）を満たしてもよい。
　Ｄ／Ｌ＜０．５　・・・（２）
　図７（ｂ）は、第１マーカー６、第２マーカー５、第３マーカー８、および第４マーカー７のそれぞれが、複数の微小な空孔９ｂが散乱して形成された散乱体である場合を示す。複数の空孔９ｂのそれぞれは、例えばナノグレーティングと呼ばれる、数十ナノメートルから数百ナノメートルの直径を有する。その場合、第１マーカー６、第２マーカー５、第３マーカー８、および第４マーカー７のそれぞれの平均密度は、ガラス基板１のうち光導波路部１０、第１マーカー６、第２マーカー５、第３マーカー８、および第４マーカー７を除く領域のガラスの平均密度の例えば０．８倍以下である。平均密度は、例えばＳＴＥＭ分析によって測定可能である。
　再び図１から図３を参照する。ファイバアレイ２０は、ブロック部２５と、ファイバ固定部２４と、カバー部２６と、テープファイバ２１とを有する。ブロック部２５は、直方体の形状を有している。ブロック部２５の中央部よりもガラス基板１に近い領域の、ｚ方向を向く面上には、Ｖ溝２３が設けられている。ファイバ固定部２４は、略直方体の形状を有している。ファイバ固定部２４は、ブロック部２５の中央部よりもガラス基板１に近い領域のブロック部２５上に設けられている。カバー部２６は、平面視にて長方形の形状を有している。カバー部２６の上面は、ｘｚ平面において湾曲している。カバー部２６は、ブロック部２５の中央部に対してガラス基板１とは反対側のブロック部２５上に設けられている。カバー部２６は、ファイバ固定部２４と接触している。テープファイバ２１は、ブロック部２５上のカバー部２６の内部に設けられている。テープファイバ２１は、複数の光ファイバ２２を含む。テープファイバ２１から延出する複数の光ファイバ２２の部分は、Ｖ溝２３に収容されつつ、ファイバ固定部２４に押しつけられて固定されている。複数の光ファイバ２２のそれぞれは、ガラス基板１の端面３において複数の光導波路１１のそれぞれまたは複数の光導波路１２のそれぞれと光学的に結合している。光ファイバ２２の数は、複数の光導波路１１および複数の光導波路１２を合わせた数と同一である。図２に示すように、ガラス基板１とファイバアレイ２０とが向かい合って互いに固定された状態において、ｚ方向に沿って見て２つの第１マーカー６はファイバアレイ２０によって覆われていない。これにより、２つの第１マーカー６はｚ方向から視認可能とされている。
　本開示の第１実施形態に係る光学モジュールＡの製造方法について説明する。図８は、光学モジュールＡの製造方法を示すフローチャートである。まず、工程ＳＴ１において、主面２を有するガラス基板を準備する。次に、工程ＳＴ２において、ガラス基板の内部にレーザ光を照射することにより、複数の光導波路１１および複数の光導波路１２を含む光導波路部１０を形成する。レーザ光の照射は、例えばフェムト秒レーザからのレーザ光を、集光光学系により光導波路部１０の形成予定位置に集光することにより行われる。光導波路部１０は、例えばフェムト秒レーザの照射により生じる多光子吸収によって、ガラス基板内部のガラスが改質されることにより形成される。その後、工程ＳＴ３において、ガラス基板１の内部にレーザ光を照射することにより、２つの第１マーカー６、複数の第２マーカー５、複数の第３マーカー８、および２つの第４マーカー７を形成する。レーザ光の照射は、例えばフェムト秒レーザからのレーザ光を、工程ＳＴ２と同一の集光光学系により第１マーカー６、第２マーカー５、第３マーカー８、および第４マーカー７の形成予定位置に集光することにより行われる。このとき、第１マーカー６、第２マーカー５、第３マーカー８、および第４マーカー７を形成するためのレーザ光の強度（またはパワー）は、複数の光導波路１１および複数の光導波路１２を形成するためのレーザ光の強度（またはパワー）よりも大きい。第１マーカー６、第２マーカー５、第３マーカー８、および第４マーカー７を形成するためのレーザ光は、ピコ秒レーザからのレーザ光であってもよい。
　工程ＳＴ３において、第１マーカー６、第２マーカー５、第３マーカー８、および第４マーカー７として図７（ｂ）に示された散乱体を形成する場合、散乱体が形成される条件は、ガラスの軟化点をＴ［Ｋ］、照射するレーザ光のパワーをＰ［ｍＷ］としたとき、次の数式（３）によって表される。
　Ｔ／Ｐ＜１５［Ｋ／ｍＷ］　・・・（３）
或いは、散乱体が形成される条件は、次の数式（４）によって表されてもよい。
　Ｔ／Ｐ＜１３［Ｋ／ｍＷ］　・・・（４）
　以上の構成を備える光学モジュールＡおよび光学モジュールＡの製造方法から得られる効果について説明する。本実施形態では、光導波路１１，１２の位置を示す目印である複数のマーカー（第１マーカー６、第２マーカー５、第３マーカー８、および第４マーカー７）がガラス基板１の内部に設けられる。複数のマーカーと光導波路１１，１２との相対位置関係は予め定まっているので、複数のマーカーを視認することにより、ガラス基板１の内部に形成された光導波路１１，１２の位置を容易に特定することができる。これにより、複数の光導波路１１および複数の光導波路１２のそれぞれと、ファイバアレイ２０の複数の光ファイバ２２のそれぞれとの調心が容易な光導波路基板１Ａを提供できる。加えて、複数のマーカーが、光導波路部１０の最も近い部分に対してガラス基板１の厚み方向（ｚ方向）に一定の相対位置に設けられることにより、複数のマーカーと光導波路１１，１２との相対位置関係の評価が容易となる。加えて、複数のマーカーが、ガラス基板１の厚み方向に沿って見て光導波路部１０から離れていることにより、ガラス基板１の厚み方向から複数のマーカーを容易に視認することができる。
　本実施形態のように、複数のマーカーは、光導波路部１０の最も近い部分に対してガラス基板１の主面２に近い領域に設けられてもよい。ガラス基板１の内部に複数のマーカーおよび光導波路１１，１２をレーザ光の照射により形成する場合、複数のマーカーの視認性を高めるため、複数のマーカーを形成する際のレーザ光の強度は、光導波路１１，１２を形成する際のレーザ光の強度よりも大きくされる。更に、光導波路部１０を形成する際に用いる光学系と同一の光学系を用いて複数のマーカーを形成する場合、レーザ光の強度の違いにより、複数のマーカーは光導波路部１０に対してレーザ光入射面（すなわち主面２）に近い領域に形成される。言い換えると、複数のマーカーを光導波路部１０の最も近い部分に対して主面２に近い領域に形成することにより、光学系を変更せずに光導波路１１，１２と複数のマーカーとをガラス基板１の内部に形成することができる。これにより、光導波路１１，１２および複数のマーカーを形成する工程を簡略化できる。
　本実施形態のように、複数のマーカーのそれぞれは、空孔９ａ（または９ｂ）により主に形成されてもよい。これにより、ガラス基板１を構成するガラスと複数のマーカーとの屈折率差が大きくなる。よって、複数のマーカーの視認性が向上するので、光導波路１１，１２の位置を更に容易に特定することができる。更に、空孔９ａの直径Ｄは、光導波路１１，１２の横断面の幅Ｌよりも小さくてもよい。これにより、複数のマーカーの位置の特定精度が向上する。したがって、光導波路１１，１２の位置の特定精度が向上する。
　本実施形態のように、複数のマーカーのそれぞれが主に空孔９ａ（または９ｂ）によって形成される場合、複数のマーカーは、光導波路部１０から１０μｍ以上離れていてもよい。複数のマーカーが主に空孔９ａ（または９ｂ）によって形成される場合、空孔９ａ（または９ｂ）により生じる応力が光導波路部１０の光伝搬特性に影響を与えるおそれがある。複数のマーカーが、光導波路部１０から１０μｍ以上離れた位置に設けられることにより、空孔９ａ（または９ｂ）により生じる応力が光導波路部１０の光伝搬特性に与える影響を低減できる。加えて、複数のマーカーを光導波路部１０から１０μｍ以上離れた位置に設けることにより、光導波路部１０のクロストークが発生し得る領域から複数のマーカーを離すことができる。
　本実施形態のように、ガラス基板１は端面３および端面４を有してもよい。光導波路部１０は、光導波路１１を含んでもよい。光導波路１１は、端面３に近い領域の端部１１ａと、端面４に近い領域の端部１１ｂとを有してもよい。複数のマーカーは、端部１１ａの位置を示す目印である第１マーカー６と、端部１１ｂの位置を示す目印である第２マーカー５とを含んでもよい。ガラス基板１の厚み方向（ｚ方向）における端部１１ａの位置は、厚み方向における端部１１ｂの位置と異なってもよい。端部１１ａに対する、ガラス基板１の厚み方向における第１マーカー６の相対位置は、端部１１ｂに対する、厚み方向における第２マーカー５の相対位置と同一であってもよい。このような、ガラス基板１の厚み方向における両端部１１ａ，１１ｂの位置が互いに異なる光導波路１１に対しても、第１マーカー６および第２マーカー５によって各端部１１ａ，１１ｂの位置を容易に特定することができる。
　本実施形態のように、複数のマーカーは、端部１１ｂの位置を示す目印である第３マーカー８を更に含んでもよい。ガラス基板１の厚み方向（ｚ方向）に沿って見て、光導波路１１は第２マーカー５と第３マーカー８との間に位置してもよい。端部１１ｂはガラス基板１の内部に存在してもよい。このように、光導波路１１が第２マーカー５と第３マーカー８との間に位置することにより、端部１１ｂの位置を更に容易に特定することができる。加えて、光導波路１１の端部１１ｂおよび光導波路１２の端部１２ｂがガラス基板１の内部に存在する場合には特に、光導波路１１，１２を視認しづらい。これに対し、本実施形態では、光導波路１１の延びる方向（ｘ方向）における端部１１ｂと第２マーカー５との距離Ｗ１は、光導波路１１の延びる方向における端部１１ｂと第３マーカー８との距離Ｗ２と等しい。光導波路１２の延びる方向（ｘ方向）における端部１２ｂと第１の第４マーカー７との距離Ｗ３は、光導波路１２の延びる方向における端部１２ｂと第２の第４マーカー７との距離Ｗ４と等しい。これにより、端部１１ｂ及び１２ｂがガラス基板１の内部に存在する場合であっても、端部１１ｂ及び１２ｂの位置を容易に特定することができる。
　前述したように、複数のマーカーのそれぞれは、複数の空孔９ｂが散乱して形成された散乱体であってもよい。散乱体における空孔９ｂの散乱、すなわち複数の空孔９ｂが密集して散らばっていることによって、光が散乱され、複数のマーカーの視認性が向上する。したがって、ガラス基板１の内部における光導波路１１，１２の位置を更に容易に特定することができる。加えて、直径の小さな空孔９ｂを複数設けることにより、直径の大きな単一の空孔９ａを設ける場合と比較して、複数のマーカーの形成位置の精度が向上する。
　複数のマーカーのそれぞれが散乱体である場合、前述したように、複数のマーカーそれぞれの平均密度は、ガラス基板１のうち光導波路部１０および複数のマーカーを除く領域のガラスの平均密度の０．８倍以下であってもよい。その場合、散乱体の視認性がより向上する。したがって、ガラス基板１の内部における光導波路１１，１２の位置を更に容易に特定することができる。
　本実施形態では、ガラス基板１の内部にある第１マーカー６がファイバアレイ２０によって覆われない。したがって、ファイバアレイ２０をガラス基板１に対して所定の固定位置に配置した状態において、ガラス基板１の内部にある第１マーカー６をファイバアレイ２０に妨げられることなく視認することができる。したがって、ガラス基板１とファイバアレイ２０との光軸合わせが容易となる。
　本実施形態の製造方法によれば、ガラス基板の内部にレーザ光を照射することにより、光導波路部１０、および光導波路１１，１２の位置を示す目印である複数のマーカーを形成する。空孔９ａにより主に形成されるか、または複数の空孔９ｂが散乱して形成された散乱体である複数のマーカーをレーザ光の照射により形成することによって、同じくレーザ光の照射により形成される光導波路部１０とともに、複数のマーカーを容易に形成することができる。
　前述したように、複数のマーカーを形成する工程ＳＴ３におけるレーザ光の強度は、光導波路部１０を形成する工程ＳＴ２におけるレーザ光の強度よりも大きくてもよい。例えばこのような方法によって、空孔９ａにより主に形成されるか、または複数の空孔９ｂが散乱して形成された散乱体である複数のマーカーを、ガラス基板の内部に形成することができる。
　（第１変形例）
　上記実施形態では、第１マーカー６と、第２マーカー５と、第３マーカー８と、第４マーカー７とが、光導波路部１０に対して主面２（一方の板面）に近い領域に設けられている。この形態に限られず、第１マーカー６と、第２マーカー５と、第３マーカー８と、第４マーカー７との各位置は、ｚ方向において、光導波路部１０の最も近い部分の位置と同じであってもよい。言い換えると、光導波路１１，１２の中心線と、複数のマーカーの中心点と、のｚ方向の位置が互いに同一であってもよい。これにより、ガラス基板１の厚み方向における複数のマーカーと光導波路１１，１２との位置の違いを考慮せずに済む。したがって、複数のマーカーと光導波路１１，１２との相対位置関係の評価が容易となる。
　（第２変形例）
　光学モジュールＡの製造方法において、光導波路部１０は例えばイオン交換法によって形成されてもよい。ただし、フェムト秒レーザを使用して光導波路部１０および複数のマーカーをガラス基板１に形成することにより、光導波路部１０と複数のマーカーとを同一の装置によって形成することができる。光導波路部１０と複数のマーカーとを同一の装置によって形成することにより、光導波路部１０に対する複数のマーカーの形成位置の精度を向上させることができる。したがって、光導波路部１０の位置の特定精度を更に向上することができる。
　以上、本開示を実施形態に基づいて具体的に説明したが、本開示は、上記の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において変更可能である。例えば、上記の実施形態では、第２マーカー５および第３マーカー８がそれぞれ複数個設けられる例が示されているが、第２マーカー５および第３マーカー８は、それぞれ１個ずつ設けられていてもよい。第１マーカー６および第４マーカー７は、上記の実施形態に限定されず、第２マーカー５および第３マーカー８のように複数個がｘ方向に並ぶように形成されていてもよい。上記の実施形態では、光導波路部１０が複数の光導波路１１および複数の光導波路１２を含んでいる例が示されているが、光導波路部１０は、光導波路１１および光導波路１２の一方または両方を１本のみ含んでもよい。
１…ガラス基板
１Ａ…光導波路基板
２…主面
３，４…端面
５…第２マーカー
６…第１マーカー
７…第４マーカー
８…第３マーカー
９ａ，９ｂ…空孔
１０…光導波路部
１１，１２…光導波路
１１ａ，１２ａ…端部
１１ｂ，１２ｂ…端部
２０…ファイバアレイ
２１…テープファイバ
２２…光ファイバ
２３…Ｖ溝
２４…ファイバ固定部
２５…ブロック部
２６…カバー部
Ａ…光学モジュール
ａ，ｂ，ｃ…領域
Ｄ…直径
Ｌ…幅
Ｓ１，Ｓ２…直線
Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４…距離

Claims (13)

  1. 　ガラス基板を備え、
    　前記ガラス基板は、
    　前記ガラス基板の内部に形成された一または複数の光導波路を含む光導波路部と、
    　前記ガラス基板の内部に設けられた、前記一または複数の光導波路の位置を示す目印である複数のマーカーと、
    を有し、
    　前記複数のマーカーは、前記光導波路部の最も近い部分に対して前記ガラス基板の厚み方向に一定の相対位置に設けられ、前記厚み方向に沿って見て前記光導波路部から離れている、光導波路基板。
  2. 　前記複数のマーカーは、前記光導波路部の最も近い部分に対して前記ガラス基板の前記厚み方向を向く一方の板面に近い領域に設けられる、請求項１に記載の光導波路基板。
  3. 　前記厚み方向において、前記複数のマーカーの位置が前記光導波路部の最も近い部分の位置と同じである、請求項１に記載の光導波路基板。
  4. 　前記複数のマーカーのそれぞれは、空孔により主に形成される、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光導波路基板。
  5. 　前記空孔の直径は、各光導波路の横断面の幅よりも小さい、請求項４に記載の光導波路基板。
  6. 　前記複数のマーカーのそれぞれは、複数の空孔が散乱して形成された散乱体である、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光導波路基板。
  7. 　前記複数のマーカーのそれぞれの平均密度は、前記ガラス基板のうち前記光導波路部および前記複数のマーカーを除く領域のガラスの平均密度の０．８倍以下である、請求項６に記載の光導波路基板。
  8. 　前記複数のマーカーは、前記光導波路部から１０μｍ以上離れている、請求項４から請求項７のいずれか１項に記載の光導波路基板。
  9. 　前記ガラス基板は第１端面および第２端面を有し、
    　前記光導波路部は第１光導波路を含み、
    　前記第１光導波路は、前記第１端面に近い領域の第１端部と、前記第２端面に近い領域の第２端部とを有し、
    　前記複数のマーカーは、前記第１端部の位置を示す目印である第１マーカーと、前記第２端部の位置を示す目印である第２マーカーとを含み、
    　前記厚み方向における前記第１端部の位置が、前記厚み方向における前記第２端部の位置と異なり、
    　前記第１端部に対する、前記厚み方向における前記第１マーカーの相対位置が、前記第２端部に対する、前記厚み方向における前記第２マーカーの相対位置と同一である、請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の光導波路基板。
  10. 　前記複数のマーカーは、前記第２端部の位置を示す目印である第３マーカーを更に含み、
    　前記厚み方向に沿って見て、前記第１光導波路は前記第２マーカーと前記第３マーカーとの間に位置し、
    　前記第２端部は前記ガラス基板の内部に存在し、
    　前記第１光導波路の延びる方向における前記第２端部と前記第２マーカーとの距離は、前記延びる方向における前記第２端部と前記第３マーカーとの距離と等しい、請求項９に記載の光導波路基板。
  11. 　請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の光導波路基板と、
    　前記光導波路部と光学的に結合される光学部品と、
    を備え、
    　前記ガラス基板は第１端面を有し、
    　前記光導波路部は第１光導波路を含み、
    　前記第１光導波路は、前記第１端面に近い領域の第１端部を有し、
    　前記光学部品は前記第１端面において前記第１光導波路と光学的に結合され、
    　前記複数のマーカーは、前記第１端部の位置を示す目印である第１マーカーを含み、
    　前記厚み方向に沿って見て前記第１マーカーが前記光学部品によって覆われない、光学モジュール。
  12. 　ガラス基板の内部にレーザ光を照射することにより、一または複数の光導波路を含む光導波路部を形成する工程と、
    　前記ガラス基板の内部にレーザ光を照射することにより、前記一または複数の光導波路の位置を示す目印である複数のマーカーを形成する工程と、
    を含み、
    　前記複数のマーカーは、前記光導波路部の最も近い部分に対して前記ガラス基板の厚み方向に一定の相対位置に形成され、前記厚み方向に沿って見て前記光導波路部から離れており、
    　前記複数のマーカーのそれぞれは、空孔により主に形成されるか、または複数の空孔が散乱して形成された散乱体である、光導波路基板の製造方法。
  13. 　前記複数のマーカーを形成する工程における前記レーザ光の強度は、前記光導波路部を形成する工程における前記レーザ光の強度よりも大きい、請求項１２に記載の光導波路基板の製造方法。
PCT/JP2024/021063 2023-07-05 2024-06-10 光導波路基板、光学モジュール、および光導波路基板の製造方法 Ceased WO2025009337A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2023-110707 2023-07-05
JP2023110707 2023-07-05

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2025009337A1 true WO2025009337A1 (ja) 2025-01-09

Family

ID=94171642

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2024/021063 Ceased WO2025009337A1 (ja) 2023-07-05 2024-06-10 光導波路基板、光学モジュール、および光導波路基板の製造方法

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO2025009337A1 (ja)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6400857B1 (en) * 1999-01-11 2002-06-04 Hamid Hatami-Hanza Method for making integrated and composite optical devices utilizing prefabricated optical fibers and such devices
JP2003057466A (ja) * 2001-08-09 2003-02-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光導波路とそれを用いた部品、および光導波路の製造方法
JP2003057473A (ja) * 2001-08-21 2003-02-26 Fujikura Ltd 光導波路部品、光導波路部品の製造方法、光導波路部品のマーキング方法及び光導波路部品の加工方法
JP2003512645A (ja) * 1999-10-21 2003-04-02 日本発条株式会社 位置合せマーカーを備えた光部品及びその製造方法
JP2004029286A (ja) * 2002-06-25 2004-01-29 Hitachi Cable Ltd ホーリー導波路型光回路及びその製造方法
JP2004085938A (ja) * 2002-08-27 2004-03-18 Fujikura Ltd 基板型光導波路の光学特性調整方法
US20200241220A1 (en) * 2017-10-26 2020-07-30 Corning Optical Communications LLC Optical assemblies, interconnection substrates and methods for forming optical links in interconnection substrates
WO2022215274A1 (ja) * 2021-04-09 2022-10-13 日本電信電話株式会社 光導波路形成方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6400857B1 (en) * 1999-01-11 2002-06-04 Hamid Hatami-Hanza Method for making integrated and composite optical devices utilizing prefabricated optical fibers and such devices
JP2003512645A (ja) * 1999-10-21 2003-04-02 日本発条株式会社 位置合せマーカーを備えた光部品及びその製造方法
JP2003057466A (ja) * 2001-08-09 2003-02-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光導波路とそれを用いた部品、および光導波路の製造方法
JP2003057473A (ja) * 2001-08-21 2003-02-26 Fujikura Ltd 光導波路部品、光導波路部品の製造方法、光導波路部品のマーキング方法及び光導波路部品の加工方法
JP2004029286A (ja) * 2002-06-25 2004-01-29 Hitachi Cable Ltd ホーリー導波路型光回路及びその製造方法
JP2004085938A (ja) * 2002-08-27 2004-03-18 Fujikura Ltd 基板型光導波路の光学特性調整方法
US20200241220A1 (en) * 2017-10-26 2020-07-30 Corning Optical Communications LLC Optical assemblies, interconnection substrates and methods for forming optical links in interconnection substrates
WO2022215274A1 (ja) * 2021-04-09 2022-10-13 日本電信電話株式会社 光導波路形成方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9086519B2 (en) Multi-core fiber, and multi-core fiber connection method using the same
CN1136466C (zh) 使用校准平台的光纤无源校准装置
US5481629A (en) Hybrid optical IC with optical axes at different levels
US6647184B2 (en) Optical waveguide device and method of manufacturing the same
JPH1010362A (ja) 受動的に調整されたファイバーを有する光集積回路
KR102662752B1 (ko) 광 커넥터 모듈 및 광 도파로 기판의 제조 방법
US12092852B2 (en) Optical device having fan-out waveguides and bus waveguide
JP2006259729A (ja) 光バックプレーン及び統合された光バックプレーンを製造する方法
US6744953B2 (en) Planar optical waveguide with alignment structure
WO2025009337A1 (ja) 光導波路基板、光学モジュール、および光導波路基板の製造方法
US9753225B2 (en) Passive alignment optical connector
JP4144427B2 (ja) 光導波路およびその製造方法
JP2018036637A (ja) レンズアレイ、ファイバアレイモジュール及び受光モジュール
JP2025179381A (ja) 光導波路部品
US7748910B2 (en) Optical system and method of manufacturing the same
US11947172B2 (en) Optical probe package structure
JP2008299180A (ja) 自己形成光導波路の製造方法及びそれを備えた光デバイス
US20240329309A1 (en) Optical waveguide and optical integrated device
US20260072211A1 (en) Optical waveguide component and method of manufacturing optical waveguide component
US20250028120A1 (en) Optical system provided with attenuating area and method of producing the same
TW202603421A (zh) 光連接器及其製造方法
JPH11183750A (ja) 光デバイス用光導波路モジュールおよび光デバイスの製造方法
JP2018036635A (ja) 光部品、ファイバアレイモジュール及び受光モジュール並びに光部品の製造方法
DE102025117745A1 (de) Optische sonde, optische sondenaufstellung und sondensystem
WO2026084905A1 (en) Planar optical metalens and optical connector comprising same

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 24835855

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE