WO2025009244A1

WO2025009244A1 - 無線通信システム、搬送台車及び制御方法

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Publication number: WO2025009244A1
Application number: PCT/JP2024/014741
Authority: WO
Inventors: 宗訓大島; 弘慶高原; 雄一細見; 祐太朗八木; 達弘大久保
Original assignee: Murata Machinery Ltd; Silex Technology Inc
Current assignee: Murata Machinery Ltd; Silex Technology Inc
Priority date: 2023-07-05
Filing date: 2024-04-11
Publication date: 2025-01-09
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Also published as: KR20260005382A; JPWO2025009244A1; CN121359499A; TW202504374A

Abstract

搬送台車（４）は、互いに所定の距離以上離れて配置され、且つ、互いにシリアルケーブル（３４）を介して通信可能に接続された第１の通信ユニット（２４）及び第２の通信ユニット（２８）を有する。第１の通信ユニット（２４）は、所定のチャンネルを用いて通信デバイス（８）と無線通信を行う。第２の通信ユニット（２８）は、シリアルケーブル（３４）を介して、第１の通信ユニット（２４）と通信デバイス（８）との無線通信に関する情報を第１の通信ユニット（２４）との間で共有する。第１の通信ユニット（２４）と通信デバイス（８）との無線通信に障害が発生した場合に、第２の通信ユニット（２８）は、所定のチャンネルを用いて通信デバイス（８）との無線通信を開始する。

Description

無線通信システム、搬送台車及び制御方法

　本発明は、無線通信システム、搬送台車及び制御方法に関する。

　半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ）を搬送するための天井走行式の搬送台車と、半導体ウエハを処理するための半導体製造装置とを備えた半導体製造システムが知られている。

　搬送台車と、半導体製造装置の載置ポートに通信可能に接続された通信デバイスとの間の無線通信には、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　ａｎｄ　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）のＥ８４通信シーケンスが適用される。搬送台車と載置ポートとの間でＦＯＵＰを移載する際には、Ｅ８４通信シーケンスにより搬送台車と通信デバイスとの間で制御信号が授受される。

　ところで、特許文献１には、第１のチャンネル（周波数帯）で無線通信を行う第１の無線モジュールと、第１のチャンネルとは異なる第２のチャンネルで無線通信を行う第２の無線モジュールとを備えた無線通信技術が開示されている。この無線通信技術では、第１の無線モジュールを用いてデータ送信を試みて、第１の無線モジュールを用いたデータ送信が失敗した場合に、第２の無線モジュールを用いたデータ送信に切り替える。

特開２０１９－３６８１６号公報

　特許文献１に開示された無線通信技術を上述した半導体製造システムに適用して、第１の無線モジュール及び第２の無線モジュールを搬送台車に搭載した場合には、次のような課題が生じる。第１の無線モジュールから通信デバイスへのデータ送信が失敗した場合に、第１のチャンネルから第２のチャンネルに変更するのに時間を要するため、第２の無線モジュールから通信デバイスへのデータ送信の開始が遅れるおそれが生じる。

　本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、特定の通信ユニットと通信デバイスとの無線通信に障害が発生した場合に、他の１以上の通信ユニットと通信デバイスとの無線通信を早期に開始することができる無線通信システム、搬送台車及び制御方法を提供することである。

　上記目的を達成するために、本発明の第１の態様に係る無線通信システムは、軌道に沿って走行し且つ物品を搬送する搬送台車と、前記搬送台車との間で前記物品が移載される移載装置に通信可能に接続され且つ前記搬送台車との間で無線通信を行う通信デバイスと、を備えた無線通信システムであって、前記搬送台車は、互いに所定の距離以上離れて配置され、且つ、互いに通信ケーブルを介して通信可能に接続された複数の通信ユニットを有し、前記複数の通信ユニットのうち特定の通信ユニットは、所定のチャンネルを用いて前記通信デバイスと無線通信を行い、前記複数の通信ユニットのうち前記特定の通信ユニット以外の他の１以上の通信ユニットは、前記通信ケーブルを介して、前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信に関する情報を前記特定の通信ユニットとの間で共有し、前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信に障害が発生した場合に、前記他の１以上の通信ユニットは、前記所定のチャンネルを用いて前記通信デバイスとの無線通信を開始する。

　本態様によれば、複数の通信ユニット間で無線通信に関する情報を共有しており、また、複数の通信ユニットの各々と通信デバイスとの無線通信には同じ所定のチャンネルが用いられる。これにより、特定の通信ユニットと通信デバイスとの無線通信に障害が発生した場合であっても、他の１以上の通信ユニットは、通信デバイスとの無線通信を早期に開始することができる。また、複数の通信ユニットは、互いに所定の距離以上離れて配置されている。これにより、特定の通信ユニットと通信デバイスとの間の無線通信経路が障害物等で物理的に遮断される等によって、両者間の無線通信に障害が発生した場合に、他の１以上の通信ユニットと通信デバイスとの無線通信が成功する可能性を高めることができる。

　また、本発明の第２の態様に係る無線通信システムでは、第１の態様において、前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信に障害が発生した場合に、前記特定の通信ユニットは、当該無線通信を前記他の１以上の通信ユニットに引き継ぐように構成してもよい。

　本態様によれば、特定の通信ユニットと通信デバイスとの無線通信の途中で障害が発生した場合であっても、他の１以上の通信ユニットは、特定の通信ユニットと通信デバイスとの無線通信を引き継いで行うことができる。

　また、本発明の第３の態様に係る無線通信システムでは、第１の態様又は第２の態様において、前記無線通信に関する情報は、前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信設定を含むように構成してもよい。

　本態様によれば、特定の通信ユニットと通信デバイスとの無線通信に障害が発生した場合であっても、他の１以上の通信ユニットは、通信デバイスとの無線通信を早期に開始することができる。

　また、本発明の第４の態様に係る無線通信システムでは、第１の態様～第３の態様のいずれか一態様において、前記搬送台車は、さらに、当該搬送台車を制御する制御部を有し、前記特定の通信ユニットは、前記制御部と通信可能に有線接続され、且つ、前記制御部との間で情報を送受信し、前記他の１以上の通信ユニットは、前記通信ケーブル及び前記特定の通信ユニットを介して、前記制御部との間で情報を送受信するように構成してもよい。

　本態様によれば、複数の通信ユニットの各々が制御部に直接有線接続される場合と比べて、通信ケーブル及びＩ／Ｏポートの数を少なく抑えることができる。また、上位システムからは、搬送台車が有する複数の通信ユニットに対して、それらのうちの１つの通信ユニットと通信しているかのように擬制できる。

　また、本発明の第５の態様に係る無線通信システムでは、第１の態様～第４の態様のいずれか一態様において、前記通信ケーブルは、シリアルケーブルであり、前記他の１以上の通信ユニットは、前記シリアルケーブルを用いたシリアル通信により、前記無線通信に関する情報を前記特定の通信ユニットとの間で共有するように構成してもよい。

　本態様によれば、他の１以上の通信ユニットは、シリアル通信により、無線通信に関する情報を特定の通信ユニットとの間で共有することができる。

　また、本発明の第６の態様に係る無線通信システムでは、第１の態様～第５の態様のいずれか一態様において、前記搬送台車は、さらに、前記物品を移載する場所に応じて、前記複数の通信ユニットの中から、前記通信デバイスと無線通信を行う前記特定の通信ユニットを決定する制御部を有するように構成してもよい。

　本態様によれば、物品を移載する場所に応じて、複数の通信ユニットの中から、通信デバイスと無線通信を行う通信ユニットとして最適な（例えば、通信デバイスとの無線通信に障害が発生する可能性の最も低い）特定の通信ユニットを決定することができる。

　また、本発明の第７の態様に係る搬送台車は、軌道に沿って走行し且つ物品を搬送する搬送台車であって、前記搬送台車は、互いに所定の距離以上離れて配置され、且つ、互いに通信ケーブルを介して通信可能に接続された複数の通信ユニットを有し、前記複数の通信ユニットのうち特定の通信ユニットは、所定のチャンネルを用いて、前記搬送台車との間で前記物品が移載される移載装置に通信可能に接続された通信デバイスと無線通信を行い、前記複数の通信ユニットのうち前記特定の通信ユニット以外の他の１以上の通信ユニットは、前記通信ケーブルを介して、前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信に関する情報を前記特定の通信ユニットとの間で共有し、前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信に障害が発生した場合に、前記他の１以上の通信ユニットは、前記所定のチャンネルを用いて前記通信デバイスとの無線通信を開始する。

　また、本発明の第８の態様に係る制御方法は、物品を搬送する移動体と、前記移動体との間で前記物品が移載される移載装置に通信可能に接続され且つ前記移動体との間で無線通信を行う通信デバイスと、を備えた無線通信システムにおける制御方法であって、前記移動体は、互いに所定の距離以上離れて配置され、且つ、互いに通信ケーブルを介して通信可能に接続された複数の通信ユニットを有し、前記制御方法は、前記複数の通信ユニットのうち特定の通信ユニットが、所定のチャンネルを用いて前記通信デバイスと無線通信を行うステップと、前記複数の通信ユニットのうち前記特定の通信ユニット以外の他の１以上の通信ユニットが、前記通信ケーブルを介して、前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信に関する情報を前記特定の通信ユニットとの間で共有するステップと、前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信に障害が発生した場合に、前記他の１以上の通信ユニットが、前記所定のチャンネルを用いて前記通信デバイスとの無線通信を開始するステップと、を含む。

　なお、本発明は、装置として実現できるだけでなく、その装置を構成する処理手段をステップとする方法として実現したり、それらステップをコンピュータに実行させるプログラムとして実現したり、そのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭなどの記録媒体として実現したり、そのプログラムを示す情報、データ又は信号として実現したりすることもできる。そして、それらプログラム、情報、データ及び信号は、インターネット等の通信ネットワークを介して配信してもよい。

　本発明の一態様に係る無線通信システム等によれば、特定の通信ユニットと通信デバイスとの無線通信に障害が発生した場合に、他の１以上の通信ユニットと通信デバイスとの無線通信を早期に開始することができる。

実施の形態に係る無線通信システムの概要を示す図である。実施の形態に係る無線通信システムにおけるＦＯＵＰの移載を説明するための概略図である。実施の形態に係る搬送台車における制御部、第１の通信ユニット及び第２の通信ユニットの位置関係を説明するための概略図である。実施の形態に係る無線通信システムの機能構成を示すブロック図である。第１の通信ユニットと通信デバイスとの無線通信に障害が発生しない場合における、実施の形態に係る無線通信システムの動作の流れを示すシーケンス図である。第１の通信ユニットと通信デバイスとの無線通信に障害が発生した場合における、実施の形態に係る無線通信システムの動作の流れを示すシーケンス図である。第１の通信ユニットと通信デバイスとの無線通信、及び、第２の通信ユニットと通信デバイスとの無線通信にそれぞれ障害が発生した場合における、実施の形態に係る無線通信システムの動作の流れを示すシーケンス図である。

　以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的又は具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序等は、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

　（実施の形態）
　［１．無線通信システムの概要］
　まず、図１～図３を参照しながら、実施の形態に係る無線通信システム２の概要について説明する。図１は、実施の形態に係る無線通信システム２の概要を示す図である。図２は、実施の形態に係る無線通信システム２におけるＦＯＵＰ１０の移載を説明するための概略図である。図３は、実施の形態に係る搬送台車４における制御部２２、第１の通信ユニット２４及び第２の通信ユニット２８の位置関係を説明するための概略図である。

　図１に示すように、無線通信システム２は、例えば半導体製造工場内に構築されたシステムである。無線通信システム２は、搬送台車４（移動体の一例）と、半導体製造装置６と、通信デバイス８とを備えている。

　搬送台車４は、半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰ１０（物品の一例）を搬送するための天井走行式の搬送台車であり、いわゆるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ　Ｈｏｉｓｔ　Ｔｒａｎｓｆｅｒ）である。搬送台車４は、半導体製造工場の天井に設置された軌道１２に沿って無人走行する。なお、半導体製造工場には、複数（例えば数百台）の搬送台車４が配置されているが、説明の都合上、図１では１つの搬送台車４のみを図示している。

　搬送台車４は、台車本体１４と、把持部１６と、昇降機構１８と、ラテラル機構２０とを有している。

　台車本体１４は、ＸＹ平面視で略矩形状の中空状に構成され、軌道１２に沿って走行する。台車本体１４の内部には、ＦＯＵＰ１０を格納可能である。

　把持部１６は、台車本体１４の内部に搭載されている。把持部１６は、ＦＯＵＰ１０の上端部を把持することにより、ＦＯＵＰ１０を吊り下げて保持する。

　昇降機構１８は、台車本体１４の内部に搭載されている。昇降機構１８は、把持部１６を鉛直方向（Ｚ軸方向）に昇降させるための機構であり、例えば金属で形成されている。

　ラテラル機構２０は、台車本体１４の内部に搭載されている。ラテラル機構２０は、把持部１６及び昇降機構１８を水平方向（Ｙ軸方向）に移動させるための機構であり、例えば金属で形成されている。ラテラル機構２０は、台車本体１４の内部に収納される収納位置（図示せず）と、台車本体１４から側方に突出する突出位置（図２参照）との間をスライド可能である。ラテラル機構２０が収納位置にある状態では、把持部１６及び昇降機構１８は、台車本体１４の内部に位置する。一方、ラテラル機構２０が突出位置にある状態では、把持部１６及び昇降機構１８は、台車本体１４の外部に位置する。

　例えば搬送台車４と半導体製造装置６の載置ポート３８（後述する）との間でＦＯＵＰ１０を移載する際には、まず、搬送台車４が載置ポート３８の直上の位置で停止する。この状態で、ラテラル機構２０が収納位置から突出位置にスライドした後に、昇降機構１８が把持部１６を搬送台車４から載置ポート３８の近傍まで下降させて、把持部１６と載置ポート３８との間でＦＯＵＰ１０を移載する。具体的には、載置ポート３８に載置されたＦＯＵＰ１０を把持部１６により荷掴みする、又は、把持部１６から載置ポート３８にＦＯＵＰ１０を荷降ろしする。その後、ＦＯＵＰ１０の移載が完了した際には、昇降機構１８が把持部１６を載置ポート３８の近傍から搬送台車４まで上昇させた後に、ラテラル機構２０が突出位置から収納位置にスライドする。

　図２及び図３に示すように、搬送台車４は、さらに、制御部２２と、第１の通信ユニット２４（特定の通信ユニットの一例）と、第１のアンテナ２６と、第２の通信ユニット２８（他の１以上の通信ユニットの一例）と、第２のアンテナ３０とを有している。

　制御部２２は、台車本体１４の内部に搭載されており、搬送台車４の各部の動作を統括的に制御する。

　第１の通信ユニット２４は、シリアルケーブル３２を介して、制御部２２と通信可能に接続（有線接続）されている。これにより、第１の通信ユニット２４は、シリアルケーブル３２を用いた例えばＲＳ－２３２Ｃ等の通信方式のシリアル通信により、制御部２２との間で情報を送受信する。また、第１の通信ユニット２４は、所定のチャンネル（周波数帯）を用いて、通信デバイス８との間で無線通信により情報を送受信する。なお、第１の通信ユニット２４は、通信デバイス８との間で近距離無線通信により情報を送受信する。近距離無線通信は、例えばＢＬＥ（Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）　Ｌｏｗ　Ｅｎｅｒｇｙ）等による無線通信である。

　第１のアンテナ２６は、第１の通信ユニット２４用のアンテナであり、ケーブル（図示せず）を介して第１の通信ユニット２４と通信可能に接続されている。

　第２の通信ユニット２８は、シリアルケーブル３４（通信ケーブルの一例）を介して、第１の通信ユニット２４と通信可能に接続されている。これにより、第２の通信ユニット２８は、シリアルケーブル３４を用いた例えばＲＳ－２３２Ｃ等の通信方式のシリアル通信により、第１の通信ユニット２４との間で情報を送受信する。また、第２の通信ユニット２８は、第１の通信ユニット２４との間でシリアルケーブル３４を通じて、第１の通信ユニット２４が通信デバイス８との間で行う無線通信に関する情報を送受信する。すなわち、第１の通信ユニット２４及び第２の通信ユニット２８は、双方が通信デバイス８との間で行う無線通信に関する情報を共有する。また、第２の通信ユニット２８は、上記所定のチャンネルを用いて、通信デバイス８との間で無線通信により情報を送受信する。すなわち、第１の通信ユニット２４及び第２の通信ユニット２８は、同じ所定のチャンネルを用いて、通信デバイス８との間で無線通信を行う。なお、第１の通信ユニット２４及び第２の通信ユニット２８は、通信デバイス８との間で近距離無線通信により情報を送受信する。また、図３に示すように、第１の通信ユニット２４及び第２の通信ユニット２８は、互いに所定の距離以上離れて配置されている。

　第２のアンテナ３０は、第２の通信ユニット２８用のアンテナであり、ケーブル（図示せず）を介して第２の通信ユニット２８と通信可能に接続されている。なお、図３に示すように、第１のアンテナ２６及び第２のアンテナ３０は、例えばＸＹ平面視で、台車本体１４において対角状に配置されている。

　半導体製造装置６は、ＦＯＵＰ１０に格納された半導体ウエハを処理又は仮置き等するための装置であり、軌道１２の直下に設置されている。半導体製造装置６は、ＦＯＵＰ１０を搬入及び搬出するための搬入出口３６と、搬入出口３６の近傍に配置された載置ポート３８（移載装置の一例）とを有している。載置ポート３８は、ＦＯＵＰ１０を載置するためのロードポートである。載置ポート３８は、搬送台車４の把持部１６との間でＦＯＵＰ１０を移載し、且つ、搬入出口３６を通して半導体製造装置６との間でＦＯＵＰ１０の受け渡しを行う。

　なお、半導体製造工場には、複数（例えば数千台）の半導体製造装置６が設置されているが、説明の都合上、図１では１つの半導体製造装置６のみを図示している。また、本実施の形態では、半導体製造装置６が１つの載置ポート３８を有する場合について説明したが、これに限定されず、複数の載置ポート３８を有していてもよい。

　通信デバイス８は、搬送台車４と半導体製造装置６の載置ポート３８との間の通信を仲介するための通信装置である。通信デバイス８は、例えば半導体製造装置６の天面等に配置されており、パラレルケーブル４０を介して、半導体製造装置６の載置ポート３８と通信可能に接続されている。これにより、通信デバイス８は、半導体製造装置６の載置ポート３８との間で情報を送受信することができる。通信デバイス８と搬送台車４との間の通信には、ＳＥＭＩのＥ８４通信シーケンスが適用される。なお、半導体製造工場には、載置ポート３８と同数の通信デバイス８が設置されているが、説明の都合上、図１では１つの通信デバイス８のみを図示している。

　上述した無線通信システム２では、載置ポート３８に載置されたＦＯＵＰ１０を搬送台車４により荷掴みする際、又は、搬送台車４から載置ポート３８にＦＯＵＰ１０を荷降ろしする際には、Ｅ８４通信シーケンスにより搬送台車４の第１の通信ユニット２４（又は第２の通信ユニット２８）と通信デバイス８との間で制御信号（情報）が授受される。Ｅ８４通信シーケンスでは、搬送台車４と載置ポート３８との間でＦＯＵＰ１０を移載する際に、特定の制御信号がオフとならないと次の工程には移行しないような、複数の工程からなるインターロックシーケンスが採用されている。

　［２．無線通信システムの機能構成］
　図４を参照しながら、実施の形態に係る無線通信システム２の機能構成について説明する。図４は、実施の形態に係る無線通信システム２の機能構成を示すブロック図である。

　図４に示すように、搬送台車４は、制御部２２と、第１の通信ユニット２４と、第２の通信ユニット２８とを有している。

　制御部２２は、第１の通信ユニット２４を制御することにより、各種の処理を実行する。例えば、制御部２２は、搬送台車４がＦＯＵＰ１０（図１参照）を移載すべき載置ポート３８の直上の位置に到着した際に、第１の通信ユニット２４に対して通信デバイス８との無線通信を開始するように指示する。なお、制御部２２は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。

　第１の通信ユニット２４は、シリアルケーブル３２（図３参照）を介して、制御部２２との間で情報を送受信する。また、第１の通信ユニット２４は、上記所定のチャンネルを用いて、通信デバイス８との間で無線通信により情報を送受信する。さらに、第１の通信ユニット２４は、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信に障害が発生した場合に、通信デバイス８との無線通信を終了し、第２の通信ユニット２８に対して通信デバイス８との無線通信を開始するように指示する。

　第２の通信ユニット２８は、シリアルケーブル３４（図３参照）を介して、第１の通信ユニット２４との間で情報を送受信する。また、第２の通信ユニット２８は、シリアルケーブル３４、第１の通信ユニット２４及びシリアルケーブル３２を介して、制御部２２との間で情報を送受信する。また、第２の通信ユニット２８は、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信に障害が発生した場合に、第１の通信ユニット２４からの指示に基づいて、上記所定のチャンネルを用いて、通信デバイス８との無線通信を開始する。すなわち、第１の通信ユニット２４及び第２の通信ユニット２８のうち一方が通信デバイス８との無線通信を行っている間は、それらの他方は通信デバイス８との無線通信を行わない。

　半導体製造装置６の載置ポート３８は、通信部４２と、制御部４４とを有している。

　通信部４２は、パラレルケーブル４０（図１参照）を介して、通信デバイス８との間で情報を送受信する。

　制御部４４は、通信部４２を制御することにより、各種の処理を実行する。具体的には、制御部４４は、搬送台車４との間でＦＯＵＰ１０を移載するためのＥ８４通信シーケンスによるインターロック処理を実行する。また、制御部４４は、搬入出口３６（図１参照）を通して半導体製造装置６との間でＦＯＵＰ１０の受け渡しを行うための処理を実行する。なお、制御部４４は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。

　通信デバイス８は、通信部４６と、制御部４８とを有している。

　通信部４６は、パラレルケーブル４０を介して、載置ポート３８との間で情報を送受信する。また、通信部４６は、搬送台車４との間で、無線通信により情報を送受信する。

　制御部４８は、通信部４６を制御することにより、各種の処理を実行する。なお、制御部４８は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。

　［３．無線通信システムの動作］
　図５を参照しながら、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信に障害が発生しない場合における、無線通信システム２の動作について説明する。図５は、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信に障害が発生しない場合における、実施の形態に係る無線通信システム２の動作の流れを示すシーケンス図である。

　図５に示すように、搬送台車４が載置ポート３８の直上の位置に到着した際に、搬送台車４の制御部２２は、シリアルケーブル３２を介して、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信設定に関する情報（第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信に関する情報の一例）を第１の通信ユニット２４に送信する（Ｓ１０１）。これにより、第１の通信ユニット２４は、搬送台車４の制御部２２からの無線通信設定に関する情報を受信する。無線通信設定に関する情報は、例えば、（ａ）接続先である通信デバイス８のアドレス（ＩＤ等の固有識別子）、（ｂ）無線通信で使用するチャンネル、及び、（ｃ）送信出力値等を含む。この時、上述したように、第２の通信ユニット２８は、シリアルケーブル３４を介して、無線通信設定に関する情報を第１の通信ユニット２４との間で共有する。なお、搬送台車４の制御部２２は、無線通信設定に関する情報とともに、通信デバイス８に送信するためのデータ（例えば、Ｅ８４通信シーケンスで用いられる制御信号等）を、第１の通信ユニット２４に送信してもよい。

　次いで、搬送台車４の制御部２２は、第１の通信ユニット２４に対して、通信デバイス８との無線通信を開始するように指示する（Ｓ１０２）。

　次いで、搬送台車４の第１の通信ユニット２４は、制御部２２からの指示に基づいて、通信デバイス８との無線通信を確立するための情報を、通信デバイス８に送信する（Ｓ１０３）。

　この時、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信には障害が発生していないため、通信デバイス８は、搬送台車４の第１の通信ユニット２４からの情報を受信することができる。次いで、通信デバイス８は、当該情報に対する応答を、第１の通信ユニット２４に送信する（Ｓ１０４）。

　これにより、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信が確立し、第１の通信ユニット２４は、通信デバイス８との間で、Ｅ８４通信シーケンスによるインターロック処理のための通信を実行する（Ｓ１０５）。

　次に、図６を参照しながら、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信に障害が発生した場合における、無線通信システム２の動作について説明する。図６は、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信に障害が発生した場合における、実施の形態に係る無線通信システム２の動作の流れを示すシーケンス図である。

　なお、図６に示すケースでは、第２の通信ユニット２８と通信デバイス８との無線通信には障害が発生していないものとする。

　図６に示すように、搬送台車４が載置ポート３８の直上の位置に到着した際に、図５に示すシーケンス図におけるステップＳ１０１，Ｓ１０２と同様に、ステップＳ２０１，Ｓ２０２が実行される。

　ステップＳ２０２の後、搬送台車４の第１の通信ユニット２４は、制御部２２からの指示に基づいて、通信デバイス８との無線通信を確立するための情報を、通信デバイス８に送信する（Ｓ２０３）。この時、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信に障害が発生しているため、通信デバイス８は、搬送台車４の第１の通信ユニット２４からの情報を受信できない。

　なお、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信に障害が発生する原因としては、例えば、収納位置から突出位置にスライドしたラテラル機構２０等が、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との間の無線通信経路を物理的に遮断すること等が考えられる。

　次いで、搬送台車４の第１の通信ユニット２４は、通信デバイス８からの応答が得られるまで、通信デバイス８への情報の送信を複数回リトライする（Ｓ２０４，Ｓ２０５）。

　なお、通信デバイス８が、仮に運良く搬送台車４の第１の通信ユニット２４からの情報を受信できた場合は、当該情報に対する応答を第１の通信ユニット２４に送信する。しかしながら、この場合でも、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信に障害が発生していることに起因して、通信デバイス８からの応答の電波強度は極端に小さい（例えば、－８０ｄＢｍ以下）等の理由で、第１の通信ユニット２４は、通信デバイス８からの当該応答を無視してしまう。

　搬送台車４の第１の通信ユニット２４は、最初に通信デバイス８に情報を送信してから所定の時間が経過しても、通信デバイス８からの応答が得られない場合（すなわち、無線通信タイムアウトとなった場合）には、通信デバイス８との無線通信を停止する（Ｓ２０６）。

　次いで、搬送台車４の第１の通信ユニット２４は、第２の通信ユニット２８に対して、通信デバイス８との無線通信を開始するように指示する（Ｓ２０７）。この時、第１の通信ユニット２４は、シリアルケーブル３４を介して、無線通信設定に関する情報を第２の通信ユニット２８に送信する。ここで、第１の通信ユニット２４が第２の通信ユニット２８に対して無線通信を開始するように指示する内容には、第１の通信ユニット２４が通信デバイス８との間で行っていた直前の無線通信に関する情報を含んでいてもよい。当該情報は、例えば、直前まで行われていた通信データの送信済み情報（例えば、パケット内に示されるシーケンス番号等）等である。第２の通信ユニット２８は、第１の通信ユニット２４からの指示に基づいて、通信デバイス８との無線通信を確立するための情報を、通信デバイス８に送信する（Ｓ２０８）。

　この時、第２の通信ユニット２８と通信デバイス８との無線通信には障害が発生していないため、通信デバイス８は、搬送台車４の第２の通信ユニット２８からの情報を受信することができる。次いで、通信デバイス８は、当該情報に対する応答を、第２の通信ユニット２８に送信する（Ｓ２０９）。

　これにより、第２の通信ユニット２８と通信デバイス８との無線通信が確立し、第２の通信ユニット２８は、その旨を示す情報を第１の通信ユニット２４に送信し（Ｓ２１０）、通信デバイス８との間で、Ｅ８４通信シーケンスによるインターロック処理のための通信を実行する（Ｓ２１１）。

　なお、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信の途中で障害が発生した場合には、第１の通信ユニット２４は、当該無線通信を第２の通信ユニット２８に引き継ぐようにしてもよい。これにより、第２の通信ユニット２８は、通信デバイス８との無線通信を引き継いで行うことができる。

　次に、図７を参照しながら、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信、及び、第２の通信ユニット２８と通信デバイス８との無線通信にそれぞれ障害が発生した場合における、無線通信システム２の動作について説明する。図７は、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信、及び、第２の通信ユニット２８と通信デバイス８との無線通信にそれぞれ障害が発生した場合における、実施の形態に係る無線通信システム２の動作の流れを示すシーケンス図である。

　なお、図７に示すケースでは、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信に障害が発生した後、当該無線通信の障害が解消されるものとする。

　図７に示すように、搬送台車４が載置ポート３８の直上の位置に到着した際に、図５に示すシーケンス図におけるステップＳ１０１，Ｓ２０１と同様に、ステップＳ３０１，Ｓ３０２が実行される。

　ステップＳ３０２の後、搬送台車４の第１の通信ユニット２４は、制御部２２からの指示に基づいて、通信デバイス８との無線通信を確立するための情報を、通信デバイス８に送信する（Ｓ３０３）。この時、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信に障害が発生しているため、通信デバイス８は、搬送台車４の第１の通信ユニット２４からの情報を受信できない。

　次いで、搬送台車４の第１の通信ユニット２４は、通信デバイス８からの応答が得られるまで、通信デバイス８に対する情報の送信を複数回リトライする（Ｓ３０４，Ｓ３０５）。

　なお、通信デバイス８が、仮に運良く搬送台車４の第１の通信ユニット２４からの情報を受信できた場合は、当該情報に対する応答を第１の通信ユニット２４に送信する。しかしながら、この場合でも、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信に障害が発生していることに起因して、通信デバイス８からの応答の電波強度は極端に小さい等の理由で、第１の通信ユニット２４は、通信デバイス８からの当該応答を無視してしまう。

　搬送台車４の第１の通信ユニット２４は、最初に通信デバイス８に情報を送信してから所定の時間が経過しても、通信デバイス８からの応答が得られない場合には、通信デバイス８との無線通信を停止する（Ｓ３０６）。

　次いで、搬送台車４の第１の通信ユニット２４は、第２の通信ユニット２８に対して、通信デバイス８との無線通信を開始するように指示する（Ｓ３０７）。この時、第１の通信ユニット２４は、シリアルケーブル３４を介して、無線通信設定に関する情報を第２の通信ユニット２８に送信する。

　次いで、搬送台車４の第２の通信ユニット２８は、第１の通信ユニット２４からの指示に基づいて、通信デバイス８との無線通信を確立するための情報を、通信デバイス８に送信する（Ｓ３０８）。この時、第２の通信ユニット２８と通信デバイス８との無線通信に障害が発生しているため、通信デバイス８は、搬送台車４の第２の通信ユニット２８からの情報を受信できない。

　次いで、搬送台車４の第２の通信ユニット２８は、通信デバイス８からの応答が得られるまで、通信デバイス８に対する情報の送信を複数回リトライする（Ｓ３０９，Ｓ３１０）。

　搬送台車４の第１の通信ユニット２４は、第２の通信ユニット２８が最初に通信デバイス８に情報を送信してから所定の時間が経過しても、通信デバイス８からの応答が得られない場合には、第２の通信ユニット２８に対して、通信デバイス８との無線通信を終了するように指示する（Ｓ３１１）。ここで、第２の通信ユニット２８は、当該無線通信を終了するように指示を受けると、通信デバイス８との間で行っていた直前の無線通信に関する情報を第１の通信ユニット２４に向けて応答してもよい。

　次いで、搬送台車４の第１の通信ユニット２４は、通信デバイス８との無線通信を再開し（Ｓ３１２）、制御部２２からの指示に基づいて、通信デバイス８との無線通信を確立するための情報を、通信デバイス８に送信する（Ｓ３１３）。この時、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信の障害が解消されている場合には、通信デバイス８は、第１の通信ユニット２４からの情報を受信することができる。

　次いで、通信デバイス８は、当該情報に対する応答を、第１の通信ユニット２４に送信する（Ｓ３１４）。

　これにより、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信が確立し、第１の通信ユニット２４は、通信デバイス８との間で、Ｅ８４通信シーケンスによるインターロック処理のための通信を実行する（Ｓ３１５）。

　［４．効果］
　本実施の形態では、上述したように、第１の通信ユニット２４と第２の通信ユニット２８との間で無線通信に関する情報を共有しており、また、第１の通信ユニット２４及び第２の通信ユニット２８の各々と通信デバイス８との無線通信には同じ所定のチャンネルが用いられる。これにより、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との無線通信に障害が発生した場合であっても、第２の通信ユニット２８は、通信デバイス８との無線通信を早期に開始することができる。

　また、第１の通信ユニット２４及び第２の通信ユニット２８は、互いに所定の距離以上離れて配置されている。これにより、第１の通信ユニット２４と通信デバイス８との間の無線通信経路が障害物等で物理的に遮断される等によって、両者間の無線通信に障害が発生した場合に、第２の通信ユニット２８を用いることによって、通信デバイス８との無線通信が成功する可能性を高めることができる。

　（他の変形例等）
　以上、本発明の無線通信システムについて、上記実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。上記実施の形態に対して当業者が思い付く変形を施して得られる形態、及び、上記実施の形態における構成要素を任意に組み合わせて実現される別の形態も本発明に含まれる。

　上記実施の形態では、搬送台車４が載置ポート３８の直上の位置に到着した際に、搬送台車４の制御部２２は、第１の通信ユニット２４に対して、通信デバイス８との無線通信を開始するように指示したが、これに限定されない。搬送台車４の制御部２２は、第２の通信ユニット２８を主ユニットとし、第２の通信ユニット２８に対して通信デバイス８との無線通信を開始するように指示してもよい。この場合、制御部２２は、シリアルケーブル３２、第１の通信ユニット２４及びシリアルケーブル３４を介して、第２の通信ユニット２８と通信デバイス８との無線通信設定に関する情報を第２の通信ユニット２８に送信する。

　あるいは、制御部２２は、ＦＯＵＰ１０を移載する場所に応じて、第１の通信ユニット２４及び第２の通信ユニット２８のいずれか一方を、最初に通信デバイス８と無線通信を行う通信ユニットを決定してもよい。

　また、上記実施の形態では、搬送台車４が２つの通信ユニット（第１の通信ユニット２４及び第２の通信ユニット２８）を有するようにしたが、これに限定されず、３つ以上の通信ユニットを有するようにしてもよい。

　また、上記実施の形態では、制御部２２と第１の通信ユニット２４とが有線接続され、且つ、第１の通信ユニット２４と第２の通信ユニット２８とが有線接続されるようにしたが、これに限定されない。例えば、第１の通信ユニット２４及び第２の通信ユニット２８の各々が、制御部２２に直接有線接続されるようにしてもよい。

　また、上記実施の形態では、移動体を搬送台車に適用したが、これに限定されず、移動体を例えば地上を走行する無人搬送車等に適用してもよい。

　なお、上記実施の形態において、各構成要素は、専用のハードウェアで構成されるか、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵ又はプロセッサ等のプログラム実行部が、ハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。

　本発明に係る無線通信システムは、例えば天井に設置された軌道に沿って走行する搬送台車によりＦＯＵＰを搬送するための半導体製造システム等に適用することができる。

２　無線通信システム
４　搬送台車
６　半導体製造装置
８　通信デバイス
１０　ＦＯＵＰ
１２　軌道
１４　台車本体
１６　把持部
１８　昇降機構
２０　ラテラル機構
２２，４４，４８　制御部
２４　第１の通信ユニット
２６　第１のアンテナ
２８　第２の通信ユニット
３０　第２のアンテナ
３２，３４　シリアルケーブル
３６　搬入出口
３８　載置ポート
４０　パラレルケーブル
４２，４６　通信部

Claims

　軌道に沿って走行し且つ物品を搬送する搬送台車と、前記搬送台車との間で前記物品が移載される移載装置に通信可能に接続され且つ前記搬送台車との間で無線通信を行う通信デバイスと、を備えた無線通信システムであって、
　前記搬送台車は、
　互いに所定の距離以上離れて配置され、且つ、互いに通信ケーブルを介して通信可能に接続された複数の通信ユニットを有し、
　前記複数の通信ユニットのうち特定の通信ユニットは、所定のチャンネルを用いて前記通信デバイスと無線通信を行い、
　前記複数の通信ユニットのうち前記特定の通信ユニット以外の他の１以上の通信ユニットは、前記通信ケーブルを介して、前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信に関する情報を前記特定の通信ユニットとの間で共有し、
　前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信に障害が発生した場合に、前記他の１以上の通信ユニットは、前記所定のチャンネルを用いて前記通信デバイスとの無線通信を開始する
　無線通信システム。
　前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信に障害が発生した場合に、前記特定の通信ユニットは、当該無線通信を前記他の１以上の通信ユニットに引き継ぐ
　請求項１に記載の無線通信システム。
　前記無線通信に関する情報は、前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信設定を含む
　請求項１に記載の無線通信システム。
　前記搬送台車は、さらに、
　当該搬送台車を制御する制御部を有し、
　前記特定の通信ユニットは、前記制御部と通信可能に有線接続され、且つ、前記制御部との間で情報を送受信し、
　前記他の１以上の通信ユニットは、前記通信ケーブル及び前記特定の通信ユニットを介して、前記制御部との間で情報を送受信する
　請求項１に記載の無線通信システム。
　前記通信ケーブルは、シリアルケーブルであり、
　前記他の１以上の通信ユニットは、前記シリアルケーブルを用いたシリアル通信により、前記無線通信に関する情報を前記特定の通信ユニットとの間で共有する
　請求項１～４のいずれか１項に記載の無線通信システム。
　前記搬送台車は、さらに、
　前記物品を移載する場所に応じて、前記複数の通信ユニットの中から、前記通信デバイスと無線通信を行う前記特定の通信ユニットを決定する制御部を有する
　請求項１に記載の無線通信システム。
　軌道に沿って走行し且つ物品を搬送する搬送台車であって、
　前記搬送台車は、
　互いに所定の距離以上離れて配置され、且つ、互いに通信ケーブルを介して通信可能に接続された複数の通信ユニットを有し、
　前記複数の通信ユニットのうち特定の通信ユニットは、所定のチャンネルを用いて、前記搬送台車との間で前記物品が移載される移載装置に通信可能に接続された通信デバイスと無線通信を行い、
　前記複数の通信ユニットのうち前記特定の通信ユニット以外の他の１以上の通信ユニットは、前記通信ケーブルを介して、前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信に関する情報を前記特定の通信ユニットとの間で共有し、
　前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信に障害が発生した場合に、前記他の１以上の通信ユニットは、前記所定のチャンネルを用いて前記通信デバイスとの無線通信を開始する
　搬送台車。
　物品を搬送する移動体と、前記移動体との間で前記物品が移載される移載装置に通信可能に接続され且つ前記移動体との間で無線通信を行う通信デバイスと、を備えた無線通信システムにおける制御方法であって、
　前記移動体は、
　互いに所定の距離以上離れて配置され、且つ、互いに通信ケーブルを介して通信可能に接続された複数の通信ユニットを有し、
　前記制御方法は、
　前記複数の通信ユニットのうち特定の通信ユニットが、所定のチャンネルを用いて前記通信デバイスと無線通信を行うステップと、
　前記複数の通信ユニットのうち前記特定の通信ユニット以外の他の１以上の通信ユニットが、前記通信ケーブルを介して、前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信に関する情報を前記特定の通信ユニットとの間で共有するステップと、
　前記特定の通信ユニットと前記通信デバイスとの無線通信に障害が発生した場合に、前記他の１以上の通信ユニットが、前記所定のチャンネルを用いて前記通信デバイスとの無線通信を開始するステップと、を含む
　制御方法。