WO2024252879A1 - ペリクル収納容器用クリップ、ペリクル収容体及びペリクル - Google Patents

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WO2024252879A1
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pellicle
outgassing
clip
storage container
less
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修 西垣内
大樹 種市
健 伊藤
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Mitsui Chemicals Inc
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Mitsui Chemicals Inc
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    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D45/00—Clamping or other pressure-applying devices for securing or retaining closure members
    • B65D45/02—Clamping or other pressure-applying devices for securing or retaining closure members for applying axial pressure to engage closure with sealing surface
    • B65D45/16—Clips, hooks, or clamps which are removable, or which remain connected either with the closure or with the container when the container is open, e.g. C-shaped
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/38—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for delicate optical, measuring, calculating or control apparatus
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass

Definitions

  • This disclosure relates to a clip for a pellicle storage container, a pellicle container, and a pellicle.
  • patterning is performed by irradiating light onto a photosensitive layer through a mask (also called an exposure master or reticle). If foreign matter is attached to the mask, the light will be absorbed by the foreign matter or will be reflected and bent by the surface of the foreign matter. As a result, the pattern formed will be deformed or the edges will become rough, causing problems such as impaired dimensions, quality, and appearance after patterning.
  • a method is adopted in which a pellicle with a light-transmitting pellicle film is attached to the surface of the mask to suppress the adhesion of foreign matter.
  • the pellicle may be packaged in the following order: a polycarbonate case with a clipped opening, an inner bag, a zippered bag, and an outer bag.
  • a pellicle storage container a storage container that uses urethane elastomer clips to seal the tray and cover of the storage container has been proposed as a pellicle storage container that reduces the generation of wear powder generated by friction when a pellicle is placed inside the storage container and transported (JP Patent Publication No. 2007-128030).
  • outgassing of volatile organic components generated from clips used in packaging for pellicles adheres to the packaged pellicle, and that in addition to outgassing of volatile components originating from the material itself that constitutes the pellicle, outgassing originating from the clips is one of the causes of pellicle contamination.
  • An object of one embodiment of the present disclosure is to provide a clip for a pellicle storage container that reduces outgassing of volatile organic components.
  • the problem that another embodiment of the present disclosure aims to solve is to provide a pellicle container that uses a clip for a pellicle storage container and that reduces the generation of outgassing of volatile organic components, and a pellicle in which the amount of outgassing caused by the adhesion of volatile organic components is reduced.
  • a clip for a pellicle storage container in which the outgassing amount of organic gases having 20 or less carbon atoms is 150 ⁇ g or less per 1 g of the clip, as evaluated under condition 1 below.
  • --Condition 1-- 1 g of the cut piece of the clip is placed in a container as a test specimen, and an extract is obtained by Soxhlet extraction for 6 hours in a water bath at 80° C. using 200 ml of hexane as an extraction solvent.
  • the resulting extract is analyzed by gas chromatography using a flame ionization detector to detect the amount of components having a carbon number of 20 or less, and the total amount of the detected components having a carbon number of 20 or less is regarded as the amount of outgassing.
  • a clip for a pellicle storage container in which the amount of outgassing generated from one clip is 2.000 ⁇ g or less, as evaluated under the following condition 2.
  • the clip is placed in a container as a specimen and heated at 50° C. for 4 hours to adsorb the generated outgassing to 150 mg of adsorbent. Then, 150 mg of the adsorbent is set in a gas chromatograph mass spectrometer and the total amount of outgassing of volatile organic components generated from the clip is measured under heating conditions of 280° C. for 10 minutes.
  • the total amount of outgassing is calculated in n-decane equivalent, and the total amount obtained is divided by the number of clips used as specimens to obtain the amount of outgassing per clip.
  • a clip for a pellicle storage container which contains at least one resin selected from the group consisting of urethane resin, polyethylene resin, polyethylene terephthalate resin, polyvinyl chloride resin, polyamide resin, polycarbonate resin, acrylic resin, methacrylic resin, and phenolic resin.
  • a pellicle container comprising: a pellicle; a pellicle storage container for storing the pellicle; a clip for a pellicle storage container described in any one of ⁇ 1> to ⁇ 3> that secures the pellicle storage container from the outside; and a pellicle packaging body that packages the pellicle storage container.
  • a pellicle container described in ⁇ 4> wherein the total amount of outgassing of organic gases having a carbon number of 20 or less, measured under the following condition 3, of a pellicle container clip that fixes the pellicle container from the outside is 1,500 ⁇ g or less.
  • the pellicle is heated at 50° C. for 4 hours, and the outgas generated is adsorbed onto 150 mg of an adsorbent. Then, 150 mg of the adsorbent is set in a gas chromatograph mass spectrometer, and the total amount of outgassing of volatile organic components generated from the pellicle is measured under heating conditions of 280° C. for 10 minutes.
  • the total amount of outgassing is calculated in terms of n-decane.
  • a pellicle container comprising a pellicle storage container for storing a pellicle, a pellicle storage container clip described in any one of ⁇ 1> to ⁇ 3> for fixing the pellicle storage container from the outside, and a pellicle packaging body for packaging the pellicle storage container, wherein the pellicle disposed in the pellicle storage container has a pellicle membrane, an original plate adhesive, and a pellicle frame, and has an outgassing amount of 2.9 ⁇ g or less when measured under condition 4 below.
  • a clip for a pellicle storage container can be provided in which outgassing of volatile organic components is reduced.
  • FIG. 1 is a plan view showing an example of a clip for a pellicle storage container.
  • FIG. 2A is a side view of the pellicle storage container clip as viewed from one opening side.
  • FIG. 2B is a side view of the pellicle storage container clip as seen from the other opening.
  • FIG. 3 is a perspective view showing an example of a pellicle storage container whose four corners are sealed with the pellicle storage container clip shown in FIG.
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing an example of a pellicle.
  • a numerical range indicated using “to” means a range that includes the numerical values before and after “to” as the minimum and maximum values, respectively.
  • the upper or lower limit value described in a certain numerical range may be replaced with the upper or lower limit value of another numerical range described in the present disclosure.
  • the upper or lower limit value described in a certain numerical range may be replaced with a value shown in the examples.
  • combinations of two or more preferred aspects are more preferred aspects.
  • the amount of each component means the total amount of the multiple substances, unless otherwise specified.
  • the term "process” refers not only to an independent process, but also to a process that cannot be clearly distinguished from other processes, as long as the intended purpose of the process is achieved.
  • a first aspect of the clip for pellicle storage containers of the present disclosure is a clip for pellicle storage containers in which the outgassing amount of organic gases having 20 or less carbon atoms, evaluated under condition 1 below, is 150 ⁇ g or less per gram of clip.
  • clip refers to a "clip for a pellicle storage container.”
  • condition 1 the components of organic gases having a carbon number of 20 or less (hereinafter also referred to as specific organic gases) are derived from a calibration curve obtained by gas chromatography GC-FID obtained by identifying the peak position of the corresponding carbon number using a mixed n-paraffin standard solution and measuring a standard solution of n- C20H42 of known concentration.
  • the specimen may be collected from multiple different clips and the average of these measured values may be taken.
  • the average of these measured values from the standpoint of the accuracy of the amount of outgassing generated, it is preferable to collect cut pieces as specimens from at least four clips and use the average value, and it is even more preferable to take the average value from eight clips.
  • the outgassing amount of a specific organic gas is 150 ⁇ g or less per gram of clip, and from the viewpoint of suppressing outgassing from the pellicle itself, it is preferable that it is 100 ⁇ g or less per gram of clip, more preferably 50 ⁇ g or less per gram of clip, even more preferably 40 ⁇ g or less per gram of clip, particularly preferably 30 ⁇ g or less per gram of clip, and most preferably below the detection limit or 0 ⁇ g.
  • the specific organic gas may be a hydrocarbon compound having 20 or less carbon atoms selected from aliphatic hydrocarbon compounds and aromatic hydrocarbon compounds.
  • the outgassing refers to gas generated from the materials that make up the clip, including resin and the like.
  • the amount of outgassing of the specific organic gas is preferably 405 ⁇ g or less per clip, more preferably 162 ⁇ g or less, even more preferably 135 ⁇ g or less, and particularly preferably 60 ⁇ g or less.
  • the mass of a resin clip used to seal a pellicle container is preferably in the range of 2 g to 5 g per clip, and a general-purpose clip has a mass of about 2.7 g.
  • any clip having a known sealing mechanism can be appropriately selected and applied as long as it can seal the pellicle storage container.
  • a fastener having a shape as shown in FIG.
  • FIG. 1 is a plan view showing an example of a clip.
  • the clip 20 shown in FIG. 1 is made of resin and has a trapezoidal shape in a plan view as shown in FIG. 1, with an opening 22A on one side being wider than an opening 22B on the other side.
  • 2A is a side view of the clip 20 as viewed from one opening side
  • FIG. 2B is a side view of the clip 20 as viewed from the other opening side.
  • the clip 20 may have a shape having a protrusion 26 that fits into a recess (not shown) provided in the bottom of the pellicle storage container 24.
  • Fig. 3 is a perspective view showing an example of a state in which the clips 20 shown in Fig.
  • Fig. 3 shows an example in which a pellicle storage container 24 that is rectangular in plan view is used.
  • the pellicle storage container 24 shown in Fig. 3 includes a main body and a lid.
  • the clip 20 shown in Figure 1 can be inserted into the four corners of the pellicle storage container 24 from the wider opening 22B (the other opening) side of the clip 20, thereby fastening the body and lid of the pellicle storage container 24 together.
  • the four corners of the pellicle storage container 24, which is rectangular in plan view, are secured from the outside of the pellicle storage container 24 with clips 20, so that the convex portions 26 of the clips 20 fit into the concave portions provided on the bottom of the pellicle storage container 24, and the body and lid of the pellicle storage container 24 are secured at the four corners, thereby sealing, i.e., fixing, the pellicle storage container 24 from the outside with the four clips 20.
  • a second aspect of the clip for pellicle storage containers of the present disclosure is a clip for pellicle storage containers in which the amount of outgassing generated from one clip is 2.000 ⁇ g or less, as evaluated under condition 2 below.
  • -Condition 2- The clip is placed in a container as a specimen and heated at 50° C. for 4 hours to adsorb the generated outgassing to 150 mg of adsorbent. Then, 150 mg of the adsorbent is set in a gas chromatograph mass spectrometer (hereinafter sometimes abbreviated as GCMS) and the total amount of outgassing of volatile organic components generated from the clip is measured under heating conditions of 280° C. for 10 minutes.
  • GCMS gas chromatograph mass spectrometer
  • the total amount of outgassing is calculated in n-decane equivalent, and the total amount obtained is divided by the number of clips used as specimens to obtain the amount of outgassing per clip.
  • Measurement device name GCMS-QP2010plus (Shimadzu Corporation)
  • Column: DB-1 inner diameter: 0.32 mm, length: 60 m, thickness: 1.00 ⁇ m
  • Scan range 35 m/Z to 450 m/Z
  • Ionization 0.78 kV
  • Measurement method The amount of gas generated at 280°C for 5 minutes was calculated in n-decane equivalent.
  • condition 2 in consideration of variations in the amount of outgassing generated among clips from which specimens are collected, it is preferable to collect specimens from multiple different clips and take the average of their measured values.
  • condition 2 from the viewpoint of accuracy of the amount of outgassing generated, it is preferable to collect cut pieces as specimens from at least four clips and use the average value, and it is more preferable to use the average value of eight clips.
  • the total amount of the specific organic gas is the average value of eight clips.
  • the amount of outgassing of volatile organic components generated from the clip is 2,000 ⁇ g or less per clip, and from the viewpoint of suppressing outgassing generation from the pellicle itself, it is preferably 0.5 ⁇ g or less per clip, more preferably 0.05 ⁇ g or less per clip, even more preferably 0.04 ⁇ g or less per clip, particularly preferably 0.03 ⁇ g or less per clip, and most preferably below the detection limit or 0 ⁇ g.
  • the volatile organic components refer to organic components that volatilize under conditions of 25° C. and 1 atm.
  • the volatile organic components include hydrocarbon compounds such as aromatic hydrocarbon compounds and aliphatic hydrocarbon compounds.
  • the clip of the present disclosure have an outgassing amount of a specific organic gas measured under the above condition 1 specified in the first aspect of the present disclosure of 150 ⁇ g or less per gram of clip, and an outgassing amount of a volatile organic component measured under the above condition 2 specified in the second aspect of the present disclosure of 2,000 ⁇ g or less per clip.
  • the clip of the present disclosure preferably contains at least one resin selected from the group consisting of urethane resin, polyethylene resin, polyethylene terephthalate resin, polyvinyl chloride resin, polyamide resin, polycarbonate resin, acrylic resin, methacrylic resin, and phenolic resin.
  • the polyamide resin include PA6 and PA66.
  • the clip contains at least one resin selected from the group consisting of polyethylene resin, polypropylene resin, and polyurethane resin.
  • the clip may contain only one type of resin, or may contain two or more types of resin.
  • the clip containing the above resin after the clip containing the above resin is manufactured, it may be subjected to a heat treatment at a temperature equal to or lower than the softening point of the resin.
  • a heat treatment at a temperature equal to or lower than the softening point of the resin.
  • the pellicle container of the present disclosure comprises a pellicle, a pellicle storage container for storing the pellicle, a pellicle storage container clip of the present disclosure for fixing the pellicle storage container from the outside, and a pellicle packaging body for packaging the pellicle storage container.
  • the pellicle packaging of the present disclosure the amount of outgassing from the pellicle caused by the adhesion of volatile organic component outgassing from the clip used in the pellicle container is reduced.
  • pellicle container is used to include the pellicle and each packaging material that packages the pellicle.
  • the pellicle is placed in a pellicle storage container made of a resin such as polycarbonate, and the pellicle storage container is secured, for example, by clips at the four corners, making it less susceptible to influence from other packaging materials, and the clips of the present disclosure suppress the generation of outgassing such as specific organic gases and volatile organic components that cause pellicle contamination to a low range, thereby further reducing the amount of outgassing from the pellicle due to the adhesion of outgassing generated from the packaging material of the pellicle container.
  • outgassing such as specific organic gases and volatile organic components that cause pellicle contamination
  • the inside of the pellicle storage container is not sealed, as this may lead to problems when opening the pellicle storage container, such as making it difficult to open if there is a pressure difference between the inside and outside of the pellicle storage container.
  • the clip used in the pellicle container of the present disclosure has a total outgassing amount of organic gases having a carbon number of 20 or less, measured under condition 3 below, of 648 ⁇ g or less.
  • a cut piece of a clip used for a pellicle container is placed in a container as a specimen, and an extract is obtained by Soxhlet extraction for 6 hours in a water bath at 80° C. using 200 ml of hexane as an extraction solvent.
  • the resulting extract is analyzed by gas chromatography using a flame ionization detector to detect the amount of components having a carbon number of 20 or less, and the total amount of the detected components having a carbon number of 20 or less is regarded as the amount of outgassing.
  • the evaluation method under condition 3 was the same as the measurement method under condition 1 described above, except that the specimen was changed from 1 g of cut pieces of the clip to cut pieces of the entire amount of clips used in the pellicle container.
  • the clips used in the pellicle container of the present disclosure preferably have a total outgassing amount of organic gases having a carbon number of 20 or less, measured under condition 3 above, of 1500 ⁇ g or less, more preferably 1000 ⁇ g or less, even more preferably 500 ⁇ g or less, and particularly preferably 350 ⁇ g or less, which may be below the measurement limit.
  • pellicle storage container a known pellicle storage container can be used.
  • materials for the pellicle container include resins such as polycarbonate, and conductive materials such as carbon nanotubes, conductive carbon black, and inorganic particles.
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a pellicle 10.
  • a pellicle film 12 and a support frame 14 are bonded via a film adhesive layer 13.
  • the support frame 14 has an air vent 16 and an original plate adhesive layer 15 formed thereon.
  • a release sheet e.g., a separator
  • the support frame 14 may not have an air vent 16, and may have a structure in which the support frame 14 is laminated from multiple layers.
  • the pellicle membrane 12 is supported by a support frame 14 .
  • materials for the pellicle film 12 include transparent materials such as quartz glass, fluorine-based resin, cellulose acetate, and carbon nanotubes.
  • materials for the support frame 14 include an anodized aluminum frame, a titanium frame, a silicon frame, etc.
  • the support frame 14 is preferably black in order to prevent reflection of the exposure light and to facilitate inspection for the presence or absence of attached foreign matter, etc.
  • the film adhesive layer 13 bonds the support frame and the pellicle film.
  • the material of the film adhesive layer 13 is not particularly limited, but examples thereof include fluoropolymers such as acrylic resin adhesives, epoxy resin adhesives, silicone resin adhesives, and fluorine-containing silicone adhesives.
  • the master plate adhesive layer 15 can be formed by applying a known adhesive and drying it.
  • the material of the master adhesive layer 15 (hereinafter also referred to as master adhesive) is not particularly limited, but examples thereof include acrylic, silicone, styrene butadiene, urethane, and olefin adhesives.
  • the pellicle in the pellicle container of the present disclosure includes an adhesive for the master plate, and the adhesive for the master plate may be a styrene butadiene-based adhesive.
  • a styrene-butadiene adhesive is preferable as the material of the master adhesive layer 15 that bonds the support frame 14 and the master, since it makes it easier to suppress distortion of the master.
  • Styrene-butadiene adhesives are more likely to be generated as outgassing from the pellicle after the outgassing of volatile organic components generated from the pellicle package adheres to the pellicle.
  • the pellicle package according to the present disclosure has the above-mentioned configuration, and therefore the amount of outgassing from the pellicle caused by the adhesion of the outgassing of volatile organic components generated from the pellicle package is reduced even when a styrene-butadiene adhesive is used as the material for the master plate adhesive layer 15.
  • adheresive is a concept that encompasses adhesives and pressure-sensitive adhesives.
  • adhesive layer is a concept that encompasses an adhesive layer and a pressure-sensitive adhesive layer.
  • Examples of materials for the release sheet include a polyethylene terephthalate film and a polypropylene film. As mentioned above, depending on the materials of the pellicle membrane 12 and the support frame 14, the support frame and the pellicle membrane may be adhered to each other without the membrane adhesive layer 13 therebetween.
  • the pellicle of the present disclosure has a pellicle membrane, a master adhesive, and a pellicle frame, and has an outgassing amount of 2.9 ⁇ g or less when measured under condition 4 below.
  • --Condition 4- The pellicle is heated at 50° C. for 4 hours, and the outgassing generated is adsorbed onto 150 mg of an adsorbent. Then, 150 mg of the adsorbent is set in a gas chromatograph mass spectrometer (GCMS), and the total amount of outgassing of volatile organic components generated from the pellicle is measured under heating conditions of 280° C. for 10 minutes.
  • GCMS gas chromatograph mass spectrometer
  • the total amount of outgassing is calculated in terms of n-decane.
  • the outgassing measurement method for volatile organic components under condition 4 is the same as that under condition 2 described above, except that the specimen is changed from a clip to a pellicle, and the measurement conditions for the GCMS
  • the pellicle of the present disclosure is a pellicle storage body comprising a pellicle storage container for storing a pellicle, a pellicle storage container clip of the present disclosure for fixing the pellicle storage container, and a pellicle packaging body for packaging the pellicle storage container, wherein the pellicle placed in the pellicle storage container has a pellicle membrane, an adhesive for an original plate, and a pellicle frame, and has an outgassing amount of 2.9 ⁇ g or less when measured under condition 4 below.
  • 150 mg of the adsorbent is set in a gas chromatograph mass spectrometer, and the total amount of outgassing of volatile organic components generated from the pellicle is measured under heating conditions of 280° C. for 10 minutes.
  • the total amount of outgassing is calculated in terms of n-decane.
  • the method of measuring the outgassing of volatile organic components under the above condition 4 is the same as that under the above condition 2, except that the specimen is changed from a clip to a pellicle, and the measurement conditions applied by GCMS are also the same.
  • the pellicle packaging material for packaging the pellicle storage container may be a known material.
  • the pellicle packaging material may be a laminate including at least two layers, a sealant layer and a base layer.
  • the pellicle packaging preferably has a breaking strength of 5N or more and 50N or less, more preferably 7N or more and 45N or less, and even more preferably 10N or more and 40N or less.
  • JIS-K7127-5 (1999) (corresponding to ISO527-3:1995)). Both ends of a JIS-K7127 type 5 test piece (dumbbell-shaped with a total length of 115 mm, width of parallel portion 6 mm, gauge length 25 mm, and gripping width of 25 mm) are pulled to measure the breaking strength.
  • the pellicle packaging preferably includes at least two layers, a sealant layer and a base layer, and more preferably includes a sealant layer, an adhesive layer, and a base layer in this order.
  • the pellicle packaging body is a laminate including at least two layers, a sealant layer and a base layer, or when the pellicle packaging body is a laminate including a sealant layer, an adhesive layer, and a base layer in this order, the outermost surface on the pellicle side may be the sealant layer, and the outermost surface on the outer circumferential surface side may be the base layer.
  • the pellicle package is composed of at least two layers, a sealant layer and a base layer, or when the pellicle package is a laminate containing a sealant layer, an adhesive layer, and a base layer in this order, it is considered that the outgassing of volatile organic components in the pellicle package is likely to occur from the sealant layer. Therefore, if the outermost surface on the pellicle side is a sealant layer, the adhesion of the outgassing of volatile organic components generated from the pellicle package is also significant.
  • the pellicle package of the present disclosure has the above-mentioned configuration, and therefore the amount of outgassing from the pellicle caused by the adhesion of the outgassing of volatile organic components generated from the pellicle package is easily maintained low.
  • the sealant layer may be a single layer or a laminate consisting of two or more layers.
  • the material for the sealant layer is not particularly limited, and a composition containing a known resin can be used.
  • the resin include polyolefin resins which are homopolymers such as polyethylene (PE) (including high density polyethylene (HDPE), medium density polyethylene (MDPE), low density polyethylene (LDPE), linear low density polyethylene (LLDPE), etc.), polypropylene (PP), polybutene, polymethylpentene, etc.; copolymers of two or more types selected from the group consisting of olefins such as ethylene, propylene, butene, methylpentene, etc.; polyester resins such as polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate (PBT), polyethylene naphthalate, etc.; polyamide resins such as nylon-6, nylon-6,6, metaxylenediamine-adipic acid condensation polymer, polymethyl
  • the material of the sealant layer to contain at least one selected from the group consisting of polyester resin, polyamide resin, and ethylene-vinyl alcohol copolymer, more preferably at least one selected from the group consisting of polyester resin and ethylene-vinyl alcohol copolymer, and even more preferably ethylene-vinyl alcohol copolymer.
  • the thickness of the sealant layer (total thickness when it has a laminate structure consisting of two or more layers) is preferably 500 ⁇ m or less, more preferably 100 ⁇ m or less, even more preferably 50 ⁇ m or less, and particularly preferably 40 ⁇ m or less.
  • the thickness of the sealant layer is within the above range, the amount of outgassing from the pellicle caused by the adhesion of volatile organic component outgassing from the pellicle packaging is further reduced.
  • the thickness of the sealant layer (total thickness when it has a laminated structure consisting of two or more layers) may be 3 ⁇ m or more, 5 ⁇ m or more, or 15 ⁇ m or more. From the above viewpoint, the thickness of the sealant layer (total thickness when the sealant layer has a laminated structure consisting of two or more layers) may be 3 ⁇ m or more and 500 ⁇ m or less, or 3 ⁇ m or more and 40 ⁇ m or less.
  • the pellicle packaging body is composed of at least two layers, a sealant layer and a base layer, it is believed that outgassing of volatile organic components in the pellicle packaging body is likely to occur from the sealant layer. Therefore, as the thickness of the sealant layer increases, the adhesion of outgassing of volatile organic components generated from the pellicle packaging body is also likely to become more noticeable.
  • the pellicle packaging body of the present disclosure has the above-mentioned configuration, and therefore, even if the thickness of the sealant layer is within the above-mentioned range, the amount of outgassing from the pellicle, which is caused by the adhesion of outgassing of volatile organic components generated from the pellicle packaging body, is likely to be kept low.
  • the substrate layer may be a single layer or a laminate of two or more layers.
  • the material of the substrate layer is not particularly limited, and a composition containing a known resin can be used.
  • the resin include polyolefin resins such as polyethylene (including high density polyethylene (HDPE), medium density polyethylene (MDPE), low density polyethylene (LDPE), linear low density polyethylene (LLDPE), etc.), ethylene-propylene copolymer, ethylene-butene copolymer, ethylene-hexene copolymer, ethylene-octene copolymer, polypropylene (PP), ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-methyl methacrylate copolymer, and ionomer resin; polyester resins such as polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate (PBT), and polyethylene naphthalate; and amide resins such as nylon-6, nylon-6,6, metaxylenediamine-adipic acid condensation polymer, and polymethylmethacrylimide.
  • polyethylene including high density polyethylene
  • the resin examples include acrylic resins such as polymethyl methacrylate, styrene-acrylonitrile resins such as polystyrene, styrene-acrylonitrile copolymer, styrene-acrylonitrile-butadiene copolymer, and polyacrylonitrile, hydrophobized cellulose resins such as cellulose triacetate and cellulose diacetate, halogen-containing resins such as polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinylidene fluoride, and Teflon (registered trademark), polyvinyl alcohol, ethylene-vinyl alcohol copolymer, and cellulose derivatives, and high hydrogen bond resins, polycarbonate resins, polysulfone resins, polyethersulfone resins, polyetheretherketone resins, polyphenylene oxide resins, polymethylene oxide resins, and liquid crystal resins.
  • the resins may be used alone or in combination of two or more.
  • a material that is less prone to static electricity preferably a resin that contains an antistatic treatment, more preferably a resin that contains either polyethylene terephthalate or polyethylene naphthalate
  • a material that contains an antistatic treatment more preferably a resin that contains either polyethylene terephthalate or polyethylene naphthalate
  • the thickness of the substrate layer (total thickness if it is a laminated structure consisting of two or more layers) is not particularly limited, but is preferably, for example, 0.1 ⁇ m or more and 500 ⁇ m or less, more preferably 1 ⁇ m or more and 100 ⁇ m or less, and even more preferably 5 ⁇ m or more and 30 ⁇ m or less.
  • the pellicle packaging of the present disclosure may, if necessary, have an adhesive layer between the sealant layer and the base layer.
  • the adhesive layer may be a single layer or a laminate consisting of two or more layers.
  • the material for the adhesive layer is not particularly limited, and a composition containing a known resin can be used.
  • the resin include polyurethane resin, polyester resin, polyether resin, and mixtures thereof.
  • the thickness of the adhesive layer is not particularly limited, but from the viewpoint of adhesive strength, it is preferably 1 ⁇ m or more, and more preferably 2 ⁇ m or more.
  • the thickness of the adhesive layer is not particularly limited, but from the viewpoint of shortening the time of the curing reaction when forming the adhesive layer and from the viewpoint of reducing the proportion of unreacted materials and residual solvent during the curing reaction, the thickness is preferably 5 ⁇ m or less, and more preferably 4 ⁇ m or less.
  • the shape of the pellicle package is not particularly limited.
  • the shape of the pellicle package may be, for example, a sheet, a bag, a pack, a box, or the like.
  • the pellicle package may be configured to include, as a part of the package, a packaging member having a total outgassing amount of volatile organic components exceeding 90 ppm when heated at 100° C. for 30 minutes, as necessary, within the range in which the effects of the present disclosure can be obtained.
  • the proportion of packaging members in the pellicle package having a total outgassing amount exceeding 90 ppm is preferably 20% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, and even more preferably 5% by mass or less of the entire pellicle package. It is preferable that the pellicle package does not include packaging members having a total outgassing amount exceeding 90 ppm.
  • the volume of the pellicle package is not particularly limited and can be appropriately set depending on the size of the pellicle and the packaging form.
  • the volume of the package is, for example, preferably 2000 cm 3 to 70000 cm 3 , more preferably 4000 cm 3 to 30000 cm 3 , and even more preferably 5000 cm 3 to 10000 cm 3 .
  • the volume of the pellicle packaging is within the above range, it is easy to optimize the balance between the volume of the pellicle or pellicle storage container packaged in the pellicle packaging and the surface area of the pellicle packaging. As a result, the proportion of outgassing of volatile organic components generated from the pellicle packaging is reduced, and the amount of outgassing from the pellicle caused by the adhesion of outgassing derived from the pellicle packaging is also reduced.
  • Example 1 (1) Preparation of the various components that are the raw materials for the mask adhesive: Thermoplastic elastomer (A) Styrene-hydrogenated isoprene-styrene block copolymer (product name "Hybra 7125” (manufactured by Kuraray Co., Ltd.), tan ⁇ peak temperature: -5°C, styrene content: 20% by mass)
  • ⁇ Tackifying resin (B) Hydrogenated alicyclic petroleum resin: C9 hydrogenated petroleum resin (product name "Arcon P-100” (manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.), softening point: 100 ⁇ 5°C, number average molecular weight (Mn): 610 ) Rosin ester resin (product name "Pine Crystal KE-311” (manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.), softening point: 100 ⁇ 5°C)
  • Wax Polypropylene pyrolysis type wax product name "Hiwax NP055" (manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.)
  • an anodized aluminum support frame 14 (outer dimensions: 148.77 mm ⁇ 114.9 mm, frame height H: 2.5 mm, frame width W: 2 mm) as shown in FIG. 4 was prepared.
  • the molten mask adhesive extruded from a needle tip connected to the heating tank was applied to one end surface of the support frame 14 to form an adhesive layer 15 for the original plate.
  • the thickness of the formed master plate adhesive layer 15 was 0.6 mm.
  • a separator was placed on the surface of the master plate adhesive layer 15.
  • a pellicle film 12 was attached to the other end face of the support frame 14 (i.e., the end face on the side on which the master plate adhesive layer 15 was not formed) via a film adhesive layer 13 (fluoropolymer (AGC Corporation, CYTOP A type)) to obtain a pellicle 10.
  • a film adhesive layer 13 fluoropolymer (AGC Corporation, CYTOP A type)
  • the prepared pellicle was placed in a polycarbonate container.
  • Four polyethylene clips were prepared that had been heat-treated in the air at 90° C. for 24 hours.
  • the clips each had a mass of 2.9 g.
  • the four corners of the polycarbonate storage container were fixed with the four clips prepared.
  • the polycarbonate storage container fixed with the clips was wrapped in a pellicle package and stored at 23° C. for two months.
  • the pellicle packaging body was a laminate of a base material: polyethylene terephthalate and a sealant layer: ethylene-vinyl alcohol copolymer, and had a thickness of 25 ⁇ m.
  • the components of the organic gas having a carbon number of 20 or less were determined by identifying the peak position of the corresponding carbon number in gas chromatography using a mixed n-paraffin standard solution, and were derived from a calibration curve obtained by gas chromatography GC-FID obtained when a standard solution of n-C 20 H 42 of known concentration was measured.
  • -Condition 2- The clip was placed in a container as a specimen and heated at 50° C. for 4 hours to adsorb the generated outgassing onto 150 mg of adsorbent. Then, 150 mg of the adsorbent was set in a gas chromatograph mass spectrometer (GCMS) and the total amount of outgassing of volatile organic components generated from the clip was measured under heating conditions of 280° C. for 10 minutes.
  • GCMS gas chromatograph mass spectrometer
  • the total amount of outgassing was calculated in terms of n-decane, and the total amount was divided by the number of test clips to determine the amount of outgassing per clip.
  • Measurement device name GCMS-QP2010plus (Shimadzu Corporation)
  • Column: DB-1 inner diameter: 0.32 mm, length: 60 m, thickness: 1.00 ⁇ m
  • Scan range 35 m/Z to 450 m/Z
  • Ionization 0.78 kV
  • Measurement method The amount of gas generated at 280°C for 5 minutes was calculated in n-decane equivalent.
  • the pellicle stored in the pellicle container was placed in a clean oven under atmospheric air and heated at a temperature in the range of 70° C. to 80° C. for 20 hours to perform a degassing process.
  • the pellicle was packaged using the pellicle package and stored at 23° C. for one week. After storage, the pellicle was removed from the pellicle package and set in an oven. Then, the outgassing generated under heating conditions of 50° C. for 4 hours was adsorbed by Tenax (trademark, manufactured by GL Sciences Inc.), a powdered adsorbent.
  • Example 2 Except for making the clip from the same polyethylene resin as in Example 1 and heating the clip at 60° C. for 24 hours, the clip and the pellicle container were made in the same manner as in Example 1 and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
  • Example 3 Except for making the clip from polypropylene resin and heating at 90° C. for 24 hours, the clip and the pellicle container were made in the same manner as in Example 1, and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
  • Comparative Example 1 The clip was made of the same polyethylene resin as in Example 1, and except that heating was not performed, the clip and the pellicle container were prepared in the same manner as in Example 1, and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
  • Comparative Example 2 The clip was made of the same polypropylene resin as in Example 2, and except that heating was not performed, the clip and the pellicle container were prepared in the same manner as in Example 2, and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
  • PE stands for polyethylene
  • PP stands for polypropylene.

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Abstract

下記条件１で評価した、炭素数２０以下の有機物ガスのアウトガス量がクリップ１ｇあたり１５０μｇ以下である、ペリクル収納容器用クリップ、ペリクル収容体及びペリクル。 －条件１－　クリップの切断片１ｇを被検体として容器内に配置し、ヘキサン２００ｍｌを抽出溶媒として、８０℃のウオーターバスで６時間ソックスレー抽出法により抽出液を得る。　得られた抽出液について、ガスクロマトグラフィーを用いて分析する。ガスクロマトグラフィーでは、検出器に炎イオン化検出器を用い、炭素数が２０以下の成分の量を検出し、検出された炭素数が２０以下の成分の合計量をアウトガス量とする。

Description

ペリクル収納容器用クリップ、ペリクル収容体及びペリクル
　本開示は、ペリクル収納容器用クリップ、ペリクル収容体及びペリクルに関する。
　電子部品、プリント基板、ディスプレイパネル等の物体の表面に感光性の物質を塗布し、パターン状に露光してパターンを形成する技術（フォトリソグラフィー）では、マスクと呼ばれる片面にパターンが形成された透明基板が使用されている。これらの製造工程では、マスク（露光原板、レチクルともいう）を介して感光層等に光を照射することによってパターニングを行う。その際、マスクに異物が付着していると、光が異物に吸収されたり、異物表面で光が反射されて屈曲したりする。その結果、形成されるパターンが変形したり、エッジが、がさついたりして、パターニング後の寸法、品質、及び外観等が損なわれてしまうといった問題が生じる。このような問題を解消すべく、マスクの表面に、光を透過するペリクル膜を備えるペリクルを装着し、異物の付着を抑制する方法が採用されている。
　近年、電子部品の高性能化、回線幅の微細化に伴い、ペリクルについても、従来以上に微量のアウトガスや微細なパーティクルの影響を受けやすくなってきている。
　ペリクルは、輸送時の異物付着防止のため、ペリクルは、開口部をクリップ止めしたポリカーボネートケース、内袋、ファスナー袋、外袋の順番で梱包されていることがある。
　ペリクルの収納容器の一例として、ペリクルを収納容器内に配置して輸送する場合に、摩擦により生成する摩耗粉の発生を低減するペリクル収納容器として、収納容器のトレイとカバーを塞ぐため、ウレタンエラストマー製のクリップを用いる収納容器が提案されている（特開２００７－１２８０３０号公報）。
　本発明者らは、鋭意検討の結果、ペリクルを包装する包装体に用いられるクリップから発生する揮発性有機成分のアウトガスが、包装されたペリクルに付着し、ペリクルを構成する材料自身に由来する揮発性成分のアウトガスに加え、クリップに起因するアウトガスがペリクル汚染の要因の一つとなることを新たに見出した。
　本開示の一実施形態が解決しようとする課題は、揮発性有機成分のアウトガスが低減されたペリクル収納容器用クリップを提供することである。
　本開示の他の一実施形態が解決しようとする課題は、ペリクル収納容器用クリップを用いた、揮発性有機成分のアウトガスの発生が低減されたペリクル収容体及び、揮発性有機成分のアウトガスの付着に起因するアウトガス量が低減されたペリクルを提供することである。
　上記課題を解決するための具体的手段は以下の態様を含む。
＜１＞　下記条件１で評価した、炭素数２０以下の有機物ガスのアウトガス量がクリップ１ｇあたり１５０μｇ以下である、ペリクル収納容器用クリップ。
－条件１－
　クリップの切断片１ｇを被検体として容器内に配置し、ヘキサン２００ｍｌを抽出溶媒として、８０℃のウオーターバスで６時間ソックスレー抽出法により抽出液を得る。
　得られた抽出液について、ガスクロマトグラフィーを用いて分析する。ガスクロマトグラフィーでは、検出器に炎イオン化検出器を用い、炭素数が２０以下の成分の量を検出し、検出された炭素数が２０以下の成分の合計量をアウトガス量とする。
＜２＞　下記条件２で評価した、クリップ１個から発生するアウトガス量が２．０００μｇ以下である、ペリクル収納容器用クリップ。
－条件２－
　クリップを被検体として容器内に配置し、５０℃、４時間で加熱し、発生したアウトガスを、吸着材１５０ｍｇに吸着させる。その後、吸着材１５０ｍｇを、ガスクロマトグラフ質量分析計にセットし、２８０℃、１０分の加熱条件下で、クリップから発生した揮発性有機成分のアウトガスの合計量を測定する。
　ここで、アウトガスの合計量は、ｎ－デカン換算により求め、得られた合計量を、被検体としたクリップの数で除して、クリップ１個あたりのアウトガス量を求める。
＜３＞　ウレタン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリエチレンテレフタラート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、及びフェノール樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂を含む、＜１＞又は＜２＞に記載のペリクル収納容器用クリップ。
＜４＞　ペリクルと、前記ペリクルを収納するペリクル収納容器と、前記ペリクル収納容器を外側から固定する＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載のペリクル収納容器用クリップと、前記ペリクル収納容器を包装するペリクル包装体と、を備えるペリクル収容体。
＜５＞　前記ペリクル収納容器を外側から固定するペリクル収納容器用クリップの、下記条件３で測定した炭素数２０以下の有機物ガスのアウトガス量の合計量が１５００μｇ以下である、＜４＞に記載のペリクル収容体。
－条件３－
　ペリクル収容体に用いられるクリップを被検体として容器内に配置し、ヘキサン２００ｍｌを抽出溶媒として、８０℃のウオーターバスで６時間ソックスレー抽出法により抽出液を得る。
　得られた抽出液について、ガスクロマトグラフィーを用いて分析する。ガスクロマトグラフィーでは、検出器に炎イオン化検出器を用い、炭素数が２０以下の成分の量を検出し、検出された炭素数が２０以下の成分の合計量をアウトガス量とする。
　なお、上記条件３において、クリップの一部を切断した切断片を被検体として評価した場合は、下記式Ｉによりアウトガス量の合計量を求めてもよい。
　
〔（被検体のアウトガス量）×（クリップの質量）〕／（被検体の質量）＝アウトガス量の合計量　・・・式Ｉ
＜６＞　ペリクル膜、原版用接着剤、ペリクル枠を有し、下記条件４で測定したときのアウトガス量が２．９μｇ以下である、ペリクル。
－条件４－
　５０℃、４時間でペリクルを加熱して発生したアウトガスを、吸着材１５０ｍｇに吸着させる。その後、吸着材１５０ｍｇを、ガスクロマトグラフ質量分析計にセットし、２８０℃、１０分の加熱条件下で、ペリクルから発生した揮発性有機成分のアウトガスの合計量を測定する。
　ここで、アウトガスの合計量は、ｎ－デカン換算により求める。
＜７＞　ペリクルを収納するペリクル収納容器と、前記ペリクル収納容器を外側から固定する＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載のペリクル収納容器用クリップと、前記ペリクル収納容器を包装するペリクル包装体と、を備えたペリクル収容体であり、前記ペリクル収納容器内に配置されている前記ペリクルは、ペリクル膜、原版用接着剤、ペリクル枠を有し、下記条件４で測定したときのアウトガス量が２．９μｇ以下である、ペリクル。
－条件４－
　５０℃、４時間でペリクルを加熱して発生したアウトガスを、吸着材１５０ｍｇに吸着させる。その後、吸着材１５０ｍｇを、ガスクロマトグラフ質量分析計にセットし、２８０℃、１０分の加熱条件下で、ペリクルから発生した揮発性有機成分のアウトガスの合計量を測定する。
　ここで、アウトガスの合計量は、ｎ－デカン換算により求める。
＜８＞　前記原版用接着剤がスチレンブタジエン系接着剤である、＜６＞又は＜７＞に記載のペリクル。
　本開示の一実施形態によれば、揮発性有機成分のアウトガスが低減されたペリクル収納容器用クリップを提供することができる。
　本開示の他の一実施形態によれば、ペリクル収納容器用クリップを用いた、揮発性有機成分のアウトガスの発生が低減されたペリクル収容体及び、揮発性有機成分のアウトガスの付着に起因するアウトガス量が低減されたペリクルを提供することができる。
図１は、ペリクル収納容器用クリップの一例を示す平面図である。 図２Ａは、ペリクル収納容器用クリップの一方の開口部側から見た側面図である。 図２Ｂは、ペリクル収納容器用クリップの他方の開口部から見た側面図である。 図３は、図１に記載のペリクル収納容器用クリップにより４隅を封止されたペリクル収納容器の一例を示す斜視図である。 図４は、ペリクルの一例を示す概略断面図である。
　本開示において「～」を用いて示された数値範囲は、「～」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を意味する。
　本開示に段階的に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
　本開示において、２以上の好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。
　本開示において、各成分の量は、各成分に該当する物質が複数種存在する場合には、特に断らない限り、複数種の物質の合計量を意味する。
　本明細書において、「工程」との用語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても、その工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
＜ペリクル収納容器用クリップ１＞
　本開示のペリクル収納容器用クリップの第１の態様は、下記条件１で評価した、炭素数２０以下の有機物ガスのアウトガス量がクリップ１ｇあたり１５０μｇ以下である、ペリクル収納容器用クリップである。
　なお、本開示においては、特に断らない限り、「クリップ」の語は、「ペリクル収納容器用クリップ」を指す。
－条件１－
　クリップの切断片１ｇを被検体として容器内に配置し、ヘキサン２００ｍｌを抽出溶媒として、８０℃のウオーターバスで６時間ソックスレー抽出法により抽出液を得る。
　得られた抽出液について、ガスクロマトグラフィーを用いて分析する。ガスクロマトグラフィーでは、検出器に炎イオン化検出器を用い、炭素数が２０以下の成分の量を検出し、検出された炭素数が２０以下の成分の合計量を炭素数２０以下の有機物ガスのアウトガス量とする。
　条件１において、炭素数２０以下の有機物ガス（以下、特定有機物ガスとも称する）の成分は、ｎ－パラフィン混合標準液を用いて、ガスクロマトグラフィーにおいて該当する炭素数のピーク位置を特定し、既知濃度のｎ－Ｃ２０Ｈ４２の標準溶液を測定した際に得られるガスクロマトグラフィーＧＣ－ＦＩＤから求められた検量線から導出する。
　条件１において、被検体を採取するクリップ同士のアウトガスの発生量のバラツキを考慮し、被検体は異なる複数のクリップから採取し、それらの測定値の平均値を取ってもよい。異なる複数のクリップから被検体を採取し、それらの測定値の平均値を取る場合、アウトガスの発生量の正確性の観点から、少なくとも４個のクリップから被検体としての切断片を採取して平均値を採用することが好ましく、８個の平均値とすることがより好ましい。
　本開示のクリップの第１の態様においては、特定有機物ガスのアウトガス量がクリップ１ｇあたり１５０μｇ以下であり、ペリクル自体のアウトガス発生抑制の観点からは、クリップ１ｇあたり１００μｇ以下であることが好ましく、クリップ１ｇあたり５０μｇ以下であることがより好ましく、クリップ１ｇあたり４０μｇ以下であることがさらに好ましく、クリップ１ｇあたり３０μｇ以下であることが特に好ましく、検出限界以下又は０μｇであることが最も好ましい。
　特定有機物ガスとしては、脂肪族炭化水素化合物及び芳香族炭化水素化合物から選ばれる炭素数２０以下の炭化水素化合物が挙げられる。
　アウトガスとは、樹脂等を含むクリップを構成する材料から発生するガスを意味する。
　また、ペリクル収容体の全体におけるアウトガス量を考慮すれば、特定有機物ガスのアウトガス量は、クリップ１個あたり４０５μｇ以下であることが好ましく、１６２μｇ以下であることがより好ましく、１３５μｇ以下であることがさらに好ましく、６０μｇ以下であることが特に好ましい。
　これは、通常、ペリクル収納容器の封止に用いられる樹脂製のクリップの質量は、１個あたり２ｇ～５ｇの範囲であることが好ましいことによる。なお、汎用のクリップの質量は約２．７ｇである。
　クリップの形状には特に制限はなく、ペリクル収納容器を封止できれば、公知の封止機構を有するクリップを適宜選択して適用することができる。クリップとしては、例えば、図１に示す如き形状の留め具が挙げられる。
　図１は、クリップの一例を示す平面図である。
　図１に示すクリップ２０は、樹脂製であり、図１に示すように、平面視で台形の形状をなし、一方の側面の開口部２２Ａに対し、他方の開口部２２Ｂがより広くなっている。
　図２Ａは、クリップ２０の一方の開口部側から見た側面図であり、図２Ｂは、クリップ２０の他方の開口部側から見た側面図である。
　クリップ２０は、図２Ａ及び図２Ｂの側面図に示す如く、ペリクル収納容器２４の底部に設けられた凹部（図示せず）と嵌合する凸部２６を有する形状であってもよい。
　図３は、図１で示すクリップ２０を、ペリクル収納容器２４の外側から四隅に取り付けた状態の一例を示す斜視図である。図３では、平面視で矩形のペリクル収納容器２４を用いた例が示される。図３に例示されるペリクル収納容器２４は、本体と蓋部とを含む。
　図１に示すクリップ２０を、クリップ２０のより広い開口部２２Ｂ（他方の開口部）側から、ペリクル収納容器２４の四隅の角部に差し込むことで、ペリクル収納容器２４の本体と蓋部とを止め付けることができる。
　図３に示すように、平面視で矩形のペリクル収納容器２４の四隅を、ペリクル収納容器２４の外側からクリップ２０で止めることで、ペリクル収納容器２４底部に設けられた凹部にクリップ２０の凸部２６が嵌合し、ペリクル収納容器２４の本体と蓋部とを四隅で止め付けることにより、ペリクル収納容器２４を４つのクリップ２０により外側から封止する、即ち、固定することができる。
＜ペリクル収納容器用クリップ２＞
　本開示のペリクル収納容器用クリップの第２の態様は、下記条件２で評価した、クリップ１個から発生するアウトガス量が２．０００μｇ以下であるペリクル収納容器用クリップである。
－条件２－
　クリップを被検体として容器内に配置し、５０℃、４時間で加熱し、発生したアウトガスを、吸着材１５０ｍｇに吸着させる。その後、吸着材１５０ｍｇを、ガスクロマトグラフ質量分析計（以下、ＧＣＭＳと略称することがある）にセットし、２８０℃、１０分の加熱条件下で、クリップから発生した揮発性有機成分のアウトガスの合計量を測定する。
　ここで、アウトガスの合計量は、ｎ－デカン換算により求め、得られた合計量を、被検体としたクリップの数で除して、クリップ１個あたりのアウトガス量を求める。
　本開示で適用するＧＣＭＳの測定条件は以下の通りである。
　測定装置名　：ＧＣＭＳ－ＱＰ２０１０ｐｌｕｓ（（株）島津製作所）
　カラム　　　：ＤＢ－１（内径：０．３２ｍｍ、長さ：６０ｍ、厚み：１．００μｍ）
　スキャン範囲：３５ｍ／Ｚ～４５０ｍ／Ｚ
　イオン化　　：０．７８ｋＶ
　測定方法　　：２８０℃、５分で発生したガス量をｎ－デカン換算で算出。
　条件２において、被検体を採取するクリップ同士のアウトガスの発生量のバラツキを考慮し、被検体は異なる複数のクリップから採取し、それらの測定値の平均値を取ることが好ましい。条件２においては、アウトガスの発生量の正確性の観点から、少なくとも４個のクリップから被検体としての切断片を採取して平均値を採用することが好ましく、８個の平均値とすることがより好ましい。
　本開示では、特に断らない限り、特定有機物ガスの合計量は、８個のクリップの平均値を採用している。
　本開示のクリップの第２の態様においては、クリップから発生する揮発性有機成分のアウトガス量は、クリップ１個あたり２．０００μｇ以下であり、ペリクル自体のアウトガス発生抑制の観点からは、クリップ１個あたり０．５μｇ以下であることが好ましく、クリップ１個あたり０．０５μｇ以下であることがより好ましく、クリップ１個あたり０．０４μｇ以下であることがさらに好ましく、クリップ１個あたり０．０３μｇ以下であることが特に好ましく、検出限界以下又は０μｇであることが最も好ましい。
　ここで、揮発性有機成分とは、２５℃１ａｔｍの条件で揮発する有機成分をいう。
　揮発性有機成分としては、例えば、芳香族炭化水素化合物、脂肪族炭化水素化合物等の炭化水素化合物が挙げられる。
　本開示のクリップとしては、ペリクルのアウトガスの発生抑制効果の観点から、本開示の第１の態様で規定した上記条件１で測定した特定有機物ガスのアウトガス量がクリップ１ｇあたり１５０μｇ以下であり、且つ、本開示の第２の態様で規定した上記条件２で測定した揮発性有機成分のアウトガス量がクリップ１個あたり２．０００μｇ以下であることが好ましい。
　本開示のクリップは、デュロメータ硬度がＤ５５～Ｄ６９の樹脂を含むことが好ましい。
　デュロメータ硬度は、日本産業規格（Japanese Industrial Standards：ＪＩＳ)に定められたＪＩＳ　Ｋ７２１５－１９８６　「プラスチックのデュロメータ硬さ試験」に準拠して、タイプＤデュロメータの圧子を用いて測定することができる。
　クリップに含まれる樹脂のデュロメータ硬度がＤ５５以上であることで、クリップとペリクル収納容器との接触部において、クリップの表面が擦れることに起因する粉塵の発生が効果的に抑制され、デュロメータ硬度がＤ６９以下であることで、クリップとペリクル収納容器との接触部において、収納容器の表面が擦れることに起因する粉塵の発生が効果的に抑制される。
　クリップに含まれる樹脂のデュロメータ硬度はＤ５５～Ｄ６９の範囲であることが好ましく、Ｄ５８～Ｄ６４の範囲であることがより好ましい。
　本開示のクリップは、ウレタン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリエチレンテレフタラート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、及びフェノール樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂を含むことが好ましい。
　ポリアミド樹脂としては、ＰＡ６、ＰＡ６６等が挙げられる。
　なかでも、クリップは、アウトガスの発生抑制効果の観点から、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、及び、ポリウレタン樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂を含むことが好ましい。
　クリップは、樹脂を１種のみを含んでもよく、２種以上を含んでもよい。
　クリップ自体のアウトガス発生抑制の観点からは、上記樹脂を含むクリップを製造した後、樹脂の軟化点以下の温度で加熱処理を行ってもよい。
　樹脂を含むクリップを、樹脂の軟化点、例えば、５０℃～１００℃、好ましくは６０℃～９０℃の温度条件で、１０時間～３０時間、好ましくは２０時間～３０時間程度加熱することにより、クリップに含まれる樹脂に内在する揮発性成分が減少し、アウトガス発生がより効果的に抑制され、上記条件１で測定した特定有機物ガスのアウトガス及び上記条件２で測定した揮発性有機成分のアウトガス量の条件が達成されやすくなると考えられる。
＜ペリクル収容体＞
　本開示のペリクル収容体は、ペリクルと、前記ペリクルを収納するペリクル収納容器と、前記ペリクル収納容器を外側から固定する上記本開示のペリクル収納容器用クリップと、前記ペリクル収納容器を包装するペリクル包装体と、を備える。
　本開示のペリクル包装体によれば、ペリクル収容体に用いられるクリップから発生する揮発性有機成分のアウトガスの付着に起因する、ペリクルからのアウトガス量が低減される。
　「ペリクル収容体」は、ペリクル及びペリクルを包装する各包装部材を包含する意味で用いられる。
　本開示のペリクル収容体は、ペリクルが例えば、ポリカーボネート等の樹脂製のペリクル収納容器内に配置され、ペリクル収納容器が例えば、四隅をクリップ止めされており、他の包装部材からの影響を受け難く、且つ、本開示のクリップがペリクル汚染の原因となる特定有機物ガス、揮発性有機成分等のアウトガスの発生が低い範囲に抑制されているため、ペリクル収容体の包装部材から発生するアウトガスの付着に起因する、ペリクルからのアウトガス量がより低減される。
　また、ペリクル収納容器の開封時にペリクル収納容器内と外部の圧力差があると開封しにくい等、開封時のトラブルにつながる可能性があるため、ペリクル収納容器内が密封されていないことが好ましい。
　本開示のペリクル収容体に用いられるクリップは、下記条件３で測定した炭素数２０以下の有機物ガスのアウトガス量の合計量が６４８μｇ以下であることが好ましい。
－条件３－
　ペリクル収容体に用いられるクリップの切断片を被検体として容器内に配置し、ヘキサン２００ｍｌを抽出溶媒として、８０℃のウオーターバスで６時間ソックスレー抽出法により抽出液を得る。
　得られた抽出液について、ガスクロマトグラフィーを用いて分析する。ガスクロマトグラフィーでは、検出器に炎イオン化検出器を用い、炭素数が２０以下の成分の量を検出し、検出された炭素数が２０以下の成分の合計量をアウトガス量とする。
　なお、条件３の評価法は、被検体を、クリップの切断片１ｇから、ペリクル収容体に用いられるクリップ全量の切断片とした以外は、既述の条件１の測定法と同様である。
　なお、上記条件３において、クリップの一部を切断した切断片を被検体として評価した場合は、下記式Ｉによりアウトガス量の合計量を求めてもよい。
　
〔（被検体のアウトガス量）×（クリップの質量）〕／（被検体の質量）＝アウトガス量の合計量　・・・式Ｉ
　本開示のペリクル収容体に用いられるクリップは、上記条件３で測定した炭素数２０以下の有機物ガスのアウトガス量の合計量が１５００μｇ以下であることが好ましく、１０００μｇ以下であることがより好ましく、５００μｇ以下であることがさらに好ましく、３５０μｇ以下であることが特に好ましく、測定限界以下であってもよい。
　ペリクル収納容器は、公知のペリクル収納容器が適用できる。
　ペリクル収納容器の材料としては、例えば、ポリカーボネート等の樹脂、カーボンナノチューブ、導電性カーボンブラック、無機粒子等の導電性材料が挙げられる。
　ペリクル収容体に用いられるペリクルは、公知のペリクルが適用できる。ペリクルは、例えば、ペリクル膜と、前記ペリクル膜を支持する支持枠と、を含んで構成される。
　ペリクル収納容器の形状は、特に制限されないが、例えば、箱状等が挙げられる。
　以下、図面を参照しながら、ペリクルの一態様について説明する。図４は、ペリクル１０を示す概略断面図である。ペリクル１０において、膜用接着剤層１３を介してペリクル膜１２と支持枠１４とが接着されている。支持枠１４には、通気孔１６が形成され、かつ、原版用接着剤層１５が形成されている。図示はしないが、原版用接着剤層１５の表面には、原版用接着剤層１５を保護するための離型シート（例えばセパレータ）が更に配置されてもよい。支持枠１４には、通気孔１６が形成されていなくてもよく、支持枠１４が複数の層から積層される構造であってもよい。
　ペリクル膜１２は、支持枠１４によって支持されている。
　ペリクル膜１２の材料としては、石英ガラスや、フッ素系樹脂や酢酸セルロース、カーボンナノチューブ等の透明性を有する材料が挙げられる。
　支持枠１４の材料としては、アルマイト処理されたアルミニウムフレーム、チタンフレーム、シリコンフレーム等が挙げられる。支持枠１４は、露光光の反射を防ぐとともに、付着した異物等の有無を検査し易くする観点から、黒色であることが好ましい。
　膜用接着剤層１３は、支持枠とペリクル膜とを接着する。
　膜用接着剤層１３の材料としては、特に限定されないが、例えば、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素ポリマー等が挙げられる。
　なお、ペリクル膜１２と支持枠１４とを膜用接着剤層１３を介さずに密着させることができる場合は、膜用接着剤層１３は有していなくてもよい。
　原版用接着剤層１５は、公知の接着剤を塗布し乾燥する等で形成することができる。
　原版用接着剤層１５の材料（以下、原版用接着剤とも称す。）としては、特に限定されないが、例えば、アクリル系、シリコーン系、スチレンブタジエン系、ウレタン系、オレフィン系接着剤等が挙げられる。
　本開示のペリクル収容体におけるペリクルは、原版用接着剤を含み、前記原版用接着剤がスチレンブタジエン系接着剤であってもよい。
　スチレンブタジエン系接着剤は、原版の歪みを抑制しやすくするため、支持枠１４と原版とを接着する原版用接着剤層１５の材料として好ましい。
　スチレンブタジエン系接着剤は、ペリクル包装体から発生する揮発性有機成分のアウトガスがペリクルに付着した後、ペリクルから発生するアウトガスとしてより生じやすい。本開示に係るペリクル包装体は、先述の構成を有することにより、原版用接着剤層１５の材料としてスチレンブタジエン系接着剤を用いた場合にも、ペリクル包装体から発生する揮発性有機成分のアウトガスの付着に起因する、ペリクルからのアウトガス量が低減される。
　本開示において、「接着剤」は、接着剤及び粘着剤を包含する概念である。
　本開示において、「接着層」は、接着層及び粘着層を包含する概念である。
　離型シートの材料としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム等が挙げられる。
　既述のように、ペリクル膜１２と支持枠１４の材料によっては、膜用接着剤層１３を介さずに、支持枠とペリクル膜とが接着されていてもよい。
　本開示のペリクルは、ペリクル膜、原版用接着剤、ペリクル枠を有し、下記条件４で測定したときのアウトガス量が２．９μｇ以下である。
－条件４－
　５０℃、４時間でペリクルを加熱して発生したアウトガスを、吸着材１５０ｍｇに吸着させる。その後、吸着材１５０ｍｇを、ガスクロマトグラフ質量分析計（ＧＣＭＳ）にセットし、２８０℃、１０分の加熱条件下で、ペリクルから発生した揮発性有機成分のアウトガスの合計量を測定する。
　ここで、アウトガスの合計量は、ｎ－デカン換算により求める。
　条件４における揮発性有機成分のアウトガス測定方法は、被検体をクリップから、ペリクルに代えた以外は、既述の条件２と同じであり、適用するＧＣＭＳの測定条件も同様である。
　本開示のペリクルは、ペリクルを収納するペリクル収納容器と、前記ペリクル収納容器を固定する本開示のペリクル収納容器用クリップと、前記ペリクル収納容器を包装するペリクル包装体と、を備えたペリクル収容体であり、前記ペリクル収納容器内に配置されている前記ペリクルは、ペリクル膜、原版用接着剤、ペリクル枠を有し、下記条件４で測定したときのアウトガス量が２．９μｇ以下である。
－条件４－
　５０℃、４時間でペリクルを加熱して発生したアウトガスを、吸着材１５０ｍｇに吸着させる。その後、吸着材１５０ｍｇを、ガスクロマトグラフ質量分析計にセットし、２８０℃、１０分の加熱条件下で、ペリクルから発生した揮発性有機成分のアウトガスの合計量を測定する。
　ここで、アウトガスの合計量は、ｎ－デカン換算により求める。
　上記条件４における揮発性有機成分のアウトガス測定方法は、被検体をクリップから、ペリクルに代えた以外は、既述の条件２と同じであり、適用するＧＣＭＳの測定条件も同様である。
　上記ペリクル収納容器を包装するペリクル包装体は、公知のものを用いることができる。例えば、ペリクル包装体をシーラント層と基材層との少なくとも２層を含む積層体としてもよい。
　ペリクル包装体は、使用上の強度の観点から、破壊強度が５Ｎ以上５０Ｎ以下であることが好ましく、７Ｎ以上４５Ｎ以下であることがより好ましく、１０Ｎ以上４０Ｎ以下であることがさらに好ましい。
　上記破壊強度の測定は、ＪＩＳ－Ｋ７１２７－５（１９９９年）（（ＩＳＯ５２７－３：１９９５に対応））に準じる。ＪＩＳ－Ｋ７１２７の試験片タイプ５（全長１１５ｍｍ、並行部分の幅６ｍｍ、標線間距離２５ｍｍ、つかみ部の幅２５ｍｍのダンベル形状）の両端を引っ張り、破壊強度を測定する。
　上記破壊強度を上記範囲とする具体的な手法は特に制限されないが、例えば、基材層の材料や厚さを調整する方法等が挙げられる。
　ペリクル包装体は、シーラント層と、基材層と、の少なくとも２層を含むことが好ましく、シーラント層と、接着層と、基材層と、をこの順で含むことがより好ましい。
　ペリクル包装体が、シーラント層と、基材層と、の少なくとも２層を含む積層体である場合、又は、ペリクル包装体が、シーラント層と、接着層と、基材層と、をこの順で含む積層体である場合、ペリクル側の最表面がシーラント層であり、外周面側の最表面が基材層であってもよい。
　ペリクル包装体がシーラント層と、基材層と、の２層を少なくとも含んで構成される場合、又は、ペリクル包装体が、シーラント層と、接着層と、基材層と、をこの順で含む積層体である場合、ペリクル包装体における揮発性有機成分のアウトガスは、シーラント層から発生しやすいと考えられる。そのため、ペリクル側の最表面がシーラント層であると、ペリクル包装体から発生する揮発性有機成分のアウトガスの付着も顕著になる。これに対し、本開示のペリクル包装体は、先述の構成を有することにより、ペリクル包装体から発生する揮発性有機成分のアウトガスの付着に起因する、ペリクルからのアウトガス量が低く維持されやすくなる。
（シーラント層）
　シーラント層は、単層体であってもよいし、２層以上からなる積層体であってもよい。
　シーラント層の材料は、特に制限されず、公知の樹脂を含む組成物が適用できる。
　前記樹脂としては、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）（高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、中密度ポリエチレン（ＭＤＰＥ）、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、直鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）等を含む。）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリブテン、ポリメチルペンテン等の単独重合体であるポリオレフィン樹脂；エチレン、プロピレン、ブテン、メチルペンテン等のオレフィンからなる群より選択される２種以上の共重合体；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル樹脂；ナイロン－６、ナイロン－６，６、メタキシレンジアミン－アジピン酸縮重合体、ポリメチルメタクリルイミド等のポリアミド樹脂；エチレン－ビニルアルコール共重合体；等が挙げられる。シーラント層の形成に用いられる樹脂は、１種単独であっても２種以上の併用であってもよい。
　上記の中でも、シーラント層の材料としては、ペリクル包装体から発生する揮発性有機成分のアウトガスの付着に起因する、ペリクルからのアウトガス量をより低減する観点から、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂及びエチレン－ビニルアルコール共重合体からなる群より選択される少なくとも１種を含むことが好ましく、ポリエステル樹脂及びエチレン－ビニルアルコール共重合体からなる群より選択される少なくとも１種を含むことがより好ましく、エチレン－ビニルアルコール共重合体を含むことがさらに好ましい。
　シーラント層は、厚み（２層以上からなる積層構造である場合には総厚）が、５００μｍ以下であることが好ましく、１００μｍ以下であることがより好ましく、５０μｍ以下であることがさらに好ましく、４０μｍ以下であることが特に好ましい。
　シーラント層の厚みが上記範囲以下であると、ペリクル包装体から発生する揮発性有機成分のアウトガスの付着に起因する、ペリクルからのアウトガス量がより低減される。
　シーラント層は、厚み（２層以上からなる積層構造である場合には総厚）が、シール性の観点からは、３μｍ以上であってもよく、５μｍ以上であってもよく、１５μｍ以上であってもよい。
　上記観点から、シーラント層は、厚み（２層以上からなる積層構造である場合には総厚）が３μｍ以上５００μｍ以下であってもよく、３μｍ以上４０μｍ以下であってもよい。
　先述の通り、ペリクル包装体がシーラント層と基材層との２層を少なくとも含んで構成される場合、ペリクル包装体における揮発性有機成分のアウトガスは、シーラント層から発生しやすいと考えられる。そのため、シーラント層の厚みが大きくなるに伴い、ペリクル包装体から発生する揮発性有機成分のアウトガスの付着も顕著になりやすい。これに対し、本開示のペリクル包装体は、先述の構成を有することにより、シーラント層の厚みが上記範囲内であっても、ペリクル包装体から発生する揮発性有機成分のアウトガスの付着に起因する、ペリクルからのアウトガス量が低く維持されやすくなる。
（基材層）
　基材層は、単層体であってもよいし、２層以上からなる積層体であってもよい。
　基材層の材料は、特に制限されず、公知の樹脂を含む組成物が適用できる。
　前記樹脂としては、例えば、ポリエチレン（高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、中密度ポリエチレン（ＭＤＰＥ）、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、直鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）等を含む。）、エチレン－プロピレン共重合体、エチレン－ブテン共重合体、エチレン－ヘキセン共重合体、エチレン－オクテン共重合体、ポリプロピレン（ＰＰ）、エチレン－酢酸ビニル共重合体、エチレン－メチルメタクリレート共重合体、アイオノマー樹脂等のポリオレフィン系樹脂；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂；ナイロン－６、ナイロン－６，６、メタキシレンジアミン－アジピン酸縮重合体、ポリメチルメタクリルイミド等のアミド系樹脂；ポリメチルメタクリレート等のアクリル系樹脂；ポリスチレン、スチレン－アクリロニトリル共重合体、スチレン－アクリロニトリル－ブタジエン共重合体、ポリアクリロニトリル等のスチレン－アクリロニトリル系樹脂；トリ酢酸セルロース、ジ酢酸セルロース等の疎水化セルロース系樹脂；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリフッ化ビニリデン、テフロン（登録商標）等のハロゲン含有樹脂；ポリビニルアルコール、エチレン－ビニルアルコール共重合体、セルロース誘導体等の高水素結合性樹脂；ポリカーボネート樹脂、ポリサルホン樹脂、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリフェニレンオキシド樹脂、ポリメチレンオキシド樹脂、液晶樹脂等のエンジニアリングプラスチック系樹脂；等が挙げられる。樹脂は、１種単独であっても２種以上の併用であってもよい。
　上記の中でも、基材層の材料としては、ペリクル包装体の表面にホコリ等のごみが付着することを防止する観点からは、静電気の生じ難い材料（好ましくは静電防止処理をされた樹脂を含む、より好ましくはポリエチレンテレフタレート及びポリエチレンナフタレートのいずれか一方を含む樹脂）等が好ましい。
　基材層の厚み（２層以上からなる積層構造である場合には総厚）は、特に制限されないが、例えば、０．１μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましく、１μｍ以上１００μｍ以下であることがより好ましく、５μｍ以上３０μｍ以下であることがさらに好ましい。
（接着層）
　本開示のペリクル包装体は、必要に応じて、シーラント層と基材層との間に接着層を有していてもよい。
　接着層は、単層体であってもよいし、２層以上からなる積層体であってもよい。
　接着層の材料は、特に制限されず、公知の樹脂を含む組成物が適用できる。
　前記樹脂としては、例えば、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエーテル樹脂及びこれらの混合物等が挙げられる。
　接着層の厚みは、特に制限されないが、例えば、接着強度の観点からは、１μｍ以上であることが好ましく、２μｍ以上であることがより好ましい。
　接着層の厚みは、特に制限されないが、例えば、接着層形成の際の硬化反応の時間を短縮する観点、及び、効果反応の際の未反応物や残留溶剤の割合を低減する観点からは、５μｍ以下であることが好ましく、４μｍ以下であることがより好ましい。
（ペリクル包装体の形状や性質）
　ペリクル包装体の形状は、特に制限されない。
　ペリクル包装体の形状は、例えば、シート状、袋状、パック状、箱状等が挙げられる。
　ペリクル包装体は、本開示の効果が得られる範囲において、必要に応じ、１００℃、３０分の加熱条件下での揮発性有機成分のアウトガスの合計量が９０ｐｐｍ超えである包装部材を、包装体の一部に含んで構成されていてもよい。一方、ペリクル包装体における前記アウトガスの合計量が９０ｐｐｍ超えである包装部材の割合は、ペリクル包装体全体の２０質量％以下であることが好ましく、１０質量％以下であることがより好ましく、５質量％以下であることがさらに好ましい。ペリクル包装体は、前記アウトガスの合計量が９０ｐｐｍ超えである包装部材を含まないことが好ましい。
　ペリクル包装体の容積は、特に制限されず、ペリクルのサイズや包装形態によって適宜設定できる。包装体の容積は、例えば、２０００ｃｍ３～７００００ｃｍ３であることが好ましく、４０００ｃｍ３～３００００ｃｍ３であることがより好ましく、５０００ｃｍ３～１００００ｃｍ３であることがより好ましい。
　ペリクル包装体の容積が上記範囲内であると、ペリクル包装体に包装されるペリクル又はペリクル収納容器の体積と、ペリクル包装体の表面積とバランスが最適化されやすい。そのため、ペリクル包装体から発生する揮発性有機成分のアウトガスの割合がより少なくなり、ペリクル包装体から派生するアウトガスの付着に起因する、ペリクルからのアウトガス量もより低減される。
　以下、実施例等により本開示をさらに詳細に説明するが、本開示の発明がこれら実施例のみに限定されるものではない。
＜実験例１～実施例３及び比較例１～比較例２＞
　表に示すクリップを用いて、ペリクル収容体を得て、クリップ及び収容体に包装されたペリクルの揮発性有機成分のアウトガスの合計量の結果を測定した。
〔実施例１〕
（１）マスク接着剤の原料である各種成分の準備
・熱可塑性エラストマー（Ａ）
　スチレン－水素添加イソプレン－スチレンブロック共重合体（商品名「ハイブラー７１２５」（株式会社クラレ製）、ｔａｎδピーク温度：－５℃、スチレン含有割合：２０質量％）
・粘着付与樹脂（Ｂ）
脂環族系石油樹脂の水素化物：Ｃ９系水素添加石油樹脂（商品名「アルコンＰ－１００」（荒川化学工業株式会社製）、軟化点：１００±５℃、数平均分子量（Ｍｎ）：６１０）ロジンエステル樹脂（商品名「パインクリスタルＫＥ－３１１」（荒川化学工業株式会社製）、軟化点：１００±５℃）
・軟化剤
ポリブテン（商品名「ニッサンポリブテン３０Ｎ」（日油（株）製））
・ワックス
ポリプロピレン熱分解型ワックス（商品名「ハイワックスＮＰ０５５」（三井化学（株）社製））
（２）ペリクルの製造
　熱可塑性エラストマー（Ａ）１００質量部、粘着付与樹脂（Ｂ）１００質量部、及び軟化剤２００質量部を全体で４８ｇとなるように混合して原料混合物を得た。得られた原料混合物をラボプラストミル（東洋精機製作所社製、内容量：６０ｍＬ）に投入した後、密閉した。２００℃、１００ｒｐｍ（回転／分）で２０分間混練して、塊状のマスク接着剤を得た。約１０ｇのマスク接着剤を加熱タンク（タンク内温度：２００℃）に投入して溶融させた。一方、図４に示すような、陽極酸化処理したアルミニウム製の支持枠１４（外寸：１４８．７７ｍｍ×１１４．９ｍｍ、枠高さＨ：２．５ｍｍ、枠幅Ｗ：２ｍｍ）を用意した。加熱タンクに連通する針先から押し出した溶融状態のマスク接着剤を、支持枠１４の一方の端面上に塗布して原版用接着剤層１５を形成した。形成された原版用接着剤層１５の厚さは０．６ｍｍであった。また、原版用接着剤層１５の表面にセパレータを配置した。支持枠１４の他方の端面（つまり原版用接着剤層１５が形成されていない側の端面）上に、膜用接着剤層１３（フッ素ポリマー（ＡＧＣ（株）、ＣＹＴＯＰ　Ａタイプ））を介してペリクル膜１２を貼付してペリクル１０を得た。
（３）ペリクル収容体の作製
　準備したペリクルをポリカーボネート製収納容器に設置した。
　大気雰囲気下で９０℃２４Ｈｒ加熱処理したポリエチレン製のクリップを４つ用意した。
　クリップは、１個あたりの質量が２．９ｇであった。
　ポリカーボネート製収納容器の四隅を、用意したクリップ４個で固定した。クリップで固定したポリカーボネート製収納容器をペリクル包装体で包装した状態で、２３℃で２か月保存した。
　ペリクル包装体は、基材：ポリエチレンテレフタレート、シーラント層：エチレン－ビニルアルコール共重合体の積層体であり、厚さ２５μｍであった。
（１．クリップのアウトガス合計量の評価）
　ペリクル収容体に用いたクリップについて、下記条件１及び条件２にて、アウトガスの合計量を測定した。
　測定は、それぞれ異なる被検体で３回行い、その平均値を表１に示した。
－条件１－
　クリップの切断片１ｇを被検体として容器内に配置し、ヘキサン２００ｍｌを抽出溶媒として、８０℃のウオーターバスで６時間ソックスレー抽出法により抽出液を得た。
　得られた抽出液について、ガスクロマトグラフィーを用いて分析した。ガスクロマトグラフィーでは、検出器に炎イオン化検出器を用い、炭素数が２０以下の成分の量を検出し、検出された炭素数が２０以下の成分の合計量を炭素数２０以下の有機物ガスのアウトガス量とした。
　条件１において、炭素数２０以下の有機物ガスの成分は、ｎ－パラフィン混合標準液を用いて、ガスクロマトグラフィーにおいて該当する炭素数のピーク位置を特定し、既知濃度のｎ－Ｃ２０Ｈ４２の標準溶液を測定した際に得られるガスクロマトグラフィーＧＣ－ＦＩＤから求められた検量線から導出した。
－条件２－
　クリップを被検体として容器内に配置し、５０℃、４時間で加熱し、発生したアウトガスを、吸着材１５０ｍｇに吸着させた。その後、吸着材１５０ｍｇを、ガスクロマトグラフ質量分析計（ＧＣＭＳ）にセットし、２８０℃、１０分の加熱条件下で、クリップから発生した揮発性有機成分のアウトガスの合計量を測定した。
　ここで、アウトガスの合計量は、ｎ－デカン換算により求め、得られた合計量を、被検体としたクリップの数で除して、クリップ１個あたりのアウトガス量を求めた。
　本開示で適用するＧＣＭＳの測定条件は以下の通りである。
　測定装置名　：ＧＣＭＳ－ＱＰ２０１０ｐｌｕｓ（（株）島津製作所）
　カラム　　　：ＤＢ－１（内径：０．３２ｍｍ、長さ：６０ｍ、厚み：１．００μｍ）
　スキャン範囲：３５ｍ／Ｚ～４５０ｍ／Ｚ
　イオン化　　：０．７８ｋＶ
　測定方法　　：２８０℃、５分で発生したガス量をｎ－デカン換算で算出。
（２．ペリクルのアウトガス合計量の評価）
　ペリクル収容体内に保存されたペリクルを、大気雰囲気下のクリーンオーブンに設置し、７０℃～８０℃の範囲内で２０時間加熱して脱ガス処理したものを準備した。
　上記ペリクル包装体を用いてペリクルを包装し、これを２３℃下で１週間保管した。保管後、ペリクルを、ペリクル包装体から取り出し、オーブン内にセットした。そして、５０℃、４時間の加熱条件下で発生したアウトガスを、粉状の吸着材であるＴｅｎａｘ（商標、ジーエルサイエンス株式会社製）に吸着させた。その後、Ｔｅｎａｘを、ＧＣＭＳにセットし、２８０℃、１０分の加熱条件下で、ペリクルから発生した揮発性有機成分のアウトガスの合計量（μｇ）を測定（ｎ－デカン換算）し、これを「ペリクルのアウトガスの合計量（μｇ／ペリクル）」とした。
　測定は、それぞれ異なる被検体で２回行い、その平均値を表１に示した。
〔実施例２〕
　クリップを、実施例１と同様のポリエチレン樹脂にて作製し、加熱条件を６０℃２４時間とした以外は、実施例１と同様にして、クリップ及びペリクル収容体を作製し、実施例１と同様にして評価した。結果を表１に示す。
〔実施例３〕
　クリップを、ポリプロピレン樹脂にて作製し、９０℃２４時間とした以外は、実施例１と同様にして、クリップ及びペリクル収容体を作製し、実施例１と同様にして評価した。結果を表１に示す。
〔比較例１〕
　クリップを、実施例１と同様のポリエチレン樹脂にて作製し、加熱を行わなかった以外は、実施例１と同様にして、クリップ及びペリクル収容体を作製し、実施例１と同様にして評価した。結果を表１に示す。
〔比較例２〕
　クリップを、実施例２と同様のポリプロピレン樹脂にて作製し、加熱を行わなかった以外は、実施例２と同様にして、クリップ及びペリクル収容体を作製し、実施例１と同様にして評価した。結果を表１に示す。
　下記表１において、ＰＥはポリエチレンを、ＰＰはポリプロピレンを表す。
　実施例１～実施例３、及び、比較例１～比較例２のクリップに含まれる樹脂の、ＪＩＳ　Ｋ７２１５－１９８６に準拠して測定したデュロメータ硬度は、いずれも、Ｄ５５～Ｄ６９の範囲内であった。

 
　表１に示すように、実施例１～実施例３のクリップ及び実施例１～実施例３のクリップを用いたペリクル包装体に包装されたペリクルは、比較例１～比較例２のクリップ及び比較例１～比較例２のクリップを用いたペリクル包装体に包装されたペリクルに比較して、発生する揮発性有機成分のアウトガスの付着に起因するペリクルからのアウトガス量が低減されることがわかった。
〔符号の説明〕
１０　ペリクル、１２　ペリクル膜、１３　膜用接着剤層、１４　支持枠
１５　原版用接着剤層、１６　通気孔、２０　ペリクル収納容器用クリップ（クリップ）
２２Ａ　クリップの一方の開口部（より狭い開口部）
２２Ｂ　クリップ他方の開口部（より広い開口部）
２４　ペリクル収納容器、２６　クリップの凸部
　２０２３年６月９日に出願された日本国特許出願２０２３－９５８９８の開示は参照により本開示に取り込まれる。
　本開示に記載された全ての文献、特許出願、及び技術規格は、個々の文献、特許出願、及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本開示中に参照により取り込まれる。

Claims (9)

  1. 　下記条件１で評価した、炭素数２０以下の有機物ガスのアウトガス量がクリップ１ｇあたり１５０μｇ以下である、ペリクル収納容器用クリップ。
    －条件１－
    　クリップの切断片１ｇを被検体として容器内に配置し、ヘキサン２００ｍｌを抽出溶媒として、８０℃のウオーターバスで６時間ソックスレー抽出法により抽出液を得る。
    　得られた抽出液について、ガスクロマトグラフィーを用いて分析する。ガスクロマトグラフィーでは、検出器に炎イオン化検出器を用い、炭素数が２０以下の成分の量を検出し、検出された炭素数が２０以下の成分の合計量をアウトガス量とする。
  2. 　下記条件２で評価した、クリップ１個から発生するアウトガス量が２．０００μｇ以下である、ペリクル収納容器用クリップ。
    －条件２－
    　クリップを被検体として容器内に配置し、５０℃、４時間で加熱し、発生したアウトガスを、吸着材１５０ｍｇに吸着させる。その後、吸着材１５０ｍｇを、ガスクロマトグラフ質量分析計にセットし、２８０℃、１０分の加熱条件下で、クリップから発生した揮発性有機成分のアウトガスの合計量を測定する。
    　ここで、アウトガスの合計量は、ｎ－デカン換算により求め、得られた合計量を、被検体としたクリップの数で除して、クリップ１個あたりのアウトガス量を求める。
  3. 　ウレタン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリエチレンテレフタラート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、及びフェノール樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂を含む、請求項１又は請求項２に記載のペリクル収納容器用クリップ。
  4. 　ペリクルと、
    　前記ペリクルを収納するペリクル収納容器と、
    　前記ペリクル収納容器を外側から固定する請求項１又は請求項２に記載のペリクル収納容器用クリップと、
    　前記ペリクル収納容器を包装するペリクル包装体と、
    　を備えるペリクル収容体。
  5. 　前記ペリクル収納容器を外側から固定するペリクル収納容器用クリップの、下記条件３で測定した炭素数２０以下の有機物ガスのアウトガス量の合計量が１５００μｇ以下である、請求項４に記載のペリクル収容体。
    －条件３－
    　ペリクル収容体に用いられるクリップを被検体として容器内に配置し、ヘキサン２００ｍｌを抽出溶媒として、８０℃のウオーターバスで６時間ソックスレー抽出法により抽出液を得る。
    　得られた抽出液について、ガスクロマトグラフィーを用いて分析する。ガスクロマトグラフィーでは、検出器に炎イオン化検出器を用い、炭素数が２０以下の成分の量を検出し、検出された炭素数が２０以下の成分の合計量をアウトガス量とする。
  6. 　ペリクル膜、原版用接着剤、ペリクル枠を有し、下記条件４で測定したときのアウトガス量が２．９μｇ以下である、ペリクル。
    －条件４－
    　５０℃、４時間でペリクルを加熱して発生したアウトガスを、吸着材１５０ｍｇに吸着させる。その後、吸着材１５０ｍｇを、ガスクロマトグラフ質量分析計にセットし、２８０℃、１０分の加熱条件下で、ペリクルから発生した揮発性有機成分のアウトガスの合計量を測定する。
    　ここで、アウトガスの合計量は、ｎ－デカン換算により求める。
  7. 　ペリクルを収納するペリクル収納容器と、
    　前記ペリクル収納容器を外側から固定する請求項１又は請求項２に記載のペリクル収納容器用クリップと、
    　前記ペリクル収納容器を包装するペリクル包装体と、
    　を備えたペリクル収容体であり、
    　前記ペリクル収納容器内に配置されている前記ペリクルは、ペリクル膜、原版用接着剤、ペリクル枠を有し、
    　下記条件４で測定したときのアウトガス量が２．９μｇ以下である、ペリクル。
    －条件４－
    　５０℃、４時間でペリクルを加熱して発生したアウトガスを、吸着材１５０ｍｇに吸着させる。その後、吸着材１５０ｍｇを、ガスクロマトグラフ質量分析計にセットし、２８０℃、１０分の加熱条件下で、ペリクルから発生した揮発性有機成分のアウトガスの合計量を測定する。
    　ここで、アウトガスの合計量は、ｎ－デカン換算により求める。
  8. 　前記原版用接着剤がスチレンブタジエン系接着剤である、請求項６に記載のペリクル。
  9. 　前記原版用接着剤がスチレンブタジエン系接着剤である、請求項７に記載のペリクル。
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