WO2024252825A1 - 天井搬送車 - Google Patents

天井搬送車 Download PDF

Info

Publication number
WO2024252825A1
WO2024252825A1 PCT/JP2024/016775 JP2024016775W WO2024252825A1 WO 2024252825 A1 WO2024252825 A1 WO 2024252825A1 JP 2024016775 W JP2024016775 W JP 2024016775W WO 2024252825 A1 WO2024252825 A1 WO 2024252825A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
stiffness
transport vehicle
holding
state
lifting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2024/016775
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
栄治 和田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Priority to DE112024002438.6T priority Critical patent/DE112024002438T5/de
Priority to JP2025525989A priority patent/JPWO2024252825A1/ja
Priority to CN202480035351.8A priority patent/CN121194941A/zh
Publication of WO2024252825A1 publication Critical patent/WO2024252825A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3221—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C1/00—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles
    • B66C1/10—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by mechanical means
    • B66C1/62—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by mechanical means comprising article-engaging members of a shape complementary to that of the articles to be handled
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C17/00—Overhead travelling cranes comprising one or more substantially horizontal girders the ends of which are directly supported by wheels or rollers running on tracks carried by spaced supports

Definitions

  • the present invention relates to a ceiling transport vehicle.
  • a ceiling transport vehicle that runs along a ceiling track while holding an item has been disclosed (see, for example, Patent Document 1).
  • this ceiling transport vehicle runs along the ceiling track while holding the item, transporting it to a specified transport position.
  • the ceiling transport vehicle then performs transfer operations such as pulling the item out to the side or lowering it at the transport position, and transfers the item to the destination.
  • the present invention aims to provide a ceiling transport vehicle that suppresses vibration and shaking of items.
  • the ceiling transport vehicle is a ceiling transport vehicle that travels along a ceiling track while holding an item, and includes a running section that travels along the ceiling track, a main body section that moves along the ceiling track together with the running section, a lifting body that is suspended from the main body section and can be raised and lowered relative to the main body section, a holding section that is fixed to the lower part of the lifting body and holds the item, and a variable stiffness mechanism that can switch between a first stiffness state in which the stiffness between the main body section and the holding section is a first stiffness and a second stiffness state in which the stiffness is a second stiffness higher than the first stiffness, and the variable stiffness mechanism switches between the first stiffness state and the second stiffness state depending on the traveling state of the ceiling transport vehicle.
  • the rigidity between the main body and the holding part changes depending on the traveling state of the overhead transport vehicle, including when it is stopped, so that it is possible to prevent vibrations from being transmitted to the goods and to make the goods less likely to shake, and it is possible to suppress vibration and shaking of the goods depending on the state of the overhead transport vehicle.
  • variable stiffness mechanism may be switched to a first stiffness state when the speed of the overhead transport vehicle is equal to or greater than a first speed, and may be switched to a second stiffness state when the speed of the overhead transport vehicle is equal to or less than a second speed that is slower than the first speed, or when the overhead transport vehicle is stopped.
  • the rigidity between the main body and the holding part may be either or both of the connection rigidity, which is the rigidity between the main body and the lifting body, and the holding rigidity, which is the rigidity between the lifting body and the article, when the holding part is holding the article.
  • variable stiffness mechanism includes an elastic body provided between the main body and the upper part of the lifting body, the main body includes a lifting drive unit capable of adjusting the compression amount of the elastic body by adjusting the position of the lifting body, and the lifting drive unit may change the connection stiffness by changing the compression amount of the elastic body.
  • variable stiffness mechanism comprises a support section provided at the bottom of the lifting body and moving up and down in response to the lifting and lowering action of the lifting body, a pressing section provided at the bottom of the support section and pressing downwardly against the article held by the holding section, and an elastic body provided between the support section and the pressing section, and the main body section comprises a lifting and lowering drive section that adjusts the amount of compression of the elastic body by adjusting the position of the lifting body, and the lifting and lowering drive section may change the holding stiffness by changing the amount of compression of the elastic body.
  • the variable stiffness mechanism includes a receiving member provided on the upper part of the lifting body, a first elastic body provided between the receiving member and the upper part of the lifting body, a support part provided on the lower part of the lifting body, a connecting member connecting the receiving member and the support part, a pressing part provided on the lower part of the support part and pressing downward the article held by the holding part, and a second elastic body provided between the support part and the pressing part
  • the main body part includes a lifting drive part that adjusts the compression amount of the first elastic body and the second elastic body by adjusting the position of the lifting body with the receiving member in contact with the main body part, and the greater the compression amount of the first elastic body and the second elastic body, the higher the connection stiffness and the holding stiffness become, and in the first stiffness state, the compression amount of the first elastic body and the second elastic body may be controlled to the first compression amount, and in the second stiffness state, the compression amount of the first elastic body and the second elastic body may be controlled to the second compression amount that
  • the main body is provided with a side-moving mechanism that moves the lifting body to the side in the traveling direction, and the side-moving mechanism may move the lifting body to the side when in the second rigidity state.
  • FIG. 1 is a diagram conceptually illustrating a ceiling transport vehicle according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is a diagram showing a schematic diagram of lateral transfer of the ceiling transport vehicle according to the present embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram showing an initial state of the ceiling transport vehicle according to the present embodiment.
  • 1 is a diagram showing a state in which the ceiling transport vehicle according to the embodiment is holding a container.
  • FIG. 13 is a diagram showing an example of a storage state according to the embodiment.
  • 5A and 5B are diagrams illustrating a vibration suppression state according to the embodiment.
  • 11A and 11B are diagrams illustrating a vibration suppression state according to the embodiment.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a flow of operations of the ceiling transport vehicle 1 according to the present embodiment.
  • 11A and 11B are diagrams illustrating a first modified example of the variable stiffness mechanism according to the present embodiment.
  • 13A and 13B are diagrams illustrating a second modified example of the variable stiffness mechanism
  • the directions in the drawings may be explained using the XYZ coordinate system.
  • a plane parallel to the horizontal plane is the XY plane.
  • One direction in this XY plane is referred to as the X direction
  • the direction perpendicular to the X direction is referred to as the Y direction.
  • the direction perpendicular to the XY plane is referred to as the Z direction.
  • the X, Y, and Z directions are explained by assuming that the direction indicated by the arrow in the drawing is the + direction, and the direction opposite to the direction indicated by the arrow is the - direction.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram of a ceiling transport vehicle according to this embodiment.
  • FIG. 1 conceptually shows a view of the ceiling transport vehicle 1 according to this embodiment from the -Y direction side.
  • the ceiling transport vehicle 1 travels along a ceiling track R that is set at a position higher than the floor surface, such as the ceiling of a clean room, and transports the container 100 in a suspended state within the storage space AS.
  • the ceiling transport vehicle 1 is used to transport the container 100, for example, between a processing device and a container storage device, or between two processing devices.
  • the X direction in FIG. 1 is the traveling direction of the ceiling transport vehicle 1.
  • the Z direction in FIG. 1 is the vertical direction of the ceiling transport vehicle 1.
  • the ceiling transport vehicle 1 is used to transport the container 100, for example, between a processing device and a container storage device, or between two processing devices.
  • the processing device is, for example, a film forming device, a coater developer, an exposure device, an etching device, etc., and performs various processes in the process of manufacturing a device (e.g., a semiconductor device).
  • the container storage device is, for example, disposed on a transport path for transporting the container 100, and temporarily stores the container 100.
  • the container storage device is, for example, disposed near the ceiling.
  • the container 100 stores, for example, a wafer or a reticle used in the manufacture of a semiconductor element.
  • the container 100 is, for example, a FOUP (Front Opening Unified Pod), a SMIF Pod, or a reticle pod, the inside of which can be purged.
  • the container 100 is an example of an "article" in the present invention.
  • the ceiling transport vehicle 1 includes, for example, a running section 2, a connecting section 3a, a support section 3b, a main body section 4, covers 5a and 5b, a lifting section 6, and a control device 9.
  • the traveling unit 2 includes wheels 2a and a traveling drive unit 2b.
  • the wheels 2a are arranged so as to be in contact with the ceiling track R, and are driven to rotate by the driving force of the traveling drive unit 2b.
  • the traveling drive unit 2b generates the driving force for traveling the ceiling transport vehicle 1.
  • the traveling drive unit 2b has a traveling motor such as a linear motor or a rotary motor.
  • the traveling drive unit 2b also has a rotary encoder or a linear encoder.
  • the traveling drive unit 2b controls the linear motor or the rotary motor based on the detection results such as the number of rotations of the wheels 2a detected by the rotary encoder or the linear encoder, and performs the speed or stopping position of the ceiling transport vehicle 1.
  • the connecting part 3a connects the traveling drive part 2b and the support part 3b.
  • one end of the connecting part 3a is connected to the traveling drive part 2b, and the other end is connected to the support part 3b.
  • the support part 3b is disposed along a horizontal plane and supports the main body part 4.
  • the main body 4 is connected to the travel drive unit 2b via the connector 3a, and moves along the ceiling track together with the travel unit 2.
  • the main body 4 includes, for example, a lifting device 7 and a side-pull mechanism 8.
  • the lifting device 7 includes a lifting drive unit 11 and a hanging member 12.
  • the lifting device 7 lowers or raises the lifting section 6 at a predetermined speed, and holds the lifting section 6 at a target height.
  • the lifting section 6 is suspended from the main body section 4 by a number of hanging members 12.
  • the lifting drive section 11 is, for example, a hoist, and lowers the lifting section 6 by paying out the number of hanging members 12.
  • the lifting drive section 11 also raises the lifting section 6 by winding up the number of hanging members 12.
  • the lifting drive unit 11 includes one or more rotating bodies 110 and a lifting motor 120.
  • the rotating body 110 is, for example, a cylindrical drum having a winding surface for the hanging members 12 on its outer periphery.
  • the lifting motor 120 is an electric motor that rotates the rotating body 110 to wind and unwind (unwind) the multiple hanging members 12.
  • the lifting drive unit 11 may have rollers such as pulleys that support the multiple hanging members 12. When the lifting unit 6 is suspended using the hanging members 12, the lifting drive unit 11 only needs to have a configuration for winding and unwinding the hanging members 12, and does not necessarily need to have the rotating body 110 and the lifting motor 120.
  • the hanging member 12 is, for example, a belt.
  • the lifting unit 6 is suspended from the main body unit 4 by, for example, three or four hanging members 12.
  • a conductive member such as a cable is provided within the hanging member 12, and power is supplied from the main body unit 4 to the lifting unit 6 via this conductive member.
  • the lateral extension mechanism 8 performs a lateral extension operation to extend the lift drive unit 11 to the left and right relative to the running direction of the main body unit 4.
  • the running direction of the main body unit 4 is the direction in which the ceiling transport vehicle 1 runs along the ceiling track R by the running unit 2, i.e., the X direction.
  • the left and right direction is the direction perpendicular to the running direction, i.e., the Y direction.
  • This left and right direction is the direction in which the lateral extension mechanism 8 extends the lift drive unit 11 to the left, and is hereinafter referred to as the lateral extension direction D.
  • the lateral extension mechanism 8 includes, for example, a base portion 13 and one or more slide portions 14.
  • the lateral extension mechanism 8 illustrated in Figs. 1 and 2 has two slide portions 14.
  • One slide portion 14 is referred to as the "first slide portion 14A” and the other slide portion 14 is referred to as the "second slide portion 14B.”
  • the base portion 13 is attached below the connecting portion 3a.
  • the base portion 13 is attached, for example, to the support portion 3b.
  • the base portion 13 is, for example, a plate-shaped member.
  • the base portion 13 is positioned so that the plane of the base portion 13 is parallel to the horizontal direction.
  • the first slide portion 14A is disposed on the underside of the base portion 13.
  • the first slide portion 14A is, for example, a plate-shaped member, and is disposed so that its plane is parallel to the plane of the base portion 13 in the Z direction.
  • the first slide portion 14A has, for example, the same shape as the base portion 13.
  • the first slide portion 14A is movable in a lateral direction relative to the base portion 13.
  • the second slide portion 14B is disposed on the underside of the first slide portion 14A.
  • the second slide portion 14B is, for example, a plate-shaped member, and is disposed so that its plane is parallel to the plane of the base portion 13 and the plane of the first slide portion 14A in the Z direction.
  • the second slide portion 14B has, for example, the same shape as the first slide portion 14A.
  • a lifting drive unit 11 is provided on the underside of the second slide portion 14B.
  • the second slide portion 14B is movable in the lateral direction relative to the first slide portion 14A.
  • the lateral extension mechanism 8 has, for example, a drive unit (not shown), such as an electric motor, and the drive force from this drive unit causes the first slide portion 14A to lateralize in the lateral extension direction D relative to the base portion 13, and in conjunction with the lateral extension of the first slide portion 14A, causes the second slide portion 14B to lateralize in the same lateral extension direction D relative to the first slide portion 14A.
  • the lateral extension mechanism 8 only needs to have a configuration that can extend the lift drive unit 11 in the lateral extension direction D, and may employ a configuration other than the base unit 13 and one or more slide units 14.
  • a cover 5a is provided on the -X side of the main body 4, and a cover 5b is provided on the +X side.
  • Covers 5a and 5b are each fixed to support 3b and are arranged to extend from support 3b in the -Z direction.
  • the pair of covers 5a, 5b form a space in which the container 100 is accommodated, i.e., an accommodation space AS.
  • the lifting unit 6 includes a lifting platform 20, a holding unit 21, and a variable stiffness mechanism 40.
  • the lifting platform 20 is an example of a lifting body.
  • the lifting body is not limited to the lifting platform 20, and may be any body that can be raised and lowered relative to the main body 4.
  • the other ends of the multiple hanging members 12 are fixed to the lifting platform 20.
  • the lifting platform 20 is, for example, a plate-shaped member, and is suspended by the multiple hanging members 12 so that its plane is parallel to the horizontal plane.
  • the holding unit 21 is fixed to the underside of the lifting platform 20.
  • the holding unit 21 holds the container 100.
  • the holding unit 21 holds the container 100 by gripping the flange 100A of the container 100, thereby suspending and holding the container 100.
  • the method by which the holding unit 21 grips the container 100 is not particularly limited, and the container 100 may be gripped from above, or may be gripped by pinching it from the left and right.
  • the holding unit 21 is, for example, a chuck equipped with multiple claws 21a that can move horizontally.
  • the holding unit 21 moves the claws 21a below the flange 100A by the driving force of a motor or the like.
  • the lifting drive unit 11 winds up the hanging member 12, causing the holding unit 21 to rise, thereby holding the container 100 in a suspended state.
  • the variable stiffness mechanism 40 is capable of switching between a first stiffness state in which the stiffness between the main body 4 and the holding part 21 is a first stiffness, and a second stiffness state in which the stiffness is a second stiffness higher than the first stiffness, when the holding part 21 is holding the container 100 within the storage space AS.
  • the variable stiffness mechanism 40 has a first variable stiffness mechanism 22 and a second variable stiffness mechanism 23.
  • the stiffness between the main body 4 and the holding part 21 is both the connection stiffness Ru between the main body 4 and the lifting platform 20 and the holding stiffness Rd between the lifting platform 20 and the flange 100A of the container 100.
  • the first variable stiffness mechanism 22 has a mechanism that can adjust the connection stiffness Ru between the main body 4 and the lifting platform 20 when the holding part 21 is holding the container 100.
  • the first variable stiffness mechanism 22 is provided, for example, on the upper surface side of the lifting platform 20.
  • the first variable stiffness mechanism 22 includes, for example, a receiving member 30 and a first elastic body 31.
  • the receiving member 30 is provided on the upper part of the lifting platform 20.
  • the upper surface of the receiving member 30 receives the lower surface of the lifting drive unit 11. Specifically, when the ceiling transport vehicle 1 stores the container 100 in the storage space AS, the upper surface of the receiving member 30 comes into contact with the lower surface of the lifting drive unit 11.
  • the receiving member 30 is, for example, a plate-shaped member, and is arranged so that its flat surface (upper and lower surfaces) is parallel to the horizontal plane.
  • the first elastic body 31 is provided between the lower surface of the receiving member 30 and the upper surface of the lifting platform 20.
  • the first elastic body 31 includes, for example, one or more of a gel material, a rubber material, and a compression spring.
  • the upper end of the first elastic body 31 is in contact with the receiving member 30, and the lower end is in contact with the upper surface of the lifting platform 20.
  • the second variable stiffness mechanism 23 has a mechanism that can adjust the holding stiffness Rd between the lift platform 20 and the flange 100A of the container 100 when the holding part 21 is holding the container 100.
  • the second variable stiffness mechanism 23 includes, for example, a support part 51, a pressing part 52, a connecting member 53, and a second elastic body 54.
  • the support part 51 is provided at the bottom of the lift platform 20.
  • the support part 51 is positioned so that its plane is parallel to the horizontal plane.
  • the pressing portion 52 is provided at the bottom of the support portion 51 and presses downward on the container 100 held by the holding portion 21.
  • the pressing portion 52 is, for example, a member that fits into a recess 100B formed in a flange 100A of the container 100 held by the holding portion 21 in order to position the holding portion 21 relative to the container 100.
  • the connecting member 53 connects the receiving member 30 and the support part 51.
  • the connecting member 53 is, for example, a member extending in the vertical direction, with one end fixed to the receiving member 30 and the other end fixed to the support part 51.
  • the connecting member 53 is movable in the vertical direction relative to the lifting platform 20. Therefore, the support part 51 is also movable in the vertical direction relative to the lifting platform 20. For example, when the receiving member 30 moves downward, the connecting member 53 also moves downward. Therefore, the support part 51 fixed to the other end of the connecting member 53 also moves downward relative to the lifting platform 20.
  • the second elastic body 54 is provided between the support portion 51 and the pressing portion 52. That is, one end of the second elastic body 54 is connected to the support portion 51, and the other end is connected to the pressing portion 52.
  • the second elastic body 54 biases the pressing portion 52 downward.
  • the second elastic body 54 includes, for example, one or more of a gel material, a rubber material, and a compression spring.
  • the control device 9 may include a processor such as a CPU (Central Processing Unit) or an MPU (Micro Processing Unit) and non-volatile or volatile semiconductor memory (e.g., RAM (Random Access Memory), ROM (Read Only Memory), flash memory, EPROM (Erasable Programmable Read Only Memory), EEPROM (Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)).
  • a processor such as a CPU (Central Processing Unit) or an MPU (Micro Processing Unit) and non-volatile or volatile semiconductor memory (e.g., RAM (Random Access Memory), ROM (Read Only Memory), flash memory, EPROM (Erasable Programmable Read Only Memory), EEPROM (Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)).
  • the control device 9 may be a microcontroller such as an MCU.
  • the control device 9 controls various operations of the ceiling transport vehicle 1.
  • the control device 9 controls the travel of the ceiling transport vehicle 1 by controlling the travel drive unit 2b.
  • the control device 9 controls the lateral ejection operation by the lateral ejection mechanism 8 by controlling the drive unit (e.g., an electric motor) provided in the lateral ejection mechanism 8.
  • the drive unit e.g., an electric motor
  • the control device 9 controls the lifting drive unit 11.
  • the control device 9 controls the rotation of the lifting motor 120 to control the winding and unwinding (lowering) of the hanging member 12.
  • the control device 9 can control the position of the lifting unit 6 in the Z direction (hereinafter referred to as the "position of the lifting unit 6") by controlling the rotation of the lifting motor 120.
  • Figure 2 is a schematic diagram showing the lateral transfer of the ceiling transport vehicle according to this embodiment.
  • Lateral transfer refers to transferring the container 100 to a predetermined position by unwinding the hanging member 12 after a lateral transfer operation.
  • the ceiling transport vehicle 1 travels, for example, to a predetermined position (hereinafter referred to as the "transport position") on the ceiling track R with the container 100 stored in the storage space AS, and performs the lateral transfer at the transport position.
  • the control device 9 controls the rotation of the lifting motor 120 to change the position of the lifting unit 6, thereby operating the first variable stiffness mechanism 22 and the second variable stiffness mechanism 23. This allows the control device 9 to adjust both the connection stiffness Ru and the holding stiffness Rd. In other words, when the holding unit 21 is holding the container 100 and the upper surface of the receiving member 30 is in contact with the lower surface of the lifting drive unit 11, the control device 9 can adjust both the connection stiffness Ru and the holding stiffness Rd by adjusting the position of the lifting unit 6.
  • the control device 9 changes both the connection stiffness Ru and the holding stiffness Rd according to the running state of the ceiling transport vehicle 1.
  • the running state includes, for example, at least one of the following: the start of running of the ceiling transport vehicle 1 containing the container 100, a state in which the speed of the ceiling transport vehicle 1 is equal to or greater than a first threshold (hereinafter referred to as the "first running state”), the start of the stopping operation of the ceiling transport vehicle 1 containing the container 100, a state in which the speed of the ceiling transport vehicle 1 is less than a second threshold (hereinafter referred to as the "second running state”), and a state in which the ceiling transport vehicle 1 is stopped (hereinafter referred to as the "stopped state”).
  • the second threshold is smaller than the first threshold in order to form hysteresis, but may be the same value as the first threshold.
  • the second traveling state may be a state in which the ceiling transport vehicle 1, which is traveling along the ceiling track R while holding the container 100, decelerates in order to stop, and the speed of the decelerating ceiling transport vehicle 1 becomes less than a second threshold value that is slower than the first threshold value.
  • the second traveling state may not include the state from when the ceiling transport vehicle 1 starts traveling until the speed of the ceiling transport vehicle 1 becomes equal to or greater than the second threshold value, or may include this state.
  • the control device 9 may, for example, determine whether the current running state of the ceiling transport vehicle 1 is the first running state or the second running state.
  • the control device 9 may, for example, determine whether the current running state of the ceiling transport vehicle 1 is the first running state or the second running state by directly measuring the speed of the ceiling transport vehicle 1 with a speed sensor or the like.
  • the control device 9 may, for example, indirectly obtain the speed of the ceiling transport vehicle 1 by measuring values such as the rotation speed of the travel drive unit 2b and the voltage supplied to the travel drive unit 2b, and determine whether the current running state of the ceiling transport vehicle 1 is the first running state or the second running state.
  • a section in which the ceiling transport vehicle 1 travels at a speed equal to or greater than the first threshold (hereinafter referred to as the "first section"), a section in which the ceiling transport vehicle 1 travels at a speed less than the second threshold (hereinafter referred to as the "second section"), and a section in which the ceiling transport vehicle 1 stops (hereinafter referred to as the "third section") are set in advance, and the control device 9 may determine whether the ceiling transport vehicle 1 is in the first or second running state by determining whether the ceiling transport vehicle 1 is currently in the first, second, or third section.
  • it is sufficient to directly or indirectly determine whether the ceiling transport vehicle 1 is currently in the first or second running state and there is no particular limitation regarding the method of determination.
  • control device 9 may determine whether the ceiling transport vehicle 1 is currently in a stopped state based on the sensor result of the speed sensor, the number of rotations of the travel drive unit 2b, the voltage supplied to the travel drive unit 2b, and the like, or may determine that the ceiling transport vehicle 1 is currently in a stopped state when it detects that the ceiling transport vehicle 1 is currently in the third section.
  • the control device 9 controls the position of the lifting unit 6 so that, for example, both the connection stiffness Ru determined by the first variable stiffness mechanism 22 and the holding stiffness Rd determined by the second variable stiffness mechanism 23 are higher in the second running state or when the ceiling transport vehicle 1 is stopped than in the first running state.
  • the control device 9 controls the connection stiffness Ru to the first connection stiffness Ru1 and the holding stiffness Rd to the first holding stiffness Rd1 by setting the position of the lifting unit 6 to the first position P1 (see, for example, FIG. 6).
  • the state in which the connection stiffness Ru is controlled to the first connection stiffness Ru1 and the holding stiffness Rd is controlled to the first holding stiffness Rd1 may be referred to as the "vibration suppression state".
  • the vibration suppression state is a state in which vibration of the container 100 is suppressed during running.
  • the vibration suppression state is an example of the first stiffness state.
  • the position of the lifting unit 6 is set to the second position P2 (see FIG. 7, for example) higher than the first position P1, so that the connection stiffness Ru is set to the second connection stiffness Ru2 higher than the first connection stiffness Ru1, and the holding stiffness Rd is set to the second holding stiffness Rd2 higher than the first holding stiffness Rd1.
  • the state in which the connection stiffness Ru is controlled to the second connection stiffness Ru2 and the holding stiffness Rd is controlled to the second holding stiffness Rd2 may be referred to as the "sway suppression state.”
  • the sway suppression state is a state in which the sway of the container 100 is suppressed. Note that when the lifting unit 6 is in the first position P1 and the second position P2, the upper surface of the receiving member 30 is in contact with the lower surface of the lifting drive unit 11.
  • the sway suppression state is an example of the second stiffness state.
  • Figure 3 shows the ceiling transport vehicle 1 in a state where it is not holding a container 100 (hereinafter referred to as the "initial state").
  • the holding part 21 is not holding a container 100, and the upper surface of the receiving member 30 is not in contact with the lower surface of the lifting drive part 11.
  • Figure 4 shows the state where the ceiling transport vehicle 1 is holding a container 100.
  • the lifting drive unit 11 Under the control of the control device 9, pays out the hanging member 12 to lower the lifting unit 6.
  • the lifting unit 6 descends, as shown in FIG. 4, the pressing unit 52 fits into the recess 100B of the flange 100A, and the pressing unit 52 rises relative to the holding unit 21, which descends under its own weight.
  • the lifting drive unit 11 stops the descent of the lifting unit 6, assuming that the holding unit 21 has reached the holding position.
  • the holding unit 21 holds the container 100 by moving the claw portion 21a below the flange 100A based on instructions from the control unit 9.
  • the lifting drive unit 11 under the control of the control unit 9, lifts the lifting unit 6 by winding up the multiple hanging members 12.
  • the container 100 is accommodated in the accommodation space AS.
  • the state in which the container 100 is accommodated in the accommodation space AS may be referred to as the "accommodated state”.
  • FIG. 5 is a diagram showing an example of the stored state according to this embodiment.
  • the upper surface of the receiving member 30 is in contact with the lower surface of the lifting drive unit 11.
  • the first variable stiffness mechanism 22 operates to increase the connection stiffness Ru between the main body 4 and the lifting platform 20.
  • the first elastic body 31 is compressed, and an elastic force in the vertical direction corresponding to the amount of compression is generated.
  • the lifting unit 6 against the lifting drive unit 11 (main body 4)
  • the first elastic body 31 is compressed, and an elastic force in the vertical direction corresponding to the amount of compression is generated.
  • the first elastic body 31 urges the receiving member 30 upward and urges the lifting platform 20 downward by this elastic force.
  • the compression amount of the first elastic body 31 may be, for example, the length of the first elastic body 31 that changes when the upper surface of the receiving member 30 is pressed against the lower surface of the lifting drive unit 11.
  • the ceiling transport vehicle 1 can change the compression amount of the first elastic body 31 by changing the distance L between the lift drive unit 11 and the lift platform 20, and as a result, the connection rigidity Ru can be changed.
  • the lifting platform 20 moves upward. That is, when the first elastic body 31 is compressed, the second variable stiffness mechanism 23 operates and the pressing part 52 is displaced upward relative to the support part 51. As a result, the second elastic body 54 is compressed and the holding stiffness Rd between the lifting platform 20 and the flange 100A of the container 100 increases. Specifically, an elastic force in the vertical direction corresponding to the compression amount of the second elastic body 54 is generated. The second elastic body 54 presses the pressing part 52 against the flange 100A with an elastic force corresponding to the compression amount of the second elastic body 54.
  • the amount of compression of the second elastic body 54 varies depending on the distance between the support portion 51 and the pressing portion 52.
  • the distance between the support portion 51 and the pressing portion 52 varies depending on the distance L between the lift drive portion 11 and the lift platform 20. Therefore, the amount of compression of the second elastic body 54 varies depending on the distance L between the lift drive portion 11 and the lift platform 20, just like the amount of compression of the first elastic body 31. In other words, by pressing the lift portion 6 against the lift drive portion 11 (main body portion 4), not only the first elastic body 31 but also the second elastic body 54 is compressed.
  • the ceiling transport vehicle 1 can change the compression amount of the second elastic body 54 by changing the distance L between the lift drive unit 11 and the lift platform 20, and as a result, the holding rigidity Rd can be changed.
  • changing the distance L between the lift drive unit 11 and the lift platform 20 is synonymous with changing the pressing force F, which is the force pressing the lift unit 6 against the lift drive unit 11 (main body unit 4). Therefore, the ceiling transport vehicle 1 can change the compression amount of the first elastic body 31 and the compression amount of the second elastic body 54 by changing the pressing force F, and as a result, the connection rigidity Ru and holding rigidity Rd can be changed.
  • connection stiffness Ru and the holding stiffness Rd are explained below.
  • Figure 6 is a diagram explaining the connection stiffness Ru and the holding stiffness Rd in the vibration suppression state.
  • Figure 7 is a diagram explaining the connection stiffness Ru and the holding stiffness Rd in the sway suppression state.
  • the control device 9 controls the pressing force F to a first pressing force F1, as illustrated in FIG. 6, to place the ceiling transport vehicle 1 in a vibration suppression state.
  • the traveling state is the first traveling state
  • the control device 9 controls the position of the lifting unit 6 to a first position P1, thereby pressing the upper surface of the receiving member 30 against the lower surface of the lifting drive unit 11 with the first pressing force F1.
  • the distance L between the lifting drive unit 11 and the lifting platform 20 in the vibration suppression state is referred to as the "first distance L1".
  • the compression amount of the first elastic body 31 is the first compression amount
  • the compression amount of the second elastic body 54 is the first compression amount. Therefore, the connection stiffness Ru becomes the first connection stiffness Ru1 according to the first compression amount, and the holding stiffness Rd becomes the first holding stiffness Rd1 according to the first compression amount.
  • the control device 9 controls the pressing force F to a second pressing force F2 to put the ceiling transport vehicle 1 into a vibration suppression state.
  • the second pressing force F2 is greater than the first pressing force F1.
  • the control device 9 controls the distance between the lifting drive unit 11 and the lifting platform 20 to a second distance L2 that is narrower than the first distance L1 by gradually changing the position of the lifting unit 6 to a second position P2 that is higher than the first position P1.
  • the vibration suppression state shown in FIG. 7 is a state in which the position of the lifting unit 6 is raised from the first position P1 to the second position P2 by winding up the multiple hanging members 12 by a preset amount from the vibration suppression state shown in FIG. 6.
  • the compression amount of the first elastic body 31 and the compression amount of the second elastic body 54 become a second compression amount (>first compression amount) that is greater than the first compression amount. Therefore, the connection stiffness Ru becomes a second connection stiffness Ru2 according to the second compression amount, and the second connection stiffness Ru2 in the vibration suppression state is higher than the first connection stiffness Ru1 in the vibration suppression state.
  • the holding stiffness Rd becomes a second holding stiffness Rd2 according to the second compression amount, and the second holding stiffness Rd2 in the vibration suppression state is higher than the first holding stiffness Rd1 in the vibration suppression state.
  • the state of the ceiling transport vehicle 1 switches to a vibration suppression state
  • the state of the ceiling transport vehicle 1 switches to a sway suppression state.
  • the ceiling transport vehicle 1 travels with the position of the lifting unit 6 lowered from the second position P2 to the first position P1 so that in the first traveling state, the pressing force F becomes the first pressing force F1 that is weaker than the second pressing force F2 (FIG. 6).
  • the ceiling transport vehicle 1 travels or stops with the position of the lifting unit 6 raised from the first position P1 to the second position P2 so that in the second traveling state, the pressing force F becomes the second pressing force F2 that is stronger than the first pressing force F1.
  • the pressing force F is changed stepwise from the first pressing force F1 to the second pressing force F2.
  • switching from a vibration suppression state to a shaking suppression state, or switching from a shaking suppression state to a vibration suppression state may be performed stepwise rather than discontinuously.
  • the vibration and shaking of the container 100 held by the ceiling transport vehicle 1 will be described.
  • the vibration of the ceiling transport vehicle 1 may be transmitted to the container 100, causing the container 100 to vibrate.
  • the wheels 2a rolling on the ceiling track R may be subjected to an impact at the joint (connection) of the ceiling track R.
  • some impact may be applied to the wheels 2a when the ceiling transport vehicle 1 travels over the step.
  • the vibrations may be applied to the container 100. For this reason, it is desirable to suppress such vibrations as much as possible.
  • the ceiling transport vehicle 1 When the ceiling transport vehicle 1 performs a transfer operation such as moving the container 100 to the side or lowering it at a transfer position on the ceiling track R, the ceiling transport vehicle 1 stops at that transfer position and then starts the transfer operation.
  • the container 100 may be swinging significantly in the travel direction or sideways. If the transfer operation to the load port is started while the container 100 is swinging significantly, the container 100 may run up onto the carrier guide on the load port. For this reason, it is possible to wait at the transfer position without starting the transfer operation until the swinging of the container 100 stops, but in that case the transfer time will be longer and the transport capacity will be reduced. Therefore, during the transfer operation, it is desirable to suppress the swinging of the container 100 as much as possible.
  • connection stiffness Ru and the holding stiffness Rd are always kept constant regardless of the traveling state by controlling the pressing force F to always be constant.
  • the pressing force F is increased to maintain the connection stiffness Ru and the holding stiffness Rd at a high state.
  • the shaking of the container 100 during the transfer operation can be suppressed, but the vibration of the container 100 during traveling cannot be suppressed and increases.
  • the connection stiffness Ru and the holding stiffness Rd are high, they are easily transmitted to the container 100 via the main body part 4 and the lifting part 6.
  • connection stiffness Ru and holding stiffness Rd are set to suppress the shaking of the container 100 during the transfer operation, the vibration of the container 100 during traveling cannot be suppressed.
  • a low connection stiffness Ru and holding stiffness Rd are set to suppress the vibration of the container 100 during traveling, the shaking of the container 100 during the transfer operation cannot be suppressed.
  • connection stiffness Ru and the holding stiffness Rd are always kept constant regardless of the traveling state, it is possible to suppress only one of the vibration of the container 100 during traveling and the shaking of the container 100 during the transfer operation.
  • the ceiling transport vehicle 1 does not always control the pressing force F to be constant, but changes the pressing force F according to the traveling state of the ceiling transport vehicle 1.
  • the ceiling transport vehicle 1 changes the connection stiffness Ru and the holding stiffness Rd according to the traveling state of the ceiling transport vehicle 1. For example, when traveling in the first traveling state, the ceiling transport vehicle 1 sets the pressing force F to the first pressing force F1, thereby lowering the connection stiffness Ru and the holding stiffness Rd and establishing a vibration suppression state in which the vibration due to the above-mentioned impact is not easily transmitted to the container 100.
  • the ceiling transport vehicle 1 sets the pressing force F to the second pressing force F2 higher than the first pressing force F1, thereby increasing the connection stiffness Ru and the holding stiffness Rd and establishing a vibration suppression state in which the vibration of the container 100 is suppressed. This makes it possible to effectively suppress both the vibration of the container 100 during traveling and the vibration of the container 100 during the transfer operation.
  • FIG. 8 is a diagram for explaining an example of the flow of operation of the ceiling transport vehicle 1 according to this embodiment.
  • the ceiling transport vehicle 1 travels along the ceiling track R without holding the container 100, and stops at a predetermined position on the ceiling track R (step S101).
  • the lifting drive unit 11 lowers the lifting unit 6 to a specified position (step S102), and the pressing unit 52 fits into the recess 100B of the flange 100A, and the holding unit 21 reaches the holding position.
  • the holding unit 21 reaches the holding position, the lowering of the lifting unit 6 stops, and the holding unit 21 holds the container 100 (step S103).
  • the ceiling transport vehicle 1 raises the lifting unit 6 (step S104).
  • the pressing force F is set to the first pressing force F1, thereby setting the connection stiffness Ru to the first connection stiffness Ru1, and the holding stiffness Rd to the first holding stiffness Rd1.
  • the control device 9 controls the ceiling transport vehicle 1 to a vibration suppression state by setting the pressing force F to the first pressing force F1 (step S105).
  • the first connection stiffness Ru1 and the first holding stiffness Rd1 are adjusted, for example, so that the vibration of the container 100 during travel is within an acceptable range.
  • the ceiling transport vehicle 1 travels on the ceiling track R toward the transport position while maintaining the pressing force F at the first pressing force F1 (step S106).
  • the control device 9 gradually reduces the speed of the ceiling transport vehicle 1 in order to stop it at the transport position (step S107). Then, when the speed of the ceiling transport vehicle 1 becomes equal to or lower than the second threshold value, the control device 9 changes the pressing force F from the first pressing force F1 to the second pressing force F2.
  • the control device 9 changes the pressing force F to the second pressing force F2, thereby transitioning the ceiling transport vehicle 1 from the vibration suppression state to the sway suppression state (step S108).
  • the second connection stiffness Ru2 and the second holding stiffness Rd2 are adjusted, for example, so that the sway of the container 100 is within an acceptable range.
  • the side-exiting mechanism 8 moves the lifting platform 20 to the side (step S110).
  • the pressing force F is maintained at the second pressing force F2 even when the ceiling transport vehicle 1 stops at the transport position. Therefore, the side-exiting mechanism 8 moves the lifting platform 20 to the side in a state in which the connection stiffness Ru is maintained at the second connection stiffness Ru2 and the holding stiffness Rd is maintained at the second holding stiffness Rd2.
  • the side-exiting mechanism 8 moves the lifting platform 20 to the side when the ceiling transport vehicle 1 is in a shaking suppression state. This makes it possible to effectively suppress shaking of the container 100 during side-exiting.
  • the ceiling transport vehicle 1 does not have to transition to the vibration suppression state in step S105 of FIG. 8.
  • the control device 9 may transition the ceiling transport vehicle 1 to the vibration suppression state by setting the pressing force F to the first pressing force F1 when the speed of the ceiling transport vehicle 1 becomes equal to or greater than the first threshold in step S106.
  • the control device 9 may control the ceiling transport vehicle 1 to the vibration suppression state when the lifting unit 6 is raised to accommodate the container 100 in the accommodation space AS in step S105.
  • the ceiling transport vehicle 1 may then start traveling in the vibration suppression state in step S106, and transition the ceiling transport vehicle 1 from the vibration suppression state to the vibration suppression state by setting the pressing force F to the first pressing force F1 when the speed of the ceiling transport vehicle 1 becomes equal to or greater than the first threshold.
  • variable stiffness mechanism 40 in the above-described embodiment includes the first variable stiffness mechanism 22 and the second variable stiffness mechanism 23, but is not limited to this.
  • the variable stiffness mechanism 40 may include, for example, either the first variable stiffness mechanism 22 or the second variable stiffness mechanism 23.
  • Figure 9 is a diagram showing a first modified example of the variable stiffness mechanism 40.
  • the variable stiffness mechanism 40 of the first modified example shown in Figure 9 is the first variable stiffness mechanism 22.
  • the stiffness between the main body 4 and the holding part 21 is the connection stiffness Ru.
  • the connection stiffness Ru which is the stiffness between the lifting drive part 11 and the lifting platform 20
  • the connection stiffness Ru is changed according to the traveling state of the ceiling transport vehicle 1, including when it is stopped.
  • the connection stiffness Ru is the first connection stiffness Ru1.
  • the connection stiffness Ru is the second connection stiffness Ru2.
  • FIG. 10 is a diagram showing a second modified example of the variable stiffness mechanism 40.
  • the variable stiffness mechanism 40 of the second modified example shown in FIG. 10 is the second variable stiffness mechanism 23.
  • the second variable stiffness mechanism 23 of the second modified example further includes a receiving member 30, as an example.
  • the rigidity between the main body 4 and the holding part 21 is the holding rigidity Rd.
  • the holding rigidity Rd which is the rigidity between the lift platform 20 and the container 100, is changed according to the traveling state of the ceiling transport vehicle 1, including when it is stopped.
  • the holding rigidity Rd is the first holding rigidity Rd1.
  • the holding rigidity Rd is the second holding rigidity Rd2.
  • the first variable stiffness mechanism 22 and the second variable stiffness mechanism 23 may be independently controllable.
  • a first motor that operates the first variable stiffness mechanism 22 and a second motor that operates the second variable stiffness mechanism 23 may be provided, and the control device 9 may operate the first motor to change the coupling stiffness Ru and control the second motor to change the holding stiffness Rd.
  • a ceiling transport vehicle 1 that travels along a ceiling track R while holding an article (container 100), A running section 2 that runs along a ceiling track R; A main body 4 that moves along a ceiling track R together with the running part 2; A lift table 20 that is suspended from the main body 4 and can be raised and lowered relative to the main body 4; A holding part 21 that is fixed to the lower part of the lifting platform 20 and holds an article (container 100); a variable stiffness mechanism 40 capable of switching between a first stiffness state (vibration suppression state) in which the stiffness between the main body portion 4 and the holding portion 21 is a first stiffness and a second stiffness state in which the stiffness is a second stiffness higher than the first stiffness; Equipped with The variable stiffness mechanism 40 switches between a first stiffness state (vibration suppression state) and a second stiffness state (sway suppression state) depending on the traveling state of the ceiling transport vehicle 1.
  • the variable stiffness mechanism 40 is When the speed of the ceiling transport vehicle 1 is equal to or higher than a first speed, the state is switched to a first rigidity state (vibration suppression state), and when the speed of the ceiling transport vehicle 1 is equal to or lower than a second speed that is slower than the first speed or when the ceiling transport vehicle is stopped, the state is switched to a second rigidity state (sway suppression state).
  • the ceiling transport vehicle 1 according to configuration 1.
  • the rigidity is either or both of a connection rigidity Ru between the main body 4 and the lift platform 20 and a holding rigidity Rd between the lift platform 20 and the article (container 100) when the holding part 21 is holding the article (container 100).
  • the ceiling transport vehicle 1 according to configuration 1 or 2.
  • the variable stiffness mechanism 40 includes an elastic body (first elastic body 31) provided between the main body 4 and an upper portion of the lift table 20,
  • the main body 4 includes a lift driver 11 that can adjust the compression amount of the elastic body by adjusting the position of the lift platform 20.
  • variable stiffness mechanism 40 is A support portion 51 is provided under the lift platform 20 and moves up and down in response to the lift platform 20 being raised and lowered; A pressing portion 52 is provided at the lower portion of the support portion and presses downward the article (container 100) held by the holding portion 21; an elastic body (second elastic body 54) provided between the support portion and the pressing portion; Equipped with The main body 4 includes a lift driver 11 that adjusts the position of the lift platform 20 to adjust the compression amount of the elastic body.
  • the ceiling transport vehicle 1 of any one of configurations 1 to 3, wherein the lifting drive unit 11 changes the holding rigidity Rd by changing the compression amount of the elastic body.
  • the variable stiffness mechanism 40 is A receiving member 30 provided on the upper part of the lift table 20; a first elastic body 31 provided between the receiving member 30 and an upper portion of the lift table 20; A support portion 51 provided at the lower portion of the lift platform 20; A connecting member 53 that connects the receiving member and the support portion; A pressing portion 52 is provided at the lower portion of the support portion and presses downward the article (container 100) held by the holding portion 21; a second elastic body 54 provided between the support portion and the pressing portion; Equipped with The main body 4 includes a lifting drive unit 11 that adjusts the position of the lifting platform 20 with the receiving member in contact with the main body 4 to adjust the compression amount of the first elastic body 31 and the second elastic body 54; As the compression amount of the first elastic body 31 and the second elastic body 54 increases, the connection rigidity Ru and the retention rigidity Rd increase.
  • the main body 4 includes a lateral movement mechanism 8 for moving the lift platform 20 laterally in the traveling direction.
  • the lateral movement mechanism 8 moves the lift platform 20 laterally when the lift platform 20 is in the second rigid state.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

【課題】物品の振動及び揺れを抑制する天井搬送車を提供する。 【解決手段】物品（容器１００）を保持しながら天井軌道に沿って走行する天井搬送車１であって、天井軌道に沿って走行する走行部と、走行部と共に天井軌道に沿って移動する本体部４と、本体部４に吊り下げられ、本体部４に対して昇降可能である昇降体２０と、昇降体２０の下部に固定され、物品（容器１００）を保持する保持部２１と、本体部４と保持部２１との間の剛性が第１剛性である第１剛性状態と、剛性が第１剛性よりも高い第２剛性である第２剛性状態とを切り替え可能な可変剛性機構４０と、を備え、可変剛性機構４０は、天井搬送車１の走行状態に応じて第１剛性状態と第２剛性状態とを切り替える。

Description

天井搬送車
　本発明は、天井搬送車に関する。
　物品を保持しながら天井軌道に沿って走行する天井搬送車が開示されている（例えば、特許文献１参照）。この天井搬送車は、物品を移載先に運ぶ場合には、物品を保持しながら天井軌道に沿って走行して所定の搬送位置まで搬送する。そして、天井搬送車は、搬送位置で物品を横出ししたり下げたりするなどの移載動作を行い、移載先への物品の移載を行う。
特開２００６－８３５４号公報
　天井搬送車では、保持している物品の振動及び揺れを抑制することは、搬送能力や移載能力を向上させる点から重要である。
　本発明は、物品の振動及び揺れを抑制する天井搬送車を提供することを目的とする。
　本発明の態様に係る天井搬送車は、物品を保持しながら天井軌道に沿って走行する天井搬送車であって、天井軌道に沿って走行する走行部と、走行部と共に天井軌道に沿って移動する本体部と、本体部に吊り下げられ、本体部に対して昇降可能である昇降体と、昇降体の下部に固定され、物品を保持する保持部と、本体部と保持部との間の剛性が第１剛性である第１剛性状態と、剛性が第１剛性よりも高い第２剛性である第２剛性状態とを切り替え可能な可変剛性機構と、を備え、可変剛性機構は、天井搬送車の走行状態に応じて第１剛性状態と第２剛性状態とを切り替える。
　本発明の態様に係る天井搬送車は、本体部と保持部との間の剛性が天井搬送車の停止を含む走行状態に応じて切り替わることで、物品への振動が伝わることを抑制したり、物品が揺れにくくしたりすることができ、天井走行車の状態に応じて物品の振動及び揺れを抑制することができる。
　上記態様に係る天井搬送車によれば、可変剛性機構は、天井搬送車の速度が第１速度以上の場合には第１剛性状態に切り替え、天井搬送車の速度が第１速度よりも遅い第２速度以下の場合又は天井搬送車が停止している場合には第２剛性状態に切り替えてもよい。このような構成によれば、走行時の物品への振動及び移載時の物品の揺れを効果的に抑制することができる。
　上記態様に係る天井搬送車によれば、本体部と保持部との間の剛性は、保持部が物品を保持している状態において、本体部と昇降体の間の剛性である連結剛性と、昇降体と物品との間の剛性である保持剛性とのいずれか又は両方であってもよい。このような構成によれば、走行時の物品への振動及び移載時の物品の揺れを効果的に抑制することができる。
　上記態様に係る天井搬送車によれば、可変剛性機構は、本体部と昇降体の上部との間に設けられた弾性体を備え、本体部は、昇降体の位置を調整することで弾性体の圧縮量を調整可能な昇降駆動部を備え、昇降駆動部は、弾性体の圧縮量を変更することで連結剛性を変更してもよい。このような構成によれば、走行時の物品への振動及び移載時の物品の揺れを効果的に抑制することができる。
　上記態様に係る天井搬送車によれば、可変剛性機構は、昇降体の下部に設けられ、昇降体の昇降動作に応じて上下方向に移動する支持部と、支持部の下部に設けられ、保持部が保持している物品を下向きに押圧する押圧部と、支持部と押圧部との間に設けられた弾性体と、を備え、本体部は、昇降体の位置を調整することで弾性体の圧縮量を調整する昇降駆動部を備え、昇降駆動部は、弾性体の圧縮量を変更することで保持剛性を変更してもよい。このような構成によれば、走行時の物品への振動及び移載時の物品の揺れを効果的に抑制することができる。
　上記態様に係る天井搬送車によれば、可変剛性機構は、昇降体の上部に設けられた受け部材と、受け部材と昇降体の上部との間に設けられた第１弾性体と、昇降体の下部に設けられた支持部と、受け部材と支持部とを連結する連結部材と、支持部の下部に設けられ、保持部が保持している物品を下向きに押圧する押圧部と、支持部と押圧部との間に設けられた第２弾性体と、を備え、本体部は、受け部材を本体部に接触させた状態で昇降体の位置を調整することで第１弾性体及び第２弾性体の圧縮量を調整する昇降駆動部を備え、第１弾性体及び第２弾性体の圧縮量が大きくなるほど連結剛性及び保持剛性が高くなり、第１剛性状態の場合には、第１弾性体及び第２弾性体の圧縮量が第１圧縮量に制御され、第２剛性状態の場合には第１弾性体及び第２弾性体の圧縮量が第１圧縮量よりも大きい第２圧縮量に制御されてもよい。このような構成によれば、走行時の物品への振動及び移載時の物品の揺れをより効果的に抑制することができる。
　上記態様に係る天井搬送車によれば、本体部は、昇降体を走行方向の側方に移動させる横出し機構を備え、横出し機構は、第２剛性状態である場合に昇降体を側方に移動させてもよい。このような構成によれば、移載時の物品の揺れを抑制することができる。
本実施形態に係る天井搬送車を概念的に示す図である。 本実施形態に係る天井搬送車の横移載を模式的に示した図である。 本実施形態に係る天井搬送車の初期状態を示す図である。 本実施形態に係る天井搬送車が容器を保持している状態を示す図である。 本実施形態に係る収容状態の一例を示す図である。 本実施形態に係る振動抑制状態を説明する図である。 本実施形態に係る揺れ抑制状態を説明する図である。 本実施形態に係る天井搬送車１の動作の流れの一例を説明する図である 本実施形態に係る可変剛性機構の第１変形例を示す図である。 本実施形態に係る可変剛性機構の第２変形例を示す図である。
　以下、実施形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定されない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。なお、図面において、同一又は類似の部分には同一の符号を付して、重複する説明を省く場合がある。また、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されるなど、実際の製品とは、形状、寸法が異なる場合がある。
　図面において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する場合がある。ＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面における一方向をＸ方向と表記し、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の指す方向が＋方向であり、矢印の指す方向とは反対の方向が－方向であるとして説明する。
　図１は、本実施形態に係る天井搬送車を概念的に示す図である。図１には、本実施形態に係る天井搬送車１を－Ｙ方向側から見た図を概念的に示した。
　天井搬送車１は、クリーンルームの天井などの床面より高い位置に設けられる天井軌道Ｒに沿って走行し、容器１００を収容空間ＡＳ内で吊り下げた状態で搬送する。天井搬送車１は、例えば、処理装置と容器保管装置との間、あるいは２つの処理装置の間などにおいて、容器１００の搬送に用いられる。なお、図１におけるＸ方向は、天井搬送車１の走行方向である。また、図１におけるＺ方向は、天井搬送車１の鉛直方向である。
　天井搬送車１は、例えば、処理装置と容器保管装置との間、あるいは２つの処理装置の間などにおいて、容器１００の搬送に用いられる。処理装置は、例えば、成膜装置、コーター・ディベロッパ、露光装置、エッチング装置などであり、デバイス（例、半導体デバイス）を製造する過程で各種処理を施す。上記容器保管装置は、例えば、容器１００を搬送する搬送経路に配置され、容器１００を一時的に保管する。上記容器保管装置は、例えば、天井の近傍に配置される。容器１００は、例えば、半導体素子の製造に用いられるウエハ又はレチクルなどを収容する。容器１００は、例えば、内部をパージ可能なＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ）、ＳＭＩＦ　Ｐｏｄ、又はレチクルＰｏｄである。なお、容器１００は、本発明の「物品」の一例である。
　天井搬送車１は、例えば、走行部２と、連結部３ａと、支持部３ｂと、本体部４と、カバー５ａ，カバー５ｂと、昇降部６と、制御装置９を備える。
　走行部２は、車輪２ａと、走行駆動部２ｂとを備える。車輪２ａは、天井軌道Ｒに接するように配置され、走行駆動部２ｂの駆動力により回転駆動する。走行駆動部２ｂは、天井搬送車１を走行させるための駆動力を発生させる。走行駆動部２ｂは、例えば、リニアモータ又は回転モータなどの走行モータを有する。また、走行駆動部２ｂは、ロータリーエンコーダ又はリニアエンコーダを有する。走行駆動部２ｂは、ロータリーエンコーダ又はリニアエンコーダにより検出された車輪２ａの回転数などの検出結果に基づいてリニアモータ又は回転モータを制御し、天井搬送車１の速度あるいは停止位置を行う。
　連結部３ａは、走行駆動部２ｂと支持部３ｂとを連結する。例えば、連結部３ａは、一端が走行駆動部２ｂに接続されており、他端が支持部３ｂに接続されている。支持部３ｂは、水平面に沿って配置され、本体部４を支持する。
　本体部４は、連結部３ａを介して走行駆動部２ｂに連結されており、走行部２と共に天井軌道に沿って移動する。本体部４は、例えば、昇降装置７と、横出し機構８とを備える。昇降装置７は、昇降駆動部１１と、吊り下げ部材１２とを備える。
　昇降装置７は、所定の速度で昇降部６を降下又は上昇させたり、昇降部６を目標の高さに保持したりする。昇降部６は、本体部４から複数の吊り下げ部材１２によって吊り下げられている。昇降駆動部１１は、例えばホイストであって、複数の吊り下げ部材１２を繰り出すことにより昇降部６を下降させる。また、昇降駆動部１１は、複数の吊り下げ部材１２を巻き取ることにより昇降部６を上昇させる。
　例えば、昇降駆動部１１は、例えば、１つ以上の回転体１１０と、昇降モータ１２０とを備える。回転体１１０は、例えば外周に吊り下げ部材１２のための巻取り面を有する円筒形状のドラムである。昇降モータ１２０は、回転体１１０を回転駆動して複数の吊り下げ部材１２の巻き取り及び繰り出し（巻下げ）を行う電動モータである。なお、昇降駆動部１１は、例えば、複数の吊り下げ部材１２を支持するプーリなどのローラを有してもよい。吊り下げ部材１２を用いて昇降部６を吊り下げている場合には、昇降駆動部１１は、吊り下げ部材１２を巻き取ったり、繰り出したりする構成を有していればよく、回転体１１０及び昇降モータ１２０を必ず有している必要はない。
　吊り下げ部材１２は、一端が昇降駆動部１１に接続され、他端が昇降部６に接続されている。吊り下げ部材１２は、例えば、ベルトである。本実施形態では、昇降部６は、例えば、３つ又は４つの吊り下げ部材１２によって本体部４から吊り下げられている。ただし、吊り下げ部材１２の数には特に限定されず、複数であればよい。例えば、吊り下げ部材１２内には、ケーブルなどの導電部材が設けられており、この導電部材を介して本体部４から電力が昇降部６に供給される。
　横出し機構８は、昇降駆動部１１を本体部４の走行方向に対する左右方向に横出しする横出し動作を行う。本体部４の走行方向は、走行部２によって天井搬送車１が天井軌道Ｒに沿って走行する方向、すなわちＸ方向である。左右方向は、走行方向に直交する方向、すなわちＹ方向である。この左右方向は、横出し機構８が昇降駆動部１１を横出しする方向であり、以下、横出し方向Ｄと称する。
　横出し機構８は、例えば、ベース部１３と、１つ以上のスライド部１４とを備える。なお、図１及び図２に例示する横出し機構８は、２つのスライド部１４を有している。なお、一方のスライド部１４を「第１スライド部１４Ａ」と称し、他方のスライド部１４を「第２スライド部１４Ｂ」と称する。
　ベース部１３は、連結部３ａの下方に取り付けられている。ベース部１３は、例えば、支持部３ｂに取り付けられている。ベース部１３は、例えば板状の部材である。ベース部１３は、ベース部１３の平面が水平方向と平行になるように配置されている。
　第１スライド部１４Ａは、ベース部１３の下面側に配置されている。第１スライド部１４Ａは、例えば板状の部材であって、Ｚ方向において平面がベース部１３の平面と平行になるように配置されている。第１スライド部１４Ａは、例えば、ベース部１３と同等の形状を有する。第１スライド部１４Ａは、ベース部１３に対して横出し方向に移動可能である。
　第２スライド部１４Ｂは、第１スライド部１４Ａの下面側に配置されている。第２スライド部１４Ｂは、例えば板状の部材であって、Ｚ方向において平面がベース部１３の平面及び第１スライド部１４Ａの平面に対して平行になるように配置されている。第２スライド部１４Ｂは、例えば、第１スライド部１４Ａと同等の形状を有する。第２スライド部１４Ｂの下面には昇降駆動部１１が設けられる。第２スライド部１４Ｂは、第１スライド部１４Ａに対して横出し方向に移動可能である。横出し機構８は、例えば、電動モータ等の不図示の駆動部を有し、この駆動部からの駆動力によって、第１スライド部１４Ａをベース部１３に対して横出し方向Ｄに横出しするとともに、第１スライド部１４Ａの横出しに連動させて、第２スライド部１４Ｂを第１スライド部１４Ａに対して同じ横出し方向Ｄに横出しする。なお、横出し機構８は、昇降駆動部１１を横出し方向Ｄに横出しできる構成を有していればよく、ベース部１３及び１つ以上のスライド部１４以外の構成を採用してもよい。
　本体部４の－Ｘ側の側方にはカバー５ａが設けられており、＋Ｘ側の側方にはカバー５ｂが設けられている。カバー５ａ及びカバー５ｂは、それぞれ、支持部３ｂに固定されており、その支持部３ｂから－Ｚ方向に向けて延びて配置される。一対のカバー５ａ，５ｂは、容器１００が収容される空間、すなわち収容空間ＡＳを形成する。
　昇降部６は、昇降台２０と、保持部２１と、可変剛性機構４０とを備える。なお、昇降台２０は、昇降体の一例である。昇降体は、昇降台２０に限定されず、本体部４に対して昇降可能であればよい。
　昇降台２０には、複数の吊り下げ部材１２の他端が固定されている。昇降台２０は、例えば、板状部材であって、平面が水平面と平行になるように、複数の吊り下げ部材１２によって吊り下げられている。ただし、本実施形態において、昇降台２０の形状には特に限定されない。
　保持部２１は、昇降台２０の下面に固定されている。保持部２１は、容器１００を保持する。保持部２１が、例えば、容器１００のフランジ１００Ａを把持することにより、容器１００を吊り下げて保持する。なお、保持部２１が容器１００を把持する方法は、特に限定されないが、上から容器１００を把持してもよいし、左右から挟み込むことで容器１００を把持してもよい。保持部２１は、例えば、水平方向に移動可能な複数の爪部２１ａを備えるチャックである。保持部２１は、モータなどの駆動力により、爪部２１ａをフランジ１００Ａの下方に移動させる。そして、昇降駆動部１１による吊り下げ部材１２の巻き上げによって保持部２１が上昇することで、保持部２１は、容器１００を吊り下げた状態で保持する。
　可変剛性機構４０は、保持部２１が容器１００を収容空間ＡＳ内で保持している状態において、本体部４と保持部２１との間の剛性が第１剛性である第１剛性状態と、当該剛性が第１剛性よりも高い第２剛性である第２剛性状態とを切り替え可能である。可変剛性機構４０は、第１可変剛性機構２２及び第２可変剛性機構２３を有する。図１に示す可変剛性機構において、本体部４と保持部２１との間の剛性とは、本体部４と昇降台２０との間の連結剛性Ｒｕと、昇降台２０と容器１００のフランジ１００Ａとの間の保持剛性Ｒｄとの両方である。
　第１可変剛性機構２２は、保持部２１が容器１００を保持している状態において、本体部４と昇降台２０との間の連結剛性Ｒｕを調整可能な機構を有する。第１可変剛性機構２２は、例えば、昇降台２０の上面側に設けられる。第１可変剛性機構２２は、例えば、受け部材３０と、第１弾性体３１とを備える。
　受け部材３０は、昇降台２０の上部に設けられている。受け部材３０は、上面において、昇降駆動部１１の下面を受ける。具体的には、天井搬送車１が収容空間ＡＳ内に容器１００を収容した際に、受け部材３０の上面が昇降駆動部１１の下面に接触する。受け部材３０は、例えば、板状部材であって、平面（上面及び下面）が水平面と平行になるように配置されている。
　第１弾性体３１は、受け部材３０の下面と昇降台２０の上面との間に設けられている。第１弾性体３１は、例えば、ゲル材、ゴム材、及び圧縮ばねの１つ以上を含む。第１弾性体３１は、上端が受け部材３０に接しており、下端が昇降台２０の上面に接している。
　第２可変剛性機構２３は、保持部２１が容器１００を保持している状態において、昇降台２０と容器１００のフランジ１００Ａとの間の保持剛性Ｒｄを調整可能な機構を有する。第２可変剛性機構２３は、例えば、支持部５１と、押圧部５２と、連結部材５３と、第２弾性体５４とを備える。
　支持部５１は、昇降台２０の下部に設けられている。支持部５１は、平面が水平面と平行になるように配置されている。
　押圧部５２は、支持部５１の下部に設けられ、保持部２１が保持している容器１００を下向きに押圧する。押圧部５２は、例えば、容器１００に対する保持部２１の位置決めのために、保持部２１によって保持されている容器１００のフランジ１００Ａに形成された凹部１００Ｂに嵌合する部材である。
　連結部材５３は、受け部材３０と支持部５１とを連結する。連結部材５３は、例えば、上下方向に延びた部材であって、一端が受け部材３０に固定され、他端が支持部５１に固定されている。連結部材５３は、昇降台２０に対して上下方向に移動可能である。従って、支持部５１も昇降台２０に対して上下方向に移動可能である。例えば、受け部材３０が下方向に移動すると、連結部材５３も下方向に移動する。そのため、連結部材５３の他端に固定されている支持部５１も昇降台２０に対して下方向に移動する。
　第２弾性体５４は、支持部５１と押圧部５２との間に設けられている。すなわち、第２弾性体５４は、一端が支持部５１に接続され、他端が押圧部５２に接続されている。第２弾性体５４は、押圧部５２を下方向に付勢する。第２弾性体５４は、例えば、ゲル材、ゴム材、及び圧縮ばねの１つ以上を含む。
　制御装置９は、ＣＰＵ（Central Processing Unit)又はＭＰＵ（Micro Processing Unit）などのプロセッサ及び不揮発性又は揮発性の半導体メモリ（例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、フラッシュメモリ、ＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable Read Only Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory））を備えてもよい。例えば、制御装置９は、ＭＣＵなどのマイクロコントローラであってもよい。
　制御装置９は、天井搬送車１の各種動作を制御する。制御装置９は、走行駆動部２ｂを制御することで、天井搬送車１の走行を制御する。制御装置９は、横出し機構８に設けられた駆動部（例えば、電動モータ）を制御することで、横出し機構８による横出し動作を制御する。
　制御装置９は、昇降駆動部１１を制御する。例えば、制御装置９は、昇降モータ１２０の回転を制御することで、吊り下げ部材１２の巻き取り及び繰り出し（巻下げ）を制御する。換言すれば、制御装置９は、昇降モータ１２０の回転を制御することで昇降部６のＺ方向における位置（以下、「昇降部６の位置」という。）を制御することができる。図２は、本実施形態に係る天井搬送車の横移載を模式的に示した図である。横移載とは、横出し動作後に吊り下げ部材１２を繰り出すことで容器１００を所定の位置に移載することである。天井搬送車１は、例えば、容器１００を収容空間ＡＳに収容した状態で天井軌道Ｒ上の所定位置（以下、「搬送位置」という。）まで走行し、その搬送位置で横移載を行う。
　制御装置９は、保持部２１が収容空間ＡＳ内で容器１００を保持している状態において、昇降モータ１２０の回転を制御して昇降部６の位置を変更させることで第１可変剛性機構２２及び第２可変剛性機構２３を動作させる。これにより、制御装置９は、連結剛性Ｒｕと保持剛性Ｒｄとの両方を調整することができる。すなわち、制御装置９は、保持部２１で容器１００を保持しながら受け部材３０の上面が昇降駆動部１１の下面に接触している状態において、昇降部６の位置を調整することで連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄの両方を調整することができる。
　制御装置９は、天井搬送車１の走行状態に応じて、連結剛性Ｒｕと保持剛性Ｒｄとの両方を変更する。走行状態とは、例えば、容器１００を収容した天井搬送車１の走行の開始、天井搬送車１の速度が第１閾値以上である状態（以下、「第１走行状態」という。）、容器１００を収容した天井搬送車１の停止動作の開始、天井搬送車１の速度が第２閾値未満である状態（以下、「第２走行状態」という。）、天井搬送車１が停止している状態（以下、「停止状態」という。）の少なくとも1つ以上を含む。なお、第２閾値は、ヒステリシスの形成のため、第１閾値よりも小さいが、第１閾値と同じ値であってもよい。
　第２走行状態は、容器１００を保持しながら天井軌道Ｒに沿って走行している天井搬送車１が停止するために減速した場合であって、減速している天井搬送車１の速度が第１閾値よりも遅い第２閾値未満となった状態であってもよい。第２走行状態は、天井搬送車１が走行を開始してから天井搬送車１の速度が第２閾値以上となるまでの状態を含まなくてもよいし、当該状態を含んでもよい。
　制御装置９は、例えば、現在の天井搬送車１の走行状態が第１走行状態及び第２走行状態のいずれかであるかを判定してもよい。制御装置９は、例えば、速度センサなどで天井搬送車１の速度を直接的に計測することで現在の天井搬送車１の走行状態が第１走行状態及び第２走行状態のいずれかであるかを判定してもよい。制御装置９は、例えば、走行駆動部２ｂの回転数や走行駆動部２ｂに供給する電圧などの値を計測することで天井搬送車１の速度を間接的に取得して現在の天井搬送車１の走行状態が第１走行状態及び第２走行状態のいずれかであるかを判定してもよい。
　また、第１閾値以上の速度で走行する区間（以下、「第１区間」という。）と、第２閾値未満の速度で走行する区間（以下、「第２区間」という。）と、停止する区間（以下、「第３区間」という。）とが予め設定されており、制御装置９は、現在の天井搬送車１の位置が第１区間、第２区間及び第３区間のどの区間であるかを判別することで、天井搬送車１の走行状態が第１走行状態及び第２走行状態のいずれかであるかを判定してもよい。ただし、本実施形態では、天井搬送車１の走行状態が第１走行状態及び第２走行状態のいずれかであるかを直接的又は間接的に判定できればよく、その判定方法に関しては特に限定されない。また、制御装置９は、上記速度センサのセンサ結果や走行駆動部２ｂの回転数や走行駆動部２ｂに供給する電圧などの値に基づいて現在の天井搬送車１が停止状態であるか否かを判定してもよいし、天井搬送車１の位置が第３区間であることを検知した場合に現在の天井搬送車１が停止状態であると判定してもよい。
　制御装置９は、例えば第１可変剛性機構２２によって定まる連結剛性Ｒｕと第２可変剛性機構２３によって定まる保持剛性Ｒｄとの両方が、第１走行状態の場合よりも第２走行状態の場合又は天井搬送車１が停止している場合の方が高くなるように昇降部６の位置を制御する。例えば、制御装置９は、天井搬送車１の走行状態が第１走行状態である場合には、昇降部６の位置を第１位置Ｐ１（例えば、図６参照）とすることで、連結剛性Ｒｕを第１連結剛性Ｒｕ１に制御し、保持剛性Ｒｄを第１保持剛性Ｒｄ１に制御する。連結剛性Ｒｕが第１連結剛性Ｒｕ１に制御され、保持剛性Ｒｄが第１保持剛性Ｒｄ１に制御されている状態を「振動抑制状態」と称する場合がある。振動抑制状態とは、走行中における容器１００に振動を抑制する状態である。振動抑制状態は、第１剛性状態の一例である。
　天井搬送車１の走行状態が第２走行状態である場合又は天井搬送車１が停止している場合には、昇降部６の位置を第１位置Ｐ１よりも高い第２位置Ｐ２（例えば、図７参照）とすることで、連結剛性Ｒｕを第１連結剛性Ｒｕ１よりも高い第２連結剛性Ｒｕ２とし、保持剛性Ｒｄを第１保持剛性Ｒｄ１よりも高い第２保持剛性Ｒｄ２とする。連結剛性Ｒｕが第２連結剛性Ｒｕ２に制御され、保持剛性Ｒｄが第２保持剛性Ｒｄ２に制御されている状態を「揺れ抑制状態」と称する場合がある。揺れ抑制状態とは、容器１００の揺れを抑制する状態である。なお、昇降部６の位置が第１位置Ｐ１及び第２位置Ｐ２のそれぞれの場合において、受け部材３０の上面が昇降駆動部１１の下面に接触している。揺れ抑制状態は、第２剛性状態の一例である。
　以下に、天井搬送車１の保持動作を説明する。図３に示す天井搬送車１は、容器１００を保持していない状態（以下、「初期状態」という。）を示す図である。図３に示す初期状態では、保持部２１が容器１００を保持しておらず、受け部材３０の上面が昇降駆動部１１の下面に接触していない。図４は、天井搬送車１が容器１００を保持している状態を示す図である。
　天井搬送車１が初期状態である場合において、昇降駆動部１１は、制御装置９の制御によって、吊り下げ部材１２を繰り出して昇降部６を下降させる。昇降部６が下降していくと、図４に示すように、フランジ１００Ａの凹部１００Ｂに押圧部５２が嵌合し、自重で下降する保持部２１に対して押圧部５２が相対的に上昇する。押圧部５２が相対的に所定位置まで上昇すると、保持部２１が保持位置に到達したとして、昇降駆動部１１は、昇降部６の下降を停止する。
　昇降部６の下降が停止すると、保持部２１は、制御装置９からの指示に基づいて、爪部２１ａをフランジ１００Ａの下方に移動させることにより、容器１００を保持する。保持部２１が容器１００を保持すると、昇降駆動部１１は、制御装置９からの制御により、複数の吊り下げ部材１２を巻き取ることにより昇降部６を上昇させる。容器１００を収容空間ＡＳに収容する。以下、容器１００が収容空間ＡＳに収容されている状態を「収容状態」と称する場合がある。
　図５は、本実施形態に係る収容状態の一例を示す図である。収容状態では、受け部材３０の上面が昇降駆動部１１の下面に接触している。受け部材３０の上面が昇降駆動部１１の下面に接触すると、第１可変剛性機構２２が動作して本体部４と昇降台２０との間の連結剛性Ｒｕが高くなる。具体的には、受け部材３０の上面が昇降駆動部１１の下面に押し付けられると第１弾性体３１が圧縮され、その圧縮量に応じた上下方向の弾性力が発生する。換言すれば、昇降部６を昇降駆動部１１（本体部４）に押し付けることで第１弾性体３１が圧縮され、その圧縮量に応じた上下方向の弾性力が発生する。第１弾性体３１は、この弾性力によって受け部材３０を上方向に付勢し、昇降台２０を下方向に付勢する。なお、第１弾性体３１の圧縮量とは、例えば、受け部材３０の上面が昇降駆動部１１の下面に押し付けられたことで変化した第１弾性体３１の長さであってもよい。
　このように、昇降駆動部１１と昇降台２０とに挟持された第１弾性体３１が圧縮されると、その圧縮量に応じた弾性力が発生して昇降駆動部１１と昇降台２０との間の連結剛性Ｒｕが高まる。なお、第１弾性体３１の圧縮量が大きいほど連結剛性Ｒｕが高い。なお、第１弾性体３１の圧縮量は、昇降駆動部１１と昇降台２０との間の距離Ｌに応じて変動する。すなわち、昇降台２０が上方向に移動して昇降駆動部１１と昇降台２０との間の距離Ｌが短くなるにつれて第１弾性体３１の圧縮量が大きくなる。したがって、天井搬送車１は、昇降駆動部１１と昇降台２０との間の距離Ｌを変更することで、第１弾性体３１の圧縮量を変更することでき、結果として連結剛性Ｒｕを変更することができる。
　受け部材３０の上面が昇降駆動部１１の下面に押し付けられて第１弾性体３１が圧縮すると、昇降台２０が上向きに移動する。すなわち、第１弾性体３１が圧縮すると、第２可変剛性機構２３が動作して支持部５１に対して押圧部５２が相対的に上向きに変位する。このため、第２弾性体５４が圧縮され、昇降台２０と容器１００のフランジ１００Ａとの間の保持剛性Ｒｄが高くなる。具体的には、第２弾性体５４の圧縮量に応じた上下方向の弾性力が発生する。第２弾性体５４は、第２弾性体５４の圧縮量に応じた弾性力で押圧部５２をフランジ１００Ａに押し付ける。
　このように、昇降台２０と容器１００とに挟持された第２弾性体５４が圧縮されると、その圧縮量に応じた弾性力が発生して押圧部５２をフランジ１００Ａに押し付ける。これにより、昇降台２０と容器１００のフランジ１００Ａとの間の保持剛性Ｒｄが高まる。なお、第２弾性体５４の圧縮量が大きいほど保持剛性Ｒｄが高い。
　第２弾性体５４の圧縮量は、支持部５１と押圧部５２との間の距離に応じて変動する。そして、図５に示す例では、支持部５１と押圧部５２との間の距離は、昇降駆動部１１と昇降台２０との間の距離Ｌに応じて変動する。そのため、第２弾性体５４の圧縮量は、第１弾性体３１の圧縮量と同様に、昇降駆動部１１と昇降台２０との間の距離Ｌに応じて変動する。換言すれば、昇降部６を昇降駆動部１１（本体部４）に押し付けることで第１弾性体３１だけでなく第２弾性体５４も圧縮される。
　昇降台２０が上方向に移動して昇降駆動部１１と昇降台２０との間の距離Ｌが短くなるにつれて第２弾性体５４の圧縮量が大きくなる。したがって、天井搬送車１は、昇降駆動部１１と昇降台２０との間の距離Ｌを変更することで第２弾性体５４の圧縮量も変更することでき、結果として保持剛性Ｒｄを変更することができる。ここで、図５に例示する構成では、昇降駆動部１１と昇降台２０との間の距離Ｌを変更することは、昇降部６を昇降駆動部１１（本体部４）に押し付ける力である押し付け力Ｆが変更することと同義である。したがって、天井搬送車１は、押し付け力Ｆを変更することで第１弾性体３１の圧縮量及び第２弾性体５４の圧縮量を変更することでき、結果として連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄを変更することができる。
　以下に、連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄの制御方法について説明する。図６は、振動抑制状態での連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄを説明する図である。図７は、揺れ抑制状態での連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄを説明する図である。
　制御装置９は、容器１００が収容状態である場合において、天井搬送車の速度が第１閾値以上である第１走行状態の場合には、図６に例示するように、押し付け力Ｆを第１押し付け力Ｆ１に制御することで天井搬送車１を振動抑制状態にする。具体的には、制御装置９は、走行状態が第１走行状態の場合には、昇降部６の位置を第１位置Ｐ１に制御することで、第１押し付け力Ｆ１で受け部材３０の上面を昇降駆動部１１の下面に押し付ける。振動抑制状態での昇降駆動部１１と昇降台２０との間の距離Ｌを「第１距離Ｌ１」と称する。振動抑制状態の場合には、第１弾性体３１の圧縮量が第１圧縮量及び第２弾性体５４の圧縮量が第１圧縮量となる。そのため、連結剛性Ｒｕが第１圧縮量に応じた第１連結剛性Ｒｕ１となり、保持剛性Ｒｄが第１圧縮量に応じた第１保持剛性Ｒｄ１となる。
　制御装置９は、容器１００が収容状態である場合において、天井搬送車１の速度が第１閾値よりも遅い第２閾値未満の場合である第２走行状態の場合には、押し付け力Ｆを第２押し付け力Ｆ２に制御することで天井搬送車１を揺れ抑制状態にする。第２押し付け力Ｆ２は、第１押し付け力Ｆ１よりも大きい。
　具体的には、制御装置９は、天井搬送車１が第２走行状態の場合には、昇降部６の位置を第１位置Ｐ１よりも高い位置である第２位置Ｐ２に段階的に変更することで、昇降駆動部１１と昇降台２０との間の距離を第１距離Ｌ１も狭い第２距離Ｌ２に制御する。図７に示す揺れ抑制状態は、図６に示す振動抑制状態から複数の吊り下げ部材１２を予め設定された分だけ巻き取ることで昇降部６の位置を第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に上昇させた状態である。
　揺れ抑制状態の場合には、第１弾性体３１の圧縮量及び第２弾性体５４の圧縮量が第１圧縮量よりも大きい第２圧縮量（＞第１圧縮量）となる。そのため、連結剛性Ｒｕが第２圧縮量に応じた第２連結剛性Ｒｕ２となり、揺れ抑制状態での第２連結剛性Ｒｕ２は、振動抑制状態での第１連結剛性Ｒｕ１よりも高くなる。また、保持剛性Ｒｄが第２圧縮量に応じた第２保持剛性Ｒｄ２となり、揺れ抑制状態での第２保持剛性Ｒｄ２は、振動抑制状態での第１保持剛性Ｒｄ１よりも高くなる。
　このように、第１走行状態では、天井搬送車１の状態が振動抑制状態に切り替わり、第２走行状態では天井搬送車１の状態が揺れ抑制状態に切り替わる。具体的には、天井搬送車１は、第１走行状態では押し付け力Ｆが第２押し付け力Ｆ２よりも弱い第１押し付け力Ｆ１となるように、昇降部６の位置を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に下げた状態で走行する（図６）。また、天井搬送車１は、第２走行状態では押し付け力Ｆが第１押し付け力Ｆ１よりも強い第２押し付け力Ｆ２となるように、昇降部６の位置を第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に上げた状態で走行又は停止する。例えば、振動抑制状態から揺れ抑制状態へ切り替えられる場合には、押し付け力Ｆは、第１押し付け力Ｆ１から第２押し付け力Ｆ２に段階的に変更される。つまり、振動抑制状態から揺れ抑制状態へ切り替え、又は揺れ抑制状態から振動抑制状態への切り替えは、非連続的ではなく段階的に行われてもよい。
　以下に、天井搬送車１が保持している容器１００の振動や揺れについて説明する。天井搬送車１が容器１００を収容空間ＡＳに収納した状態で天井軌道Ｒに沿って走行している場合に、天井搬送車１の振動が容器１００に伝わってしまい容器１００が振動してしまう場合がある。例えば、天井搬送車１が走行する際、天井軌道Ｒ上を転動する車輪２ａに対し、天井軌道Ｒの継ぎ目（接続）部分等において衝撃が加わる場合がある。例えば、天井軌道Ｒの継ぎ目に段差がある場合には、その段差を天井搬送車１が走行すると車輪２ａに多少の衝撃が加わり得る。車輪２ａに衝撃が加わると、天井搬送車１全体にその衝撃による振動が生じ、結果として容器１００にその振動が加わり得る。このため、当該振動をなるべく抑制することが望まれる。
　天井搬送車１が容器１００を横出ししたり下げたりするなどの移載動作を天井軌道Ｒ上の搬送位置で行う場合には、天井搬送車１は、その搬送位置で停止してから移載動作を開始する。ここで、移載動作時において、容器１００が走行方向や横方向に大きく揺れている場合がある。容器１００が大きく揺れている状態でロードポートへの移載動作が開始されると、容器１００がロードポート上のキャリアガイドに乗り上げてしまう場合が起こり得る。そのため、容器１００の揺れが収まるまで移載動作を開始せずに搬送位置で待機することも可能だが、その場合は移載時間が長くなり搬送能力が低下してしまう。したがって、移載動作時においては、容器１００の揺れをなるべく抑制することが望まれる。
　ここで、押し付け力Ｆを常に一定のままに制御することで、走行状態にかかわらず連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄを常に一定に維持する場合を考える。例えば、移載動作時における容器１００の揺れを抑制するために、押し付け力Ｆを強くして連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄを高い状態のままで維持する。この場合には、移載動作時における容器１００の揺れは抑制できるが、走行時での容器１００の振動は抑制できずに増大してしまう。具体的には、連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄが高いと、本体部４から昇降部６を介して容器１００に伝わり易い。つまり、移載動作時における容器１００の揺れを抑制するために高い連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄを設定してしまうと、走行時での容器１００の振動は抑制することができない。一方、走行時での容器１００の振動を抑制するために低い連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄを設定してしまうと、移載動作時における容器１００の揺れを抑制することができない。
　このように、走行状態にかかわらず連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄを常に一定に維持すると、走行時での容器１００の振動と、移載動作時における容器１００の揺れとの一方しか抑制することができない。
　本実施形態の一例の構成では、天井搬送車１は、押し付け力Ｆを常に一定のままに制御するのではなく、押し付け力Ｆを天井搬送車１の走行状態に応じて変更する。換言すれば、天井搬送車１は、連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄを天井搬送車１の走行状態に応じて変更する。例えば、天井搬送車１は、第１走行状態での走行時においては押し付け力Ｆを第１押し付け力Ｆ１とすることで連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄを低くして上記の衝撃による振動が容器１００に伝わりにくい振動抑制状態とする。一方、天井搬送車１は、停止動作が開始した場合や走行が停止した場合においては、押し付け力Ｆを第１押し付け力Ｆ１よりも高い第２押し付け力Ｆ２として連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄを高くして容器１００の揺れが抑制される揺れ抑制状態とする。これにより、走行時での容器１００の振動及び移載動作時の容器１００の揺れの双方を効果的に抑制することができる。
　以下に、本実施形態に係る天井搬送車１の動作の流れの一例を説明する。図８は、本実施形態に係る天井搬送車１の動作の流れの一例を説明する図である。まず、天井搬送車１は、容器１００を保持していない状態で天井軌道Ｒに沿って走行し、天井軌道Ｒの所定位置で停止する（ステップＳ１０１）。天井搬送車１は、天井軌道Ｒの所定位置において、昇降駆動部１１により昇降部６を規定位置まで下降させていくと（ステップＳ１０２）、フランジ１００Ａの凹部１００Ｂに押圧部５２が嵌合し、保持部２１が保持位置に到達する。保持部２１が保持位置に到達すると昇降部６の下降が停止し、保持部２１は、容器１００を保持する（ステップＳ１０３）。保持部２１が容器１００を保持すると、天井搬送車１は、昇降部６を上昇させる（ステップＳ１０４）。
　ここで、天井搬送車１は、容器１００を収容空間ＡＳに収容する場合には、押し付け力Ｆを第１押し付け力Ｆ１とすることで連結剛性Ｒｕを第１連結剛性Ｒｕ１とし、保持剛性Ｒｄを第１保持剛性Ｒｄ１とする。すなわち、制御装置９は、容器１００を収容空間ＡＳに収容した場合には、押し付け力Ｆを第１押し付け力Ｆ１とすることで天井搬送車１を振動抑制状態に制御する（ステップＳ１０５）。第１連結剛性Ｒｕ１及び第１保持剛性Ｒｄ１は、例えば、走行時での容器１００の振動が許容範囲内となるように調整されている。
　天井搬送車１は、押し付け力Ｆを第１押し付け力Ｆ１に維持したまま搬送位置に向けて天井軌道Ｒ上を走行する（ステップＳ１０６）。天井搬送車１が搬送位置に近づくと、制御装置９は、搬送位置で停止するために天井搬送車１の速度を徐々に下げていく（ステップＳ１０７）。そして、制御装置９は、天井搬送車１の速度が第２閾値以下になった場合には、押し付け力Ｆを第１押し付け力Ｆ１から第２押し付け力Ｆ２に変更する。
　押し付け力Ｆが第１押し付け力Ｆ１から第２押し付け力Ｆ２に変更されると、第１弾性体３１の圧縮量及び第２弾性体５４の圧縮量が共に大きくなるため、連結剛性Ｒｕが第１連結剛性Ｒｕ１よりも大きい第２連結剛性Ｒｕ２となり、保持剛性Ｒｄを第１保持剛性Ｒｄ１よりも高い第２保持剛性Ｒｄ２となる。すなわち、制御装置９は、天井搬送車１の速度が第２閾値以下になった場合には、押し付け力Ｆを第２押し付け力Ｆ２に変更することで天井搬送車１を振動抑制状態から揺れ抑制状態に移行させる（ステップＳ１０８）。第２連結剛性Ｒｕ２及び第２保持剛性Ｒｄ２は、例えば、容器１００の揺れが許容範囲内となるように調整されている。
　天井搬送車１が搬送位置に停止すると（ステップＳ１０９）、横出し機構８は、昇降台２０を側方に移動させる（ステップＳ１１０）。ここで、押し付け力Ｆは、天井搬送車１が搬送位置に停止した状態においても第２押し付け力Ｆ２に維持されている。したがって、横出し機構８は、連結剛性Ｒｕが第２連結剛性Ｒｕ２に維持され、保持剛性Ｒｄが第２保持剛性Ｒｄ２に維持された状態で、昇降台２０を側方に移動させる。換言すれば、横出し機構８は、天井搬送車１が揺れ抑制状態において、昇降台２０を側方に移動させる。これにより、横出し時の容器１００の揺れを効果的に抑制することができる。
　なお、天井搬送車１は、図８のステップＳ１０５において振動抑制状態に移行しなくてもよい。例えば、制御装置９は、ステップＳ１０６において、天井搬送車１の速度が第１閾値以上になった場合に押し付け力Ｆを第１押し付け力Ｆ１とすることで天井搬送車１を振動抑制状態に移行させてもよい。なお、この場合には、制御装置９は、ステップＳ１０５において、昇降部６を上昇させて収容空間ＡＳに容器１００を収容した際には、天井搬送車１を揺れ抑制状態に制御してもよい。そして、天井搬送車１は、ステップＳ１０６において揺れ抑制状態のままで走行を開始し、天井搬送車１の速度が第１閾値以上になった場合に押し付け力Ｆを第１押し付け力Ｆ１とすることで天井搬送車１を揺れ抑制状態から振動抑制状態に移行させてもよい。
　また、上述した実施形態の可変剛性機構４０は、第１可変剛性機構２２及び第２可変剛性機構２３を備えるが、これに限定されない。可変剛性機構４０は、例えば、第１可変剛性機構２２及び第２可変剛性機構２３のいずれか一方を備えていればよい。図９は、可変剛性機構４０の第１変形例を示す図である。図９に示す第１変形例の可変剛性機構４０は、第１可変剛性機構２２である。
　第１変形例では、本体部４と保持部２１との間の剛性とは、連結剛性Ｒｕである。第１変形例の天井搬送車１は、保持部２１が容器１００を保持している状態において、昇降駆動部１１と昇降台２０との間の剛性である連結剛性Ｒｕを天井搬送車１の停止を含む走行状態に応じて変更する。第１変形例での振動抑制状態では、連結剛性Ｒｕが第１連結剛性Ｒｕ１である。第１変形例での揺れ抑制状態では、連結剛性Ｒｕが第２連結剛性Ｒｕ２である。第１変形例であっても、走行時での容器１００の振動及び移載動作時の容器１００の揺れの双方を効果的に抑制することができる。
　図１０は、可変剛性機構４０の第２変形例を示す図である。図１０に示す第２変形例の可変剛性機構４０は、第２可変剛性機構２３である。なお、第２変形例の第２可変剛性機構２３は、一例として受け部材３０をさらに有している。
　第２変形例では、本体部４と保持部２１との間の剛性とは、保持剛性Ｒｄである。第２変形例の天井搬送車１は、保持部２１が容器１００を保持している状態において、昇降台２０と容器１００との間の剛性である保持剛性Ｒｄを天井搬送車１の停止を含む走行状態に応じて変更する。第２変形例での振動抑制状態では、保持剛性Ｒｄが第１保持剛性Ｒｄ１である。第２変形例での揺れ抑制状態では、保持剛性Ｒｄが第２保持剛性Ｒｄ２である。第２変形例であっても、走行時での容器１００の振動及び移載動作時の容器１００の揺れの双方を効果的に抑制することができる。
　このように、本実施形態の天井搬送車１は、保持部２１が容器１００を保持している状態において、連結剛性Ｒｕと保持剛性Ｒｄとのいずれか又は両方を、天井搬送車１の停止を含む走行状態に応じて変更する。このような構成により、振動及び揺れの双方を効果的に抑制することができる。
　なお、第１可変剛性機構２２及び第２可変剛性機構２３は、それぞれ独立して制御可能であってもよい。例えば、第１可変剛性機構２２を動作させる第１モータと、第２可変剛性機構２３を動作させる第２モータとが設けられ、制御装置９は、第１モータを動作させることで連結剛性Ｒｕを変更し、第２モータを制御することで保持剛性Ｒｄを変更してもよい。
　上記実施形態は、以下の構成を開示する。
＜構成１＞
　物品（容器１００）を保持しながら天井軌道Ｒに沿って走行する天井搬送車１であって、
　天井軌道Ｒに沿って走行する走行部２と、
　走行部２と共に天井軌道Ｒに沿って移動する本体部４と、
　本体部４に吊り下げられ、本体部４に対して昇降可能である昇降台２０と、
　昇降台２０の下部に固定され、物品（容器１００）を保持する保持部２１と、
　本体部４と保持部２１との間の剛性が第１剛性である第１剛性状態（振動抑制状態）と、剛性が第１剛性よりも高い第２剛性である第２剛性状態とを切り替え可能な可変剛性機構４０と、
　を備え、
　可変剛性機構４０は、天井搬送車１の走行状態に応じて第１剛性状態（振動抑制状態）と第２剛性状態（揺れ抑制状態）とを切り替える、天井搬送車１。
＜構成２＞
　可変剛性機構４０は、
　天井搬送車１の速度が第１速度以上の場合には第１剛性状態（振動抑制状態）に切り替え、天井搬送車１の速度が第１速度よりも遅い第２速度以下の場合又は天井搬送車が停止している場合には第２剛性状態（揺れ抑制状態）に切り替える、
　構成１に記載の天井搬送車１。
＜構成３＞
　剛性は、保持部２１が物品（容器１００）を保持している状態において、本体部４と昇降台２０の間の剛性である連結剛性Ｒｕと、昇降台２０と物品（容器１００）との間の剛性である保持剛性Ｒｄとのいずれか又は両方である、
　構成１又は構成２に記載の天井搬送車１。
＜構成４＞
　可変剛性機構４０は、本体部４と昇降台２０の上部との間に設けられた弾性体（第１弾性体３１）を備え、
　本体部４は、昇降台２０の位置を調整することで弾性体の圧縮量を調整可能な昇降駆動部１１を備え、
　昇降駆動部１１は、弾性体の圧縮量を変更することで連結剛性Ｒｕを変更する、構成１から構成３のいずれかの天井搬送車１。
＜構成５＞
　可変剛性機構４０は、
　昇降台２０の下部に設けられ、昇降台２０の昇降動作に応じて上下方向に移動する支持部５１と、
　支持部の下部に設けられ、保持部２１が保持している物品（容器１００）を下向きに押圧する押圧部５２と、
　支持部と押圧部との間に設けられた弾性体（第２弾性体５４）と、
　を備え、
　本体部４は、昇降台２０の位置を調整することで弾性体の圧縮量を調整する昇降駆動部１１を備え、
　昇降駆動部１１は、弾性体の圧縮量を変更することで保持剛性Ｒｄを変更する、構成１から構成３のいずれかの天井搬送車１。
＜構成６＞
　可変剛性機構４０は、
　昇降台２０の上部に設けられた受け部材３０と、
　受け部材３０と昇降台２０の上部との間に設けられた第１弾性体３１と、
　昇降台２０の下部に設けられた支持部５１と、
　受け部材と支持部とを連結する連結部材５３と、
　支持部の下部に設けられ、保持部２１が保持している物品（容器１００）を下向きに押圧する押圧部５２と、
　支持部と押圧部との間に設けられた第２弾性体５４と、
　を備え、
　本体部４は、受け部材を本体部４に接触させた状態で昇降台２０の位置を調整することで第１弾性体３１及び第２弾性体５４の圧縮量を調整する昇降駆動部１１を備え、
　第１弾性体３１及び第２弾性体５４の圧縮量が大きくなるほど連結剛性Ｒｕ及び保持剛性Ｒｄが高くなり、
　第１剛性状態（振動抑制状態）の場合には、第１弾性体３１及び第２弾性体５４の圧縮量が第１圧縮量に制御され、第２剛性状態の場合には第１弾性体３１及び第２弾性体５４の圧縮量が第１圧縮量よりも大きい第２圧縮量に制御される、
　構成１から構成３のいずれかの天井搬送車１。
＜構成７＞
　本体部４は、昇降台２０を走行方向の側方に移動させる横出し機構８を備え、
　横出し機構８は、第２剛性状態である場合に昇降台２０を側方に移動させる、
　構成１から構成６のいずれかの天井搬送車１。
　上述した実施形態等で説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述した実施形態等で説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、本実施形態において示した各手順の実行順序は、前の手順の結果を後の手順で用いない限り、任意の順序で実現可能である。また、上述した実施形態における動作に関して、便宜上「まず」、「次に」、「続いて」等を用いて説明したとしても、この順序で実施することが必須ではない。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０２３－０９３１４７、及び上述の実施形態等で引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
１・・・天井搬送車
４・・・本体部
６・・・昇降部
１１・・・昇降駆動部
２０・・・昇降台
２１・・・保持部
２２・・・第１可変剛性機構
２３・・・第２可変剛性機構

 

Claims (7)

  1. 　物品を保持しながら天井軌道に沿って走行する天井搬送車であって、
    　前記天井軌道に沿って走行する走行部と、
    　前記走行部と共に前記天井軌道に沿って移動する本体部と、
    　前記本体部に吊り下げられ、前記本体部に対して昇降可能である昇降体と、
    　前記昇降体の下部に固定され、前記物品を保持する保持部と、
    　前記本体部と前記保持部との間の剛性が第１剛性である第１剛性状態と、前記剛性が前記第１剛性よりも高い第２剛性である第２剛性状態とを切り替え可能な可変剛性機構と、
    　を備え、
    　前記可変剛性機構は、前記天井搬送車の走行状態に応じて前記第１剛性状態と前記第２剛性状態とを切り替える、天井搬送車。
  2. 　前記可変剛性機構は、
    　前記天井搬送車の速度が第１速度以上の場合には前記第１剛性状態に切り替え、前記天井搬送車の速度が前記第１速度よりも遅い第２速度以下の場合又は前記天井搬送車が停止している場合には前記第２剛性状態に切り替える、
    　請求項１に記載の天井搬送車。
  3. 　前記剛性は、前記保持部が前記物品を保持している状態における、前記本体部と前記昇降体の間の剛性である連結剛性と、前記昇降体と前記物品との間の剛性である保持剛性とのいずれか又は両方である、
    　請求項１又は２に記載の天井搬送車。
  4. 　前記可変剛性機構は、前記本体部と前記昇降体の上部との間に設けられた弾性体を備え、
    　前記本体部は、前記昇降体の位置を調整することで前記弾性体の圧縮量を調整可能な昇降駆動部を備え、
    　前記昇降駆動部は、前記弾性体の前記圧縮量を変更することで前記連結剛性を変更する、請求項３に記載の天井搬送車。
  5. 　前記可変剛性機構は、
    　前記昇降体の下部に設けられ、前記昇降体の昇降動作に応じて上下方向に移動する支持部と、
    　前記支持部の下部に設けられ、前記保持部が保持している前記物品を下向きに押圧する押圧部と、
    　前記支持部と前記押圧部との間に設けられた弾性体と、
    　を備え、
    　前記本体部は、前記昇降体の位置を調整することで前記弾性体の圧縮量を調整する昇降駆動部を備え、
    　前記昇降駆動部は、前記弾性体の前記圧縮量を変更することで前記保持剛性を変更する、請求項３に記載の天井搬送車。
  6. 　前記可変剛性機構は、
    　前記昇降体の上部に設けられた受け部材と、
    　前記受け部材と前記昇降体の上部との間に設けられた第１弾性体と、
    　前記昇降体の下部に設けられた支持部と、
    　前記受け部材と前記支持部とを連結する連結部材と、
    　前記支持部の下部に設けられ、前記保持部が保持している前記物品を下向きに押圧する押圧部と、
    　前記支持部と前記押圧部との間に設けられた第２弾性体と、
    　を備え、
    　前記本体部は、前記受け部材を前記本体部に接触させた状態で前記昇降体の位置を調整することで前記第１弾性体及び前記第２弾性体の圧縮量を調整する昇降駆動部を備え、
    　前記第１弾性体及び前記第２弾性体の前記圧縮量が大きくなるほど前記連結剛性及び前記保持剛性が高くなり、
    　前記第１剛性状態の場合には、前記第１弾性体及び前記第２弾性体の前記圧縮量が第１圧縮量に制御され、前記第２剛性状態の場合には前記第１弾性体及び前記第２弾性体の前記圧縮量が前記第１圧縮量よりも大きい第２圧縮量に制御される、
    　請求項３に記載の天井搬送車。
  7. 　前記本体部は、前記昇降体を走行方向の側方に移動させる横出し機構を備え、
    　前記横出し機構は、前記第２剛性状態である場合に前記昇降体を側方に移動させる、
    　請求項１に記載の天井搬送車。
PCT/JP2024/016775 2023-06-06 2024-05-01 天井搬送車 Ceased WO2024252825A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE112024002438.6T DE112024002438T5 (de) 2023-06-06 2024-05-01 Überkopf-transportfahrzeug
JP2025525989A JPWO2024252825A1 (ja) 2023-06-06 2024-05-01
CN202480035351.8A CN121194941A (zh) 2023-06-06 2024-05-01 高架搬运车

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2023093147 2023-06-06
JP2023-093147 2023-06-06

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2024252825A1 true WO2024252825A1 (ja) 2024-12-12

Family

ID=93795303

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2024/016775 Ceased WO2024252825A1 (ja) 2023-06-06 2024-05-01 天井搬送車

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPWO2024252825A1 (ja)
CN (1) CN121194941A (ja)
DE (1) DE112024002438T5 (ja)
TW (1) TW202448771A (ja)
WO (1) WO2024252825A1 (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006008354A (ja) * 2004-06-28 2006-01-12 Murata Mach Ltd 天井走行車
JP2017124885A (ja) * 2016-01-12 2017-07-20 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP2020169090A (ja) * 2019-04-04 2020-10-15 村田機械株式会社 天井搬送車
JP2022083397A (ja) * 2020-11-24 2022-06-03 株式会社ダイフク 搬送車

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7740012B2 (ja) 2021-12-22 2025-09-17 三浦工業株式会社 ボイラ装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006008354A (ja) * 2004-06-28 2006-01-12 Murata Mach Ltd 天井走行車
JP2017124885A (ja) * 2016-01-12 2017-07-20 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP2020169090A (ja) * 2019-04-04 2020-10-15 村田機械株式会社 天井搬送車
JP2022083397A (ja) * 2020-11-24 2022-06-03 株式会社ダイフク 搬送車

Also Published As

Publication number Publication date
CN121194941A (zh) 2025-12-23
TW202448771A (zh) 2024-12-16
DE112024002438T5 (de) 2026-03-19
JPWO2024252825A1 (ja) 2024-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10347518B2 (en) Transport vehicle
CN105584767B (zh) 物品输送设备
JP6171984B2 (ja) 物品支持装置
CN103534798B (zh) 空中搬运车
KR102949620B1 (ko) 반송차
JP7234754B2 (ja) 天井搬送車
US12106992B2 (en) Ceiling carrier
CN1572709A (zh) 输送装置
CN1413903A (zh) 搬运设备
KR102580660B1 (ko) 비히클 및 비히클의 수평도 조절 방법
JP7745522B2 (ja) 搬送車
JP7276474B2 (ja) 天井搬送車
JP4075002B2 (ja) 天井走行車
JP7120434B2 (ja) 移載装置及び天井搬送車
JP2005194009A (ja) 懸垂型搬送台車
WO2024252825A1 (ja) 天井搬送車
US12459788B2 (en) Article transport vehicle
JP2006298535A (ja) 天井走行車
JP7392634B2 (ja) 搬送車
KR20020007484A (ko) 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치
JP2023110844A (ja) 物品搬送車
JP7829842B2 (ja) 搬送装置
JP7563421B2 (ja) 物品昇降装置
JP7726237B2 (ja) 天井搬送車
JP2024027658A (ja) 物品昇降装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 24819062

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2025525989

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 112024002438

Country of ref document: DE

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 112024002438

Country of ref document: DE