WO2024247488A1 - 継手構造および流体制御機器 - Google Patents

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Definitions

  • This disclosure relates to a joint structure used in a fluid control device used in a semiconductor manufacturing device or the like, and to a fluid control device including the joint structure.
  • Semiconductor manufacturing equipment includes a gas unit for supplying gas to a processing chamber.
  • the gas unit is composed of multiple fluid control devices and a large number of pipes that connect the multiple fluid control devices to each other.
  • Each fluid control device has a flow path block in which a fluid passage is formed, and the flow path opens to the underside of the flow path block.
  • the pipes are connected to the flow paths of the flow path block via flange-type pipe joints.
  • the flange-type pipe joints are composed of one flange and one sleeve, and are configured so that the flange is connected to the flow path block from the underside by two bolts, and the pipes are connected to the sleeve.
  • the present disclosure therefore aims to provide a joint structure and fluid control device that can easily connect piping to a flow path block in which multiple fluid passages are formed.
  • a joint structure for connecting a pipe to a flow path block in which a plurality of fluid passages opening on the same surface are formed, and includes a flange in which a first bolt screw hole and a second bolt screw hole and a first sleeve insertion hole and a second sleeve insertion hole located between the first bolt screw hole and the second bolt screw hole are formed, a first sleeve and a second sleeve whose inside serves as a fluid passage communicating with the fluid passage of the flow path block, to which the pipe is connected, and which are inserted into the first sleeve insertion hole and the second sleeve insertion hole of the flange, and a first bolt and a second bolt that are screwed into the first bolt screw hole and the second bolt screw hole of the flange via the first bolt insertion hole and the second bolt insertion hole formed in the flow path block to fix the flange to the same surface
  • the fluid control device includes a flow path block in which a plurality of fluid passages opening on the same surface are formed, a flange in which a first bolt screw hole, a second bolt screw hole, and a first sleeve insertion hole and a second sleeve insertion hole located between the first bolt screw hole and the second bolt screw hole are formed and abuts against the same surface, a first sleeve and a second sleeve whose inside serves as a fluid passage communicating with the fluid passage of the flow path block and to which piping is connected and which are inserted into the first sleeve insertion hole and the second sleeve insertion hole of the flange, and a first bolt and a second bolt that screw into the first bolt screw hole and the second bolt screw hole of the flange via the first bolt insertion hole and the second bolt insertion hole formed in the flow path block to fix the flange to the same surface of the flow path block.
  • the present disclosure provides a joint structure and fluid control device that can easily connect piping to a flow path block in which multiple flow paths are formed.
  • FIG. 2 is a perspective view of a fluid control device and a plurality of pipes according to the embodiment.
  • FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view of a flow path block and a joint structure.
  • FIG. 1 is a perspective view of a fluid control device 1 and a plurality of pipes 2A to 2D according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a perspective view of the flange 11 of the joint structure 10.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the flow passage block 3 and the joint structure 10. As shown in FIG.
  • the fluid control device 1 comprises a flow path block 3, fluid control units 4A-4D, and a joint structure 10.
  • the flow path block 3 has a generally rectangular parallelepiped shape and has an upper surface 3A and a lower surface 3B.
  • the upper surface 3A is the surface located opposite the lower surface 3B.
  • the fluid control units 4A-4D are disposed on the upper surface 3A of the flow path block 3.
  • the interiors of the fluid control units 4A-4D are in communication with the first to sixth fluid passages 3c-3h, which will be described later.
  • the fluid control units 4A-4D are, for example, valves, actuators, etc.
  • the flow path block 3 is formed with the first to sixth fluid passages 3c to 3h.
  • the first fluid passage 3c has one end opening to the lower surface 3B and the other end opening to the upper surface 3A where the fluid control unit 4A is located.
  • the second fluid passage 3d has one end opening to the upper surface 3A where the fluid control unit 4A is located and the other end opening to the upper surface 3A where the fluid control unit 4B is located.
  • the third fluid passage 3e has one end opening to the upper surface 3A where the fluid control unit 4B is located and the other end (not shown) opening to the lower surface 3B.
  • the fourth fluid passage 3f has one end opening to the lower surface 3B and the other end opening to the upper surface 3A where the fluid control unit 4C is located.
  • the fifth fluid passage 3g has one end opening to the upper surface 3A where the fluid control unit 4C is located and the other end opening to the upper surface 3A where the fluid control unit 4D is located.
  • One end of the sixth fluid passage 3h opens into the portion of the upper surface 3A where the fluid control unit 4D is located, and the other end (not shown) opens into the lower surface 3B.
  • a first annular recess 3i is formed around the opening of the first fluid passage 3c on the lower surface 3B of the flow passage block 3
  • a second annular recess 3j is formed around the opening of the fourth fluid passage 3f.
  • First and second bolt insertion holes 3k, 3m are formed at both ends of one side in the longitudinal direction of the flow passage block 3, penetrating from the upper surface 3A to the lower surface 3B.
  • the joint structure 10 includes a flange 11, first and second sleeves 13 and 14, first and second gaskets 15 and 16, and first and second bolts 17 and 18.
  • the flange 11 is in the shape of a roughly rectangular parallelepiped block and has an abutment surface 11A and a piping surface 11B.
  • the abutment surface 11A abuts against the lower surface 3B of the flow path block 3.
  • the piping surface 11B is the surface located opposite the abutment surface 11A.
  • the flange 11 is formed with a first bolt screwing hole 11c, a second bolt screwing hole 11d, a first sleeve insertion hole 11e, and a second sleeve insertion hole 11f.
  • the first and second sleeve insertion holes 11e and 11f are located between the first and second bolt screwing holes 11c and 11d.
  • the first and second bolt screwing holes 11c, 11d and the first and second sleeve insertion holes 11e, 11f penetrate the flange 11 so as to open to the abutment surface 11A and the piping surface 11B.
  • the first and second bolt screwing holes 11c, 11d have female threads on the abutment surface 11A side.
  • the first and second bolt screwing holes 11c, 11d are countersunk holes with a large diameter portion on the abutment surface 11A side.
  • the first and second sleeves 13, 14 are generally cylindrical, with the insides serving as fluid passages. These fluid passages are connected to the first fluid passage 3c and the fourth fluid passage 3f of the flow path block 3, respectively.
  • the first and second sleeves 13, 14 are inserted into the first and second sleeve insertion holes 11e, 11f, respectively.
  • the first and second sleeves 13 and 14 have large diameter portions 13A and 14A and small diameter portions 13B and 14B.
  • the small diameter portions 13B and 14B are located below the large diameter portions 13A and 14A.
  • Flange portions 13C and 14C are provided at the upper ends of the large diameter portions 13A and 14A.
  • the flange portions 13C and 14C are inserted into the countersunk portions of the first and second sleeve insertion holes 11e and 11f.
  • the upper surfaces of the flange portions 13C and 14C are formed with annular third and fourth recesses 13d and 14d.
  • the lower ends of the large diameter portions 13A and 14A protrude downward from the piping surface 11B of the flange 11.
  • the first and second gaskets 15, 16 are annular.
  • the first gasket 15 is housed in the first recess 3i and the third recess 13d.
  • the second gasket 16 is housed in the second recess 3j and the fourth recess 14d.
  • the first and second gaskets 15, 16 seal between the first and fourth fluid passages 3c, 3f and the fluid passages of the first and second sleeves 13, 14 and the outside.
  • the first and second bolts 17, 18 have heads 17A, 18A, shafts 17B, 18B, and male threads 17C, 18C.
  • the heads 17A, 18A are formed with hexagonal holes.
  • the shafts 17B, 18B extend downward from the heads 17A, 18A and are inserted into the first and second bolt insertion holes 3k, 3m.
  • the male threads 17C, 18C are provided at the lower ends of the shafts 17B, 18B and are screwed into the first and second bolt screwing holes 11c, 11d.
  • the first to fourth pipes 2A to 2D are connected to the fluid control device 1.
  • the first pipe 2A extends in the vertical direction and is welded to the lower end of the first sleeve 13.
  • the second pipe 2B is welded to the lower end of the first pipe 2A and extends in a direction perpendicular to the first pipe 2A.
  • the third pipe 2C is welded to the lower end of the second sleeve 14.
  • the upper part of the third pipe 2C extends in the vertical direction, and the lower part is bent relative to the upper part and inclined away from the first pipe 2A.
  • the fourth pipe 2D is welded to the lower end of the third pipe 2C and extends in a direction perpendicular to the first pipe 2A.
  • the second pipe 2B and the fourth pipe 2D are located on approximately the same plane.
  • a method of connecting the pipes 2 to the flow path block 3 using the joint structure 10 will be described.
  • the first sleeve 13 is inserted into the first sleeve insertion hole 11e of the flange 11, and the first pipe 2A is welded to the first sleeve 13.
  • the second sleeve 14 is inserted into the second sleeve insertion hole 11f of the flange 11, and the third pipe 2C is welded to the second sleeve 14.
  • the second pipe 2B is welded to the first pipe 2A.
  • the fourth pipe 2D is welded to the third pipe 2C.
  • the first sleeve 13, the first pipe 2A, and the second pipe 2B are lowered.
  • the second pipe 2B and the fourth pipe 2D are welded one by one while being spaced apart from each other, so that the thermal effects of the welded parts can be suppressed.
  • the first and second gaskets 15 and 16 are placed in the third and fourth recesses 13d and 14d of the first and second sleeves 13 and 14, and the abutment surface 11A of the flange 11 is brought close to the bottom surface 3B of the flow path block 3.
  • the first and second bolts 17 and 18 are inserted into the first and second bolt insertion holes 3k and 3m from the top surface 3A side of the flow path block 3 and screwed into the first and second bolt screwing holes 11c and 11d of the flange 11 to crush the first and second gaskets 15 and 16.
  • the flange 11 is fixed to the bottom surface 3B of the flow path block 3, and the pipes 2A to 2D are connected to the flow path block 3 by the joint structure 10.
  • two first and second sleeves 13, 14 can be easily connected to a flow path block 3 in which multiple fluid passages are formed, using one flange 11 and two first and second bolts 17, 18. That is, according to the joint structure 10, the pipes 2A to 2D can be easily connected to a flow path block 3 in which multiple fluid passages are formed. Furthermore, compared to conventional joint structures, the joint structure 10 of this embodiment does not require space for construction on the underside 3B of the fluid control device 1, making it easier to install other pipes, fluid control devices, etc. Furthermore, compared to conventional joint structures, the joint structure 10 of this embodiment can reduce the number of parts, thereby reducing costs.
  • first and second bolts 17, 18 are inserted into the first and second bolt insertion holes 3k, 3m from the top surface 3A of the flow path block 3 and screwed into the first and second bolt screwing holes 11c, 11d of the flange 11, thereby fixing the flange 11 to the bottom surface 3B of the flow path block 3. Therefore, the flange 11 can be fixed to the flow path block 3 from the top surface 3A side, improving the ease of assembly.
  • the flange 11 has two first sleeve insertion holes 11e and two second sleeve insertion holes 11f between the first bolt screwing hole 11c and the second bolt screwing hole 11d, but three or more sleeve insertion holes may be formed and a sleeve may be inserted into each sleeve insertion hole.
  • the flow path block 3 is not limited to the above embodiment, and the shape of the flow path block, the shape of the fluid passages, the position of the openings, etc. may be changed according to the number, function, and position of the fluid control units.
  • Fluid control equipment 2A-2D 1st-4th pipes
  • Flow path block 3A Top 3B: Bottom 3c-3h: 1st-6th fluid passages 11: Flange 11c: 1st bolt screwing hole 11d: 2nd bolt screwing hole 11e: 1st sleeve insertion hole 11f: 2nd sleeve insertion hole 13: 1st sleeve 14: 2nd sleeve 17: 1st bolt 18: 2nd bolt

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Abstract

複数の流体通路が形成された流路ブロックに対して、容易に配管を接続可能な継手構造および流体制御機器を提供する。　同一面に開口する複数の流体通路が形成された流路ブロック３に、配管２Ａ～２Ｄを接続するための継手構造１０であって、第１ボルト螺合孔１１ｃおよび第２ボルト螺合孔１１ｄと、第１スリーブ挿入孔１１ｅおよび第２スリーブ挿入孔１１ｆとが形成されたフランジ１１と、内側が流路ブロック３の流体通路と連通する流体通路となり、配管２Ａ～２Ｄが接続され、フランジ１１の第１スリーブ挿入孔１１ｅおよび第２スリーブ挿入孔１１ｆに挿入された第１スリーブ１３および第２スリーブ１４と、フランジ１１の第１ボルト螺合孔１１ｃおよび第２ボルト螺合孔１１ｄに螺合して、フランジ１１を流路ブロック３の同一面に固定する第１ボルト１７および第２ボルト１８と、を備える。

Description

継手構造および流体制御機器
　本開示は、半導体製造装置等に使用される流体制御機器で用いられる継手構造およびその継手構造を含む流体制御機器に関する。
　処理チャンバにガスを供給するためのガスユニットを備える半導体製造装置が知られている。ガスユニットは、複数の流体制御機器および複数の流体制御機器を互いに接続する多数の配管により構成されている。各流体制御機器は流体通路が形成された流路ブロックを有し、流路ブロックの下面に流路が開口している。配管は、フランジ式管継手を介して、流路ブロックの流路に接続される。フランジ式管継手は、１つのフランジおよび１本のスリーブにより構成されており、下側から２本のボルトによりフランジが流路ブロックに連結され、スリーブに配管が接続されるように構成されている。
　流路ブロックに複数の流路が形成され、下面に複数の流路が開口している場合には、各流路に対して、下側から２本のボルトによりフランジおよびスリーブを連結する必要がある。しかし、ガスユニットにおいて、流路ブロックの下側の空間は非常に狭いため、流路ブロックに対する配管接続の施工性が悪い。
　そこで本開示は、複数の流体通路が形成された流路ブロックに対して、容易に配管を接続可能な継手構造および流体制御機器を提供することを目的とする。
　上記目的を解決するために、本開示の一態様である継手構造は、同一面に開口する複数の流体通路が形成された流路ブロックに、配管を接続するための継手構造であって、第１ボルト螺合孔および第２ボルト螺合孔と、前記第１ボルト螺合孔および前記第２ボルト螺合孔の間に位置する第１スリーブ挿入孔および第２スリーブ挿入孔と、が形成されたフランジと、内側が前記流路ブロックの流体通路と連通する流体通路となり、前記配管が接続され、前記フランジの前記第１スリーブ挿入孔および前記第２スリーブ挿入孔に挿入された第１スリーブおよび第２スリーブと、前記流路ブロックに形成された第１ボルト挿通孔および第２ボルト挿通孔を介して前記フランジの前記第１ボルト螺合孔および前記第２ボルト螺合孔に螺合して、前記フランジを前記流路ブロックの前記同一面に固定する第１ボルトおよび第２ボルトと、を備える。
　本開示の一態様である流体制御機器は、同一面に開口する複数の流体通路が形成された流路ブロックと、第１ボルト螺合孔および第２ボルト螺合孔と、前記第１ボルト螺合孔および前記第２ボルト螺合孔の間に位置する第１スリーブ挿入孔および第２スリーブ挿入孔と、が形成され、前記同一面に当接するフランジと、内側が前記流路ブロックの流体通路と連通する流体通路となり、配管が接続され、前記フランジの前記第１スリーブ挿入孔および前記第２スリーブ挿入孔に挿入された第１スリーブおよび第２スリーブと、前記流路ブロックに形成された第１ボルト挿通孔および第２ボルト挿通孔を介して前記フランジの前記第１ボルト螺合孔および前記第２ボルト螺合孔に螺合して、前記フランジを前記流路ブロックの前記同一面に固定する第１ボルトおよび第２ボルトと、を備える。
　本開示によれば、複数の流路が形成された流路ブロックに対して、容易に配管を接続可能な継手構造および流体制御機器を提供することができる。
実施形態に係る流体制御機器および複数の配管の斜視図である。 継手構造のフランジの斜視図である。 流路ブロックおよび継手構造の断面図である。
　本開示の実施形態に係る継手構造および流体制御機器について、図面を参照して説明する。以下の説明における上下は、図１の上下とする。
　図１は、本開示の実施形態に係る流体制御機器１および複数の配管２Ａ～２Ｄの斜視図である。
　図２は、継手構造１０のフランジ１１の斜視図である。
　図３は、流路ブロック３および継手構造１０の断面図である。
　図１に示すように、流体制御機器１は、流路ブロック３と、流体制御部４Ａ～４Ｄと、継手構造１０と、を備える。流路ブロック３は、略直方体形状をなし、上面３Ａおよび下面３Ｂを有する。上面３Ａは、下面３Ｂに対し反対側に位置する面である。流路ブロック３の上面３Ａには、流体制御部４Ａ～４Ｄが配置されている。流体制御部４Ａ～４Ｄの内部は、後述の第１～６流体通路３ｃ～３ｈと連通している。流体制御部４Ａ～４Ｄは、例えば、バルブ、アクチュエータ等である。
　流路ブロック３には、第１～６流体通路３ｃ～３ｈが形成されている。第１流体通路３ｃは、一端が下面３Ｂに開口し、他端が上面３Ａのうち流体制御部４Ａが位置する部分に開口している。第２流体通路３ｄは、一端が上面３Ａのうち流体制御部４Ａが位置する部分に開口し、他端が上面３Ａのうち流体制御部４Ｂが位置する部分に開口している。第３流体通路３ｅは、一端が上面３Ａのうち流体制御部４Ｂが位置する部分に開口し、図示せぬ他端が下面３Ｂに開口している。第４流体通路３ｆは、一端が下面３Ｂに開口し、他端が上面３Ａのうち流体制御部４Ｃが位置する部分に開口している。第５流体通路３ｇは、一端が上面３Ａのうち流体制御部４Ｃが位置する部分に開口し、他端が上面３Ａのうち流体制御部４Ｄが位置する部分に開口している。第６流体通路３ｈは、一端が上面３Ａのうち流体制御部４Ｄが位置する部分に開口し、他端が図示せぬ他端が下面３Ｂに開口している。
　図３に示すように、流路ブロック３の下面３Ｂには、第１流体通路３ｃの開口部の周りに環状の第１凹部３ｉが形成され、第４流体通路３ｆの開口部の周りに環状の第２凹部３ｊが形成されている。流路ブロック３の長手方向における一方側の辺の両端には、上面３Ａから下面３Ｂへ貫通する第１、２ボルト挿入孔３ｋ、３ｍが形成されている。
　図２、３に示すように、継手構造１０は、フランジ１１と、第１、２スリーブ１３、１４と、第１、２ガスケット１５、１６と、第１、２ボルト１７、１８と、を備える。
　フランジ１１は、略直方体のブロック状をなし、当接面１１Ａと、配管面１１Ｂとを有する。当接面１１Ａは、流路ブロック３の下面３Ｂに当接している。配管面１１Ｂは、当接面１１Ａに対し反対側に位置する面である。フランジ１１には、第１ボルト螺合孔１１ｃと、第２ボルト螺合孔１１ｄと、第１スリーブ挿入孔１１ｅと、第２スリーブ挿入孔１１ｆと、が形成されている。第１、２スリーブ挿入孔１１ｅ、１１ｆは、第１、２ボルト螺合孔１１ｃ、１１ｄとの間に位置する。
　第１、２ボルト螺合孔１１ｃ、１１ｄおよび第１、２スリーブ挿入孔１１ｅ、１１ｆは、当接面１１Ａと配管面１１Ｂに開口するように、フランジ１１を貫通している。第１、２ボルト螺合孔１１ｃ、１１ｄの当接面１１Ａ側には、雌ネジが形成されている。第１、２ボルト螺合孔１１ｃ、１１ｄは、ザグリ孔であり、当接面１１Ａ側に大径部を有する。
　第１、２スリーブ１３、１４は、略円筒状をなし、内側が流体通路となる。これらの流体通路は、流路ブロック３の第１流体通路３ｃおよび第４流体通路３ｆとそれぞれ連通している。第１、２スリーブ１３、１４は、第１、２スリーブ挿入孔１１ｅ、１１ｆにそれぞれ挿入されている。
　第１、２スリーブ１３、１４は、大径部１３Ａ、１４Ａと、小径部１３Ｂ、１４Ｂと、を有する。大径部１３Ａ、１４Ａの下側に小径部１３Ｂ、１４Ｂが位置している。大径部１３Ａ、１４Ａの上端には、フランジ部１３Ｃ、１４Ｃが設けられている。フランジ部１３Ｃ、１４Ｃは、第１、２スリーブ挿入孔１１ｅ、１１ｆのザグリ状の部分に挿入されている。フランジ部１３Ｃ、１４Ｃの上面には、環状の第３、４凹部１３ｄ、１４ｄが形成されている。大径部１３Ａ、１４Ａの下端は、フランジ１１の配管面１１Ｂよりも下側に突出している。
　第１、２ガスケット１５、１６は、円環状をなしている。第１ガスケット１５は、第１凹部３ｉおよび第３凹部１３ｄに収容されている。第２ガスケット１６は、第２凹部３ｊおよび第４凹部１４ｄに収容されている。第１、２ガスケット１５、１６により、第１、４流体通路３ｃ、３ｆおよび第１、２スリーブ１３、１４の流体通路と外部との間がシールされる。
　第１、２ボルト１７、１８は、ヘッド１７Ａ、１８Ａと、軸部１７Ｂ、１８Ｂと、雄ねじ部１７Ｃ、１８Ｃと、を備える。ヘッド１７Ａ、１８Ａには、六角孔が形成されている。軸部１７Ｂ、１８Ｂは、ヘッド１７Ａ、１８Ａから下方へ延び、第１、２ボルト挿入孔３ｋ、３ｍに挿通されている。雄ねじ部１７Ｃ、１８Ｃは、軸部１７Ｂ、１８Ｂの下端に設けられ、第１、２ボルト螺合孔１１ｃ、１１ｄに螺合している。
　図１～図３に示すように、流体制御機器１には、第１～４配管２Ａ～２Ｄが接続される。第１配管２Ａは、上下方向に延び、第１スリーブ１３の下端に溶接されている。第２配管２Ｂは、第１配管２Ａの下端に溶接され、第１配管２Ａに直交する方向に延びている。第３配管２Ｃは、第２スリーブ１４の下端に溶接されている。第３配管２Ｃは、上側部が上下方向に延び、下側部は上側部に対して折れ曲がり、第１配管２Ａから離間するように傾斜している。第４配管２Ｄは、第３配管２Ｃの下端に溶接され、第１配管２Ａに直交する方向に延びている。第２配管２Ｂおよび第４配管２Ｄは、略同一平面状に位置している。
　継手構造１０により流路ブロック３に配管２を接続する方法について説明する。まず、フランジ１１の第１スリーブ挿入孔１１ｅに第１スリーブ１３を挿入し、第１スリーブ１３に第１配管２Ａを溶接する。フランジ１１の第２スリーブ挿入孔１１ｆに第２スリーブ１４を挿入し、第２スリーブ１４に第３配管２Ｃを溶接する。次に、第１配管２Ａに第２配管２Ｂを溶接する。第１スリーブ１３、第１配管２Ａ、および第２配管２Ｂを治具により持ち上げた状態で、第３配管２Ｃに第４配管２Ｄを溶接する。上記溶接後、第１スリーブ１３、第１配管２Ａ、および第２配管２Ｂを下げる。このように、第２配管２Ｂおよび第４配管２Ｄの溶接を片方ずつ互いに離間させた状態で行うので、溶接部の熱影響を抑制することができる。
　第１、２スリーブ１３、１４の第３、４凹部１３ｄ、１４ｄに、第１、２ガスケット１５、１６を配置し、フランジ１１の当接面１１Ａを流路ブロック３の下面３Ｂに近接させる。この状態で、第１、２ボルト１７、１８を流路ブロック３の上面３Ａ側から第１、２ボルト挿入孔３ｋ、３ｍに挿入させて、フランジ１１の第１、２ボルト螺合孔１１ｃ、１１ｄに螺合させて、第１、２ガスケット１５、１６を押しつぶす。これにより、フランジ１１は、流路ブロック３の下面３Ｂに固定され、流路ブロック３に配管２Ａ～２Ｄが継手構造１０により接続される。
　本実施形態の継手構造１０によれば、１つのフランジ１１により２本の第１、２スリーブ１３、１４を２本の第１、２ボルト１７、１８で、複数の流体通路が形成された流路ブロック３に対して容易に接続することができる。すなわち、継手構造１０によれば、複数の流体通路が形成された流路ブロック３に対して、配管２Ａ～２Ｄを容易に接続することができる。また、本実施形態の継手構造１０は、従来の継手構造と比較して、流体制御機器１の下面３Ｂに施工のためのスペースを必要としないので、他の配管や流体制御機器等の設置も容易となる。さらに、本実施形態の継手構造１０は、従来の継手構造と比較して　部品点数を減少させることができ、コストダウンを図ることができる。
　また、第１、２ボルト１７、１８は、流路ブロック３の上面３Ａ側から第１、２ボルト挿入孔３ｋ、３ｍに挿入させ、フランジ１１の第１、２ボルト螺合孔１１ｃ、１１ｄに螺合させることにより、フランジ１１は、流路ブロック３の下面３Ｂに固定される。このため、フランジ１１の流路ブロック３への固定は、上面３Ａ側から行うことができるので、組立の施工性を向上させることができる。
　なお、本開示は、上述した実施例に限定されない。当業者であれば、本開示の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。
　上記の実施形態では、フランジ１１において、第１ボルト螺合孔１１ｃと第２ボルト螺合孔１１ｄとの間に、２つの第１スリーブ挿入孔１１ｅおよび第２スリーブ挿入孔１１ｆが形成されていたが、３つ以上のスリーブ挿入孔が形成されて、各スリーブ挿入孔にスリーブを挿入するようにしてもよい。流路ブロック３は、上記の実施形態に限られず、流体制御部の数、機能および位置に合わせて、流路ブロックの形状、流体通路の形状、開口の位置等を変更してもよい。
１：流体制御機器　　２Ａ～２Ｄ：第１～４配管　　３：流路ブロック　　３Ａ：上面　　３Ｂ：下面　　３ｃ～３ｈ：第１～６流体通路　　１１：フランジ　　１１ｃ：第１ボルト螺合孔　　１１ｄ：第２ボルト螺合孔　　１１ｅ：第１スリーブ挿入孔　　１１ｆ：第２スリーブ挿入孔　　１３：第１スリーブ　　１４：第２スリーブ　　１７：第１ボルト　　１８：第２ボルト

Claims (2)

  1. 　同一面に開口する複数の流体通路が形成された流路ブロックに、配管を接続するための継手構造であって、
    　第１ボルト螺合孔および第２ボルト螺合孔と、前記第１ボルト螺合孔および前記第２ボルト螺合孔の間に位置する第１スリーブ挿入孔および第２スリーブ挿入孔と、が形成されたフランジと、
    　内側が前記流路ブロックの流体通路と連通する流体通路となり、前記配管が接続され、前記フランジの前記第１スリーブ挿入孔および前記第２スリーブ挿入孔に挿入された第１スリーブおよび第２スリーブと、
    　前記流路ブロックに形成された第１ボルト挿通孔および第２ボルト挿通孔を介して前記フランジの前記第１ボルト螺合孔および前記第２ボルト螺合孔に螺合して、前記フランジを前記流路ブロックの前記同一面に固定する第１ボルトおよび第２ボルトと、を備える継手構造。
  2. 　同一面に開口する複数の流体通路が形成された流路ブロックと、
    　第１ボルト螺合孔および第２ボルト螺合孔と、前記第１ボルト螺合孔および前記第２ボルト螺合孔の間に位置する第１スリーブ挿入孔および第２スリーブ挿入孔と、が形成され、前記同一面に当接するフランジと、
    　内側が前記流路ブロックの流体通路と連通する流体通路となり、配管が接続され、前記フランジの前記第１スリーブ挿入孔および前記第２スリーブ挿入孔に挿入された第１スリーブおよび第２スリーブと、
    　前記流路ブロックに形成された第１ボルト挿通孔および第２ボルト挿通孔を介して前記フランジの前記第１ボルト螺合孔および前記第２ボルト螺合孔に螺合して、前記フランジを前記流路ブロックの前記同一面に固定する第１ボルトおよび第２ボルトと、を備える流体制御機器。
     
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