WO2024150656A1

WO2024150656A1 - センサ素子及びガスセンサ

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Publication number: WO2024150656A1
Application number: PCT/JP2023/046372
Authority: WO
Inventors: 泰光清水; 楓汰青島; 斉古田; 拓也土井
Original assignee: Niterra Co Ltd
Current assignee: Niterra Co Ltd
Priority date: 2023-01-12
Filing date: 2023-12-25
Publication date: 2024-07-18
Anticipated expiration: 2025-07-12
Also published as: DE112023005550T5; CN120153251A; JP7829070B2; JPWO2024150656A1

Abstract

【課題】電極に接続されるとともに連通孔に臨んで外部と連通するリードへの水侵入による断線を抑制したセンサ素子及びガスセンサを提供する。【解決手段】１対の電極１０４ａ、１０６ａと、１対の電極にそれぞれ接続される１対のリード１０４ｂ、１０６ｂと、を備えたセンサ素子１００であって、１対のリードの一方１０４ｂはセンサ素子の内部に配置される内部リードであるとともに、自身の一部がセンサ素子に設けられた連通孔１０５ａ、１０６ａ、１０７ａ、１０９ａ、１１１ａに臨んで外部と連通し、内部リードは、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ及びＡｕの群から選ばれる１種以上の貴金属粒子１０４Ｍと、セラミック粒子１０４Ｓと、気孔１０４Ｖとを含んで構成され、内部リードの気孔率が０％より大きく、１１％以下であり、内部リードの断面における気孔の合計面積に対し、断面積が５μｍ^２以上の大径気孔の合計面積の割合ＲＡが８％以上を占める。

Description

センサ素子及びガスセンサ

　本発明は、例えば燃焼器や内燃機関等の燃焼ガスや排気ガス中に含まれる特定ガスのガス濃度を検出するのに好適に用いられるセンサ素子及びガスセンサに関する。

　内燃機関の排気ガス中に含まれる特定成分（酸素等）の濃度を検出するためのガスセンサが知られている。この種のガスセンサは、その内部に、細長く延びた板状のセンサ素子を備えている。センサ素子の先端部には、特定成分を検知するための検知部が設けられている（特許文献１参照）。
　検知部は１対の電極と固体電解質体とで構成されており、各電極から後端側に向かってリードが延びている。ここで、基準電極に接続される基準リード部には、内部に空孔が形成され、基準リード部を介して素子内外のガスが連通できる構造とすることで、基準電極周囲の基準ガスの圧力を調整するものがある。

特開２０２２－０３２２４０号公報

　ところで、ガスセンサ内部に侵入した水や結露によって発生した水がセンサ素子に接触すると、連通孔から入った水をリードが吸収し、その後にセンサ素子が加熱されたときにリード内部で水が気化、膨張してリードが破損、断線するおそれがある。

　本発明の目的は、電極に接続されるとともに連通孔に臨んで外部と連通するリードへの水侵入による断線を抑制したセンサ素子及びガスセンサを提供することである。

　上記課題を解決するため、本発明のセンサ素子は、１対の電極と、前記１対の電極にそれぞれ接続される１対のリードと、を備えたセンサ素子であって、前記１対のリードの一方は前記センサ素子の内部に配置される内部リードであるとともに、自身の一部が前記センサ素子に設けられた連通孔に臨んで外部と連通し、前記内部リードは、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ及びＡｕの群から選ばれる１種以上の貴金属粒子と、セラミック粒子と、気孔とを含んで構成され、前記内部リードの気孔率が０％より大きく、１１％以下であり、前記内部リードの断面における前記気孔の合計面積に対し、断面積が５μｍ^２以上の大径気孔の合計面積の割合ＲＡが８％以上を占めることを特徴とする。

　このセンサ素子によれば、内部リードの気孔率が０％より大きく、１１％以下であるので、適度にガス透過性を有して基準電極周囲の基準ガスの圧力を調整できるとともに、気孔率が高すぎて貴金属粒子が気孔で分断されて断線することを抑制できる。
　そして、大径気孔の合計面積の割合ＲＡが８％以上であるので、この大径気孔から内部リードに吸収された水が連通孔へ向かって抜けやすくなる。その結果、センサ素子に水が侵入後に加熱されたときに、内部リードの内部で水が気化、膨張して内部リードが破損、断線することを抑制できる。

　本発明のセンサ素子において、前記割合ＲＡが６０％未満であってもよい。
　このセンサ素子によれば、内部リードの剥離を抑制できる。

　本発明のガスセンサは、請求項１又は２に記載のセンサ素子と、前記センサ素子を保持する主体金具と、を有することを特徴とする。

　この発明によれば、電極に接続されるとともに連通孔に臨んで外部と連通するリードへの水侵入による断線を抑制したセンサ素子及びガスセンサが得られる。

軸線方向に沿って切断されたガスセンサの断面図である。センサ素子を構成する検出素子部及びヒータ部を模式的に表した分解斜視図である。実施例１の第１リード部を含む断面ＳＥＭ像を示す図である。比較例１の第１リード部を含む断面ＳＥＭ像を示す図である。

　以下、本発明の実施形態について説明する。
　先ず、本実施形態に係るセンサ素子１００を含むガスセンサ（酸素センサ）１の構成について説明する。図１は、軸線Ｌ方向に沿って切断されたガスセンサ１の断面図、図２は、センサ素子１００を構成する検出素子部３００及びヒータ部２００を模式的に表した分解斜視図である。なお、本明細書では、図１に示されるガスセンサ１の下側を、「先端側」と称し、その反対側（図１の上側）を、「後端側」と称する。

　ガスセンサ１は、図１に示されるように、検出素子部３００及びヒータ部２００の積層体からなるセンサ素子１００と、そのセンサ素子１００等を内部に収容する形で保持する主体金具３０と、その主体金具３０の先端部に装着されるプロテクタ２４を備えている。センサ素子１００は、全体的には、細長く延びた板状をなしており、その長手方向が、軸線Ｌ方向に沿うように配置されている。なお、センサ素子１００の先端側には、多孔質保護層２０が形成されている。

　図２に示されるように、ヒータ部２００は、全体的には、細長く延びた板状をなしており、アルミナを主体とする第１基体１０１及び第２基体１０３と、第１基体１０１と第２基体１０３とに挟まれ、白金を主体とする発熱体１０２とを有している。発熱体１０２は、先端側に位置する発熱部１０２ａと、その発熱部１０２ａから第１基体１０１の長手方向（軸線Ｌ方向）に沿って延びる一対のヒータリード部１０２ｂとを有している。そして、ヒータリード部１０２ｂの末端は、第１基体１０１に設けられているヒータ側スルーホール１０１ａに形成された導体を介してヒータ側パッド１２０と電気的に接続されている。

　検出素子部３００は、ヒータ部２００と同様、全体的には、細長く延びた板状をなしており、酸素濃度検出セル１３０と酸素ポンプセル１４０とを備えている。
　酸素濃度検出セル１３０は、第１固体電解質体１０５と、その第１固体電解質体１０５の両面に形成された第１電極１０４及び第２電極１０６とから構成されている。第１電極１０４は、第１電極部１０４ａと、その第１電極部１０４ａから第１固体電解質体１０５の長手方向（軸線Ｌ方向）に沿って延びる第１リード部１０４ｂとから構成されている。第２電極１０６は、第２電極部１０６ａと、その第２電極部１０６ａから第１固体電解質体１０５の長手方向（軸線Ｌ方向）に沿って延びる第２リード部１０６ｂとから構成されている。

　第１リード部１０４ｂの末端は、第１固体電解質体１０５に設けられる第１スルーホール１０５ａ、後述する絶縁層１０７に設けられる第２スルーホール１０７ａ、第２固体電解質体１０９に設けられる第４スルーホール１０９ａ及び保護層１１１に設けられる第６スルーホール１１１ａのそれぞれに形成される導体を介して検出素子側パッド１２１と電気的に接続される。第２リード部１０６ｂの末端は、後述する絶縁層１０７に設けられる第３スルーホール１０７ｂ、第２固体電解質体１０９に設けられる第５スルーホール１０９ｂ及び保護層１１１に設けられる第７スルーホール１１１ｂのそれぞれに形成される導体を介して検出素子側パッド１２１と電気的に接続される。

　第１電極部１０４ａ及び第２電極部１０６ａが特許請求の範囲の「１対の電極」に相当し、第１リード部１０４ｂが特許請求の範囲の「一方のリード（内部リード）」に相当する。
　また、第１スルーホール１０５ａ、第２スルーホール１０７ａ、第４スルーホール１０９ａ及び第６スルーホール１１１ａが特許請求の範囲の「連通孔」に相当する。

　酸素ポンプセル１４０は、第２固体電解質体１０９と、その第２固体電解質体１０９の両面に形成された第３電極１０８及び第４電極１１０とから構成されている。第３電極１０８は、第３電極部１０８ａと、この第３電極部１０８ａから第２固体電解質体１０９の長手方向（軸線Ｌ方向）に沿って延びる第３リード部１０８ｂとから構成されている。第４電極１１０は、第４電極部１１０ａと、この第４電極部１１０ａから第２固体電解質体１０９の長手方向（軸線Ｌ方向）に沿って延びる第４リード部１１０ｂとから構成されている。

　第３リード部１０８ｂの末端は、第２固体電解質体１０９に設けられる第５スルーホール１０９ｂ及び保護層１１１に設けられる第７スルーホール１１１ｂのそれぞれに形成される導体を介して検出素子側パッド１２１と電気的に接続される。第４リード部１１０ｂの末端は、保護層１１１に設けられる第８スルーホール１１１ｃに形成される導体を介して検出素子側パッド１２１と電気的に接続される。なお、第２リード部１０６ｂと第３リード部１０８ｂは同電位となっている。

　第１固体電解質体１０５及び第２固体電解質体１０９は、ジルコニア（ＺｒＯ_２）に安定化剤としてイットリア（Ｙ_２Ｏ_３）又はカルシア（ＣａＯ）を添加してなる部分安定化ジルコニア焼結体から構成される。
　発熱体１０２、第１電極１０４、第２電極１０６、第３電極１０８、第４電極１１０、ヒータ側パッド１２０及び検出素子側パッド１２１は、白金族元素で形成することができる。これらを形成する好適な白金族元素としては、Ｐｔ、Ｒｈ、Ｐｄ等が挙げられる。なお、これらの白金族元素は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

　上記発熱体１０２等は、耐熱性及び耐酸化性の観点より、Ｐｔを主体にして形成することが好ましい。また、上記発熱体１０２等は、主体となる白金族元素の他にセラミック成分を含有することが好ましい。このセラミック成分は、固着という観点より、積層される側の主体となる材料と同様の成分であることが好ましい。

　そして、上述した酸素ポンプセル１４０と酸素濃度検出セル１３０との間に、絶縁層１０７が形成されている。絶縁層１０７は、絶縁部１１４と拡散抵抗部１１５とからなる。この絶縁層１０７の絶縁部１１４には、第２電極部１０６ａ及び第３電極部１０８ａに対応する位置に中空の測定室１０７ｃが形成されている。この測定室１０７ｃは、絶縁層１０７の幅方向で外部と連通しており、その連通した部分には、外部と測定室１０７ｃとの間のガス拡散を所定の律速条件下で実現する拡散抵抗部１１５が配置されている。
　絶縁部１１４は、絶縁性を有するセラミック焼結体であれば限定されず、例えば、アルミナやムライト等の酸化物系セラミック等から構成される。
　拡散抵抗部１１５は、アルミナからなる多孔質体であり、この多孔質体からなる拡散抵抗部１１５によって、検出ガスが測定室１０７ｃへ流入する際の速度が調整される。

　また、第２固体電解質体１０９の表面には、第４電極１１０を挟み込むようにして、保護層１１１が形成されている。この保護層１１１は、第４電極部１１０ａを挟み込むようにして、第４電極部１１０ａを被毒から防御するための多孔質の電極保護部１１３ａと、第４リード部１１０ｂを挟み込むようにして、第２固体電解質体１０９を保護するための補強部１１２とからなる。なお、本実施形態のセンサ素子１００は、酸素濃度検出セル１３０の電極間に生じる電圧（起電力）が所定の値（例えば、４５０ｍＶ）となるように、酸素ポンプセル１４０の電極間に流れる電流の方向及び大きさが調整され、酸素ポンプセル１４０に流れる電流に応じた被測定ガス中の酸素濃度をリニアに検出する酸素センサ素子となっている。

　ここで、軸線Ｌ方向に垂直なセンサ素子１００の断面を見たとき、保護層１１１及び第１基体１０１からなる外縁が長辺をなし、積層方向に沿う２辺が短辺となる矩形状の断面をなす。

　図１に戻り、主体金具３０は、ＳＵＳ４３０製であり、ガスセンサ１を排気管に取り付けるための雄ねじ部３１と、取り付け時に取り付け工具をあてがう六角部３２とを備えている。また、主体金具３０には、径方向内側に向かって突出する金具側段部３３が設けられており、その金具側段部３３はセンサ素子１００を保持するための金属ホルダ３４を支持している。そしてこの金属ホルダ３４の内側にはセラミックホルダ３５、滑石３６が先端側から順に配置されている。
　この滑石３６は、金属ホルダ３４内に配置される第１滑石３７と、金属ホルダ３４の後端に配置される第２滑石３８とからなる。金属ホルダ３４内で第１滑石３７が圧縮充填されることによって、センサ素子１００は金属ホルダ３４に対して固定される。また、主体金具３０内で第２滑石３８が圧縮充填されることによって、センサ素子１００の外面と主体金具３０の内面との間のシール性が確保される。

　そして第２滑石３８の後端側には、アルミナ製のスリーブ３９が配置されている。このスリーブ３９は多段の円筒状に形成されており、軸線Ｌに沿うように軸孔３９ａが設けられ、そのような軸孔３９ａを含むスリーブ３９の内部にセンサ素子１００が挿通される。そして、主体金具３０の後端側にある加締め部３０ａが内側に折り曲げられており、そのような加締め部３０ａにより、スリーブ３９がステンレス製のリング部材４０を介して主体金具３０の先端側に押圧されている。

　また、主体金具３０の先端側外周には、金属製のプロテクタ２４が溶接によって取り付けられている。プロテクタ２４は、二重構造をなしており、外側には一様な外径を有する有底円筒状の外側プロテクタ４１が配置され、内側には後端部４２ａの外径が先端部４２ｂの外径よりも大きく形成された有底円筒状の内側プロテクタ４２が配置されている。このようなプロテクタ２４は、主体金具３０の先端から突出するセンサ素子１００の先端部を覆うと共に、複数のガス取り入れ孔２４ａを有する。

　主体金具３０の後端側には、ＳＵＳ４３０製の外筒２５の先端側が挿入されている。外筒２５は、先端側が拡径した先端部２５ａを備えており、その先端部２５ａが、主体金具３０にレーザ溶接等で固定されている。外筒２５の後端側の内部には、セパレータ５０が配置されており、そのセパレータ５０と外筒２５との間で形成される隙間に、保持部材５１が介在されている。保持部材５１は、セパレータ５０の周面から外側に盛り上がった突出部５０ａに係合しつつ、加締められた外筒２５とセパレータ５０との間で固定されている。

　また、セパレータ５０には、検出素子部３００用やヒータ部２００用の各種のリード線１１，１２，１３を挿入するための挿通孔５０ｂが先端側から後端側に亘って貫通する形で設けられている。なお、図１には、説明の便宜上、３本のリード線１１，１２，１３のみが示され、それら以外のリード線の図示は、省略した。挿通孔５０ｂ内には、上記リード線１１等と、検出素子部３００の検出素子側パッド１２１及びヒータ部２００のヒータ側パッド１２０とを接続する接続端子１６が収容されている。各リード線１１等は、外部において、図示されないコネクタに接続可能な構成となっており、そのようなコネクタを介してＥＣＵ等の外部機器と各リード線１１等との間で、電気信号の入出力が行われる。

　更に、セパレータ５０の後端側には、外筒２５の後端側の開口部２５ｂを閉塞するための略円柱状のゴムキャップ５２が配置されている。このゴムキャップ５２は、外筒２５の後端内に収容された状態で、外筒２５が径方向内側に向かって加締められることにより、外筒２５に固着される。また、ゴムキャップ５２にも、リード線１１等をそれぞれ挿入するための挿通孔５２ａが先端側から後端側に亘って貫通する形で設けられている。

　次に、本発明の特徴部分である第１リード部１０４ｂについて説明する。
　第１リード部１０４ｂは気孔を含むガス透過性の多孔質体からなり、センサ素子１００に設けられた連通孔（第１スルーホール１０５ａ、第２スルーホール１０７ａ、第４スルーホール１０９ａ及び第６スルーホール１１１ａ）に臨んで外部と連通している。第６スルーホール１１１ａに電気的に接続される検出素子側パッド１２１もガス透過性の多孔質体からなる。
　そして、第１電極部で生成された基準ガスは、第１リード部１０４ｂ、連通孔を経由して外部に排出されるようになっている。

　この場合、センサ素子１００内部に水が浸入すると、連通孔から入った水を第１リード部１０４ｂが吸収し、その後にセンサ素子１００が加熱されたときに第１リード部１０４ｂ内部で水が気化、膨張して第１リード部１０４ｂが破損、断線するおそれがある。

　そこで、本発明において、第１リード部１０４ｂは、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ及びＡｕの群から選ばれる１種以上の貴金属粒子と、セラミック粒子と、気孔とを含んで構成され、気孔率が０％より大きく、１１％以下であり、断面における気孔の合計面積に対し、断面積が５μｍ^２以上の大径気孔の合計面積の割合ＲＡが８％以上を占める。

　第１リード部１０４ｂの気孔率が０％より大きい理由は、第１リード部１０４ｂが気孔を有しないとガス不透過性となり、第１電極部１０４ａの基準ガスの圧力を調整できなくなるからである。
　一方、第１リード部１０４ｂの気孔率が高い方がガスを透過し易くなるが、気孔率が１１％を超えると、第１リード部１０４ｂ中の導電体である貴金属粒子が気孔で分断されて断線し易くなる。
　気孔率が５％以上が好ましく、８％以上がより好ましい。

　さらに、第１リード部１０４ｂにおいて、断面における気孔の合計面積に対し、断面積が５μｍ^２以上の大径気孔の合計面積の割合ＲＡが８％以上を占めることで、この大径気孔から第１リード部１０４ｂに吸収された水が連通孔へ向かって抜けやすくなる。
　その結果、センサ素子１００内部に水が浸入後に加熱されたときに、第１リード部１０４ｂ内部で水が気化、膨張して第１リード部１０４ｂが破損、断線することを抑制できる。
　上記割合ＲＡが６０％未満であると好ましい。割合ＲＡが６０％以上であると、第１リード部１０４ｂが剥離するおそれがある。

　ＲＡが４０％以下がより好ましく、３０％以下がさらに好ましく、２１．６％以下が最も好ましい。
　また、ＲＡが１０％以上が好ましく、１５％以上がより好ましく、２０％以上が最も好ましい。
　ＲＡの範囲としては、例えば、１０～４０％が好ましく、１５～３０％がさらに好ましく、２０～２１．６％が最も好ましい。

　第１リード部１０４ｂの気孔率の測定方法は、図３のような第１リード部１０４ｂを含む断面ＳＥＭ像に基づいて行う。なお、図３は後述する実施例の断面ＳＥＭ像である。
　まず、断面ＳＥＭ像を二値化して空孔部分である気孔１０４Ｖを抽出し（二値化ソフトウェア：ImageJ）、Analyze Particleコマンドから個々の気孔の面積及び面積ごとの個数を算出する。
　気孔１０４Ｖは断面ＳＥＭ像の中で最も暗部であり、第１リード部１０４ｂを構成する貴金属粒子１０４Ｍが最も明部である。また、第１リード部１０４ｂを構成するセラミック粒子１０４Ｓは中間の明度である。

　次に、気孔１０４Ｖのうち貴金属粒子１０４Ｍに繋がるとともに第１リード部１０４ｂの厚み方向に最も外側（図３の上下方向）の気孔１０４Ｖの端部から、第１リード部１０４ｂの面方向（図３の左右方向）に平行線ＢＬを引く。平行線ＢＬは、第１リード部１０４ｂの上側と、下側にそれぞれ引く。
　そして、２つの平行線ＢＬで囲まれた断面ＳＥＭ像の領域を第１リード部１０４ｂの断面積とみなし、気孔１０４Ｖの合計面積から、気孔率を算出する。

　なお、気孔１０４Ｖのうち貴金属粒子１０４Ｍに繋がらない（つまり、平行線ＢＬよりも貴金属粒子１０４Ｍから遠い）ものは、第１リード部１０４ｂに隣接する他の層の内部の巣（空隙）と考えられるので、排除する。
　また、貴金属粒子１０４Ｍに繋がる気孔１０４Ｖよりも、他の貴金属粒子１０４Ｍが厚み方向に最も外側に位置する場合は、その貴金属粒子１０４Ｍの位置を平行線ＢＬとする。

　第１リード部１０４ｂの断面における断面積が５μｍ^２以上の大径気孔の合計面積は、上述のように画像解析した個々の気孔１０４Ｖの面積ごとの個数からヒストグラムを作成して算出する。そして、上述のように画像解析した気孔の合計面積から、大径気孔の合計面積の割合ＲＡを算出する。

　本発明は上記した実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。
　ガスセンサとしては、酸素センサに限らず、例えばＮＯｘセンサでもよい。

　第１リード部１０４の貴金属粒子としてＰｔを用い、セラミック粒子としてアルミナを用いて、第１リード部１０４の気孔率を種々に変えて図１、図２に示すセンサ素子１００を複数個作製した。
　得られた各センサ素子１００を水に浸して第１リード部１０４内部に水を侵入させ、その後乾燥させた。次に、センサ素子１００のヒータ部２００を駆動して所定温度に昇温し、特性検査により、第１リード部１０４のパンク（断線）率を測定した。パンク（断線）率は、リードが破損、断線する割合を示す。

　また、パンク（断線）率を測定したセンサ素子１００と同一ロットの（パンク率を測定していない）センサ素子１００につき、第１リード部１０４を含む断面ＳＥＭ像を撮影した。この断面ＳＥＭ像に基づき、上述の画像解析により、第１リード部１０４の気孔率、及び大径気孔の合計面積の割合ＲＡを算出した。
　得られた結果を表１、図３、図４に示す。

　表１に示すように、気孔率が１１％以下、かつ大径気孔の合計面積の割合ＲＡが８％以上の実施例１の場合、パンク（断線）率が０％であり、リードが破損、断線することを抑制できた。
　一方、気孔率が１１％以下であるが、大径気孔の合計面積の割合ＲＡが８％未満の比較例１、２の場合、パンク（断線）率が１００％であり、リードが破損、断線した。
　また、大径気孔の合計面積の割合ＲＡが８％以上であるが、気孔率が１１％を超えた比較例３の場合も、パンク（断線）率が高く、リードが破損、断線した。

　なお、図３、図４はそれぞれ実施例１、比較例１の第１リード部１０４を含む断面ＳＥＭ像であり、比較例１の方が個々の気孔１０４Ｖの断面積が小さく、吸収した水が抜けにくいことがわかる。

　１　　ガスセンサ
　３０　　主体金具
　１００　　センサ素子
　１０４ａ　　第１電極部（１対の電極）
　１０４ｂ　　第１リード部（一方のリード（内部リード））
　１０４Ｍ　　貴金属粒子
　１０４Ｓ　　セラミック粒子
　１０４Ｖ　　気孔
　１０５ａ　　第１スルーホール（連通孔）
　１０６ａ　　第２電極部（１対の電極）
　１０６ｂ　　第２リード部（１対のリード）
　１０７ａ　　第２スルーホール（連通孔）
　１０９ａ　　第４スルーホール（連通孔）
　１１１ａ　　第６スルーホール（連通孔）

Claims

　１対の電極と、
　前記１対の電極にそれぞれ接続される１対のリードと、を備えたセンサ素子であって、
　前記１対のリードの一方は前記センサ素子の内部に配置される内部リードであるとともに、自身の一部が前記センサ素子に設けられた連通孔に臨んで外部と連通し、
　前記内部リードは、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ及びＡｕの群から選ばれる１種以上の貴金属粒子と、セラミック粒子と、気孔とを含んで構成され、
　前記内部リードの気孔率が０％より大きく、１１％以下であり、
　前記内部リードの断面における前記気孔の合計面積に対し、断面積が５μｍ^２以上の大径気孔の合計面積の割合ＲＡが８％以上を占めることを特徴とするセンサ素子。
　前記割合ＲＡが６０％未満であることを特徴とする請求項１に記載のセンサ素子。
　請求項１又は２に記載のセンサ素子と、
　前記センサ素子を保持する主体金具と、
を有することを特徴とするガスセンサ。