WO2024135575A1

WO2024135575A1 - 感光性樹脂組成物、隔壁および光学素子

Info

Publication number: WO2024135575A1
Application number: PCT/JP2023/045159
Authority: WO
Inventors: 遥渡邊; 翔仲嶋; 遼平野
Original assignee: Ａｇｃ株式会社
Priority date: 2022-12-21
Filing date: 2023-12-15
Publication date: 2024-06-27

Abstract

本発明は、アルカリ可溶性材料（Ａ）、感光材（Ｂ）及び撥インク剤（Ｃ）を含む感光性樹脂組成物であって、前記撥インク剤（Ｃ）が、下記式（ｃ）で表される構造を含む、感光性樹脂組成物に関する。　－（ＯＣＦ_２）_ｎ－　（ｃ）　ｎ：３～１００の整数

Description

感光性樹脂組成物、隔壁および光学素子

　本発明は、感光性樹脂組成物、隔壁および光学素子に関する。

　光学素子である、カラーフィルタや有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）素子の画素部に用いられる隔壁は、感光性樹脂組成物を基板に塗布して、フォトリソグラフィ技術により形成する方法が知られている。

　近年、カラーフィルタや有機ＥＬ素子の画素部の製造方法として、インクジェット法を利用した低コスト化プロセスが提案されている。
　例えば、カラーフィルタの製造においては、隔壁をフォトリソグラフィにより形成した後に、隔壁で囲まれた開口部（ドット）にＲ（レッド）、Ｇ（グリーン）、及びＢ（ブルー）のインクをインクジェット法により噴射し、塗布して、画素を形成する。

　また、インクジェット法では、隣り合う画素間におけるインクの混色を防ぐ必要がある。したがって、隔壁の上面には、インクジェットの吐出液である水や有機溶剤を含むインクをはじく性質、いわゆる撥インク性が要求される。一方、インクジェット法で画素に形成されるインク層には、優れた膜厚均一性が必要である。そのため、隔壁側面を含む隔壁で囲まれたドット形成用の開口部は、吐出液に対して良好な濡れ性、いわゆる親インク性を有することが要求される。

　隔壁の上面を撥インク性にするためには、隔壁形成に用いる感光性樹脂組成物に撥インク剤を添加する技術が開発されている。
　さらに、ドットのパターンの微細化、複雑化等にともない発生が懸念されるインクの混合を防止する観点から、誤って隔壁上面にインクが供給された場合には、インクを開口部に移動（転落）させやすくするために、撥インク性に加えて、インクの転落性に優れることが求められるようになった。

　たとえば、特許文献１には、－Ｏ－ＣＦ_２－構造を有する撥インク剤を含むネガ型感光性樹脂組成物が記載されている。

国際公開第２０１５／０９３４１５号

　しかしながら、特許文献１に記載される撥インク剤は、－Ｏ－ＣＦ_２－構造を有する広範囲の化合物を包含し、実質的に開示された撥インク剤を用いて得られた隔壁は、インク転落性および親インク性において改善の余地があった。

　本発明は、隔壁上面に良好な撥インク性とインク転落性を付与でき、かつ、開口部に良好な親インク性を付与できる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
　本発明はまた、上面に良好な撥インク性とインク転落性を有し、隔壁で仕切られた開口部に良好な親インク性を有する隔壁を提供することを目的とする。
　本発明はさらに、隔壁で仕切られた開口部にインクが均一塗布されたドットを有する光学素子を提供することを目的とする。

　本発明は、以下の感光性樹脂組成物に関する。
〔１〕アルカリ可溶性材料（Ａ）、感光材（Ｂ）及び撥インク剤（Ｃ）を含む感光性樹脂組成物であって、前記撥インク剤（Ｃ）が、下記式（ｃ）で表される構造を含む、感光性樹脂組成物。
　　－（ＯＣＦ_２）_ｎ－　　（ｃ）
　　ｎ：３～１００の整数

　本発明の感光性樹脂組成物によれば、隔壁上面に良好な撥インク性とインク転落性を付与でき、かつ、開口部に良好な親インク性を付与できる。
　また本発明の感光性樹脂組成物によれば、上面に良好な撥インク性とインク転落性を有し、隔壁で仕切られた開口部に良好な親インク性を有する隔壁が得られる。
　さらに本発明の感光性樹脂組成物によれば、隔壁で仕切られた開口部にインクが均一塗布されたドットを有する光学素子が得られる。

　本明細書においては、式（ｘ）で表される化合物を「化合物（ｘ）」と記載する場合がある。また式（ｙ）で表される基を「基（ｙ）」と記載する場合がある。
　本明細書における「全固形分」とは、感光性樹脂組成物が含有する成分のうち、隔壁形成成分であり、隔壁形成過程において加熱等により揮発する、溶媒等の揮発性成分以外の全成分を示す。全固形分は、感光性樹脂組成物を１４０℃で２４時間加熱して溶媒を除去した、残存物として測定される。また、全固形分は各成分の仕込み量からも計算できる。
　本明細書においては、感光性樹脂組成物を塗布した膜を「塗膜」、それを乾燥させた状態を「膜」、さらに、それを硬化させて得られる膜を「硬化膜」という。

　本明細書における「インク」とは、乾燥硬化した後に、例えば光学的、電気的に機能を有する液体を総称するものであり、従来から用いられている着色材料に限定されるものではない。また、上記インクを注入して形成される「画素」についても同様に、隔壁で仕切られた、光学的、電気的な機能を有する区分を表すものとして用いられる。
　本明細書における「撥インク性」とは、上記インクをはじくために、撥水性と撥油性の両方を適度に有する性質をいい、例えば、インクを滴下したときの検体表面における濡れ性の指標となる静的接触角により評価できる。
　本明細書における「インク転落性」とは、検体表面におけるインクの移動しやすさをいい、例えば、インクを滴下したときの検体表面における動的接触角により評価できる。
　本明細書における「親インク性」とは、撥インク性と相反する性質であり、例えば、撥インク性と同様にインクを滴下したときの静的接触角により評価できる。

　本明細書における「ドット」とは、光学素子における光変調可能な最小領域を示す。有機ＥＬ素子、液晶素子のカラーフィルタ、およびＴＦＴアレイ等の光学素子においては、白黒表示の場合に１ドット＝１画素であり、カラー表示の場合に例えば３ドット（Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）等）＝１画素である。ドットは、例えば、隔壁で仕切られた区画、すなわち隔壁で囲まれた開口部にインクが注入されることで形成される。

　本明細書において質量平均分子量（Ｍｗ）とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）によりテトラヒドロフランを移動相として測定される、標準ポリスチレンを基準として換算した質量平均分子量を意味する。また、数平均分子量（Ｍｎ）とは、同様のＧＰＣで測定した数平均分子量を意味する。

　本明細書において特に説明のない場合、％は質量％を表す。

　本発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性材料（Ａ）、感光材（Ｂ）及び撥インク剤（Ｃ）を含む。
　撥インク剤（Ｃ）は下記式（ｃ）で表される構造を含む。
　　－（ＯＣＦ_２）_ｎ－　　（ｃ）
　　ｎ：３～１００の整数
　撥インク剤（Ｃ）が、ペルフルオロメチレンエーテル構造を繰り返し単位として含むことにより、隔壁上面に良好な撥インク性とインク転落性を付与でき、かつ、開口部に良好な親インク性を付与できる。

　本発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、ネガ型感光性樹脂組成物およびポジ型感光性樹脂組成物のいずれであってもよい。
　以下、各成分について説明する。

（アルカリ可溶性材料（Ａ））
　アルカリ可溶性材料（Ａ）は、隔壁の主成分となる材料であり、現像工程で使用される現像液（通常はアルカリ現像液）に対し溶解性を示す。アルカリ可溶性材料（Ａ）としては、アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）およびアルカリ可溶性単量体（ＡＭ）の少なくとも一方を含む。

　ネガ型感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）は、露光時に感光材（Ｂ）から発生したラジカルにより重合することで硬化し、硬化部分はアルカリ現像液に溶解しない。したがって、非露光部はアルカリ現像液で選択的に除去される。その結果、露光部の硬化膜を、所定の領域を複数の区画に仕切る形の隔壁の形態にできる。
　ポジ型感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）は、露光時に感光材（Ｂ）から発生した酸によりアルカリ可溶性が増大する。したがって、露光部はアルカリ現像液で選択的に除去される。その結果、非露光部の硬化膜を、所定の領域を複数の区画に仕切る形の隔壁の形態にできる。

　ネガ型感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、１分子中に酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂が好ましい。
　酸性基としては、カルボキシ基、フェノール性水酸基、スルホ基およびリン酸基等が挙げられ、これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
　エチレン性二重結合としては、（メタ）アクリロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルオキシ基およびビニルオキシアルキル基等の付加重合性を有する二重結合が挙げられる。
　これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。なお、エチレン性二重結合が有する水素原子の一部または全てが、メチル基等のアルキル基で置換されていてもよい。

　アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、酸性基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖とを有する樹脂（ＡＰ－１）、およびエポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とが導入された樹脂（ＡＰ－２）等が挙げられる。これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。

　なお、上記エポキシ樹脂とは２以上のエポキシ基を有する化合物（すなわち、ポリエポキシド）を意味し、硬化性エポキシ樹脂の主剤として使用される化合物である。

　樹脂（ＡＰ－１）としては、酸性基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖とを有するビニル樹脂等が挙げられる。

　樹脂（ＡＰ－２）としては、エポキシ樹脂と、カルボキシ基とエチレン性二重結合とを有する化合物とを反応させた後に、多価カルボン酸またはその無水物とを反応させて得られる樹脂等が挙げられる。用いるエポキシ樹脂としては、特に限定されず、ネガ型感光性樹脂の主鎖として用いられる従来公知のエポキシ樹脂、例えば、国際公開第２０１０／０１３８１６号などに記載のエポキシ樹脂が使用できる。

　また、ネガ型感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、酸価が１０～３００ｍｇＫＯＨ／ｇのものが好ましく、３０～１５０ｍｇＫＯＨ／ｇのものが特に好ましい。また、数平均分子量（Ｍｎ）は、５００以上２０，０００未満が好ましく、２，０００以上１５，０００未満が特に好ましい。また、質量平均分子量（Ｍｗ）は、１，０００以上４０,０００未満が好ましく、３，０００以上２０，０００未満が特に好ましい。

　アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、現像時の硬化膜の剥離が抑制されて、高解像度のドットのパターンを得ることができる点、ドットが直線状である場合のパターンの直線性が良好である点、平滑な硬化膜表面が得られやすい点で、樹脂（ＡＰ－２）を用いることが好ましい。

　アルカリ可溶性単量体（ＡＭ）としては、例えば、酸性基とエチレン性二重結合とを有する単量体（ＡＭ－３）が好ましく用いられる。酸性基およびエチレン性二重結合は、アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）と同様である。アルカリ可溶性単量体（ＡＭ）の酸価についても、アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）と同様の範囲が好ましい。

　単量体（ＡＭ－３）としては、２，２，２－トリアクリロイルオキシメチルエチルフタル酸等が挙げられる。

　ネガ型感光性樹脂組成物に含まれるアルカリ可溶性材料（Ａ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。

　ポジ型感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）は、アルカリ可溶性を付与するため、樹脂の構造単位中および／またはその主鎖末端にアルカリ可溶性基を有することが好ましい。アルカリ可溶性基とはアルカリと相互作用、または反応することによりアルカリ溶液に対する溶解性を増加させる官能基を指し、具体的には酸性基などが挙げられる。好ましいアルカリ可溶性基としてはカルボキシ基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基などが挙げられる。

　ポジ型感光性樹脂組成物におけるアルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、ポジ型感光性樹脂組成物に用いる公知のアルカリ可溶性樹脂が用いられる。
　アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、アクリル系樹脂、ポリイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ノボラック型フェノール樹脂が好ましい。

　アクリル系樹脂としては、たとえばＴｇの高いＮ置換マレイミド、ベンジルメタクリレート、アクリル酸の共重合体、フェノール性水酸基を含有するアクリル系樹脂、スルホンアミド基を有するアクリル系樹脂が好ましい。具体例としては、日本国特許第６１７７４９５号公報、日本国特許第５４４７３８４号公報、日本国特許第４７７０９８５号公報、日本国特許第４６００４７７号公報、日本国特許第５４４４７４９号公報、及び国際公開第２０１９／１５６０００号に記載のアルカリ可溶性樹脂が示されるが、これらに限定されない。

　ポリイミド樹脂としては、ポリイミド樹脂、ポリイミド前駆体、またはこれらの２種以上の繰り返し単位を有する共重合体が好ましい。
　ポリイミド樹脂としては例えば、テトラカルボン酸あるいはテトラカルボン酸二無水物、テトラカルボン酸ジエステルジクロリド等と、ジアミンあるいはジイソシアネート化合物、トリメチルシリル化ジアミン等とを反応させて得られる樹脂が好ましい。かかるポリイミド樹脂は、テトラカルボン酸残基とジアミン残基を有する。また、ポリイミド樹脂は、例えば、テトラカルボン酸二無水物とジアミンを反応させて得られるポリイミド前駆体の１つであるポリアミド酸を、加熱処理により脱水閉環することにより得られる樹脂が好ましい。この加熱処理時、ｍ－キシレンなどの水と共沸する溶媒を加えることもできる。あるいは、ポリイミド樹脂は、カルボン酸無水物やジシクロヘキシルカルボジイミド等の脱水縮合剤やトリエチルアミン等の塩基などを閉環触媒として加えて、化学熱処理により脱水閉環することにより得られる樹脂が好ましい。または、弱酸性のカルボン酸化合物を加えて１００℃以下の低温で加熱処理により脱水閉環することにより得ることもできる。

　ポリイミド前駆体としては、ポリアミド酸、ポリアミド酸エステル、ポリアミド酸アミド、ポリイソイミドなどを挙げることができる。例えば、ポリアミド酸は、テトラカルボン酸あるいはテトラカルボン酸二無水物、テトラカルボン酸ジエステルジクロリドなどとジアミンあるいはジイソシアネート化合物、トリメチルシリル化ジアミンを反応させて得ることができる。ポリイミドは、例えば、上記の方法で得たポリアミド酸を、加熱あるいは酸や塩基などの化学処理で脱水閉環することで得ることができる。具体例としては、国際公開第２０２０／０７５５９２号、日本国特開２０２１－１３５４９９号公報、及び国際公開第２０２２／１８１３５０号に記載のアルカリ可溶性樹脂が示されるが、これらに限定されない。

　ポリベンゾオキサゾールとしては、例えば、ビスアミノフェノール化合物と、ジカルボン酸あるいはジカルボン酸クロリド、ジカルボン酸活性エステル等とを反応させて得ることができる。ポリベンゾオキサゾールは、ジカルボン酸残基とビスアミノフェノール残基を有する。また、ポリベンゾオキサゾールは、例えば、ビスアミノフェノール化合物とジカルボン酸を反応させて得られるポリベンゾオキサゾール前駆体の１つであるポリヒドロキシアミドを、加熱処理により脱水閉環することにより得ることができる。あるいは、無水リン酸、塩基、カルボジイミド化合物などを加えて、化学処理により脱水閉環することにより得ることができる。

　ポリベンゾオキサゾール前駆体としては、ポリヒドロキシアミドなどを挙げることができる。例えば、ポリヒドロキシアミドは、ビスアミノフェノールと、ジカルボン酸あるいはジカルボン酸クロリド、ジカルボン酸活性エステルなどを反応させて得ることができる。ポリベンゾオキサゾールは、例えば、上記の方法で得たポリヒドロキシアミドを、加熱あるいは無水リン酸、塩基、カルボジイミド化合物などの化学処理で脱水閉環することで得ることができる。

　ポリアミドイミド前駆体は、例えば、トリカルボン酸、対応するトリカルボン酸無水物、トリカルボン酸無水物ハライドなどとジアミンやジイソシアネートを反応させて得ることができる。ポリアミドイミドは、例えば、上記の方法で得た前駆体を、加熱あるいは酸や塩基などの化学処理で脱水閉環することにより得ることができる。

　ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリアミドイミドの共重合体としては、ブロック共重合、ランダム共重合、交互共重合、グラフト共重合のいずれかまたはそれらの組み合わせであってもよい。例えば、ポリヒドロキシアミドにテトラカルボン酸、対応するテトラカルボン酸二無水物、テトラカルボン酸ジエステルジクロリドなどを反応させてブロック共重合体を得ることができる。さらに、加熱あるいは酸や塩基などの化学処理で脱水閉環することもできる。

　ノボラック型フェノール樹脂としては、フェノール類とアルデヒド類、さらに必要に応じて各種変性剤を加えて重縮合することによって製造される未変性又は変性のノボラック型フェノール樹脂が好ましい。

　ノボラック型フェノール樹脂を製造するために用いられるフェノール類としては、例えば、フェノール、ｏ－クレゾール、ｐ－クレゾール、ｍ－クレゾール等のクレゾール類；３，５－キシレノール、２，５－キシレノール、２，３－キシレノール、３，４－キシレノール等のキシレノール類；２，３，４－トリメチルフェノール、２，３，５－トリメチルフェノール、２，４，５－トリメチルフェノール、３，４，５－トリメチルフェノール等のトリメチルフェノール類；２－ｔ－ブチルフェノール、３－ｔ－ブチルフェノール、４－ｔ－ブチルフェノール等のｔ－ブチルフェノール類；２－メトキシフェノール、３－メトキシフェノール、４－メトキシフェノール、２，３－ジメトキシフェノール、２，５－ジメトキシフェノール、３，５－ジメトキシフェノール等のメトキシフェノール類；２－エチルフェノール、３－エチルフェノール、４－エチルフェノール、２，３－ジエチルフェノール、３，５－ジエチルフェノール、２，３，５－トリエチルフェノール、３，４，５－トリエチルフェノール等のエチルフェノール類；ｏ－クロロフェノール、ｍ－クロロフェノール，ｐ－クロロフェノール，２，３－ジクロロフェノール等のクロロフェノール類；レゾルシノール、２－メチルレゾルシノール、４－メチルレゾルシノール、５－メチルレゾルシノール等のレゾルシノール類；５－メチルカテコール等のカテコール類；５－メチルピロガロール等のピロガロール類；ビスフェノールＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ等のビスフェノール類；２，６－ジメチロール－ｐ－クレゾール等のメチロール化クレゾール類；α－ナフトール、β－ナフトール等のナフトール類；等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。

　ノボラック型フェノール樹脂を製造するために用いられるアルデヒド類としては、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、トリオキサン、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、ポリオキシメチレン、クロラール、フルフラール、グリオキザール、ｎ－ブチルアルデヒド、カプロアルデヒド、アリルアルデヒド、ベンズアルデヒド、クロトンアルデヒド、アクロレイン、テトラオキシメチレン、フェニルアセトアルデヒド、ｏ－トルアルデヒド、サリチルアルデヒド等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。

　上記ノボラック型フェノール樹脂のなかでも、入手容易性、金属不純物の少なさ等の点から、フェノール類としてクレゾール類、キシレノール類等を用いたノボラック型フェノール樹脂等が好ましく、クレゾール類を用いたノボラック型フェノール樹脂（以下、「クレゾールノボラック樹脂」ともいう。）が特に好ましい。

　アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、上記以外に、ポリヒドロキシスチレン、ポリハロゲン化ヒドロキシスチレン、Ｎ－（４－ヒドロキシフェニル）メタクリルアミドの共重合体、ハイドロキノンモノメタクリレート共重合体が挙げられる。また、スルホニルイミド系ポリマー、カルボキシ基含有ポリマー、ウレタン系の樹脂等の、種々のアルカリ可溶性の高分子化合物も用いることができる。

　ポジ型感光性樹脂組成物におけるアルカリ可溶性材料（Ａ）の質量平均分子量（Ｍｗ）は、５００～２００００の範囲にあることが好ましく、３０００～１００００の範囲にあることが更に好ましく、３０００～８０００の範囲にあることが特に好ましい。質量平均分子量（Ｍｗ）が上記範囲であると、露光後の現像液に対する溶解性に優れる。

　本発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物におけるアルカリ可溶性材料（Ａ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。

　感光性樹脂組成物における全固形分中のアルカリ可溶性材料（Ａ）の含有量は、１０～９０質量％が好ましく、３０～８０質量％が特に好ましい。含有量が上記範囲であると、感光性樹脂組成物の現像性が良好になる。

（感光材（Ｂ））
　感光材（Ｂ）は、ネガ型感光性樹脂組成物またはポジ型感光性樹脂組成物によって化合物が異なるため、それぞれについて説明する。

　ネガ型感光性樹脂組成物における感光材（Ｂ）としては、ネガ型感光性樹脂組成物の感光材として用いられる公知の化合物を使用でき、光によりラジカルを発生する化合物（光重合開始剤）が好ましい。

　感光材（Ｂ）としては、α－ジケトン類、アシロイン類、アシロインエーテル類、チオキサントン類、ベンゾフェノン類、アセトフェノン類、キノン類、アミノ安息香酸類、過酸化物、オキシムエステル類、脂肪族アミン類等に分類される各種化合物が挙げられる。

　感光材（Ｂ）のなかでも、ベンゾフェノン類、アミノ安息香酸類および脂肪族アミン類は、その他のラジカル開始剤と共に用いると、増感効果を発現することがあり好ましい。

　感光材（Ｂ）としては、アセトフェノン類に分類される２－メチル－１－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルフォリノプロパン－１－オン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）－ブタン－１－オン、オキシムエステル類に分類される１，２－オクタンジオン，１－［４－（フェニルチオ）－，２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）、エタノン１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］－１－（Ｏ－アセチルオキシム）、チオキサントン類に分類される２，４－ジエチルチオキサントンが好ましい。さらに、これらとベンゾフェノン類、例えば、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンとの組み合わせが特に好ましい。
　感光材（Ｂ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。

　ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の感光材（Ｂ）の含有割合は、０．１～５０質量％が好ましく、０．５～３０質量％がより好ましく、５～１５質量％が特に好ましい。含有割合が上記範囲であると、ネガ型感光性樹脂組成物の光硬化性および現像性が良好である。

　ポジ型感光性樹脂組成物における感光材（Ｂ）としては、ポジ型感光性樹脂組成物の感光材（Ｂ）として用いられる公知の化合物を使用できる。
　感光材（Ｂ）としては、キノンジアジド基を有する化合物が好ましい。キノンジアジド基を有する化合物としては、アクリル系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリアミドイミド、それらいずれかの前駆体およびそれらの重合体からなる樹脂と組み合わせて用いられる、公知のキノンジアジド基を有する化合物が用いられる。

　感光材（Ｂ）としては、互いに縮合可能な、後述するキノンジアジド基を有する化合物αと化合物βとの完全縮合物や部分縮合物が挙げられる。

　化合物αは、縮合反応可能な官能基を有する。該縮合反応可能な官能基としては、スルホ基、クロロスルホ基等が挙げられる。化合物αとしては、ベンゾキノンジアジドスルホン酸、ナフトキノンジアジドスルホン酸、アントラキノンジアジドスルホン酸等のスルホン酸、これらのスルホン酸クロリドが挙げられる。スルホン酸クロリドとしては、具体的には、１，２－ナフトキノンジアジド－５－スルホン酸クロリド、１，２－ナフトキノンジアジド－４－スルホン酸クロリド、１，２－ベンゾキノンジアジド－４－スルホン酸クロリド等が挙げられる。

　化合物βは、化合物αと縮合反応可能な官能基を有する。該縮合反応可能な官能基としては、水酸基、アミノ基等が挙げられ、水酸基が好ましい。
　化合物βとしては、得られる隔壁が耐熱性に優れる点で、芳香環を有する化合物が好ましい。該芳香族化合物における芳香環の数は、耐熱性及び水酸基を多く導入できる点で、１～６個が好ましく、２～４個が特に好ましい。
　化合物βとしては、芳香環に結合する水素原子の少なくとも１個が水酸基に置換された芳香族化合物が特に好ましい。１分子中の水酸基の数は、１～１０個が好ましく、２～４個が特に好ましい。
　化合物βの具体例としては、下記に示す化合物が挙げられる。
フェノール類としてフェノール、４－メチルフェノール；
ポリヒドロキシベンゾフェノン類として、２，３，４－トリヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，４’－テトラヒドロキシベンゾフェノン；
トリスフェノール型化合物として、トリス（４－ヒドロキシフェニル）メタン、１，１，１－トリス（４－ヒドロキシフェニル）エタン、１，１－ビス（４－ヒドロキシフェニル）－１－［α，α－ジメチル－α－（４’－ヒドロキシフェニル）ベンジル］エタン、１，３，５－トリス（４－ヒドロキシフェニルジメチルベンジル）ベンゼン；
ビスフェノール型化合物として、２，３，４－トリヒドロキシフェニル－４’－ヒドロキシフェニルメタン、２－（３，４－ジヒドロキシフェニル）－２－（３’，４’－ジヒドロキシフェニル）プロパン、２－（２，４－ジヒドロキシフェニル）－２－（２’，４’－ジヒドロキシフェニル）プロパン、２－（２，３，４－トリヒドロキシフェニル）－２－（４’－ヒドロキシフェニル）プロパン；
多核枝分かれ型化合物として、１－［１，１－ビス（４－ヒドロキシフェニル）エチル］－４－［１’，１’－ビス（４’－ヒドロキシフェニル）エチル］ベンゼン；
縮合型フェノール化合物として、２－ビス［１，１‐ビス（４‐ヒドロキシフェニルシクロヘキシル）］－２－ビス［１’，１’‐ビス（４’‐ヒドロキシフェニルシクロヘキシル）］プロパン；
１，１’－スピロビ［１Ｈ－インデン］－５，５’，６，６’－テトラオール、２，４，４－トリメチル－２－（２，４－ジヒドロキシフェニル）－７－ヒドロキシクロマン、ペンタシクロ［１９，３，１，１^３，７，１^９，１３，１^{１５，１９}］オクタコサ－１，３，５，７，９，１１，１３，１５，１７，１９，２１，２３－ドデカエン－４，６，１０，１２，１６，１８，２２，２４－オクタオール。

　ポジ型感光性樹脂組成物における感光材（Ｂ）は、１分子中のキノンジアジド基数の異なった化合物の混合物であってもよく、キノンジアジド基を感光材（Ｂ）全体の平均値として、１分子中に１～４個有する化合物が好ましく、２．５～３個有する化合物が特に好ましい。

　ポジ型感光性樹脂組成物における全固形分中の感光材（Ｂ）の含有量は、０．１～５０質量％が好ましく、１．０～３０質量％が特に好ましい。上記範囲であると、ポジ型感光性樹脂組成物の現像性に優れる。０．１質量％以上であれば、感光性樹組成物として充分な感度が得られ、５０質量％以下であれば成分が析出するおそれがない。

（撥インク剤（Ｃ））
　本発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物における撥インク剤（Ｃ）は、下記式（ｃ）で表される構造を含むことを特徴とする。
　　－（ＯＣＦ_２）_ｎ－　　（ｃ）
　　ｎ：３～１００の整数

　撥インク剤（Ｃ）は、これを含有する感光性樹脂組成物を用いて硬化膜を形成する過程で上面に移行する性質（上面移行性）および撥インク性を有する。撥インク剤（Ｃ）を用いることで、得られる硬化膜の上面を含む上層部は、撥インク剤（Ｃ）が密に存在する層（以下、「撥インク層」ということもある。）となり、硬化膜上面に撥インク性が付与される。
　本発明における撥インク剤（Ｃ）は、上記構造（ｃ）に示すようにペルフルオロメチレンエーテル構造を繰り返し単位として有する。ここでフッ素原子を含むことにより、硬化膜や隔壁の上面に良好な撥インク性、すなわち、インクに対する静的接触角を高くする性質が付与される。またエーテル性酸素原子を含むことと、繰り返し単位におけるエーテル性酸素原子間の炭素鎖が炭素数１個分（メチレン）と短く、かつ直鎖構造であるため、繰り返し単位構造の柔軟性が高いことにより、硬化膜や隔壁の上面の前進接触角を小さく、後退接触角を大きくする性質、すなわち良好なインク転落性が付与される。さらにエーテル性酸素原子を含むことにより良好な親インク性、すなわち現像後に形成される開口部に静的接触角を低くする性質が付与される。特に上記式（ｃ）の繰り返し単位においてはエーテル性酸素原子含有率が大きいため、現像液との相溶性が高まり、現像液の浸透性が増加し残渣が除去されやすくなる結果、親インク性が高められる。

　式（ｃ）において、ｎは３～５０が好ましく、３～３０がより好ましく、３～１５がさらに好ましく、３～１０が特に好ましく、３～８が最も好ましい。これにより撥インク剤（Ｃ）以外の組成物との相溶性、ならびに現像液溶解性が良好となり、開口部の親インク性が良好となる。

　式（ｃ）で表される構造の、エーテル性酸素原子側の末端は、撥インク性付与の観点から、下記に示すように置換基Ｒ^１と結合することが好ましい。すなわち撥インク剤（Ｃ）は、下記式（ｃ１）で表される基を有することが好ましい。
　　Ｒ^１－（ＯＣＦ_２）_ｎ－　　（ｃ１）
　　Ｒ^１：水素原子、ハロゲン原子、または炭素数１～５の１価有機基
　　ｎ：３～１００の整数

　Ｒ^１が水素原子、ハロゲン原子、または炭素数１～５の１価有機基であることで、撥インク性を高められるため好ましい。ハロゲン原子としては撥インク性をより高める観点からフッ素原子がより好ましい。炭素数１～５の１価有機基としては、置換基を有してもよい炭素数１～５のアルキル基がより好ましく、置換基としてはハロゲン原子、エチレン性二重結合を有するアクリロイル基、メタクリロイル基、グリシジル基、ビニル基、アリル基などが挙げられる。炭素数１～５の１価有機基としては、撥インク性をより高める観点から炭素数１～５のペルフルオロアルキル基がさらに好ましく、ＣＦ_３ＣＦ_２－、ＣＦ_３－、が特に好ましい。

　式（ｃ１）で表される構造のＣＦ_２側は、下記に示す連結基Ｑ^１と結合することが好ましい。すなわち撥インク剤（Ｃ）は、下記式（ｃ１１）で表される基を有することが好ましい。
　　Ｒ^１－（ＯＣＦ_２）_ｎ－Ｑ^１－　　（ｃ１１）
　　Ｒ^１：水素原子、ハロゲン原子、または炭素数１～５の１価有機基
　　Ｑ^１：炭素数１～１０のフッ素原子を含まない２価の有機基または－（ＣＦ_２）_ｍ－
　　ｎ：３～１００の整数
　　ｍ：１～４の整数

　Ｑ^１が炭素数１～１０のフッ素原子を含まない２価の有機基である場合、例えば、－（ＣＨ^２）_ｉ１－Ａ－（ＣＨ_２）_ｉ２－（Ａは、単結合、アミド結合、ウレタン結合、スルホンアミド結合、エーテル結合またはエステル結合であり、ｉ１、ｉ２はそれぞれ独立に０～１０の整数であり、基全体の炭素数は１～１０、好ましくは１～５である。）で示される基が挙げられる。

　２価の有機基であるＱ^１としては、以下の基が好ましい。
－（ＣＨ_２）_ｉ１－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_ｉ２－、
－Ｏ（ＣＨ_２）_ｉ２－、
－ＳＯ_２ＮＲ^１－（ＣＨ_２）_ｉ２－、
－（Ｃ＝Ｏ）－ＮＲ^１－（ＣＨ_２）_ｉ２－、
－（ＣＨ_２）_ｉ１－Ｏ－Ｃ（＝Ｏ）－ＮＲ^１－（ＣＨ_２）_ｉ２－、
－（ＣＨ_２）_ｉ１－Ｏ－Ｃ（＝Ｏ）－（ＣＨ_２）_ｉ２－、
－（ＣＨ_２）_ｉ１－Ｃ（＝Ｏ）－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｉ２－。
（各基において、ｉ１は１～５の整数、ｉ２は１～４の整数、Ｒ^１は水素原子、メチル基、またはエチル基である。基全体の炭素数は１～１０であり、１～５が好ましい。）

　以下、－Ｃ（＝Ｏ）Ｎ…は、－ＣＯＮ…と示す。例えば、－Ｃ（＝Ｏ）ＮＨ－は、－ＣＯＮＨ－と示す。同様に、－Ｏ－Ｃ（＝Ｏ）…は、－ＯＣＯ…、－Ｃ（＝Ｏ）－Ｏ…は、－ＣＯＯ…と示す。

　Ｑ^１としては、－（ＣＨ_２）_ｉ１－、－（ＣＨ_２）_ｉ１ＯＣＯＮＲ_１（ＣＨ_２）_ｉ２－、－（ＣＨ_２）_ｉ１Ｏ（ＣＨ_２）_ｉ２－、－（ＣＨ_２）_ｉ１ＣＯＯ（ＣＨ_２）_ｉ２－および－（ＣＨ_２）_ｉ１ＣＯＮＨ（ＣＨ_２）_ｉ２－（ｉ１およびｉ２は好ましい態様を含めて上記と同様である。）が特に好ましい。なお、ｉ１およびｉ２は、ともに独立して１～３がより好ましく、２または３が特に好ましい。

　また式（ｃ１１）におけるｎが３以上であるため、Ｑ^１が－（ＣＦ_２）_ｍ－であっても、ペルフルオロメチレンエーテル鎖に由来する上記の効果、すなわち硬化膜や隔壁の上面の撥インク性およびインク転落性と、開口部の親インク性は十分に発揮される。
　Ｒ^１およびｎの好ましい態様は、上記式（ｃ）または式（ｃ１）における好ましい態様と同様である。

　なお、撥インク剤（Ｃ）を合成する重合過程において、特にｎが８以上の長鎖となる場合に、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）－構造、すなわちペルフルオロエチレン構造を繰り返し単位として含む撥インク剤が、不純物として不可避的に含まれることがある。その割合としては、－（ＯＣＦ_２）－構造の繰り返し数をｎとし、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）－構造の繰り返し数をｍとしたとき、ｎ：ｍの比率が平均して７５～１００：２５～０と見積もられる。ただし、ｎが８以上と長鎖であるので、－（ＯＣＦ_２）－構造に由来する効果は十分に発揮され、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）－構造が含まれてもその影響は考慮不要と考えられる。よって、本発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、かかる不可避的成分を含む場合をも除外するものではない。

　撥インク剤（Ｃ）は、本発明の効果を妨げない範囲で、－（ＯＣＦ_２）－構造以外の他の繰り返し構造を含んでいてもよい。他の繰り返し構造としては、上記した不可避的に含まれる－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）－構造や、撥インク剤（Ｃ）に種々の機能を付与するための構造が挙げられる。ただし硬化膜や隔壁の上面の撥インク性およびインク転落性と、開口部の親インク性が良好となる観点から、撥インク剤（Ｃ）における全繰り返し構造に対する－（ＯＣＦ_２）－構造の割合は、３０質量％以上が好ましく、３５質量％以上がより好ましい。
　また、撥インク剤（Ｃ）における全－（ＯＣＦ_２）－構造に対する全－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）－構造の割合は、１５質量％以下が好ましく、１質量％以下がより好ましい。

　撥インク剤（Ｃ）中のフッ素原子の含有率は５～４５質量％であることが好ましい。撥インク剤（Ｃ）のフッ素原子の含有率が５質量％以上であると、硬化膜上面に良好な撥インク性とインク転落性を付与でき、４５質量％以下であると、感光性樹脂組成物中の他の成分との相溶性が良好になる。撥インク剤（Ｃ）中のフッ素原子の含有率は、撥インク性付与の観点からは、１０質量％以上がより好ましく、１５質量％以上が特に好ましい。なお、撥インク剤（Ｃ）中のフッ素原子の含有率が高すぎると感光性樹脂組成物の貯蔵安定性が低下する場合がある。したがって、撥インク剤（Ｃ）中のフッ素原子の含有率は、４０質量％以下がより好ましく、３５質量％未満が特に好ましい。

　撥インク剤（Ｃ）中のエーテル性酸素原子の含有率は３～３０質量％であることが好ましい。撥インク剤（Ｃ）のエーテル性酸素原子の含有率が３質量％以上であると、現像液との相溶性が高まり、現像液の浸透性が増加し残渣が除去されやすくなる。撥インク剤（Ｃ）中のエーテル性酸素原子の含有率は、現像液溶解性の観点からは、４質量％以上がより好ましく、５質量％以上が特に好ましい。また撥インク性の維持の観点からは、２０質量％以下がより好ましく、１５質量％以下が特に好ましい。

　撥インク剤（Ｃ）は、上記基（ｃ）とシラン系骨格とを有する撥インク剤（Ｃ１）であるか、上記基（ｃ）とアクリル系骨格とを有する撥インク剤（Ｃ２）であることが好ましい。
　以下、撥インク剤（Ｃ１）および撥インク剤（Ｃ２）について説明する。

＜撥インク剤（Ｃ１）＞
　撥インク剤（Ｃ１）は、加水分解性シラン化合物を含む混合物（Ｍ）の部分加水分解縮合物であり、加水分解性シラン化合物として上記式（ｃ）で表される基を有する加水分解性シラン化合物（ｓ１）を必須成分として含有する。

＜加水分解性シラン化合物（ｓ１）＞
　加水分解性シラン化合物（ｓ１）は、上記式（ｃ）で表される基と加水分解性基とを有するシラン化合物である。

　加水分解性基としては、アルコキシ基、ハロゲン原子、アシル基、イソシアナート基、アミノ基およびアミノ基の少なくとも１つの水素がアルキル基で置換された基等が挙げられる。加水分解反応により水酸基（シラノール基）となり、さらに分子間で縮合反応してＳｉ－Ｏ－Ｓｉ結合を形成する反応が円滑に進みやすい点から、炭素原子数１～４のアルコキシ基およびハロゲン原子が好ましく、メトキシ基、エトキシ基および塩素原子がより好ましく、メトキシ基およびエトキシ基が特に好ましい。
　加水分解性シラン化合物（ｓ１）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。

　加水分解性シラン化合物（ｓ１）としては、下式（ｓ１）で表される化合物が好ましい。
　［Ｒ^１－（ＯＣＦ_２）_ｎ－Ｑ^１］_ａ－Ｓｉ（Ｒ^Ｈ１）_ｂＸ^１ _{（４－ａ－ｂ）}…（ｓ１）
　　式（ｓ１）中、各記号は以下のとおりである。
　　Ｒ^１、ｎは、それぞれ、上記式（ｃ）または式（ｃ１）におけるＲ^１、ｎと同一であり、好ましい態様も同様である。
　　Ｑ^１は、上記式（ｃ１１）におけるＱ^１と同一であり、好ましい態様も同様である。
　　Ｒ^Ｈ１は炭素原子数１～６の１価の炭化水素基である。
　　ａは１または２、ｂは０～２、ａ＋ｂは１～３である。
　　Ｘ^１は加水分解性基である。
　　Ｘ^１が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
　　［Ｒ^１－（ＯＣＦ_２）_ｎ－Ｑ^１］が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。

　化合物（ｓ１）は、２または３官能性の加水分解性シリル基を１個有する含フッ素加水分解性シラン化合物である。
　Ｒ^Ｈ１は、炭素原子数１～３の炭化水素基が好ましく、メチル基が特に好ましい。
　式（ｓ１）中、ａが１であり、ｂが０または１であることがより好ましく、ｂが０であることが特に好ましい。
　Ｘ^１の具体例および好ましい様態は上記の加水分解性基のとおりである。

　化合物（ｓ１）においてＲ^１、Ｑ^１、ｎとして特に好ましい態様は、以下のとおりである。
Ｒ^１：－ＣＦ_３、または－ＣＦ_３ＣＦ_２
Ｑ^１：－（ＣＨ_２）_３－、－ＣＨ_２ＯＣＯＮＨ－、－ＣＨ_２Ｏ－、－ＣＨ_２ＣＯＯ－、または－ＣＯＮＨｎ：３～１０

　上記化合物（ｓ１）は、公知の方法、例えば、国際公開第２００９／００８３８０号に記載の方法で製造可能である。

　混合物（Ｍ）における加水分解性シラン化合物（ｓ１）の含有割合は、該混合物から得られる部分加水分解縮合物におけるフッ素原子の含有率が１～４５質量％となる割合が好ましく、２質量％以上２５質量％未満がより好ましい。加水分解性シラン化合物（ｓ１）の含有割合が上記範囲の下限値以上であると、硬化膜の表面に良好な撥インク性と良好なインク転落性を付与でき、上限値以下であると、該混合物中の他の加水分解性シラン化合物との相溶性が良好になるとともに、感光性樹脂組成物における貯蔵安定性が低下することも殆どない。

　撥インク剤（Ｃ１）における混合物（Ｍ）は、上記加水分解性シラン化合物（ｓ１）を必須成分として含み、任意に加水分解性シラン化合物（ｓ１）以外の加水分解性シラン化合物を含む。混合物（Ｍ）が任意に含有する加水分解性シラン化合物としては、以下の加水分解性シラン化合物（ｓ２）～（ｓ６）が挙げられる。

　加水分解性シラン化合物（ｓ２）；エポキシ基を有する基と加水分解性基とを有し、フッ素原子を含まない加水分解性シラン化合物。
　加水分解性シラン化合物（ｓ３）；フェニル基と、加水分解性基とを有し、フッ素原子を含まない加水分解性シラン化合物。
　加水分解性シラン化合物（ｓ４）；ケイ素原子に４個の加水分解性基が結合した加水分解性シラン化合物。
　加水分解性シラン化合物（ｓ５）；エチレン性二重結合を有する基と加水分解性基とを有し、フッ素原子を含まない加水分解性シラン化合物。
　加水分解性シラン化合物（ｓ６）；加水分解性基と、フッ素原子を有しエーテル性酸素原子を有さない有機基とを有する加水分解性シラン化合物。

　加水分解性シラン化合物（ｓ２）～（ｓ６）における加水分解性基としては、加水分解性シラン化合物（ｓ１）の加水分解性基と同様のものを用いることができる。

＜加水分解性シラン化合物（ｓ２）＞
　加水分解性シラン化合物（ｓ２）は、下式（ｓ２）で表される加水分解性シラン化合物である（以下、「化合物（ｓ２）」ともいう。）。
　　Ｒ^４Ｓｉ（Ｒ^５）_ｋ（Ｘ^２）_３－ｋ　　…（ｓ２）
　Ｒ^４はエポキシ基を有する炭素数２～１２の有機基である。なかでも、グリシジル基を有する炭素数３～１２の有機基、またはエポキシシクロヘキシル基を有する炭素数６～１２の有機基が好ましい。
　Ｒ^５は水素原子または炭素数１～５のアルキル基である。なかでも、水素原子または炭素数１～３のアルキル基が好ましい。
　Ｘ^２は加水分解性基であり、上記式（ｓ１）中のＸ^１と好ましい態様を含めて同様である。
　ｋは０または１である。

　化合物（ｓ２）の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
　ジエトキシ（３－グリシジルオキシプロピル）メチルシラン
　３－グリシジルオキシプロピル（ジメトキシ）メチルシラン
　３－グリシジルオキシプロピル（ジエトキシ）メチルシラン
　３－グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン
　３－グリシジルオキシプロピルトリエトキシシラン
　２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン
　２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン

　上記化合物（ｓ２）は、公知の方法、例えば、国際公開第２０１９／１５６０００号に記載の方法で製造可能である。

　混合物（Ｍ）中に含まれる化合物（ｓ２）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
　混合物（Ｍ）中の化合物（ｓ２）の配合量は、加水分解性シラン化合物（ｓ１）の１モルに対して、５～１５モルが好ましく、７～１３モルが特に好ましい。含有割合がかかる範囲であると、撥インク層の溶剤耐性が向上するため好ましい。

＜加水分解性シラン化合物（ｓ３）＞
　加水分解性シラン化合物（ｓ３）は、下式（ｓ３）で表される加水分解性シラン化合物である（以下、「化合物（ｓ３）」ともいう。）。
　　（Ｙ－Ｑ^２）_ｑ－Ｓｉ（Ｒ^Ｈ２）_ｒＸ^３ _{（４－ｑ－ｒ）}　　…（ｓ３）
　式（ｓ３）において、加水分解性基を示すＸ^３は、上記式（ｓ１）中のＸ^１と好ましい態様を含めて同様である。
　また、Ｒ^Ｈ２は炭素原子数１～４のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基が特に好ましい。
　式（ｓ３）中、Ｙは水素原子がハロゲン原子、炭素原子数１～３のアルキル基、炭素原子数２～３のアルケニル基又はニトロ基に置換されていてもよいフェニル基を表す。
　Ｑ^２はケイ素原子とフェニル基を連結する基であり、単結合又は２価の有機基である。

　ｑは１又は２であり、ｒは０又は１であり、ｑ＋ｒは１又は２である。
　なお、式（ｓ３）において、ｑが２の場合、２個のＱ^２は互いに異なっていても同一であってもよく、ｑ＋ｒが１の場合、３個のＸ^３は互いに異なっていても同一であってもよく、ｑ＋ｒが２の場合、２個のＸ^３は互いに異なっていても同一であってもよい。
　式（ｓ３）中、ｑが１で、ｒが１である、又はｑが１で、ｒが０であることが好ましい。

　式（ｓ３）中、Ｙとしては、フェニル基、フルオロフェニル基、クロロフェニル基、ジクロロフェニル基等が挙げられ、フェニル基が特に好ましい。このような化合物（ｓ３）を用いることにより、特にポジ型感光性樹脂組成物である場合に、高い解像度と、ドット部に残渣の少ない隔壁が得られる。これは、撥インク剤（Ｃ１）が感光性樹脂組成物の膜上面に移行した後、化合物（ｓ３）に由来するフェニル基が、現像液中で感光材のジアジド基とアゾカップリング反応することで、撥インク剤（Ｃ１）を膜上面に留まりやすくするためと推測される。これにより、現像、ポストベーク等を経た後においても、得られる隔壁の上面を撥インク性に、側面を親インク性に保てる。

　式（ｓ３）中、Ｑ^２が２価の有機基である場合には、－（ＣＨ_２）_ｊ－（ｊは１～６の整数）、－ＮＨ－、－ＮＨ－（Ｃ_ｋＨ_２ｋ）－（ｋは１～６の整数）、－Ｎ（Ｃ_ｇＨ_２ｇ＋１）－（ｇは１～６の整数）が電子供与性基であり、かつ入手容易性の点で好ましい。
　Ｑ^２としては、単結合又は－ＮＨ－が特に好ましい。

　化合物（ｓ３）の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
　（Ｃ_６Ｈ_５）Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_３
　（Ｃ_６Ｈ_５）ＮＨ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３

　上記化合物（ｓ３）は、公知の方法、例えば、国際公開第２０１３／１３３３９２号に記載の方法で製造可能である。

　混合物（Ｍ）中に含まれる化合物（ｓ３）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
　混合物（Ｍ）中の化合物（ｓ３）の配合量は、加水分解性シラン化合物（ｓ１）の１モルに対して、２０モル以下が好ましく、１５モル以下が特に好ましい。含有割合がかかる範囲であると、現像時に撥インク性が維持されるため好ましい。

＜加水分解性シラン化合物（ｓ４）＞
　本発明における混合物（Ｍ）に加水分解性シラン化合物（ｓ４）を含ませることで、撥インク剤（Ｃ１）を含む感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜において、撥インク剤（Ｃ１）が膜上面に移行した後の造膜性を高められる。すなわち、加水分解性シラン化合物（ｓ４）中の加水分解性基の数が多いことから、上面移行した後に撥インク剤（Ｃ１）同士が良好に縮合し、上面全体に薄い膜を形成して撥インク層となると考えられる。
　また、混合物（Ｍ）に加水分解性シラン化合物（ｓ４）を含ませることで、撥インク剤（Ｃ）は炭化水素系の溶媒に溶解しやすくなる。
　加水分解性シラン化合物（ｓ４）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。

　加水分解性シラン化合物（ｓ４）は、下式（ｓ４）で表すことができる。加水分解性シラン化合物（ｓ４）は、化合物（ｓ４）のオリゴマーであってもよい。
　Ｓｉ（Ｘ^４）_４　　…（ｓ４）
　式（ｓ４）中、Ｘ^４は加水分解性基を示し、４個のＸ^４は互いに異なっていても同一であってもよい。Ｘ^４としては、前記Ｘ^１と同様の加水分解性基が用いられる。

　加水分解性シラン化合物（ｓ４）として、具体的には以下の化合物が挙げられる。
　Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_４
　Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４
　Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_４の部分加水分解縮合物（例えば、コルコート社製のメチルシリケート５１（商品名））
　Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４の部分加水分解縮合物（例えば、コルコート社製のエチルシリケート４０、エチルシリケート４８（いずれも商品名））。

　上記化合物（ｓ４）は、公知の方法、例えば、国際公開第２０１５／０９３４１５号に記載の方法で製造可能である。

　混合物（Ｍ）における加水分解性シラン化合物（ｓ４）の含有割合は、加水分解性シラン化合物（ｓ１）の１モルに対して、１～２５モルが好ましく、３～２０モルが特に好ましい。含有割合が上記範囲の下限値以上であると撥インク剤（Ｃ１）の造膜性が良好であり、上限値以下であると撥インク剤（Ｃ１）の撥インク性が良好である。

＜加水分解性シラン化合物（ｓ５）＞
　本発明における混合物（Ｍ）に、加水分解性シラン化合物（ｓ５）を含ませることで、混合物（Ｍ）の部分加水分解縮合物としてエチレン性二重結合を有する基を側鎖に有する撥インク剤（Ｃ１）が得られる。これにより、撥インク剤（Ｃ１）は、エチレン性二重結合を有する基を介して撥インク剤（Ｃ１）同士あるいは撥インク剤（Ｃ１）と感光性樹脂組成物が含有するエチレン性二重結合を有する他成分との（共）重合が可能となり好ましい。これにより、撥インク層における撥インク剤（Ｃ１）の定着性を高める効果が得られる。
　加水分解性シラン化合物（ｓ５）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
　エチレン性二重結合を有する基としては、（メタ）アクリロイルオキシ基およびビニルフェニル基が好ましく、（メタ）アクリロイルオキシ基が特に好ましい。

　加水分解性シラン化合物（ｓ５）としては、下式（ｓ５）で表される化合物が好ましい。
　　（Ｚ－Ｑ^３）_ｇ－Ｓｉ（Ｒ^Ｈ３）_ｈＸ^５ _{（４－ｇ－ｈ）}　　…（ｓ５）
　式（ｓ５）中の記号の定義は、以下のとおりである。
　Ｚはエチレン性二重結合を有する基である。
　Ｑ^３は炭素原子数１～６のフッ素原子を含まない２価の有機基である。
　Ｒ^Ｈ３は炭素原子数１～６の１価の炭化水素基である。
　Ｘ^５は加水分解性基である。
　ｇは１または２、ｈは０または１、ｇ＋ｈは１または２である。
　Ｚ－Ｑ^３が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
　Ｘ^５が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。

　Ｒ^Ｈ３としては、具体的には、上記Ｒ^Ｈ１と同様の基が用いられる。
　Ｘ^５としては、具体的には、上記Ｘ^１と同様の基が用いられる。

　Ｚとしては、たとえば、（メタ）アクリロイルオキシ基およびビニルフェニル基が好ましく、（メタ）アクリロイルオキシ基が特に好ましい。

　Ｑ^３の具体例としては、－（ＣＨ_２）ｊ－（ｊは１～６の整数）が挙げられる。
　ｇが１であり、ｈが０または１であることが好ましい。
　化合物（ｓ５）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。

　化合物（ｓ５）の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
　ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯＯ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３、
　ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯＯ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_３、
　ＣＨ_２＝ＣＨＣＯＯ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３、
　ＣＨ_２＝ＣＨＣＯＯ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_３、
　［ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯＯ（ＣＨ_２）_３］ＣＨ_３Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２、
　［ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯＯ（ＣＨ_２）_３］ＣＨ_３Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_２、

　上記化合物（ｓ５）は、公知の方法、例えば、国際公開第２０１５／０９３４１５号に記載の方法で製造可能である。

　混合物（Ｍ）における加水分解性シラン化合物（ｓ５）の含有割合は、加水分解性シラン化合物（ｓ１）の１モルに対して、０．１～２５モルが好ましく、０．５～２０モルが特に好ましい。含有割合が上記範囲の下限値以上であると、撥インク剤（Ｃ１）の上面移行性が良好であり、また、上面移行後に上面を含む撥インク層において撥インク剤（Ｃ１）の定着性が良好であり、さらに、撥インク剤（Ｃ１）の貯蔵安定性が良好である。上限値以下であると撥インク剤（Ｃ１）の撥インク性が良好である。

＜加水分解性シラン化合物（ｓ６）＞
　加水分解性シラン化合物（ｓ６）は、加水分解性基と、フッ素原子を有しエーテル性酸素原子を有さない有機基とを有する加水分解性シラン化合物である。フッ素原子を有する有機基は、ポリシロキサン主鎖のケイ素原子に結合した有機基であって、一部又は全部がフッ素原子で置換された有機基のことである。このフッ素原子を有する有機基は、本発明の効果を損なわない限り、フッ素原子を有するものであれば特に限定されない。特に、水素原子の一部若しくは全部がフッ素原子で置換されたアルキル基が好ましい。また、この有機基が有するフッ素原子の数も特に限定されない。ただし、有機基はエーテル性酸素原子を有さない。
　加水分解性シラン化合物（ｓ６）としては、下式（ｓ６）で表される化合物が好ましい。
　［ＣＦ_３（ＣＦ_２）_ｘＣＨ_２ＣＨ_２］_ｙ－Ｓｉ（Ｒ^Ｈ６）_ｚＸ^６ _{（４－ｙ－ｚ）}　　…
（ｓ６）
　式（ｓ６）中の記号の定義は、以下のとおりである。
　Ｒ^Ｈ６は炭素原子数１～６の１価の炭化水素基である。
　Ｘ^６は加水分解性基である。
　ｘは０～１２である。
　ｙは１または２、ｚは０または１、ｙ＋ｚは１または２である。
　ＣＦ_３（ＣＦ_２）_ｘＣＨ_２ＣＨ_２－が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。

　Ｒ^Ｈ６としては、具体的には、上記Ｒ^Ｈ１と同様の基が用いられる。
　Ｘ^６としては、具体的には、上記Ｘ^１と同様の基が用いられる。

　化合物（ｓ６）の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
ｎＣ_６Ｆ_１３（ＣＨ_２）_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３。

　上記化合物（ｓ６）は、公知の方法、例えば、国際公開第２０１９／１５６０００号に記載の方法で製造可能である。

　混合物（Ｍ）中に含まれる化合物（ｓ６）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
　混合物（Ｍ）中の化合物（ｓ６）の配合量は、加水分解性シラン化合物（ｓ１）の１モルに対して、５モル以下が好ましく、１モル以下が特に好ましい。含有割合がかかる範囲であると、撥インク層の上面移行性が安定化し、撥インク層中のフッ化物の分布が均一になるため好ましい。

　混合物（Ｍ）が任意に含有する加水分解性シラン化合物としては、感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜の製造において、撥インク剤（Ｃ１）が上面移行した後、感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜の上層部、すなわち撥インク層における撥インク剤（Ｃ１）の定着性を向上させる成分として作用する加水分解性シラン化合物（ｓ２）、撥インク剤（Ｃ１）の安定性、造膜性を高める成分として作用する加水分解性シラン化合物（ｓ３）が好ましい。

　なお、加水分解性シラン化合物（ｓ１）～（ｓ６）としては、各加水分解性シラン化合物に分類される単量体の他に、その複数個を予め部分加水分解縮合して得た部分加水分解縮合物（オリゴマー）を用いてもよい。

　撥インク剤（Ｃ１）は、化合物（ｓ１）を含み、化合物（ｓ２）～（ｓ６）を任意で含む混合物（Ｍ）の加水分解縮合物であるが、実際は加水分解性基またはシラノール基が残存した生成物（部分加水分解縮合物）であるので、この生成物を化学式で表すことは困難である。

　撥インク剤（Ｃ１）は、上述した混合物（Ｍ）を、公知の方法により加水分解および縮合反応させることで製造できる。
　この反応には、通常用いられる塩酸、硫酸、硝酸およびリン酸等の無機酸、あるいは、酢酸、シュウ酸およびマレイン酸等の有機酸を触媒として用いることが好ましい。
　上記反応には公知の溶媒を用いることができる。
　上記反応で得られる撥インク剤（Ｃ１）は、溶媒とともに溶液の性状で感光性樹脂組成物に配合してもよい。

＜撥インク剤（Ｃ２）＞
　撥インク剤（Ｃ２）は、上記基（ｃ１）とアクリル系骨格とを有する重合体であり、好ましくは上記式（ｃ１）で表される基を含む側鎖およびエチレン性二重結合を含む側鎖を有する重合体である。エチレン性二重結合を有する側鎖は重合反応後の化学変換によって形成できる。エチレン性二重結合を含む側鎖を有することで、ポストベーク時に撥インク剤（Ｃ２）の硬化反応が生じ、隔壁上面に固定化されやすい。その結果、ポストベーク時に未反応の残存分子がドットにマイグレートしてドットを汚染することが生じにくい。

　エチレン性二重結合としては、（メタ）アクリロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルオキシ基、ビニルオキシアルキル基等の付加重合性を有する二重結合が挙げられ、これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。なお、該付加重合性基が有する水素原子の一部または全てが、アルキル基、好ましくはメチル基で置換されていてもよい。

　撥インク剤（Ｃ２）は、さらに酸性基を有する側鎖を有する重合体であることが好ましい。露光工程で硬化反応しなかった撥インク剤（Ｃ２）の一部の分子は、それらが酸性基を有する側鎖を有することにより、現像時に露光後の基材表面から洗い流され、残存分子が残りにくい。よってドットの親インク性をより向上できる。

　上記酸性基としては、カルボキシ基、およびスルホ基等が挙げられ、これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
　酸性基を有する側鎖は、酸性基を有する単量体の重合反応によって形成してもよいし、重合反応後の化学変換によって形成してもよい。

　撥インク剤（Ｃ２）は、たとえば、後述する単量体（ａ１）と反応性基を有する単量体（ａ３）とを共重合し、得られた共重合体と、前記反応性基と結合し得る官能基とエチレン性二重結合とを有する化合物（ｚ１）とを反応させることにより製造できる。

　撥インク剤（Ｃ２）が、さらに酸性基を有する側鎖を有する重合体である場合は、後述する単量体（ａ１）と反応性基を有する単量体（ａ３）と酸性基を有する単量体（ａ４）とを共重合し、次いで、得られた共重合体と化合物（ｚ１）とを反応させることにより製造できる。

　単量体（ａ１）は基（ｃ１１）を有する単量体であり、下記式（ａ１）で表される。
　Ｒ^１－（ＯＣＦ_２）_ｎ－Ｑ^１－ＯＣＯＣＲ^２１＝ＣＨ_２　　（ａ１）
　上記式において、Ｒ^１、ｎは、それぞれ、上記式（ｃ）または式（ｃ１）におけるＲ^１、ｎと同一であり、好ましい態様も同様である。
　Ｑ^１は、上記式（ｃ１１）におけるＱ^１と同一であり、好ましい態様も同様である。
　Ｒ^２１は水素原子、メチル基、またはトリフルオロメチル基を示す。

　単量体（ａ３）は反応性基を有する単量体であり、水酸基を有する単量体、酸無水物基を有する単量体、カルボキシ基を有する単量体、エポキシ基を有する単量体等が挙げられる。反応性基としてはすなわち、水酸基、酸無水物基、カルボキシ基、エポキシ基が挙げられる。なお、単量体（ａ３）は、基（ｃ１１）を実質的に含まないことが好ましい。

　水酸基を有する単量体の具体例としては、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、５－ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレート、６－ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシシクロヘキシル（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールモノ（メタ）アクリレート、３－クロロ－２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチルビニルエーテル、４－ヒドロキシブチルビニルエーテル、シクロヘキサンジオールモノビニルエーテル、２－ヒドロキシエチルアリルエーテル、Ｎ－ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ビス（ヒドロキシメチル）（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。

　さらに、水酸基を有する単量体としては、末端が水酸基であるポリオキシアルキレン鎖を有する単量体であってもよい。例えば、ＣＨ_２＝ＣＨＯＣＨ_２Ｃ_６Ｈ_１０ＣＨ_２Ｏ（Ｃ_２Ｈ_４Ｏ）_ｈＨ（ここで、ｈは１～１００の整数、以下同じ。）、ＣＨ_２＝ＣＨＯＣ_４Ｈ_８Ｏ（Ｃ_２Ｈ_４Ｏ）_ｈＨ、ＣＨ_２＝ＣＨＣＯＯＣ_２Ｈ_４Ｏ（Ｃ_２Ｈ_４Ｏ）_ｈＨ、ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯＯＣ_２Ｈ_４Ｏ（Ｃ_２Ｈ_４Ｏ）_ｈＨ、ＣＨ_２＝ＣＨＣＯＯＣ_２Ｈ_４Ｏ（Ｃ_２Ｈ_４Ｏ）_ｉ（Ｃ_３Ｈ_６Ｏ）_ｇＨ（ここで、ｉは０～１００の整数であり、ｇは１～１００の整数であり、ｍ＋ｊは１～１００である。以下同じ。）、ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯＯＣ_２Ｈ_４Ｏ（Ｃ_２Ｈ_４Ｏ）_ｉ（Ｃ_３Ｈ_６Ｏ）_ｇＨ等が挙げられる。
　水酸基を有する単量体としては、市販品を用いることができる。

　酸無水物基を有する単量体の具体例としては、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水メチル－５－ノルボルネン－２，３－ジカルボン酸、無水３，４，５，６－テトラヒドロフタル酸、無水ｃｉｓ－１，２，３，６－テトラヒドロフタル酸、２－ブテン－１－イルサクシニックアンハイドライド等が挙げられる。
　カルボキシ基を有する単量体の具体例としては、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸、もしくはそれらの塩が挙げられる。
　エポキシ基を有する単量体の具体例としては、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４－エポキシシクロヘキシルメチルアクリレートが挙げられる。

　単量体（ａ３）としては、末端に水酸基を有する化合物が好ましく、末端に水酸基を有する（メタ）アクリレートがより好ましく、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートが特に好ましい。

　化合物（ｚ１）としては、単量体（ａ３）が有する反応性基に合わせて選択されることが好ましい。反応性基と化合物（ｚ１）との組み合わせは以下が挙げられる。
（１）反応性基としての水酸基に対し、化合物（ｚ１）としてのエチレン性二重結合を有する酸無水物、
（２）反応性基としての水酸基に対し、化合物（ｚ１）としてのイソシアネート基とエチレン性二重結合を有する化合物、
（３）反応性基としての水酸基に対し、化合物（ｚ１）としての塩化アシル基とエチレン性二重結合を有する化合物、
（４）反応性基としての酸無水物基に対し、化合物（ｚ１）としての水酸基とエチレン性二重結合を有する化合物、
（５）反応性基としてのカルボキシ基に対し、化合物（ｚ１）としてのエポキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物、
（６）反応性基としてのエポキシ基に対し、化合物（ｚ１）としてのカルボキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物。

　化合物（ｚ１）としてのエチレン性二重結合を有する酸無水物の具体例としては、上記した酸無水物基を有する単量体と同じ化合物が挙げられる。
　化合物（ｚ１）としてのイソシアネート基とエチレン性二重結合を有する化合物の具体例としては、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、１，１－ビス（（メタ）アクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート、２－アクリロイルオキシエチルイソシアナートが挙げられる。
　化合物（ｚ１）としての塩化アシル基とエチレン性二重結合を有する化合物の具体例としては、（メタ）アクリロイルクロライドが挙げられる。
　化合物（ｚ１）としての水酸基とエチレン性二重結合を有する化合物の具体例としては、上記した水酸基を有する単量体の例が挙げられる。
　化合物（ｚ１）としてのエポキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物の具体例としては、上記したエポキシ基を有する単量体の例が挙げられる。
　化合物（ｚ１）としてのカルボキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物の具体例としては、上記したカルボキシ基を有する単量体の例が挙げられる。
　上記の組み合わせとしては、（２）の組み合わせが好ましく、化合物（ｚ１）として１，１－ビス（（メタ）アクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネートを用いることが特に好ましい。該組み合わせにすることで、撥インク剤（Ｃ２）は側鎖１つにつきエチレン性二重結合を２つ以上有する側鎖を有することとなり、撥インク剤（Ｃ２）の隔壁上面への固定化が優れ、撥インク性に優れた隔壁が得られるからである。

　酸性基を有する単量体（ａ４）としては、カルボキシ基を有する単量体、スルホ基を有する単量体等が挙げられる。
　カルボキシ基を有する単量体としては、上記単量体（ａ３）において例示したのと同様の単量体が挙げられる。酸性基を有する単量体（ａ４）としてカルボキシ基を有する単量体を用い、上記反応性基を有する単量体（ａ３）としてもカルボキシ基を有する単量体を用いるときは、最終的にエチレン性二重結合が導入されず、カルボキシ基として残るものを単量体（ａ４）とみなすこととする。

　スルホ基を有する単量体としては、ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、（メタ）アリルスルホン酸、２－ヒドロキシ－３－（メタ）アリルオキシプロパンスルホン酸、（メタ）アクリル酸－２－スルホエチル、（メタ）アクリル酸－２－スルホプロピル、２－ヒドロキシ－３－（メタ）アクリロキシプロパンスルホン酸、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸が挙げられる。

　本発明における重合に用いる単量体としては、単量体（ａ１）、（ａ３）、（ａ４）以外のその他の単量体（ａ５）、単量体（ａ６）を用いてもよい。

　その他の単量体（ａ５）としては、日本国特開２０１３－０５０４９号公報に記載される単量体（ａ５）が好ましい。
　その他の単量体（ａ６）としては、アクリロイル基と、フッ素原子を有しエーテル性酸素原子を有さない有機基とを有する化合物が好ましく、具体的には、含フッ素アルキル基を有しエーテル性酸素原子を有さないアクリル化合物が挙げられる。

　撥インク剤（Ｃ２）は、例えば、以下の方法によって合成できる。まず、所望の重合体を得るための単量体を溶媒に溶解して加熱し、重合開始剤を加えて重合させ、重合体を得る。重合反応においては、必要に応じて連鎖移動剤を存在させるのが好ましい。単量体、重合開始剤、溶媒および連鎖移動剤は連続して添加してもよい。

　重合開始剤としては、公知の有機過酸化物、無機過酸化物、アゾ化合物等が挙げられる。有機過酸化物、無機過酸化物は、還元剤と組み合わせて、レドックス系触媒として使用することもできる。

　有機過酸化物としては、ベンゾイルパーオキシド、ラウロイルパーオキシド、イソブチリルパーオキシド、ｔ－ブチルヒドロパーオキシド、ｔ－ブチル－α－クミルパーオキシド等が挙げられる。無機過酸化物としては、過硫酸アンモニウム、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム、過酸化水素、過炭酸塩等が挙げられる。アゾ化合物としては、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル、１，１’－アゾビス（シクロヘキサン－１－カルボニトリル）、２，２’－アゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）、２，２’－アゾビス（４－メトキシ－２，４－ジメチルバレロニトリル）、２，２’－アゾビスイソ酪酸ジメチル、２，２’－アゾビス（２－アミジノプロパン）二塩酸塩等が挙げられる。また、アゾ系重合開始剤として、市販品のＶ－６５（商品名、和光純薬工業社製）等を使用することも可能である。

　前記溶媒としては、エタノール、１－プロパノール、２－プロパノール、１－ブタノール、エチレングリコール等のアルコール類；アセトン、２－ブタノン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；２－メトキシエタノール、２－エトキシエタノール、２－ブトキシエタノール等のセルソルブ類；２－（２－メトキシエトキシ）エタノール、２－（２－エトキシエトキシ）エタノール、２－（２－ブトキシエトキシ）エタノール等のカルビトール類；メチルアセテート、エチルアセテート、ｎ－ブチルアセテート、エチルラクテート、ｎ－ブチルラクテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、エチル－３－エトキシプロピオネート、シクロヘキサノールアセテート、γ－ブチロラクトン、３－メチル－３－メトキシブチルアセテート、グリセリントリアセテート等のエステル類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル等が挙げられる。

　連鎖移動剤としては、ｎ－ブチルメルカプタン、ｎ－ドデシルメルカプタン、ｔ－ブチルメルカプタン、チオグリコール酸エチル、チオグリコール酸２－エチルヘキシル、２－メルカプトエタノール等のメルカプタン類；クロロホルム、四塩化炭素、四臭化炭素等のハロゲン化アルキルが挙げられる。

　撥インク剤（Ｃ２）は、まず、上記の重合反応により単量体（ａ１）を重合させる。単量体（ａ１）と、単量体（ａ３）、単量体（ａ４）、単量体（ａ５）、単量体（ａ６）から選ばれる少なくとも一種とを、共重合させる場合は、この時点で各単量体を添加し、共重合させる。
　次に、得られた（共）重合体と化合物（ｚ１）とを反応させる。
　該反応には溶媒を用いるのが好ましい。溶媒は上述の重合反応に用いる溶媒が用いられる。
　また、重合禁止剤を配合することが好ましい。重合禁止剤としては、例えば、２，６－ジ－ｔ－ブチル－ｐ－クレゾールが挙げられる。
　また、触媒や中和剤を加えてもよい。例えば、水酸基を有する共重合体と、イソシアネート基とエチレン性二重結合を有する化合物を反応させる場合、ジブチル錫ジラウレート等の錫化合物等を用いることができる。水酸基を有する共重合体と、塩化アシル基とエチレン性二重結合を有する化合物を反応させる場合、塩基性触媒を用いることができる。

　この場合、共重合させる単量体全質量に対する各単量体の好ましい割合は以下のとおりである。
　単量体（ａ１）の割合は５～５０質量％が好ましく、１０～４０質量％が特に好ましい。該割合が上記範囲の下限値以上であると、硬化膜からなる隔壁の表面張力を低減でき、隔壁に高い撥インク性を付与できる。上記範囲の上限値以下であると、隔壁と基材との密着性が良好になる。
　単量体（ａ３）の割合は１０～７０質量％が好ましく、２０～５０質量％が特に好ましい。該範囲であると、エチレン性二重結合の導入による撥インク剤（Ｃ２）の隔壁への固定化が良好となる。

　酸性基を有する単量体（ａ４）の割合は１～２０質量％が好ましく、１～１５質量％が特に好ましい。該範囲であると、現像工程において基材表面から洗い流されやすい。

　撥インク剤（Ｃ２）が、エチレン性二重結合を有する側鎖と酸性基を有する側鎖をともに有する場合は、まず、単量体（ａ１）、単量体（ａ３）および酸性基を有する単量体（ａ４）を共重合させる。
　次に、得られた共重合体と化合物（ｚ１）とを反応させることで撥インク剤（Ｃ）が得られる。
　単量体（ａ１）の割合は上記同様に５～５０質量％が好ましく、１０～４０質量％が特に好ましい。単量体（ａ３）の割合は上記同様に１０～７０質量％が好ましく、２０～５０質量％が特に好ましい。単量体（ａ４）の割合は１～２０質量％が好ましく、１～１５質量％が特に好ましい。該範囲であると現像工程において基材表面から洗い流されやすい。

　その他の単量体（ａ５）を用いる場合には、その割合は５～４５質量％が好ましく、５～２５質量％が特に好ましい。該範囲であると撥インク剤の貯蔵安定性が良好である。
　その他の単量体（ａ６）を用いる場合には、その割合は０～１５質量％が好ましく、０～１０質量％が特に好ましい。該範囲であると撥インク層の上面移行性が安定化し、撥インク層中のフッ化物の分布が均一になり好ましい。

　単量体の好ましい組み合わせは以下のとおりである。
　単量体（ａ１）：単量体（ａ３）：単量体（ａ４）：単量体（ａ５）＝５～５０質量％：１０～７０質量％：１～２０質量％：５～４５質量％

　重合体と化合物（ｚ１）とは、［化合物（ｚ１）の官能基］／［重合体の反応性基］の当量比の値が０．５～２となるように仕込むことが好ましく、０．６～１．５が特に好ましい。当量比が上記範囲の下限値以上であると、撥インク剤（Ｃ２）の隔壁への固定化が良好となる。上記範囲の上限値以下であると、未反応の化合物（ｚ１）が不純物として存在する量を低く抑えることができ、塗膜外観を良好に維持できる。
　なお、単量体（ａ３）と単量体（ａ４）の両方としてカルボキシ基を有する単量体を使用する場合は、撥インク剤（Ｃ２）の酸価が後述する範囲となるように、共重合体と化合物（ｚ１）の仕込み量を調節すればよい。

　撥インク剤（Ｃ２）がエチレン性二重結合を有する場合、その量は、１．０×１０^－３～５．０×１０^－３ｍｏｌ／ｇが好ましく、２．０×１０^－３～４．０×１０^－３ｍｏｌ／ｇが特に好ましい。上記範囲であると、撥インク剤（Ｃ２）の隔壁への固定化が良好となる。

　撥インク剤（Ｃ２）が酸性基を有する場合、その酸価は１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、１０～５０ｍｇＫＯＨ／ｇが特に好ましい。上記範囲であると、基材上の残存分子が現像工程において隔壁から洗い流されやすい。

　撥インク剤（Ｃ１）の質量平均分子量（Ｍｗ）は、５００～２０００が好ましく、５００～１５００が特に好ましい。
　質量平均分子量（Ｍｗ）が５００以上であると、感光性樹脂組成物を用いて硬化膜を形成する際に、撥インク剤（Ｃ１）が上面移行しやすい。２０００以下であると、貯蔵安定性に優れる。
　撥インク剤（Ｃ１）の質量平均分子量（Ｍｗ）は、製造条件により調節できる。

　撥インク剤（Ｃ２）の質量平均分子量（Ｍｗ）は、６０００～２０００００が好ましく、６０００～１５００００が特に好ましい。
　質量平均分子量（Ｍｗ）が６０００以上であると、感光性樹脂組成物を用いて硬化膜を形成する際に、撥インク剤（Ｃ２）が膜上面に移行しやすい。質量平均分子量（Ｍｗ）が２０００００以下であると、現像残渣除去性に優れるため、ドット内に良好な親インク性を付与できる。
　撥インク剤（Ｃ２）の質量平均分子量（Ｍｗ）は、製造条件により調節できる。

　また、上面移行性の観点から、アクリル可溶性樹脂（Ａ）の分子量と撥インク剤（Ｃ）の分子量との比率が特定範囲であることが好ましい。特にアクリル系骨格を有する撥インク剤（Ｃ２）は、相分離の観点からアクリル可溶性樹脂（Ａ）の分子量とのバランスが重要となる。アクリル可溶性樹脂（Ａ）の分子量（Ｍｗ）と撥インク剤（Ｃ２）の分子量（Ｍｗ）との比率は、１：２～１：３０が好ましく、１：３～１：２０が特に好ましい。

　本発明の感光性樹脂組成物における全固形分中の撥インク剤（Ｃ）の含有割合は、０．０１～１５質量％が好ましく、０．０１～５質量％がより好ましく、０．０３～１．５質量％が特に好ましい。含有割合が０．０１質量％以上であると、感光性樹脂組成物から形成される硬化膜の上面は優れた撥インク性と優れたインク転落性を有する。１５質量％以下であると、硬化膜と基材との密着性が良好になり、また、感光性樹脂組成物が貯蔵安定性に優れる。

（溶媒（Ｄ））
　本発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、溶媒（Ｄ）を含有してもよい。
　溶媒（Ｄ）を含有することで、該組成物の基板への塗工性、基板表面との密着性がより優れる。また、溶媒（Ｄ）を含有することで、該組成物中で、撥インク剤（Ｃ）を安定して存在させることができる。
　溶媒（Ｄ）は、感光性樹脂組成物が必須成分および任意成分を、均一に溶解又は分散させ、感光性樹脂組成物に含まれる各成分と反応性を有しないものであれば、特に制限されない。

　溶媒（Ｄ）の具体例としては、エタノール、１－プロパノール、２－プロパノール、１－ブタノール、エチレングリコール等のアルコール類；アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；２－メトキシエタノール、２－エトキシエタノール、２－ブトキシエタノール等のセルソルブ類；２－（２－メトキシエトキシ）エタノール、２－（２－エトキシエトキシ）エタノール、２－（２－ブトキシエトキシ）エタノール等のカルビトール類；メチルアセテート、エチルアセテート、ｎ－ブチルアセテート、エチルラクテート、ｎ－ブチルラクテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、エチル－３－エトキシプロピオネート、シクロヘキサノールアセテート、乳酸ブチル、γ－ブチロラクトン、３－メチル－３－メトキシブチルアセテート、グリセリントリアセテート等のエステル類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル等が挙げられる。その他には、ｎ－ブタン、ｎ－ヘキサン等の鎖式炭化水素；シクロヘキサン等の環式飽和炭化水素；トルエン、キシレン、ベンジルアルコール等の芳香族炭化水素；等が挙げられる。これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。

　感光性樹脂組成物における溶媒（Ｄ）の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分１００質量％に対して、５～２，０００質量％が好ましく、１００～５００質量％がより好ましい。

（架橋剤（Ｅ））
　本発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、架橋を促進する任意成分として、架橋剤（Ｅ）を含んでもよい。感光性樹脂組成物が架橋剤（Ｅ）を含むことにより、感光性樹脂組成物の硬化性がより優れ、架橋後の形状が安定した隔壁を形成できる。

　ネガ型感光性樹脂組成物の場合、架橋剤（Ｅ）は、１分子中に２個以上のエチレン性二重結合を有し酸性基を有しない化合物である。ネガ型感光性樹脂組成物が架橋剤（Ｅ）を含むことにより、露光時におけるネガ型感光性樹脂組成物の硬化性が向上し、効率的に硬化膜を形成することができる。

　架橋剤（Ｅ）としては、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート、ε－カプロラクトン変性トリス（２－ヒドロキシエチル）イソシアヌレートのトリ（メタ）アクリレート、およびウレタンアクリレート等が挙げられる。

　光反応性の点からは、多数のエチレン性二重結合を有することが好ましい。例えば、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレートおよびウレタンアクリレート等が好ましい。
　架橋剤（Ｅ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。

　ポジ型感光性樹脂組成物の場合、架橋剤（Ｅ）としては、アミノ樹脂、エポキシ化合物、オキサゾリン化合物、ポリイソシアネート化合物、及びポリカルボジイミド化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。

　アミノ樹脂としては、メラミン系化合物、グアナミン系化合物、尿素系化合物等のアミノ基の一部又は全てをヒドロキシメチル化した化合物、又は該ヒドロキシメチル化した化合物の水酸基の一部又は全てをメタノール、エタノール、ｎ－ブチルアルコール、２－メチル－１－プロパノール等でエーテル化した化合物、例えば、ヘキサメトキシメチルメラミン等が挙げられる。

　エポキシ化合物としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノール・ノボラック型エポキシ樹脂、クレゾール・ノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、臭素化エポキシ樹脂等のグリシジルエーテル類；３，４－エポキシシクロヘキシルメチル－３，４－エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ビス（２，３－エポキシシクロペンチル）エーテル等の脂環式エポキシ樹脂；ジグリシジルヘキサヒドロフタレート、ジグリシジルテトラヒドロフタレート、ジグリシジルフタレート等のグリシジルエステル類；テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルパラアミノフェノール等のグリシジルアミン類；トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ樹脂；等が挙げられる。
　また、シクロアルケンオキサイド構造を有するエポキシ化合物が挙げられる。

　オキサゾリン化合物としては、２－ビニル－２－オキサゾリン、２－ビニル－４－メチル－２－オキサゾリン、２－ビニル－５－メチル－２－オキサゾリン、２－イソプロペニル－２－オキサゾリン、２－イソプロペニル－４－メチル－２－オキサゾリン等の重合性単量体の共重合体等が挙げられる。

　架橋剤（Ｅ）としては、また、アルコキシメチル基及びヒドロキシメチル基から選ばれる置換基を２個以上有する架橋性化合物を用いてもよい。例えば、アルコキシメチル化グリコールウリル、アルコキシメチル化ベンゾグアナミン、およびアルコキシメチル化メラミン等の化合物、およびフェノプラスト系化合物が挙げられる。

　これらの化合物は１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。

　架橋剤（Ｅ）としては、特に１分子中に２つ以上のエポキシ基を有する化合物が好ましい。

　感光性樹脂組成物における全固形分中の架橋剤（Ｅ）の含有量は、２～４０質量％が好ましく、３～３０質量％が特に好ましい。上記範囲であると、感光性樹脂組成物を用いて隔壁を形成した際に、隔壁側面を含むドット内の親インク性がより優れる。

（架橋促進剤（Ｆ））
　本発明の感光性樹脂組成物は、架橋を促進する任意成分として、架橋促進剤（Ｆ）を含んでもよい。

　架橋促進剤（Ｆ）とは、加熱により感光性樹脂組成物中に架橋構造を形成する作用を有する化合物である。
　架橋促進剤（Ｆ）としては、例えば、それ自体が架橋剤（Ｅ）と反応し、架橋して架橋構造を形成する化合物や、それ自体は架橋せず、架橋剤（Ｅ）に対して触媒作用を有する化合物が挙げられる。

　架橋剤（Ｅ）として、１分子中に２個以上のエチレン性二重結合を有し酸性基を有しない化合物を用いる場合、架橋構造を形成する架橋促進剤（Ｆ）としては、ポリチオール類が挙げられる。露光時に感光材（Ｂ）から生成したラジカルによりチオール化合物のラジカルが生成してアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、化合物（Ｉ）等のエチレン性二重結合に作用する、いわゆるエン－チオール反応が生起する。このエン－チオール反応は、通常のエチレン性二重結合がラジカル重合するのと異なり、酸素による反応阻害を受けないため、高い連鎖移動性を有し、さらに重合と同時に架橋も行うため、硬化物となる際の収縮率も低く、均一なネットワークが得られやすい等の利点を有する。エポキシ化合物を用いる場合、架橋構造を形成する架橋促進剤（Ｆ）としては、ポリアミン類、ポリチオール類、ポリカルボン酸無水物が挙げられる。
　より具体的には、ポリアミン類として、エチレンジアミン、トリエチレンジアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ヘキサメチレンジアミン、ポリオキシアルキレンポリアミン、イソホロンジアミン、メンセンジアミン、３，９－ビス（３－アミノプロピル）－２，４，８，１０－テトラオキサスピロ（５，５）ウンデカンが挙げられる。ポリチオール類として、ポリエーテルポリチオール、ポリカルボン酸無水物として、水コハク酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、４－メチルヘキサヒドロ無水フタル酸等が挙げられる。
　触媒作用を有するものとしては、３級アミン類、イミダゾール類、ルイス酸類、オニウム塩類、ジシアンジアミド類、有機酸ジヒドラジド類、ホスフィン類等の硬化触媒が挙げられる。より具体的には、２－メチルイミダゾール、２－エチル－４－メチルイミダゾール、トリス（ジメチルアミノメチル）フェノール、三フッ化ホウ素－アミン錯体、ジシアンジアミド、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート等が挙げられる。
　架橋促進剤（Ｆ）は、これらの１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。

　架橋剤（Ｅ）が１分子中に２つ以上のエポキシ基を有する化合物である場合には、架橋促進剤（Ｆ）としては２－メチルイミダゾール、４－メチル－２－フェニルイミダゾールが特に好ましい。

　本発明の感光性樹脂組成物における全固形分中の架橋促進剤（Ｆ）の含有量は、０．１～１０質量％が好ましく、０．５～３質量％が特に好ましい。

（着色剤（Ｇ））
　本発明の感光性樹脂組成物を、液晶表示素子のカラーフィルタのＲ、Ｇ、及びＢの三色の画素を囲む格子状の黒色部分であるブラックマトリックス形成のために用いる場合、必要に応じて着色剤（Ｇ）を含んでもよい。
　着色剤（Ｇ）は、例えば、カーボンブラック、アニリンブラック、アントラキノン系黒色顔料、ペリレン系黒色顔料、具体的には、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、６、７、１２、２０、３１等が挙げられる。着色剤（Ｇ）としては、赤色顔料、青色顔料、緑色顔料等の有機顔料や無機顔料の混合物を用いることもできる。

　本発明の感光性樹脂組成物に着色剤（Ｇ）を含有させ、ブラックマトリックス形成等に用いる場合、該感光性樹脂組成物における全固形分中の着色剤（Ｇ）の含有量は、１５～６５質量％が好ましく、２０～５０質量％が特に好ましい。上記範囲であると、感光性樹脂組成物は感度に優れ、また、形成される隔壁は遮光性に優れる。

　本発明の感光性樹脂組成物は、上記着色剤（Ｇ）等の分散性材料を含有する場合には、その分散性を向上させるために、さらに、高分子分散剤、分散助剤等を含有してもよい。これらは、本発明の効果を損なわない範囲の含有量で感光性樹脂組成物に含有できる。

（シランカップリング剤（Ｈ））
　本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、シランカップリング剤（Ｈ）を含んでもよい。シランカップリング剤（Ｈ）を含有することにより、形成される硬化膜の基板密着性がより優れる。
　シランカップリング剤（Ｈ）としては、テトラエトキシシラン、３－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、３－メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、３－クロロプロピルトリメトキシシラン、３－メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３－アミノプロピルトリエトキシシラン、へプタデカフルオロオクチルエチルトリメトキシシラン、ポリオキシアルキレン鎖含有トリエトキシシラン等が挙げられる。これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。

　本発明の感光性樹脂組成物における全固形分中のシランカップリング剤（Ｈ）の含有量は、０．１～２０質量％が好ましく、１～１０質量％が特に好ましい。上記範囲の下限値以上であると、感光性樹脂組成物から形成される硬化膜の基板密着性がより優れ、上記範囲の上限値以下であると、硬化膜の撥インク性が良好である。

（微粒子（Ｉ））
　本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、微粒子（Ｉ）を含んでもよい。微粒子（Ｉ）を含有することにより、感光性樹脂組成物を用いて形成される隔壁の熱垂れを防止できる。

　微粒子（Ｉ）としては、特に限定されず、シリカ、ジルコニア、フッ化マグネシウム、スズドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）、アンチモンドープ酸化スズ（ＡＴＯ）等の無機系微粒子；ポリエチレン、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）等の有機系微粒子等が挙げられる。耐熱性の点からは、無機系微粒子が好ましく、入手容易性や分散安定性の点からは、シリカ又はジルコニアが特に好ましい。
　また、感光性樹脂組成物が、着色剤（Ｇ）及び高分子分散剤を含有する場合には、該高分子分散剤の吸着能を考慮すれば、微粒子（Ｉ）は、負に帯電していることが好ましい。
　さらに、感光性樹脂組成物の露光感度を考慮すると、微粒子（Ｉ）は、露光時に照射される光を吸収しないことが好ましく、超高圧水銀灯の主発光波長であるｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、及びｇ線（４３６ｎｍ）を吸収しないことが特に好ましい。

　微粒子（Ｉ）の平均粒子径は、隔壁の表面平滑性が良好になる点から、平均粒子径が１μｍ以下が好ましく、２００ｎｍ以下が特に好ましい。なかでも、平均粒子径としては、５～１００ｎｍが最も好ましい。

　本発明の感光性樹脂組成物における全固形分中の微粒子（Ｉ）の含有量は、５～３５質量％が好ましく、１０～３０質量％が特に好ましい。含有量が５質量％以上であると、撥インク性の低下抑制効果があり、３５質量％以下であると、感光性樹脂組成物の貯蔵安定性に優れる。

（リン酸化合物（Ｊ））
　本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、リン酸化合物（Ｊ）を含んでもよい。リン酸化合物（Ｊ）を含むことで、基材との密着性を向上させることができる。リン酸化合物しては、モノ（メタ）アクリロイルオキシエチルフォスフェート、ジ（メタ）アクリロイルオキシエチルフォスフェート、トリス（メタ）アクリロイルオキシエチルフォスフェートなどが挙げられる。

　感光性樹脂組成物における全固形分中のリン酸化合物（Ｊ）の含有割合は、０．１～１０質量％が好ましく、０．３～１質量％が特に好ましい。上記範囲であると、得られる感光性樹脂組成物から形成される硬化膜の基材との密着性が良好となる。

（チオール化合物（Ｋ））
　本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、チオール化合物（Ｋ）を含んでもよい。
　本発明におけるチオール化合物（Ｋ）は、１分子中にメルカプト基を２個以上有する多官能チオール化合物である。特に、感光性樹脂組成物がネガ型感光性樹脂組成物である場合、チオール化合物（Ｋ）を含有すれば、露光時に感光材（Ｂ）から生成したラジカルによりチオール化合物のラジカルが生成してアルカリ可溶性材料（Ａ）等のエチレン性二重結合に作用する、いわゆるエン－チオール反応が生起する。このエン－チオール反応は、通常のエチレン性二重結合がラジカル重合するのと異なり、酸素による反応阻害を受けないため、高い連鎖移動性を有し、さらに重合と同時に架橋も行うため、硬化物となる際の収縮率も低く、均一なネットワークが得られやすい等の利点を有する。

　ネガ型感光性樹脂組成物が、チオール化合物（Ｋ）を含有する場合には、上述のようにして低露光量でも十分に硬化できることから、現像性が良好となり、露光部における基材密着性と非露光部における残渣の低減の両立に寄与できる。
　また、チオール化合物（Ｋ）を含有する場合、特に酸素による反応阻害を受け易い隔壁上面を含む上層部においても光硬化が十分に行われる。したがって、ネガ型感光性樹脂組成物がさらに、撥インク剤を含有する場合には、チオール化合物（Ｋ）は、隔壁上面への良好な撥インク性の付与にも寄与できる。

　チオール化合物（Ｋ）中のメルカプト基は、１分子中に２～１０個含むことが好ましく、３～８個がより好ましく、３～５個がさらに好ましい。チオール化合物（Ｋ）の分子量は特に制限されない。チオール化合物（Ｋ）における、［分子量／メルカプト基数］で示されるメルカプト基当量（以下、ＳＨ当量ともいう。）は、低露光量での硬化性の観点から、４０～１，０００が好ましく、４０～５００がより好ましく、４０～２５０が特に好ましい。

　チオール化合物（Ｋ）としては、具体的には、トリス（２－メルカプトプロパノイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールトリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ジペンタエリスリトールヘキサチオグリコレート、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）、トリス－［（３－メルカプトプロピオニルオキシ）－エチル］－イソシアヌレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（３－メルカプトプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）、ジペンタエリスリトールヘキサ（３－メルカプトブチレート）、トリメチロールプロパントリス（２－メルカプトイソブチレート）、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチリルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオン、トリフェノールメタントリス（３－メルカプトプロピオネート）、トリフェノールメタントリス（３－メルカプトブチレート）、トリメチロールエタントリス（３－メルカプトブチレート）、２，４，６－トリメルカプト－Ｓ－トリアジン、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン等が挙げられる。
　チオール化合物（Ｋ）は、２種以上を併用してもよい。

　感光性樹脂組成物がチオール化合物（Ｋ）を含有する場合、その含有割合は、感光性樹脂組成物中の全固形分が有するエチレン性二重結合の１モルに対してメルカプト基が０．０００１～１モルとなる量が好ましい。含有割合は０．０００５モル以上がより好ましく、０．００１モル以上が特に好ましい。一方で含有量は０．５モル以下がより好ましい。含有割合が上記範囲であると、低露光量においても感光性樹脂組成物の光硬化性および現像性が良好である。チオール化合物（Ｋ）の全固形分中の含有割合は、１～２０％が好ましい。含有割合は３％以上がより好ましい。一方で含有割合は１５％以下がより好ましい。

（その他の添加剤）
　本発明の感光性樹脂組成物には、その他添加剤として、必要に応じて、本発明の効果を損なわない範囲で、増粘剤、可塑剤、消泡剤、レベリング剤、ハジキ防止剤及び紫外線吸収剤からなる群から選ばれる１種以上を配合してもよい。

［感光性樹脂組成物の製造方法］
　感光性樹脂組成物を製造する方法として、アルカリ可溶性材料（Ａ）、感光材（Ｂ）、撥インク剤（Ｃ）、必要に応じて、溶媒（Ｄ）、架橋剤（Ｅ）、架橋促進剤（Ｆ）、着色剤（Ｇ）、シランカップリング剤（Ｈ）、微粒子（Ｉ）、リン酸化合物（Ｊ）、チオール化合物（Ｋ）及びその他の添加剤と混合する方法が好ましい。
　混合は、攪拌機を用いて、温度が２０℃～２５℃、時間を３ｈｒ～６ｈｒで行われ、得られた組成物は、そのまま使用される。

　本発明の感光性樹脂組成物は、通常の感光性樹脂組成物と同様に、フォトリソグラフィ等の材料として用いられ、得られた硬化膜は、通常の感光性樹脂組成物の硬化膜が用いられる光学素子の部材として、使用できる。

［隔壁及びその製造方法］
　本発明の実施形態に係る隔壁は、基板上に区画を設けるために形成される隔壁であって、上記本発明の感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥して、硬化させてなる硬化膜からなる。
　本発明の実施形態に係る隔壁は、光学素子の用途に好適に用いられ、上記感光性樹脂組成物が着色剤（Ｇ）を含有する場合には、得られる隔壁はブラックマトリックスとしての適用が可能である。
　本発明の隔壁は、例えば、基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する光学素子用の隔壁に適用される。

　本発明の感光性樹脂組成物を用いて、光学素子用の隔壁を製造する方法としては、例えば、以下の方法が挙げられる。

　感光性樹脂組成物がネガ型感光性樹脂組成物である場合、感光性樹脂組成物を基板上に塗布して塗膜を形成し（塗膜形成工程）、次いで、該塗膜を乾燥して膜とし（プリベーク工程）、次いで、該膜の隔壁となる部分のみを露光し（露光工程）、その後、非露光部分の塗膜を除去して上記塗膜の露光部分からなる隔壁を形成させる（現像工程）。次いで、必要に応じて上記形成された隔壁等を、さらに加熱により架橋させ、硬化させる（ポストベーク工程）ことにより、隔壁が製造できる。

　感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組成物である場合、感光性樹脂組成物を基板上に塗布して塗膜を形成し（塗膜形成工程）、次いで、該塗膜を乾燥して膜とし（プリベーク工程）、次いで、該膜の隔壁とならない部分のみを露光し（露光工程）、その後、上記露光した部分の塗膜を除去して上記塗膜の非露光部分からなる隔壁を形成させる（現像工程）。次いで、必要に応じて上記形成された隔壁等を、さらに加熱により架橋させ、硬化させる（ポストベーク工程）ことにより、隔壁が製造できる。

　基板の材質は特に限定されるものではないが、各種ガラス板；ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート等）、ポリオレフィン（ポリエチレン、ポリプロピレン等）、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスルホン、ポリイミド、ポリメタクリル樹脂、アクリル樹脂等の熱可塑性プラスチックシート；エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル等の熱硬化性樹脂の硬化シート；等が使用できる。特に、耐熱性の点からガラス板、ポリイミド等の耐熱性プラスチックが好ましい。また、透明基板であることが好ましい。

　基板の形状や隔壁が形成される表面については、特に制限されず、用途に応じて適宜選択される。基板が板状である場合には、平板でもよく、全面又は一部が曲率を有していてもよい。基板の厚さは隔壁の用途により適宜選択できるが、一般的には０．５～１０ｍｍが好ましい。

　本発明に用いる基板は、感光性樹脂組成物を塗布する面を予めアルコール洗浄、紫外線／オゾン洗浄等で洗浄しておくことが好ましい。

［光学素子の製造方法］
　本発明の光学素子は、上記製造方法によって基板上に隔壁を形成した後、例えば、上記基板と上記隔壁で囲まれた領域内の露出した基板表面に、親インク化処理をし（親インク化処理工程）、次いで、上記領域にインクジェット法によりインクを注入して上記画素を形成する（インク注入工程）ことにより得られる。

（親インク化処理工程）
　親インク化処理の方法としては、アルカリ水溶液による洗浄処理、紫外線洗浄処理、紫外線／オゾン洗浄処理、エキシマ洗浄処理、コロナ放電処理、酸素プラズマ処理等の方法が挙げられる。
　アルカリ水溶液による洗浄処理は、アルカリ水溶液（水酸化カリウム、テトラメチル水酸化アンモニウム水溶液等）を用いて基板表面を洗浄する湿式処理である。
　紫外線洗浄処理は、紫外線を用いて基板表面を洗浄する乾式処理である。
　紫外線／オゾン洗浄処理は、１８５ｎｍと２５４ｎｍの光を発光する低圧水銀ランプを用いて、基板表面を洗浄する乾式処理である。
　エキシマ洗浄処理は、１７２ｎｍの光を発光するキセノンエキシマランプを用いて、基板表面を洗浄する乾式処理である。
　コロナ放電処理は、高周波高電圧を利用し、空気中にコロナ放電を発生させ、基板表面を洗浄する乾式処理である。
　酸素プラズマ処理は、主に真空中で、高周波電源等をトリガーとして酸素を励起させ、反応性の高い「プラズマ状態」にしたものを用いて、基板表面を洗浄する乾式処理である。

　親インク化処理の方法としては、簡便である点で、紫外線／オゾン洗浄処理等の乾式処理法が好ましい。紫外線／オゾンは市販の装置を用いて発生させることができる。
　紫外線／オゾン装置内部に隔壁が形成された基板を設置し、空気中、室温で、１～１０分程度、隔壁の撥インク性を損なわない範囲で処理を行うことにより、親インク化処理を行うことができる。なお、処理時間については、個々の紫外線／オゾン装置にあわせて、隔壁の撥インク性を損なわない範囲となるよう調整すればよい。

　親インク化処理により、上記隔壁の形成後に、ドットに残る現像残渣の除去等を充分に行うことで、ドットの親インク化を充分に計ることができ、得られる光学素子を用いたカラー表示装置等の白抜け現象を防止することが可能となる。また、本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成される隔壁を用いれば、上記紫外線洗浄処理等で、隔壁の撥インク性を低下させることなく、親インク化を行うことが可能である。

　ここで、本発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物から形成される硬化膜の撥インク性、インク転落性、および親インク性は、たとえば、水及びＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート：インクの溶媒として多く使用されている有機溶媒）の接触角で評価できる。より詳しくは、撥インク性および親インク性は静的接触角で評価でき、インク転落性は動的接触角で評価できる。
　本発明の隔壁を有する基板を用いて光学素子を製造する場合、隔壁上面は上記親インク化処理後も、充分な撥インク性およびインク転落性を有することが求められる。また、隔壁のＰＧＭＥＡの静的接触角は４０度以上が好ましく、４５度以上が特に好ましい。さらにまた、隔壁のＰＧＭＥＡの前進接触角と後退接触角の差は、３０度以下が好ましく、２５度以下が特に好ましい。
　一方、本発明の隔壁を有する基板を用いて光学素子を製造する場合、ドットについては、親インク性であることが求められ、そのＰＧＭＥＡの静的接触角は３５度以下が好ましく、３０度以下が特に好ましい。

（インク注入工程）
　親インク化処理工程後のドットにインクジェット法によりインクを注入して画素を形成する工程である。
　この工程は、インクジェット法において一般的に用いられるインクジェット装置を用いて、通常の方法と同様に行うことができる。このような画素の形成に用いられるインクジェット装置としては、特に限定されるものではないが、帯電したインクを連続的に噴射し磁場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱し、その発泡を利用して間欠的に噴射する方法等の、各種の方法を用いたインクジェット装置を用いることができる。

　本発明の感光性樹脂組成物を用いて製造する光学素子としては、カラーフィルタ、有機ＥＬ素子、有機ＴＦＴアレイ等が挙げられる。

［カラーフィルタの製造］
　隔壁の形成、ドットの親インク化処理、インクジェット法によるインク注入は上述の通りである。
　カラーフィルタにおいて、形成される画素の形状は、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、４画素配置型等の公知のいずれの配列とすることも可能である。

　画素の形成に用いられるインクは、主に着色成分とバインダー樹脂成分と溶媒とを含んでいる。
　着色成分としては、耐熱性、耐光性等に優れた顔料及び染料を用いることが好ましい。
　バインダー樹脂成分としては、透明で耐熱性に優れた樹脂が好ましく、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられる。
　水性のインクは、溶媒として水及び必要に応じて水溶性有機溶媒を含み、バインダー樹脂成分として水溶性樹脂又は水分散性樹脂を含み、必要に応じて各種助剤を含む。
　また、油性のインクは、溶媒として有機溶媒を含み、バインダー樹脂成分として有機溶媒に可溶な樹脂を含み、必要に応じて各種助剤を含む。
　インクジェット法によりインクを注入した後は、必要により、乾燥、加熱硬化、及び／又は紫外線硬化を行うことが好ましい。

　画素形成した後、必要に応じて、オーバーコート用塗布液を用いて保護膜層を形成する。
　保護膜層は表面平坦性を上げる目的と隔壁や画素部のインクからの溶出物が液晶層に到達するのを遮断する目的で形成することが好ましい。
　保護膜層を形成する場合は、事前に隔壁の撥インク性を除去することが好ましい。撥インク性を除去しない場合、オーバーコート用塗布液をはじき、均一な膜厚が得られないため好ましくない。
　隔壁の撥インク性を除去する方法としては、プラズマアッシング（Ｐｌａｓｍａ　Ａｓｈｉｎｇ）処理や光アッシング処理等が挙げられる。
　さらに必要に応じて、カラーフィルタを用いて製造される液晶パネルの高品位化のために、フォトスペーサを隔壁で構成されるブラックマトリックス上に形成することが好ましい。

［有機ＥＬ素子の製造］
　本発明の感光性樹脂組成物を用いて隔壁を形成する前に、ガラス等の透明基板にスズドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）等の透明電極をスパッタ法等によって製膜し、必要に応じて、所望のパターンに透明電極をエッチングする。次に、本発明の感光性樹脂組成物を用いて隔壁を形成し、ドットの親インク化処理をした後、インクジェット法を用いてドットに正孔輸送材料、発光材料の溶液を順次塗布し、乾燥して、正孔輸送層、及び発光層を形成する。その後、アルミニウム等の電極を蒸着法等によって形成することによって、有機ＥＬ素子の画素が得られる。

［有機ＴＦＴアレイの製造］
　以下の（１）～（３）の工程を経て、有機ＴＦＴアレイを製造することができる。
（１）ガラス等の透明基板に本発明の感光性樹脂組成物を用いて隔壁を形成する。次いで、ドットの親インク化処理をした後、インクジェット法を用いて、ドットにゲート電極材料の溶液を塗布し、ゲート電極を形成する。
（２）ゲート電極を形成させた後、その上にゲート絶縁膜を形成させる。次いで、ゲート絶縁膜上に、本発明のポジ型感光性樹脂組成物を用いて隔壁を形成し、ドットの親インク化処理をした後、インクジェット法を用いてドットにソース・ドレイン電極材料の溶液を塗布し、ソース・ドレイン電極を形成する。
（３）ソース・ドレイン電極を形成させた後、一対のソース・ドレイン電極を含む領域を囲むように、本発明の感光性樹脂組成物を用いて隔壁を形成する。次いで、ドットの親インク化処理をした後、インクジェット法を用いて、ドットに有機半導体の溶液を塗布し、有機半導体層をソース・ドレイン電極間に形成させる。
　なお、工程（１）～（３）は、それぞれの１工程のみにおいて、本発明の感光性樹脂組成物を用いた隔壁を形成し、利用してもよいし、２つ以上の工程において、本発明の感光性樹脂組成物を用いた隔壁を形成し、利用してもよい。

　以上より、本明細書は下記の感光性樹脂組成物、隔壁および光学素子を開示する。
〔１〕アルカリ可溶性材料（Ａ）、感光材（Ｂ）及び撥インク剤（Ｃ）を含む感光性樹脂組成物であって、
　前記撥インク剤（Ｃ）が、下記式（ｃ）で表される構造を含む、感光性樹脂組成物。
　　－（ＯＣＦ_２）_ｎ－　　（ｃ）
　　ｎ：３～１００の整数
〔２〕前記撥インク剤（Ｃ）が、下記式（ｃ１）で表される基を有する、〔１〕に記載の感光性樹脂組成物。
　　Ｒ^１－（ＯＣＦ_２）_ｎ－　　（ｃ１）
　　Ｒ^１：水素原子、ハロゲン原子、または炭素数１～５の１価有機基
　　ｎ：３～１００の整数
〔３〕前記撥インク剤（Ｃ）が、下記式（ｃ１１）で表される基を有する、〔１〕または
〔２〕に記載の感光性樹脂組成物。
　　Ｒ^１－（ＯＣＦ_２）_ｎ－Ｑ^１－　　（ｃ１１）
　　Ｒ^１：水素原子、ハロゲン原子、または炭素数１～５の１価有機基
　　Ｑ^１：炭素数１～１０のフッ素原子を含まない２価の有機基または－（ＣＦ_２）_ｍ－
　　ｎ：３～１００の整数
　　ｍ：１～４の整数
〔４〕前記撥インク剤（Ｃ）が、シラン系骨格またはアクリル系骨格を有する、〔１〕～〔３〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔５〕溶媒（Ｄ）をさらに含む、〔１〕～〔４〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔６〕架橋剤（Ｅ）をさらに含む、〔１〕～〔５〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔７〕架橋促進剤（Ｆ）をさらに含む、〔１〕～〔６〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔８〕着色剤（Ｇ）をさらに含む、〔１〕～〔７〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔９〕基板表面を画素形成用の複数の区画に仕切る形に形成された隔壁であって、
　〔１〕～〔８〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物の硬化膜からなる隔壁。
〔１０〕基板と、前記基板の表面に形成された複数の画素と、隣接する前記複数の画素間に位置する隔壁とを有する光学素子であって、
　前記隔壁が〔１〕～〔８〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物の硬化膜からなる光学素子。
〔１１〕前記光学素子がＴＦＴアレイ又は有機ＥＬ素子である、〔１０〕に記載の光学素子。

　以下に実施例を用いて、本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例に限定して解釈されるものではない。

　各測定は以下の方法で行った。
［質量平均分子量（Ｍｗ）］
　分子量測定用の標準試料として市販されている重合度の異なる数種の単分散ポリスチレン重合体のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）を、市販のＧＰＣ測定装置（東ソー社製、装置名：ＨＬＣ－８３２０ＧＰＣ）を用いて測定し、ポリスチレンの分子量と保持時間（リテンションタイム）との関係をもとに検量線を作成した。
　試料をテトラヒドロフランで１．０質量％に希釈し、０．５μｍのフィルターに通過させた後、該試料についてのＧＰＣを、前記ＧＰＣ測定装置を用いて測定した。
　前記検量線を用いて、試料のＧＰＣスペクトルをコンピュータ解析することにより、該試料の質量平均分子量（Ｍｗ）を求めた。

［フッ素原子の含有率（質量％）］
　フッ素原子の含有率は、１，４－ビス（トリフルオロメチル）ベンゼンを標準物質として、１９Ｆ　ＮＭＲ測定により算出した。

［エーテル性酸素原子の含有率（質量％）］
　１９Ｆ　ＮＭＲの測定結果から算出した。

［アルカリ可溶性材料（Ａ）］
Ａ１：ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂にカルボキシ基とエチレン性二重結合を導入した樹脂。固形分６８％、酸価１００ｍｇＫＯＨ／ｇ
Ａ２：ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂にカルボキシ基とエチレン性二重結合を導入した樹脂。固形分６８％、酸価３０ｍｇＫＯＨ／ｇ
Ａ３：ビフェノール型エポキシ樹脂にカルボキシ基とエチレン性二重結合を導入した樹脂。固形分６８％、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ

［感光材（Ｂ）］
Ｂ１：２－メチル－１－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルフォリノプロパン－１－オン
Ｂ２：ＥＡＢ：４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン
Ｂ３：ＯＸＥ０２：エタノン,１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］－１－（Ｏ－アセチルオキシム）

［撥インク剤（Ｃ）］
　撥インク剤Ｃ２－１～Ｃ２－４の合成において使用した含フッ素単量体を下記に示す。
ａ１－１：ＣＦ_３（ＯＣＦ_２）_４ＣＨ_２ＯＣＯＣ（ＣＨ_３）＝ＣＨ_２
ａ１－２：ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＣＯＣ（ＣＨ_３）＝ＣＨ_２
ａ１－３：ＣＦ_３（ＯＣＦ_２）_９ＣＨ_２ＯＣＯＣ（ＣＨ_３）＝ＣＨ_２
ａ１－４：ＣＦ_３（ＯＣＦ_２）_１８ＣＨ_２ＯＣＯＣ（ＣＨ_３）＝ＣＨ_２

　含フッ素単量体ａ１－１～ａ１－４は下記に示す方法でそれぞれ合成した。

［合成例１］含フッ素単量体ａ１－１：ＣＦ_３（ＯＣＦ_２）_４ＣＨ_２ＯＣＯＣ（ＣＨ_３）＝ＣＨ_２の製造
　温度計、撹拌機、還流管及び温度調節機を備えた３００ｍＬのガラス製フラスコに、ジクロロメタン（１４０ｍＬ）、ＣＦ_３（ＯＣＦ_２）_４ＣＨ_２ＯＨ（２０．０ｇ）、トリエチルアミン（８．３ｇ）を入れ、窒素雰囲気下で撹拌しながら、塩化メタクリロイル（８．６ｇ）を０℃で１時間かけて滴下し、さらに３０℃で５時間撹拌した。反応終了後、０℃に冷却し飽和塩化アンモニウム水（５０ｍＬ）を加え分液した。有機層を１規定塩酸、飽和重曹水で順次洗浄し、硫酸マグネシウムで乾燥したのち、減圧濃縮し標的化合物（２２．４ｇ）を得た。ＮＭＲ分析の結果、標記化合物が主たる生成物であることを確認した。

［合成例２］含フッ素単量体ａ１－２：ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＣＯＣ（ＣＨ_３）＝ＣＨ_２の製造
　合成例１におけるＣＦ_３（ＯＣＦ_２）_４ＣＨ_２ＯＨ（２０．０ｇ）をＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＨ（２１．９ｇ）に変更すること以外は合成例１と同様の方法で反応を行い、標記化合物（２４．０ｇ）を得た。ＮＭＲ分析の結果、標記化合物が主たる生成物であることを確認した。

［合成例３］含フッ素単量体ａ１－３：ＣＦ_３（ＯＣＦ_２）_９ＣＨ_２ＯＣＯＣ（ＣＨ_３）＝ＣＨ_２の製造
　合成例１におけるＣＦ_３（ＯＣＦ_２）_４ＣＨ_２ＯＨ（２０．５ｇ）をＣＦ_３（ＯＣＦ_２）_９ＣＨ_２ＯＨ（２０．０ｇ）に変更すること以外は合成例１と同様の方法で反応を行い、標記化合物（２４．６ｇ）を得た。ＮＭＲ分析の結果、標記化合物が主たる生成物であることを確認した。

［合成例４］含フッ素単量体ａ１－４：ＣＦ_３（ＯＣＦ_２）_１８ＣＨ_２ＯＣＯＣ（ＣＨ_３）＝ＣＨ_２の製造
　合成例１におけるＣＦ_３（ＯＣＦ_２）_４ＣＨ_２ＯＨ（２０．５ｇ）をＣＦ_３（ＯＣＦ_２）_１８ＣＨ_２ＯＨ（２２．０ｇ）に変更すること以外は合成例１と同様の方法で反応を行い、標記化合物（２６．２ｇ）を得た。ＮＭＲ分析の結果、標記化合物が主たる生成物であることを確認した。

撥インク剤Ｃ２－１：
　以下の方法で合成したものを使用した。
（工程１）表１に示す各原料（単位：ｇ）を、窒素雰囲気下で撹拌しながら、５０℃で２４時間重合させた。さらに７０℃で５時間加熱し、重合開始剤を不活性化し、共重合体の溶液を得た。
（工程２）次いで、上記共重合体の溶液（１９．９ｇ）、１，１－（ビスアクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート（２９．０ｇ）、ジブチル錫ジラウレート（６．０ｍｇ）、ｔ－ブチル－ｐ－ベンゾキノン（０．０３ｇ）を撹拌しながら、４０℃で２４時間重合させた。
　重合物をヘキサンを用いて精製、次いで乾燥を行い、撥インク剤（Ｃ２－１）２１．４ｇを得た。その後、ＰＧＭＥＡで希釈し、撥インク剤（Ｃ２－１）のＰＧＭＥＡ溶液（撥インク剤（Ｃ２－１）濃度：１０質量％。以下「撥インク剤（Ｃ２－１）溶液」ともいう。）を得た。

撥インク剤Ｃ２－２：
　撥インク剤Ｃ２－１と同様の手順にて、表１に記載の材料と配合量に変更して作成した。

撥インク剤Ｃ２－３：
　撥インク剤Ｃ２－１と同様の手順にて、表１に記載の材料と配合量に変更して作成した。

撥インク剤Ｃ２－４：
　撥インク剤Ｃ２－１と同様の手順にて、表１に記載の材料と配合量に変更して作成した。

［溶媒（Ｄ）］
ＥＤＭ：ジエチレングリコールエチルメチルエーテル（沸点１７６℃）
ＰＧＭＥ：プロピレングリコールモノメチルエーテル（沸点１２０℃）
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（沸点１４６℃）

［架橋剤（Ｅ）］
Ｅ１：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの７０：３０混合品）
Ｅ２：トリス－（２－アクリロキシエチル）イソシアヌレート
Ｅ３：ε－カプロラクトン変性トリス－（２－アクリロキシエチル）イソシアヌレート

［リン酸化合物（Ｊ）］
Ｊ１：２－メタクロイロキシエチルアシッドホスフェート

［チオール化合物（Ｋ）］
Ｋ１：１，３，５－トリス（２－（３－スルファニルブタノイルオキシ）エチル）－１，３，５－トリアジナン－２，４，６－トリオン

＜例１～例９：ネガ型感光性樹脂組成物＞
　表２に記載の割合で原料を均一になるまで撹拌（約３０分）して、ネガ型感光性樹脂組成物を調製した。これを用いてそれぞれ下記方法により評価を行った。
　なお、例１、例３～例９が実施例であり、例２が比較例である。

＜測定条件・評価条件＞
［評価用サンプル］
　表２に記載のネガ型感光性樹脂組成物を用いて、ガラス基板上に硬化膜を作成し評価用サンプルとした。評価用サンプルとして露光パターンを形成したサンプル１と、露光パターンを形成しない（全面剥離した）サンプル２の２種類を用意した。

［評価用サンプル１］
（１）ガラス基板（ＡＧＣ社製、寸法７．５ｃｍ×７．５ｃｍ×０．７ｍｍ）をエタノール中で超音波洗浄（３０秒間）した。次いで５分間紫外線／オゾン洗浄（装置：ＰＬ７－２００　センエンジニアリング社製）を行った。
　上記洗浄後のガラス基板表面に、スピンナ（ミカサ株式会社　ＩＨ－ＤＸ２）を用いて、ネガ型感光性樹脂組成物を、スピン塗布（回転数２８０ｒｐｍで１０秒間）した。次に、ホットプレート上で乾燥（１００℃で２分間）させ、膜厚１．５μｍの塗膜を形成した。
（２）塗膜の表面を、以下の条件で露光した。
フォトマスク：開口部を有さない４．０ｃｍ×８．０ｃｍの遮光板を用いて、ガラス基板の半分を遮光した。
　ランプならびに照射条件：超高圧水銀ランプのＵＶ光を全面一括で照射した。３３０ｎｍ以下の光はカットし、その際の露光量は４０ｍＪ／ｃｍ^２であった。
（３）露光後の処理がなされたガラス基板をテトラメチル水酸化アンモニウム水溶液（２．３８質量％）に８０秒間浸漬して現像した。その後、水洗と乾燥を行った。
（４）乾燥後の基板をホットプレート上で加熱（２３０℃で３０分間）し、左半分の面が剥離されたガラス基板を作成した（評価用サンプル１）。

［評価用サンプル２］
（１）評価用サンプル１と同様に、膜厚１．５μｍの塗膜付き基板を作製した。
（２）塗膜の表面を、以下の条件で露光した。
フォトマスク：２０ｍｍ×２０ｍｍの範囲に以下のパターンで開口部を有する。
開口部の形状：６０μｍ×２００μｍ
遮光部のパターン間隔：２０μｍ
ランプならびに照射条件：評価用サンプル１と同様
（３）評価用サンプル１と同様に現像、水洗、乾燥した。
（４）評価用サンプル１と同様に加熱した後、特定のパターンを有する硬化膜を有するガラス基板を作成した（評価用サンプル２）。

＜隔壁撥インク性（静的接触角）＞
　評価用サンプル１の基板半分（全面露光側）を用い、θ／２法によりＰＧＭＥＡに対する基板表面の接触角（静的接触角）を測定した。
　接触角が大きいほど撥インク性に優れる。基準を下記に示す。
　◎：４５°以上
　〇：４０°以上４５°未満
　△：３５°以上４０°未満
　×：３５°以下

＜隔壁インク転落性（動的接触角）＞
　評価用サンプル１の基板右側半分（全面露光側）を用い、滑落法によりＰＧＭＥＡに対する膜表面の前進接触角θ_ａ、後退接触角θ_ｒ（動的接触角）を測定した。
　水平に保持した評価用サンプル１の隔壁上面に５μＬのＰＧＭＥＡ滴を滴下した後、サンプル基板を徐々に傾け、ＰＧＭＥＡ滴が転落しはじめた時のＰＧＭＥＡ滴の前進接触角と後退接触角をＳＡ－１１（協和界面科学社製）を用いて測定した。サンプル基板における異なる２ヶ所で測定を行い、その平均値を算出した。
　前進接触角Θ_ａが小さく、後退接触角Θ_ｒが大きいほどインク転落性に優れる。基準を下記に示す。

Θ_ａの基準
　◎：５０°未満
　〇：５０°以上５５°未満
　△：５５°以上

Θ_ｒの基準
　◎：３５°以上
　〇：３０°以上３５°未満
　△：３０°未満

Θ_ａ－Θ_ｒの基準
　◎：２０°未満
　〇：２０°以上２５°未満
　×：２５°以上

＜ドット内親インク性（静的接触角）＞
　評価用サンプル１の基板半分（全面遮光側）を用い、θ／２法によりＰＧＭＥＡに対する基板表面の接触角（静的接触角）を測定した。
　接触角が小さいほど親インク性に優れる。基準を下記に示す。
　◎：３０°未満
　〇：３０°以上３５°未満
　×：３５°以上

＜ドット内親インク性（インク被覆率）＞
　評価用サンプル２のドット内（隔壁に囲まれたパターン抜き部）に、ＩＪ装置（ＬａｂｏＪＥＴ　５００マイクロジェット社製）を用いて１％ＴＰＤ（トリフェニルジアミン）のシクロヘキシルベンゼン溶液を２０ｐｌ滴下した。乾燥後のドット内部の乾燥物の広がりを確認した。画像処理によってインクの被覆面積を測定し、ドット内の面積に対する割合からインク被覆率を算出した。サンプル基板における異なるドット１０ヶ所で測定を行い、その平均値を算出した。
　インク被覆率が大きいほど親インク性に優れる。

　評価結果を下記表２に示す。

　上記結果より、ペルフルオロメチレンエーテル構造を繰り返し単位として有する撥インク剤を用いた例１、例３～例９のネガ型感光性樹脂組成物では、得られた隔壁の上面がインク転落性に優れ、かつ、ドット内が親インク性に優れることが分かる。
　ペルフルオロエチレンエーテル構造を繰り返し単位として有する撥インク剤を用いた例２のネガ型感光性樹脂組成物では、インク転落性および親インク性が例１よりも低い結果となった。
　撥インク剤におけるフッ素原子含有率は例１と例２は同等であるためインク転落性も同等であると予測されるところ、例１の方がインク転落性が良好となった。これはエーテル性酸素原子含有率が例１における撥インク剤の方が大きいことと、含フッ素繰り返し単位におけるエーテル性酸素原子間の炭素鎖が短く炭素鎖が短く、直鎖構造のため、柔軟性が高いこと、によると考えられる。
　また、親インク性については、例１における撥インク剤の方が、例２よりもエーテル性酸素原子含有率が大きいことにより、現像液との相溶性が高く、現像液の浸透性が増加し残渣が除去されやすくなったためと考えられる。

　本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。本出願は２０２２年１２月２１日出願の日本特許出願（特願２０２２－２０４７１９）に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。

　本発明の感光性樹脂組成物は、撥インク性およびインク転落性に優れ、かつ、ドットの親インク性に優れた隔壁を製造することが可能であり、インクジェット記録技術法を利用したカラーフィルタの製造、有機ＥＬ素子の製造、有機ＴＦＴアレイの製造における隔壁の形成に好適に用いられる。

Claims

　アルカリ可溶性材料（Ａ）、感光材（Ｂ）及び撥インク剤（Ｃ）を含む感光性樹脂組成物であって、
　前記撥インク剤（Ｃ）が、下記式（ｃ）で表される構造を含む、感光性樹脂組成物。
　　－（ＯＣＦ_２）_ｎ－　　（ｃ）
　　ｎ：３～１００の整数
　前記撥インク剤（Ｃ）が、下記式（ｃ１）で表される基を有する、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　　Ｒ^１－（ＯＣＦ_２）_ｎ－　　（ｃ１）
　　Ｒ^１：水素原子、ハロゲン原子、または炭素数１～５の１価有機基
　　ｎ：３～１００の整数
　前記撥インク剤（Ｃ）が、下記式（ｃ１１）で表される基を有する、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　　Ｒ^１－（ＯＣＦ_２）_ｎ－Ｑ^１－　　（ｃ１１）
　　Ｒ^１：水素原子、ハロゲン原子、または炭素数１～５の１価有機基
　　Ｑ^１：炭素数１～１０のフッ素原子を含まない２価の有機基または－（ＣＦ_２）_ｍ－
　　ｎ：３～１００の整数
　　ｍ：１～４の整数
　前記撥インク剤（Ｃ）が、シラン系骨格またはアクリル系骨格を有する、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　溶媒（Ｄ）をさらに含む、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　架橋剤（Ｅ）をさらに含む、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　架橋促進剤（Ｆ）をさらに含む、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　着色剤（Ｇ）をさらに含む、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　基板表面を画素形成用の複数の区画に仕切る形に形成された隔壁であって、
　請求項１～８のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物の硬化膜からなる隔壁。
　基板と、前記基板の表面に形成された複数の画素と、隣接する前記複数の画素間に位置する隔壁とを有する光学素子であって、
　前記隔壁が請求項１～８のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物の硬化膜からなる光学素子。
　前記光学素子がＴＦＴアレイ又は有機ＥＬ素子である、請求項１０に記載の光学素子。