WO2024090361A1 - ノズル、及び液供給システム - Google Patents

Abstract

【課題】液吐出口を繋ぐ分岐流路を介して液が流れることにより、液だれが生じるのを抑制可能なノズル、及び液供給システムの実現を目的とした。 【解決手段】ノズル１０は、液供給口２０と、複数の液吐出口３０と、液供給口２０と複数の液吐出口３０とを通液できるように接続し、分岐箇所４２において複数の分岐流路４４に分岐された流路４０と、分岐箇所４２から複数の液吐出口３０までつながる複数の分岐流路同士の連通を制限するバルブ部材５０，１５０，２５０，３５０を備えている。

Description

ノズル、及び液供給システム

　本発明は、ノズル、及び液供給システムに関する。

　従来、下記特許文献１に係る分岐流路構成体のように、液供給口から供給された液を内部に設けられた分岐流路において分岐し、複数の液吐出口から吐出できるようにしたものがある。

特許第５６１４７４０号公報

　ここで、上記特許文献１のように、多数の液吐出口から液を吐出できるように分岐流路を設ける場合において、高さ方向に異なる位置に設けられた液吐出口同士が分岐流路を介して繋がった構造となる場合がある。このような構造の場合、液の粘性等の条件によっては、いわゆるサイフォン現象により、高低差のある液吐出口を繋ぐ分岐流路を介して液が流れ、液だれが生じる可能性がある。そのため、このような液だれが生じにくいノズルや、これを備えた液供給システムの提供が望まれている。

　そこで本発明は、液吐出口を繋ぐ分岐流路を介して液が流れることにより、液だれが生じるのを抑制可能なノズル、及び液供給システムの実現を目的とした。

（１）本発明のノズルは、液供給口と、複数の液吐出口と、前記液供給口と複数の前記液吐出口とを通液できるように接続し、分岐箇所において複数の分岐流路に分岐された流路と、前記分岐箇所から複数の前記液吐出口までつながる複数の前記分岐流路同士の連通を制限するバルブ部材を備えることを特徴とするものである。

　本発明のノズルは、上記（１）のような構成とすることにより、バルブ部材によって分岐箇所を介してつながった分岐流路同士の連通を制限した状態とすることができる。これにより、本発明のノズルは、いわゆるサイフォン現象によって、分岐流路を介してつながった一方の液吐出口から他方の液吐出口に向けて液が流れることにより、液だれが生じるのを抑制できる。

（２）本発明のノズルは、前記バルブ部材が、前記流路の前記分岐箇所に設けられていることを特徴とするものであると良い。

　本発明のノズルは、上記（２）のような構成とすることにより、分岐箇所に設けられたバルブ部材によって、分岐箇所を介して複数の分岐流路同士が連通するのを確実に制限できる。

（３）本発明のノズルは、前記分岐箇所に単独の前記バルブ部材が設けられ、前記バルブ部材ごとに、当該バルブ部材が配された前記分岐箇所につながる全ての分岐流路同士の連通を制限可能であることを特徴とするものであると良い。

　本発明のノズルは、上記（３）のような構成とすることにより、例えば分岐流路ごとにバルブ部材を設ける場合に比べて、バルブ部材の数を抑制したり、制御対象となるバルブ部材の数が少ない分だけバルブ部材の動作制御を簡素化したりすることができる。

（４）本発明のノズルは、前記バルブ部材の開閉動作が可能であり、前記液吐出口から液を吐出する際に開状態とされ、前記液吐出口からの液の吐出を停止する際に閉状態とされることを特徴とするものであると良い。

　本発明のノズルは、上記（４）のような構成とすることにより、液の吐出を行うときに、バルブ部材を開状態とすることにより、液をスムーズに各液吐出口から吐出させることができる。また、本発明のノズルは、上記（４）の構成を採用することにより、液の吐出を停止する際にバルブ部材を閉状態とすることにより、いわゆるサイフォン現象による液だれが発生するのを抑制できる。

（５）本発明のノズルは、前記バルブ部材が、所定の液圧がかかることを条件として、前記分岐箇所から前記液吐出口に向かう液の流れを許容するものであることを特徴とするものであると良い。

　本発明のノズルは、上記（５）のような構成とすることにより、液の吐出に際してバルブ部材に作用する液圧を利用して、バルブ部材を開状態として分岐箇所から液吐出口に向けて液を供給可能なものとすることができる。これにより、本発明のノズルは、バルブ部材を作動させるための動力源等を設ける必要がなく、その分だけ構成をシンプルなものとすることができる。

（６）本発明のノズルは、前記流路が、前記液供給口から始まり前記液吐出口に至る区間において、複数の段階に亘って分岐され、各段階に分岐箇所を備えるものであり、前記バルブ部材は、前記分岐箇所のうち、最も前記液吐出口に近い段階における分岐箇所に設けられるものであると良い。

　本発明のノズルは、上記（６）のような構成とすることにより、いずれの液吐出口においても、いわゆるサイフォン現象による液だれが生じるのを抑制できる。すなわち、例えば、分岐箇所のうち、最も液吐出口に近い段階における分岐箇所ではなく、これよりも上流側の分岐箇所にバルブ部材を設けた場合においては、バルブ部材を設けた分岐箇所よりも下流側の分岐箇所においては、分岐流路を介して複数の液吐出口が連通した状態になる。そのため、このような構成とした場合には、分岐流路を介して分岐箇所において連通した複数の液吐出口同士の間で、液の流れが発生する可能性がある。しかしながら、本発明のノズルは、上記（６）のような構成とすることにより、いずれの液吐出口においても、サイフォン現象による液だれが生じるのを抑制できる。

（７）本発明のノズルは、前記流路が、前記液供給口から導入された流体がｎ個の前記液吐出口から均等に吐出されるように分岐された前記分岐流路を備えたものであり、前記ｎ個の液吐出口のそれぞれに対応するようにｎ個の中継部が設けられており、各分岐流路が、前記液供給口と前記ｎ個の中継部とを繋ぐｎ系統の供給・中継部間流路と、前記ｎ個の中継部と当該中継部に対応する液吐出口とを繋ぐｎ系統の中継・液吐出口間流路とを有し、前記液供給口の軸心を通る鉛直線上の一点を中心とする仮想円の円周をｎ分割する点に対応する位置に前記中継部が配置され、前記ｎ系統の中継・液吐出口間流路の長さがそれぞれ同一のものであると良い。

　本発明のノズルでは、液供給口の軸心を通る鉛直線上の一点を中心とする仮想円の円周をｎ分割する点に対応する位置に中継部が設けられている。さらに、液供給口と各中継部とを繋ぐようにｎ系統の供給・中継部間流路が設けられていることから、供給・中継部間流路の長さが各系統毎に均一である。そのため、液供給口から中継部に至るまでの区間において、流体が各分岐流路に略均一の圧力及び流量で流れることになる。また、本発明のノズルでは、ｎ個の中継部からｎ個の液吐出口まで至るｎ系統の中継・液吐出口間流路の長さがそれぞれ均一とされているため、各中継・液吐出口間流路を流体が流れることにより発生する圧損や流体の流量の均一化を図ることが可能である。従って、本発明のノズルによれば、液供給口に導入された流体を吐出量や吐出圧を略一定としつつ、所望の分岐数に分岐することが可能となる。

　また、本発明のノズルでは、各中継・液吐出口間流路の長さが均一であればよく、その配置に特別な制限が加わらない。そのため、本発明のノズルによれば、所望の位置に各分岐流路の液吐出口を配置することが可能となり、流路設計上の自由度が極めて高くなる。　

（８）本発明のノズルは、前記中継部が、前記仮想円の円周を略ｎ等分する位置に配置されているものであると良い。

　本発明のノズルは、上記（８）のような構成とすることにより、各供給・中継部間流路を流れる流体の流量や圧力をより一層確実に均一化することが可能となる。従って、本発明のノズルは、上記（８）のような構成とすることにより、各液吐出口における流体の流量や吐出圧をより一層均一化することが可能となる。

（９）本発明のノズルは、前記各中継・液吐出口間流路が、下方に向けて流体を流動させることが可能な下降部と、水平方向に流体を流動させることが可能な水平部とを備え、前記水平部と前記下降部との間に屈曲部を有する流路であり、各中継・液吐出口間流路に係る前記水平部の長さの総和が同一であり、各中継・液吐出口間流路に係る前記下降部の長さの総和が同一であり、各中継・液吐出口間流路における前記屈曲部の数が同一であるものであると良い。

　本発明のノズルは、上記（９）のような構成とすることにより、各中継・液吐出口間流路を流体が流れることにより発生する圧損や、流量分布を均一化することが可能となる。従って、各中継・液吐出口間流路を前述したような屈曲流路構成部を有する流路とすることにより、各液吐出口における流体の流量や吐出圧の均一化をさらに図ることが可能となる。

（１０）本発明のノズルにおいて、前記各中継・液吐出口間流路は、屈曲部が上下方向に複数形成されたものであることを特徴とするものであると良い。

　本発明のノズルは、上記（１０）のような構成とすることにより、屈曲部に対して流体の流れ方向下流側に位置する水平部の向きを、これよりも上流側に位置する水平部とは異なる方向に向けることが可能となり、その分だけ各液吐出口のレイアウトの自由度を高めることが可能となる。

（１１）本発明のノズルは、前記各中継・液吐出口間流路に、流路径が縮小された縮径部が設けられているものであると良い。

　本発明のノズルは、上記（１１）のような構成とすることにより、縮径部の流路径を分岐流路の系統によらず略均一にすることにより、各分岐流路における吐出量や吐出圧を略均一化することが可能である。

（１２）本発明のノズルは、各分岐流路の流路径が、前記分岐流路によらず同等であるものであると良い。

　本発明のノズルは、上記（１２）のような構成とすることにより、各分岐流路に繋がる液吐出口における吐出量や吐出圧を略均一化することが可能である。

（１３）本発明のノズルは、前記各分岐流路を構成する溝が形成されたプレートを重ね合わせることにより構成されるものであると良い。

　本発明のノズルは、上記（１３）のような構成とすることにより、上述した条件に合致する分岐流路を容易かつ確実に形成することが可能となる。また、かかる構成とした場合は、ノズルの組み立てや分解、清掃等が容易であり、ノズルの設置やメンテナンスが実施しやすくなる。

（１４）本発明のノズルは、液供給口の断面形状が円形、あるいは、正ｎ×ａ角形（ａは任意の自然数）であるものであると良い。

　本発明のノズルは、上記（１４）のような構成とすることにより、液供給口からｎ系統分形成された供給・中継部間流路のそれぞれに流入する流体の流量や圧力を均一化することが可能となる。

（１５）本発明の液供給システムは、上述した本発明のノズルを備え、前記液供給口に対して供給する液を圧送する圧送装置を備えていることを特徴とするものである。

　本発明の液供給システムは、上述した本発明のノズルを備えたものである。そのため、本発明の液供給システムは、いわゆるサイフォン現象によって、分岐流路を介してつながった一方の液吐出口から他方の液吐出口に向けて液が流れることにより、液だれが生じるのを抑制できる。

（１６）本発明の液供給システムは、前記バルブ部材を開閉制御する制御装置を備えていることを特徴とするものであると良い。

　本発明の液供給システムは、上記（１６）のような構成とすることにより、環境条件等の外部要因に左右されることなく、バルブ部材の開閉制御により、液だれの抑制等を考慮して適切にバルブ部材を動作させることができる。

（１７）本発明の液供給システムは、前記圧送装置が、一軸偏心ねじポンプであることを特徴とするものであると良い。

　本発明の液供給システムは、上記（１７）のように、一軸偏心ねじポンプを備えたものであるため、ノズルに対する液の供給量を精度良く調整できる。本発明の液供給システムは、さらに上述した本発明のノズルを備えたものであるため、予期せぬ液だれの防止により、液吐出口から吐出される液の吐出量を精度良く調整できる。従って、本発明の液供給システムによれば、液の供給量及び吐出量を精度良く調整できる。

　また、上述したように圧送装置として一軸偏心ねじポンプを採用した場合には、液を供給するときとは逆方向にロータを回動させることにより、液を上流側に引き戻す運転（サックバック運転）を行える。そのため、本発明の液供給システムは、上記（１７）のような構成とすることにより、本発明のノズルを用いることによる液だれ防止効果に加えて、サックバック運転を行うことによる液だれ防止効果も奏することができる。

　本発明によれば、上述した課題を解決可能なノズル、及び液供給システムの提供を実現できる。

本発明の一実施形態に係るノズル及び液供給システムについて、バルブ部材が閉状態である状態においてノズルの一部を破断して図示した説明図である。 本発明の一実施形態に係るノズル及び液供給システムについて、バルブ部材が開状態である状態においてノズルの一部を破断して図示した説明図である。 （ａ）は図１に示したノズルを構成する第一のブロック体を示す平面図、（ｂ）は第二のブロック体を示す平面図である。 （ａ）は変形例に係るバルブ部材を備えたノズルの一部を破断して図示した説明図、（ｂ）は（ａ）のノズルにおいてバルブ部材が開状態であるときのバルブ部材及びブロック体を示す説明図、（ｃ）は（ａ）のノズルにおいてバルブ部材が閉状態であるときのバルブ部材及びブロック体を示す説明図である。 （ａ）は変形例に係るバルブ部材が開状態であるときのノズルの一部を破断して図示した説明図、（ｂ）は当該バルブ部材が閉状態であるときのノズルの一部を破断して図示した説明図である。 （ａ）は変形例に係るバルブ部材が閉状態であるときのノズルの一部を破断して図示した説明図、（ｂ）は当該バルブ部材が開状態であるときのノズルの一部を破断して図示した説明図である。 第二実施形態に係る液供給システムを示す説明図である。 （ａ）は本発明の一実施形態に係る分岐流路構成体を示す平面図、（ｂ）はこの側面図である。 図８に示す分岐流路構成体に形成される分岐流路の構成を示す斜視図である。 分岐流路の構成を説明するための斜視図である。 分岐流路の流路設計における中継部及び供給・中間部間経路の設計方法を説明する説明図である。 分岐流路の流路設計における中継部及び吐出部を結ぶ中継・吐出部間流路の水平部の設計方法を説明する説明図である。 （ａ），（ｂ）はそれぞれ分岐流路を構成する管路の変形例を示す説明図である。 （ａ），（ｂ）はそれぞれ導入部の変形例を示す説明図である。

　以下、本発明の一実施形態に係るノズル１０、及び液供給システム１００について、図面を参照しつつ詳細に説明する。

　図１及び図２に示すように、液供給システム１００は、ノズル１０、圧送装置１１０、制御装置１２０を備えている。液供給システム１００は、圧送装置１１０によって供給された液をノズル１０に供給することにより、ノズル１０から液の供給対象に向けて吐出させることができる。

　ノズル１０は、液供給口２０と、液吐出口３０と、流路４０と、バルブ部材５０とを備えている。ノズル１０は、圧送装置１１０によって供給された液をノズル１０の液供給口２０に供給することにより、複数の液吐出口３０に向けて液を分岐させて吐出することができる。

　液供給口２０は、ノズル１０に供給された液を導入するための開口である。液供給口２０は、圧送装置１１０に対して直接的あるいは他のバルブ等を介して間接的に接続される。

　液吐出口３０は、ノズル１０から液を吐出するための開口である。液吐出口３０は、一つの液供給口２０に対して複数設けられている。流路４０は、液供給口２０と複数の液吐出口３０とを通液できるように接続するものである。

　流路４０は、液供給口２０に始まり液吐出口に至る区間（流路４０の途中）に設けられた分岐箇所４２において複数の分岐流路４４に分岐されている。流路４０は、途中に分岐箇所４２を複数備えている。本実施形態では、流路４０は、液供給口２０から液吐出口３０に至る途中において、２段階に亘って分岐されている。流路４０は、各段階に分岐箇所４２を備えている。流路４０は、分岐箇所４２において複数の分岐流路４４に分岐されている。

　本実施形態では、液供給口２０を上流とし、液吐出口３０を下流としたときに、流路４０は、上流側から下流側にｎ段階（本実施形態ではｎ＝２）に分岐されている。本実施形態では、流路４０は、上流側から１段階目の分岐箇所４２（第一分岐箇所４２ａ）において２つの分岐流路４４（第一分岐流路４４ａ）に分岐されている。また、第一分岐流路４４ａよりも下流側の分岐箇所４２、すなわち上流側から２段階目の分岐箇所４２（第二分岐箇所４２ｂ）において、４つの分岐流路４４（第二分岐流路４４ｂ）に分岐されている。さらに、本実施形態では、２つの第一分岐流路４４ａは、それぞれの流路抵抗が同等（略均一）になるように構成されている。また、４つの第二分岐流路４４ｂについても、それぞれ流路抵抗が同等（略均一）になるように構成されている。これにより、流路４０を構成する合計８つの分岐流路４４のそれぞれにおける流路抵抗は同等（略均一）となっている。

　バルブ部材５０は、流路４０における液の流れを制限する状態（閉状態）と、液の流れを許容する状態（開状態）とに切り替える開閉動作が可能なものとされている。バルブ部材５０は、液供給口２０に始まり液吐出口に至る流路４０の区間（途中）に設けられた分岐箇所４２から複数の液吐出口３０までつながる複数の分岐流路４４同士の連通を制限するものである。

　バルブ部材５０は、流路４０の分岐箇所４２に設けられている。バルブ部材５０は、当該バルブ部材５０が配された分岐箇所４２につながる全ての分岐流路４４同士の連通を制限することができる。バルブ部材５０は、液吐出口３０から液を吐出する際に開状態とされ、液吐出口３０からの液の吐出を停止する際に閉状態とされる。ノズル１０は、分岐箇所４２ごとに単独のバルブ部材５０を設けることが可能であるが、本実施形態では分岐箇所４２のうち、最も液吐出口３０に近い段階における分岐箇所４２にバルブ部材５０を設けたものとされている。具体的には、ノズル１０において、バルブ部材５０は、上述した第二分岐箇所４２ｂに設けられている。本実施形態のノズル１０は、第二分岐箇所４２ｂを２つ備えているため、バルブ部材５０についても２つ設けられている。なお、液の吐出条件や液だれの発生状況等を考慮し、制御装置１２０によって２つのバルブ部材５０を個別に制御可能としてもよい。

　バルブ部材５０は、上述した機能を発揮できるものであれば様々な形態のものを採用できる。本実施形態では、図３に示すように、ノズル１０の本体部分を構成するブロック体１２，１４に、流路４０を構成する溝や凹部が形成されており、ブロック体１４において流路４０の分岐箇所４２（第二分岐箇所４２ｂ）をなす部分に形成された円形の凹部に対して、複数（本実施形態では４つ）の分岐流路４４をなす溝が放射状に繋がるように形成されている。図１及び図２に示すように、バルブ部材５０は、第二分岐箇所４２ｂをなす円形の凹部に嵌め込まれる円柱状の部材を弁体５２として備え、弁体５２を上下方向にスライドさせることにより、第二分岐箇所４２ｂと複数の分岐流路４４が連通した状態（図２参照）と、非連通の状態（図１参照）とに切り替え可能なものとされている。

　圧送装置１１０は、上述したノズル１０の液供給口２０に対して供給する液を圧送するものである。圧送装置１１０は、従来公知のポンプとすると良く、一軸偏心ねじポンプ等のポンプとすると良い。

　制御装置１２０は、ノズル１０が備えるバルブ部材５０の開閉制御を行うものである。

　上述したノズル１０及び液供給システム１００は、複数の液吐出口３０から液体を吐出する際に、バルブ部材５０を開状態とする。これにより、ノズル１０に設けられた流路４０が液供給口２０から液吐出口３０まで連通した状態になる。そのため、この状態において圧送装置１１０により液をノズル１０に供給すると、流路４０を流れる液が複数の分岐流路４４に分岐され、複数の液吐出口３０から吐出される。

　また、ノズル１０及び液供給システム１００は、複数の液吐出口３０における液体の吐出を停止する際に、バルブ部材５０を閉状態とする。これにより、ノズル１０に設けられた流路４０が、液供給口２０から液吐出口３０の途中に設けられた分岐箇所４２（本実施形態では第二分岐箇所４２ｂ）において非連通となる。また、分岐箇所４２（第二分岐箇所４２ｂ）に繋がった複数の分岐流路４４同士も非連通となる。そのため、液吐出口３０の開口端に高低差がある分岐流路４４が存在していたとしても、分岐流路４４を介して高い位置にある液吐出口３０から低い位置にある液吐出口３０に液が移動し、低い位置に設けられた液吐出口３０において液だれが生じるのを抑制できる。

　上述したノズル１０や液供給システム１００は、本発明の一実施形態を示したものに過ぎず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において各部の構成を変更あるいは省略したり、他の構成を追加したりすることができる。

　例えば、上述したバルブ部材５０は、第二分岐箇所４２ｂをなす円形の凹部に嵌め込まれる円柱状の部材である弁体５２を上下方向にスライドさせることにより、第二分岐箇所４２ｂと複数の分岐流路４４が連通した状態と、非連通の状態とに切り替え可能なものであるが、本発明はこれに限定されない。ノズル１０は、例えば、弁体５２に代えて、図４に示すような弁体１５２を備えたバルブ部材１５０を、バルブ部材５０に代えて備えた構成としても良い。図４（ｂ）、（ｃ）に断面視して示すように、弁体１５２は、断面視で十字状に形成された連通孔１５２ａを有し、弁体１５２の回転角度を調整することにより、複数（本実施形態では４つ）の分岐流路４４が連通した状態（図４（ｂ）参照）と、非連通の状態（図４（ｃ）参照）とに切り替え可能なものである。

　また、ノズル１０は、バルブ部材５０に代えて図５に示したバルブ部材２５０を備えたものでも良い。バルブ部材２５０は、第一分岐流路４４ａよりも上方から第二分岐流路４４ｂに到達するように形成された連通孔２５４に差し込まれてスライド可能な弁体２５２を備えたものである。弁体２５２は、第一分岐流路４４ａ側に位置する第一弁体構成部２５２ａと、第二分岐流路４４ｂ側に位置する第二弁体構成部２５２ｂとを、連通孔２５４の開口領域の大きさよりも十分小さな連結部２５２ｃで連結したものである。連結部２５２ｃは、第一分岐流路４４ａの上端から第二分岐流路４４ｂの下端までの長さと同等とされている。そのため、図５（ａ）に示すように、第二弁体構成部２５２ｂの上端が第二分岐流路４４ｂの下端と同レベルの高さとなるように弁体２５２の位置が調整されると、第二分岐流路４４ｂが開状態となる。一方、図５（ｂ）のように弁体２５２を引きあげた状態とすると、第二弁体構成部２５２ｂによって第二分岐流路４４ｂ同士の連通が制限された状態（閉状態）になる。ノズル１０は、バルブ部材５０に代えてこのようなバルブ部材２５０を設けることによっても、上記実施形態と同様の作用効果が期待できる。

　ノズル１０は、バルブ部材５０に代えて図６に示したバルブ部材３５０を備えたものでも良い。バルブ部材３５０は、第二分岐箇所４２ｂをなす部分に配される弁体３５２と、これを流路４０（分岐流路４４）の外部から第二分岐箇所４２ｂに向けて突出するように付勢する付勢部材３５４とを有する。図６（ａ）に示すように、弁体３５２に液圧が作用していない状態においては、弁体３５２が付勢部材３５４によって付勢されて第二分岐箇所４２ｂに存在し、第二分岐流路４４ｂ同士の連通が制限された状態（閉状態）となる。一方、図６（ｂ）に示すように、第一分岐流路４４ａ側から付勢部材３５４の付勢力に反して弁体３５２に対して液圧がかかることを条件として、弁体３５２が第二分岐箇所４２ｂから退出し、第二分岐箇所４２ｂから液吐出口に向かう液の流れが許容される。ノズル１０は、バルブ部材５０に代えてこのようなバルブ部材３５０を設けることによっても、上記実施形態と同様の作用効果が期待できる。

≪第二実施形態≫
　上述したように、圧送装置１１０は、一軸偏心ねじポンプ等のポンプによって構成することができる。具体的には、圧送装置１１０は、例えば図７に示した一軸偏心ねじポンプ５００のようなものとすることができる。また、上述したノズル１０は、本発明の一実施形態を示したものに過ぎず、例えば図８に示したノズル６１０のように、図９に示したような分岐流路Ｂｎを備えたものとすることが可能である。以下、本発明の第二実施形態として、ノズル１０に代えてノズル６１０を備えるとともに、一軸偏心ねじポンプ５００を備えた液供給システム６００（図７参照）について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明においては、上述したノズル１０や液供給システム１００と共通する部分については同一の符号を付し、詳細の説明については省略する。

≪一軸偏心ねじポンプ５００について≫
　図７に示すように、一軸偏心ねじポンプ５００は、いわゆる回転容積型のポンプであり、ケーシング５２０の内部にステータ５１０や、ロータ５３０、動力伝達機構５４０などが収容された構成とされている。図７に示すように、ステータ５１０は、一軸偏心ねじポンプ５００に組み込まれる部材であり、断面形状が長円であって２条の雌ねじ形状の孔を有する筒体である。ステータ５１０は、ゴムなどによって形成されている。ステータ５１０を構成するゴムの種類は、一軸偏心ねじポンプ５００において移送する被搬送物の種類や性状などにあわせて適宜選択可能である。

　ケーシング５２０は、金属製で筒状の部材であり、長手方向一端側に取り付けられた円板形のエンドスタッド５２０ａに第１開口５２２ａが設けられている。また、ケーシング５２０の外周部分には、第２開口５２２ｂが設けられている。第２開口５２２ｂは、ケーシング５２０の長手方向中間部分に位置する中間部５２０ｄにおいてケーシング５２０の内部空間に連通している。第１，２開口５２２ａ，５２２ｂは、それぞれ一軸偏心ねじポンプ５００の吐出口および吸込口として機能する。上述したステータ５１０は、ケーシング５２０において第１開口５２２ａに隣接する位置に設けられたステータ取付部５２２ｃ内に収容され、固定されている。ステータ５１０は、フランジ部５１０ａをケーシング５２０の端部においてエンドスタッド５２０ａによって挟み込み、エンドスタッド５２０ａとケーシング５２０の本体部分とに亘ってステーボルト５２４を取り付けて締め付けることにより固定されている。

　ロータ５３０は、金属製の軸体であり、１条の雄ねじ形状とされている。ロータ５３０は、上述したステータ５１０に挿通され、ステータ５１０の内部において自由に偏心回転可能とされている。ロータ５３０は、上述したステータ５１０の貫通孔５１６に挿通され、ロータ５３０の外周面とステータ５１０の内周面とが両者の接線にわたって当接した状態とされている。また、この状態において、貫通孔５１６を形成しているステータ５１０の内周面と、ロータ５３０の外周面との間には、流体搬送路５３２が形成されている。

　流体搬送路５３２は、ステータ５１０やロータ５３０の長手方向に向けて螺旋状に延びており、ロータ５３０をステータ５１０の貫通孔５１６内において回転させると、ステータ５１０内を回転しながらステータ５１０の長手方向に進む。そのため、ロータ５３０を回転させると、ステータ５１０の一端側から流体搬送路５３２内に流体（液）を吸い込むと共に、この流体を流体搬送路５３２内に閉じこめた状態でステータ５１０の他端側に向けて移送し、ステータ５１０の他端側において吐出させることが可能である。

　動力伝達機構５４０は、ケーシング５２０の外部に設けられたモータなどの動力源（図示せず）から上述したロータ５３０に対して動力を伝達するために設けられている。動力伝達機構５４０は、前述した動力源から伝達された回転動力をロータ５３０に伝達し、ロータ５３０を偏心回転させることが可能とされている。一軸偏心ねじポンプ５００は、前述した動力源を作動させロータ５３０を回転させることにより、流体搬送路５３２を介して流体を搬送することが可能である。

≪ノズル６１０について≫
　ノズル６１０は、上述したような構成の一軸偏心ねじポンプ５００の吐出口として機能する第１開口５２２ａに対して配管接続されている。図８に示すように、ノズル６１０は、金属製の流路構成プレートＰ１～Ｐ４を、上下方向に重ね合わせ、上下方向に各プレートＰ１～Ｐ４間を貫通するように挿通されたボルトによって一体化したものである。ノズル６１０は、導入部Ｓと、ｎ個（ｎは２以上の自然数。以下同様。）の液吐出口Ｆｎに加え、導入部Ｓとｎ個の液吐出口Ｆｎのそれぞれとを繋ぐｎ系統の分岐流路Ｂｎとを備えた流路６４０を有するものであり、導入部Ｓ（液供給口６２０）から流路６４０に導入された流体をｎ系統の分岐流路Ｂｎに略均等に分岐させ、ｎ個の液吐出口Ｆｎのそれぞれから吐出させることが可能なものである。

　流路構成プレートＰ１～Ｐ４には、上述した導入部Ｓやｎ個の液吐出口Ｆｎに加え、これらを繋ぐｎ系統の分岐流路Ｂｎを構成する溝が形成されている。以下、導入部Ｓやｎ個の液吐出口Ｆｎ、ｎ系統の分岐流路Ｂｎの構成についてさらに詳細に説明する。

　図８や図９に示すように、導入部Ｓは、ノズル６１０において最も上方に配される流路構成プレートＰ１に設けられた断面形状略円形の部分である。流路構成プレートＰ１は円盤状で金属製のプレートであり、導入部Ｓはこの流路構成プレートＰ１の略中央に設けられている。また、液吐出口Ｆｎは、ノズル６１０において最も下方に配される流路構成プレートＰ４に設けられている。液吐出口Ｆｎの配置や個数（ｎ個）は任意のものとすることができるが、本実施形態では図９に示すように、７個の液吐出口Ｆｎ（ｎ＝１～７）が直線Ｌ上に並ぶように形成されている。

　分岐流路Ｂｎは、流路構成プレートＰ１～Ｐ４に形成された溝によって構成されるものである。分岐流路Ｂｎは、ｎ個設けられている液吐出口Ｆｎ（ｎ＝１～７）のそれぞれに対応してｎ系統分だけ形成されている。すなわち、第１～第ｎの分岐流路Ｂｎが形成される。本実施形態では、液吐出口Ｆｎが７個設けられているため、第１の分岐流路Ｂ１～第７の分岐流路Ｂ７からなる７系統の分岐流路Ｂｎが形成されている。

　図１０に示すように、分岐流路Ｂｎ（ｎ＝１～７）は、液吐出口Ｆｎ（ｎ＝１～７）に対応して設けられた各中継部Ｒｎ（ｎ＝１～７）と導入部Ｓとを繋ぐ供給・中継部間流路ＳＲｎ（ｎ＝１～７）と、各中継部Ｒｎ（ｎ＝１～７）と各液吐出口Ｆｎ（ｎ＝１～７）とを繋ぐ中継・液吐出口間流路ＲＦｎ（ｎ＝１～７）とに大別される。各供給・中継部間流路ＳＲｎ（ｎ＝１～７）と、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎ（ｎ＝１～７）とはそれぞれ連通しており、一連の流路を形成している。

　図１１に示すように、中継部Ｒｎ（ｎ＝１～７）は、上述した導入部Ｓと同心の仮想円Ｃ１上に配置されている。また、中継部Ｒｎ（ｎ＝１～７）は、仮想円Ｃ１の円周をｎ分割（本実施形態では７分割）する位置に配置されている。中継部Ｒｎ（ｎ＝１～７）は、仮想円Ｃ１の円周をｎ分割するように配置されていれば良いが、各分岐流路Ｂｎ（ｎ＝１～７）に流体を略均等に供給することを考慮すれば、仮想円Ｃ１の円周を略ｎ等分する位置に配置することが好ましい。かかる観点から、本実施形態では、中継部Ｒｎ（ｎ＝１～７）が仮想円Ｃ１の円周を略ｎ等分（本実施形態では７等分）する位置に配置されている。そのため、各供給・中継部間流路ＳＲｎ（ｎ＝１～７）は、導入部Ｓを中心として放射状に形成されている。

　図１０に示すように、中継・液吐出口間流路ＲＦｎ（ｎ＝１～７）は、それぞれ下降部Ｄｎｐ（ｎ＝１～７，ｐ＝１～３）と、水平部Ｌｎｑ（ｎ＝１～７，ｑ＝１～２）とを有し、これらを連通させることにより形成された屈曲流路である。具体的には、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎ（ｎ＝１～７）は、下降部Ｄｎ１→水平部Ｌｎ１→下降部Ｄｎ２→水平部Ｌｎ２→下降部Ｄｎ３の順で連通し、液吐出口Ｆｎ（ｎ＝１～７）に繋がるように形成された流路である。

　本実施形態では、各下降部Ｄｎｐ及び各水平部Ｌｎｑの長さが各系統毎に略同一であり、内径も略同一とされている。そのため、中継・液吐出口間流路ＲＦｎの全長及び開口径は、系統によらず略同一であり、内部を流体が通過することにより発生する圧損についても略均一となる。

≪分岐流路Ｂｎの設計方法について≫
　続いて、上述した分岐流路Ｂｎ（ｎ＝１～７）の設計方法について説明する。分岐流路Ｂｎにおいて、下降部Ｄｎ１，Ｄｎ２，Ｄｎ３（ｎ＝１～７）は、それぞれ流路構成プレートＰ２，Ｐ３，Ｐ４を上下方向に貫通するように形成された、同一開口径の貫通孔によって形成される。そのため、下降部Ｄｎ１，Ｄｎ２，Ｄｎ３（ｎ＝１～７）の長さや開口径は、分岐流路Ｂｎ（ｎ＝１～７）の系統によらず均一である。したがって、分岐流路Ｂを設計する場合は、水平方向に延びる部分、具体的には供給・中継部間流路ＳＲｎ（ｎ＝１～７）や、中継・液吐出口間流路ＲＦｎ（ｎ＝１～７）を構成する水平部Ｌｎｑ（ｎ＝１～７，ｑ＝１～２）の配置が問題となる。以下、供給・中継部間流路ＳＲｎ（ｎ＝１～７）や、水平部Ｌｎｑ（ｎ＝１～７，ｑ＝１～２）の設計方法を中心に説明する。

　供給・中継部間流路ＳＲｎ（ｎ＝１～７）や、水平部Ｌｎｑ（ｎ＝１～７，ｑ＝１～２）は、導入部Ｓや、中継部Ｒｎ、液吐出口Ｆｎ（ｎ＝１～７）の水平方向の位置関係は、これらを仮想の水平面Ｈ上に投影した地点を基準にして定められる。具体的には、導入部Ｓや中継部Ｒｎ、液吐出口Ｆｎ（ｎ＝１～７）の軸心位置を通る鉛直線と水平面Ｈとの交点が、それぞれ導入基準点ｓ、中継基準点ｒｎ、吐出基準点ｆｎとして定められる（図１０参照）。

　供給・中継部間流路ＳＲｎ（ｎ＝１～７）は、導入部Ｓと中継部Ｒｎとを結ぶ流路であるため、中継部Ｒｎ（ｎ＝１～７）を定める必要がある。図１１に示すように、中継部Ｒｎ（ｎ＝１～７）は、導入部Ｓに対応して水平面Ｈ上に設定された導入基準点ｓを中心として半径ｒ１の仮想円Ｃ１が規定され、仮想円Ｃ１の円周を略ｎ等分する位置に中継部Ｒｎ（ｎ＝１～７）に対応する中継基準点ｒｎが設定される。本実施形態では、分岐流路Ｂｎを７系統形成する必要があるため、仮想円Ｃ１の円周上に、３６０／７［度］毎に中継基準点ｒｎ（ｎ＝１～７）が設定される。

　ここで、水平部Ｌｎ１（ｎ＝１～７）は、流路構成プレートＰ２，Ｐ３の間に形成され、上述した中継部Ｒｎ（ｎ＝１～７）の直下の位置を基準として水平方向に延びる流路である。また、水平部Ｌｎ２（ｎ＝１～７）は、流路構成プレートＰ３，Ｐ４の間に形成され、上述した液吐出口Ｆｎ（ｎ＝１～７）の直上の位置を基準として水平方向に延びる流路である。さらに、水平部Ｌｎ１（ｎ＝１～７）の流路長は各系統毎に均一である必要があり、水平部Ｌｎ２（ｎ＝１～７）の流路長も各系統毎に均一である必要がある。

　そこで、水平部Ｌｎ１，Ｌｎ２の設計に際しては、先ず、図１２に示すように、液吐出口Ｆｎ（ｎ＝１～７）に対応するように水平面Ｈ上に設定された中継基準点ｒｎ（ｎ＝１～７）を中心とする半径ｒ２の仮想円Ｃ２ｎ（ｎ＝１～７）、及び吐出基準点ｆｎ（ｎ＝１～７）を中心とし仮想円Ｃ２ｎ（ｎ＝１～７）と交差する半径ｒ３の仮想円Ｃ３ｎ（ｎ＝１～７）が水平面Ｈ上に設定される。これにより形成された仮想円Ｃ２ｎ（ｎ＝１～７）と仮想円Ｃ３ｎ（ｎ＝１～７）との交点が、屈曲基準点ｘｎ（ｎ＝１～７）として定められる。

　第１の分岐流路Ｂ１の設計方法を例に挙げて具体的に説明すると、水平部Ｌ１１，Ｌ１２の設計に際して、図１２に示すように液吐出口Ｆ１に相当する位置に吐出基準点ｆ１が設定される。また、第１の分岐流路Ｂ１において想定される中継基準点ｒ１を中心として半径ｒ２の仮想円Ｃ２１、及び吐出基準点ｆ１を中心とする半径ｒ３の仮想円Ｃ３１が設定される。仮想円Ｃ２１，Ｃ３１の交点Ｘ１と中継基準点ｒ１とを結ぶ位置に水平部Ｌ１１が設定され、交点Ｘ１と吐出基準点ｆ１とを結ぶ位置に水平部Ｌ１２が設定される。これと同様にして、第２～第７の分岐流路Ｂ２～Ｂ７の水平部Ｌｎ１，Ｌｎ２（ｎ＝２～７）が設定される。

　上述したようにして中継基準点ｒｎ、屈曲基準点ｘｎ、及び吐出基準点ｆｎが定められると、図１０に示すように、これらを通る鉛直線Ｖｒｎ，Ｖｘｎ，Ｖｆｎが設定される。また、流路構成プレートＰ１，Ｐ２間を通る水平面Ｊ１、流路構成プレートＰ２，Ｐ３間を通る水平面Ｊ２、流路構成プレートＰ３，Ｐ４間を通る水平面Ｊ３が想定される。鉛直線Ｖｒｎと水平面Ｊ１との交点が供給・中継部間流路ＳＲｎ（ｎ＝１～７）と下降部Ｄｎ１との境界部となる。また、鉛直線Ｖｘｎと水平面Ｊ２との交点が水平部Ｌｎ１と下降部Ｄｎ２との境界部となり、鉛直線Ｖｘｎと水平面Ｊ３との交点が下降部Ｄｎ２と水平部Ｌｎ２との境界部となる。さらに、鉛直線Ｖｆｎと水平面Ｊ３との交点が水平部Ｌｎ２と下降部Ｄｎ３との境界部となる。このようにして供給・中継部流路ＳＲｎと、中継・液吐出口間流路ＲＦｎ（ｎ＝１～７）とを設計することにより、流路長が同一であり導入部Ｓから各液吐出口Ｆｎに繋がる一連の分岐流路Ｂｎ（ｎ＝１～７）を形成することができる。

　上述したノズル６１０においては、導入部Ｓが、ノズル１０における液供給口２０としての機能を果たすととともに、ノズル１０における分岐箇所４２としての機能をも果たす。ここで、上述したノズル１０においては、バルブ部材５０，１５０，２５０，３５０を流路４０の分岐箇所４２に設けることにより、分岐箇所４２から複数の液吐出口３０までつながる複数の分岐流路同士の連通を制限するものとされている。本実施形態のノズル６１０においても、バルブ部材５０，１５０，２５０，３５０と同様に、分岐箇所をなす導入部Ｓから複数の液吐出口Ｆｎ（ｎ＝１～７）までつながる複数の分岐流路Ｂｎ（ｎ＝１～７）同士の連通を制限するバルブ部材６５０を設けた構成とすることにより、上記実施形態で例示したノズル１０と同様の作用効果を奏することができる。

　また、ノズル６１０は、バルブ部材６５０を設けるのに代えて、あるいはバルブ部材６５０を設けるのに加えて、分岐流路Ｂｎ（ｎ＝１～７）のそれぞれにおいて、分岐箇所６４２をなす導入部Ｓよりも液の流れ方向下流側にバルブ部材６５０を設けることも可能である。導入部Ｓよりも液の流れ方向下流側にバルブ部材６５０を設ける場合には、分岐流路Ｂｎ（ｎ＝１～７）のそれぞれにおける流路抵抗の均一化を図るべく、分岐流路Ｂｎ（ｎ＝１～７）のそれぞれにおいて同等の位置にバルブ部材６５０を設けると良い。

　具体的には、本実施形態のノズル６１０においては、供給・中継部間流路ＳＲｎ（ｎ＝１～７）と中継・液吐出口間流路ＲＦｎ（ｎ＝１～７）との境界に位置する各中継部Ｒｎ（ｎ＝１～７）において分岐流路Ｂｎが屈曲している。また、ノズル６１０においては中継・液吐出口間流路ＲＦｎ（ｎ＝１～７）を構成する水平部Ｌｎｑ（ｎ＝１～７，ｑ＝１～２）と、下降部Ｄｎｐ（ｎ＝１～７，ｐ＝１～３）との境界部においても屈曲している。このように、ノズル６１０は、各分岐流路Ｂｎが屈曲流路を構成している。そのため、供給・中継部間流路ＳＲｎ（ｎ＝１～７）にバルブ部材６５０を設ける場合には、全ての分岐流路Ｂｎ（ｎ＝１～７）において、供給・中継部間流路ＳＲｎ（ｎ＝１～７）にバルブ部材６５０を設けると良い。また、中継・液吐出口間流路ＲＦｎ（ｎ＝１～７）にバルブ部材６５０を設ける場合には、全ての分岐流路Ｂｎ（ｎ＝１～７）において、同等の位置に同等の流路抵抗を有するバルブ部材６５０を設けると良い。

　さらに詳細には、下降部Ｄｎｐ（ｎ＝１～７，ｐ＝１～３）にバルブ部材６５０を設ける場合には、ｐの値が同一の水平部Ｌｎｐに同等の流路抵抗を有するバルブ部材６５０を設けると良い。同様に、水平部Ｌｎｑ（ｎ＝１～７，ｑ＝１～２）にバルブ部材６５０を設ける場合には、ｑの値が同一の水平部Ｌｎｑにバルブ部材６５０を設けると良い。また、中継部Ｒｎ（ｎ＝１～７）にバルブ部材６５０を設ける場合には、全ての中継部Ｒｎに同等の流路抵抗を有するバルブ部材６５０を設けると良い。同様に、下降部Ｄｎｐ（ｎ＝１～７，ｐ＝１～３）と、水平部Ｌｎｑ（ｎ＝１～７，ｑ＝１～２）との境界部にバルブ部材６５０を設ける場合には、ｐの値が同一の水平部Ｌｎｐと、ｑの値が同一の水平部Ｌｎｑとの境界をなす屈曲部分に、同等の流路抵抗を有するバルブ部材６５０を設けると良い。

　また、本実施形態では、導入部Ｓに始まり液吐出口Ｆｎに至る流路６４０の区間のうち、始点となる導入部Ｓに分岐箇所６４２を設けた例を示したが、分岐箇所６４２は、液供給口２０に始まり液吐出口Ｆｎに至る区間のいずれの箇所に設けられても良い。

　本実施形態のノズル６１０は、下降部Ｄｎｐの長さの総和、及び水平部Ｌｎｑの長さの総和が分岐流路Ｂｎの系統によらず同一とされている。また、ノズル６１０は、各分岐流路Ｂｎを構成する各部位、具体的には供給・中継部間流路ＳＲｎ、中継・液吐出口間流路ＲＦｎを構成する管路の大きさや断面形状が略同一とされている。さらに、各分岐流路Ｂｎにおいて水平部Ｌｎｑと下降部Ｄｎｐとの境界に形成される屈曲部分の総数が同一である。そのため、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎを流体が流れることにより発生する圧損や、流量分布が分岐流路Ｂｎの系統によらず略均一であり、各液吐出口Ｆｎにおける流体の吐出量や吐出圧を均一化することができる。

　本実施形態で示した分岐流路Ｂｎは、水平部Ｌｎｑと下降部Ｄｎｐとが、境界部分において大きく湾曲することなく屈曲した例を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、本実施形態のノズル６１０は、溝を形成した流路構成プレートＰ１～Ｐ４を重ね合わせることにより各分岐流路Ｂｎを構成したものであるため、水平部Ｌｎｑと下降部Ｄｎｐとの境界部分を大きく湾曲させることなく連続させることが可能であったが、例えば銅管の配管を屈曲させて各分岐流路Ｂｎを形成する場合は、本実施形態で示したものよりも水平部Ｌｎｑと下降部Ｄｎｐとの境界部分において大きく湾曲させざるを得ない。そのため、分岐流路Ｂｎは、図１３（ａ）に示すように本実施形態において示したものよりも大きな曲率で前記境界部分が湾曲したものであってもよい。

　なお、上述したように境界部分を大きく湾曲させた場合についても、分岐流路Ｂｎは系統によらず全体として略同一の流路長を有し、系統によらず下降部Ｄｎｐの長さの総和が同一であり、水平部Ｌｎｑの長さの総和が同一であり、さらに屈曲部分の数が同一となるように流路設計される必要がある。これらの条件を満足する限りにおいて、本実施形態において例示したものと同様に、各液吐出口Ｆｎにおける流体の吐出圧や吐出量を略均一化することが可能である。

　ノズル６１０においては、前記各中継・液吐出口間流路ＲＦｎが屈曲部を備えており、屈曲部を境として下流側の水平部Ｌｎｑの向きを、屈曲部よりも上流側（上方側）の水平部Ｌｎｑとは異なる方向に向けることが可能である。また、中継・液吐出口間流路ＲＦｎは、それぞれ上下方向に複数箇所において屈曲部を備えた構成とされている。そのため、ノズル６１０は、各液吐出口Ｆｎのレイアウトにあわせて各中継・液吐出口間流路ＲＦｎを水平方向に任意の位置まで到達させることが可能であり、流路構成上の自由度が高い。

　本実施形態において示したノズル６１０は、各分岐流路Ｂｎを構成する流路の開口径が部位によらず均一のものであったが、本発明はこれに限定されるものではなく、全系統の中継・液吐出口間流路ＲＦｎに、図１３（ｂ）に示すように流路の開口径が縮小された部位（縮径部６６０）を設けた構成とすることも可能である。また逆に、各分岐流路Ｂｎに、流路径が他の部位よりも拡大した部位（拡径部）を設けることも可能である。さらに、各分岐流路Ｂｎを構成する部位の一つとして流路の断面形状が他の部位とは異なる部位を設けることも可能である。なお、前述した縮径部６６０などの流路径や断面形状が他と異なる部位を設ける場合は、各分岐流路Ｂｎにおいて流体が流れることにより発生する圧損や流体の流量等の均一化を図るべく、各分岐流路Ｂｎにおいて同様の位置に縮径部６６０などの部位を設けることが望ましい。また、各分岐流路Ｂｎに設ける縮径部６６０などの部位の流路径や流路断面積は、分岐流路Ｂｎの系統によらず略均一であることが望ましい。このようにすることにより、縮径部６６０を設けた場合であっても、各分岐流路Ｂｎにおける圧損や流体の流量のバランスをより一層均一化することが可能となり、各液吐出口Ｆｎにおける流体の吐出量や吐出圧のばらつきが発生するのを防止することができる。

　ノズル６１０は、溝が形成された流路構成プレートＰ１～Ｐ４を重ね合わせることにより各分岐流路Ｂｎが形成されるものであるため、上述した設計方法により設計された分岐流路Ｂｎを容易かつ的確に形成することが可能である。なお、本実施形態では、流路構成プレートＰ１～Ｐ４を重ね合わせることにより各分岐流路Ｂｎを構成する例を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、金属管や樹脂管などを適宜屈曲等させることにより、上述した分岐流路Ｂｎを形成することとしてもよい。また、ノズル６１０を複数種類の共通部品によって構成されるものとしておき、前記共通部品を適宜組み合わせることにより所望の配置や形状の分岐流路Ｂｎを形成可能なものであってもよい。さらに、ノズル６１０は、供給・中継部間流路ＳＲｎを構成する部分と、中継・液吐出口間流路ＲＦｎを構成する部分とを別々のパーツとして構成し、これらを連結することにより各分岐流路Ｂｎを構成可能なものであってもよい。また、例えば下降部Ｄｎｐを構成するパーツと水平部Ｌｎｑを構成するパーツとを別々に準備し、これらを適宜接続することにより中継・液吐出口間流路ＲＦｎを構成可能なものとしてもよい。

　本実施形態で示したノズル６１０は、各流路構成プレートＰ１～Ｐ４の境界に想定される水平面Ｊ１～Ｊ３に相当する位置において各分岐流路Ｂｎを屈曲させたものであるため、同一の高さにおいて各分岐流路Ｂｎが屈曲したものであったが、本発明はこれに限定されるものではなく、各分岐流路Ｂｎの全長が同一になるという条件を満足する限り、各分岐流路Ｂｎが異なる高さにおいて屈曲したものであってもよい。各分岐流路Ｂｎが異なる高さにおいて屈曲した構成とした場合は、分岐流路Ｂｎ同士の干渉を容易に回避することが可能となり、より一層各分岐流路Ｂｎや各液吐出口Ｆｎのレイアウトの自由度を高めることが可能となる。

　本実施形態では、導入部Ｓに繋がる各分岐流路Ｂｎが途中で分岐することなく、一連の流路を構成するものであったが、本発明はこれに限定されるものではなく、各分岐流路Ｂｎがそれぞれ途中においてさらに多系統に分岐するように形成されてもよい。なお、各分岐流路Ｂｎを途中で分岐させる場合は、各分岐流路Ｂｎ毎に分岐数を同一にすることが望ましい。また、各分岐流路Ｂｎを途中で分岐させる場合についても、上述した流路設計法に準じて流路設計することにより、流体が流れることにより発生する圧損や流量を均一化し、各液吐出口Ｆｎにおける流体の吐出圧や吐出量を均一化することが可能となる。

　本実施形態のノズル６１０では、導入部Ｓの断面形状が円形であり、周方向に略等間隔に各分岐流路Ｂｎが接続されているため、一軸偏心ねじポンプ５００から導入部Ｓに導入された流体を各分岐流路Ｂｎに対して略均一に供給することができる。なお、導入部Ｓは、断面形状が円形のものに限定される訳ではなく、断面形状が多角形のものであっても良いが、各分岐流路Ｂｎに対して略均一に流体を供給するとの観点からすると断面形状が略正ｎ角形、あるいは、略正ｎ×ａ角形（ａは自然数）であることが好ましい。具体的には、例えば液吐出口Ｆｎが３つ設けられており、分岐流路Ｂｎが３系統形成される場合は、図１４（ａ）に示すように導入部Ｓの断面形状を正三角形としたり、図１４（ｂ）に示すように正六角形（ｎ＝３，ａ＝２，ｎ×ａ＝６）としたりすることが可能である。このように導入部Ｓの形状を調整することにより、一軸偏心ねじポンプ５００側から導入部Ｓに導入された流体を各分岐流路Ｂｎに略均一に供給することが可能となる。

　本実施形態では、供給・中継部間流路ＳＲｎが水平方向に延びる部分のみを有するものであったが、本発明はこれに限定されるものであってもよく、中継・液吐出口間流路ＲＦｎの下降部Ｄｎｐのように上下方向（鉛直方向）に延びる部分を有するものであってもよい。かかる構成とした場合についても、上述した分岐流路Ｂｎの設計方法において説明したのと同様に、仮想円Ｃ１の円周をｎ分割する位置に設けられた中継部Ｒｎと導入部Ｓとを繋ぐよう、各供給・中継部間流路ＳＲｎが流路設計されることにより、導入部Ｓから各分岐流路Ｂｎに対して流体を略均一に供給することが可能となる。

　上述した各実施形態のノズル１０，６１０及び液供給システム１００，６００は、以下の（ａ）～（ｑ）のような特徴的構成を備えている。これにより、ノズル１０，６１０及び液供給システム１００，６００は、従来技術では達し得ない特有の効果を奏することができる。

（ａ）上述したノズル１０，６１０は、液供給口２０，６２０と、複数の液吐出口３０，Ｆｎと、液供給口２０と複数の液吐出口３０，Ｆｎとを通液できるように接続し、分岐箇所４２，６４２において複数の分岐流路４４，Ｂｎに分岐された流路４０，６４０と、分岐箇所４２，６４２から複数の液吐出口３０までつながる複数の分岐流路同士の連通を制限するバルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０を備えている。

　上述したノズル１０，６１０は、上記（ａ）のような構成とすることにより、バルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０によって分岐箇所４２，６４２を介してつながった分岐流路４４，Ｂｎ同士の連通を制限した状態とすることができる。これにより、ノズル１０，６１０は、いわゆるサイフォン現象によって、分岐流路４４，Ｂｎを介してつながった一方の液吐出口３０，Ｆｎから他方の液吐出口３０，Ｆｎに向けて液が流れることにより、液だれが生じるのを抑制できる。

（ｂ）上述したノズル１０，６１０は、バルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０が、流路４０，６４０の分岐箇所４２，６４２に設けられたものである。

　上述したノズル１０，６１０は、上記（ｂ）のような構成とすることにより、分岐箇所４２，６４２に設けられたバルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０によって、分岐箇所４２，６４２を介して複数の分岐流路４４，Ｂｎ同士が連通するのを確実に制限できる

（ｃ）上述したノズル１０，６１０は、分岐箇所４２，６４２に単独のバルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０が設けられ、バルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０ごとに、当該バルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０が配された分岐箇所４２，６４２につながる全ての分岐流路４４，Ｂｎ同士の連通を制限可能なものである。

　上述したノズルは、上記（ｃ）のような構成とすることにより、例えば分岐流路４４，Ｂｎごとにバルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０を設ける場合に比べて、バルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０の数を抑制したり、制御対象となるバルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０の数が少ない分だけバルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０の動作制御を簡素化したりすることができる。

（ｄ）上述したノズル１０，６１０は、バルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０の開閉動作が可能であり、液吐出口３０，Ｆｎから液を吐出する際に開状態とされ、液吐出口３０，Ｆｎからの液の吐出を停止する際に閉状態とされるものである。

　上述したノズル１０，６１０は、上記（ｄ）のような構成とすることにより、液の吐出を行うときに、バルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０を開状態とすることにより、液をスムーズに各液吐出口３０，Ｆｎから吐出させることができる。また、上述したノズル１０，６１０は、上記（ｄ）の構成を採用することにより、液の吐出を停止する際にバルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０を閉状態とすることにより、いわゆるサイフォン現象による液だれが発生するのを抑制できる。

（ｅ）上述したノズル１０は、バルブ部材３５０が所定の液圧がかかることを条件として、分岐箇所４２から液吐出口３０に向かう液の流れを許容するものである。

　上述したノズル１０は、上記（ｅ）のような構成とすることにより、液の吐出に際してバルブ部材３５０に作用する液圧を利用して、バルブ部材３５０を開状態として分岐箇所４２から液吐出口３０に向けて液を供給可能なものとすることができる。これにより、ノズル１０は、バルブ部材３５０を作動させるための動力源等を設ける必要がなく、その分だけ構成をシンプルなものとすることができる。

（ｆ）上述したノズル１０は、流路４０が、液供給口２０から始まり液吐出口３０に至る区間において、複数の段階に亘って分岐され、各段階に分岐箇所４２を備えるものであり、バルブ部材５０，１５０，２５０，３５０は、分岐箇所４２のうち、最も液吐出口３０に近い段階における分岐箇所４２に設けられるものである。

　上述したノズル１０は、上記（ｆ）のような構成とすることにより、いずれの液吐出口３０においても、いわゆるサイフォン現象が生じることにより液だれが生じるのを抑制できる。すなわち、例えば、分岐箇所４２のうち、最も液吐出口に近い段階における分岐箇所４２ではなく、これよりも上流側の分岐箇所４２にバルブ部材５０，１５０，２５０，３５０を設けた場合においては、バルブ部材５０，１５０，２５０，３５０を設けた分岐箇所よりも下流側の分岐箇所においては、分岐流路４４を介して複数の液吐出口３０が連通した状態になる。そのため、このような構成とした場合には、分岐流路４４を介して分岐箇所４２において連通した複数の液吐出口３０同士の間で、液の流れが発生する可能性がある。しかしながら、ノズル１０は、上記（ｆ）のような構成とすることにより、いずれの液吐出口３０においてもサイフォン現象が生じることにより液だれが生じるのを抑制できる。

（ｇ）上記第二実施形態において例示したノズル６１０は、流路６４０が、液供給口６２０から導入された流体がｎ個の液吐出口Ｆｎから均等に吐出されるように分岐された分岐流路Ｂｎを備えたものであり、ｎ個の液吐出口Ｆｎのそれぞれに対応するようにｎ個の中継部Ｒｎが設けられており、各分岐流路Ｂｎが、液供給口６２０とｎ個の中継部Ｒｎとを繋ぐｎ系統の供給・中継部間流路ＳＲｎと、ｎ個の中継部Ｒｎと当該中継部Ｒｎに対応する液吐出口Ｆｎとを繋ぐｎ系統の中継・液吐出口間流路ＲＦｎとを有し、液供給口６２０の軸心を通る鉛直線上の一点を中心とする仮想円の円周をｎ分割する点に対応する位置に中継部Ｒｎが配置され、ｎ系統の中継・液吐出口間流路ＲＦｎの長さがそれぞれ同一のものである。

　上述したノズル６１０では、液供給口６２０の軸心を通る鉛直線上の一点を中心とする仮想円の円周をｎ分割する点に対応する位置に中継部Ｒｎが設けられている。さらに、液供給口６２０と各中継部Ｒｎとを繋ぐようにｎ系統の供給・中継部間流路ＳＲｎが設けられていることから、供給・中継部間流路ＳＲｎの長さが各系統毎に均一である。そのため、液供給口６２０から中継部Ｒｎに至るまでの区間において、流体が各分岐流路Ｂｎに略均一の圧力及び流量で流れることになる。また、上述したノズル６１０では、ｎ個の中継部Ｒｎからｎ個の液吐出口Ｆｎまで至るｎ系統の中継・液吐出口間流路ＲＦｎの長さがそれぞれ均一とされているため、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎを流体が流れることにより発生する圧損や流体の流量の均一化を図ることが可能である。従って、上述したノズル６１０によれば、液供給口６２０に導入された流体を吐出量や吐出圧を略一定としつつ、所望の分岐数に分岐することが可能となる。

　また、上述したノズル６１０では、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎの長さが均一であればよく、その配置に特別な制限が加わらない。そのため、上述したノズル６１０によれば、所望の位置に各分岐流路Ｂｎの液吐出口Ｆｎを配置することが可能となり、流路設計上の自由度が極めて高くなる。

（ｈ）上述したノズル６１０は、中継部Ｒｎが、仮想円の円周を略ｎ等分する位置に配置されているものである。

　上述したノズル６１０は、上記（ｈ）のような構成とすることにより、各供給・中継部間流路ＳＲｎを流れる流体の流量や圧力をより一層確実に均一化することが可能となる。従って、上述したノズル６１０は、上記（ｈ）のような構成とすることにより、各液吐出口Ｆｎにおける流体の流量や吐出圧をより一層均一化することが可能となる。

（ｉ）上述したノズル６１０は、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎが、下方に向けて流体を流動させることが可能な下降部と、水平方向に流体を流動させることが可能な水平部Ｌｎｑとを備え、水平部Ｌｎｑと下降部との間に屈曲部を有する流路６４０であり、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎに係る水平部Ｌｎｑの長さの総和が同一であり、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎに係る下降部の長さの総和が同一であり、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎにおける屈曲部の数が同一であるものである。

　上述したノズル６１０は、上記（ｉ）のような構成とすることにより、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎを流体が流れることにより発生する圧損や、流量分布を均一化することが可能となる。従って、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎを前述したような屈曲流路構成部を有する流路６４０とすることにより、各液吐出口Ｆｎにおける流体の流量や吐出圧の均一化をさらに図ることが可能となる。

（ｊ）上述したノズル６１０において、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎは、屈曲部が上下方向に複数形成されたものであることを特徴とするものである。

　上述したノズル６１０は、上記（ｊ）のような構成とすることにより、屈曲部に対して流体の流れ方向下流側に位置する水平部Ｌｎｑの向きを、これよりも上流側に位置する水平部Ｌｎｑとは異なる方向に向けることが可能となり、その分だけ各液吐出口Ｆｎのレイアウトの自由度を高めることが可能となる。

（ｋ）上述したノズル６１０は、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎに、流路径が縮小された縮径部６６０が設けられているものである。

　上述したノズル６１０は、上記（ｋ）のような構成とすることにより、縮径部６６０の流路径を分岐流路Ｂｎの系統によらず略均一にすることにより、各分岐流路Ｂｎにおける吐出量や吐出圧を略均一化することが可能である。

（ｌ）上述したノズル６１０は、各分岐流路Ｂｎの流路径が、分岐流路Ｂｎによらず同等であるものである。

　上述したノズル６１０は、上記（ｌ）のような構成とすることにより、各分岐流路Ｂｎに繋がる液吐出口Ｆｎにおける吐出量や吐出圧を略均一化することが可能である。

（ｍ）上述したノズル６１０は、各分岐流路Ｂｎを構成する溝が形成されたプレートを重ね合わせることにより構成されるものである。

　上述したノズル６１０は、上記（ｍ）のような構成とすることにより、上述した条件に合致する分岐流路Ｂｎを容易かつ確実に形成することが可能となる。また、かかる構成とした場合は、ノズル６１０の組み立てや分解、清掃等が容易であり、ノズル６１０の設置やメンテナンスが実施しやすくなる。

（ｎ）上述したノズル６１０は、液供給口６２０の断面形状が円形、あるいは、正ｎ×ａ角形（ａは任意の自然数）であるものである。

　上述したノズル６１０は、上記（ｎ）のような構成とすることにより、液供給口６２０からｎ系統分形成された供給・中継部間流路ＳＲｎのそれぞれに流入する流体の流量や圧力を均一化することが可能となる。

（ｏ）上述した液供給システム６００は、上述したノズル６１０を備え、液供給口６２０に対して供給する液を圧送する圧送装置（一軸偏心ねじポンプ５００）を備えていることを特徴とするものである。また、上述した液供給システム１００は、上述したノズル１０を備え、液供給口２０に対して供給する液を圧送する圧送装置１１０として一軸偏心ねじポンプ５００を採用したものとすることができる。

　上述した液供給システム１００，６００は、上記（ｏ）のような構成とすることにより、いわゆるサイフォン現象によって、分岐流路４４，Ｂｎを介してつながった一方の液吐出口３０，Ｆｎから他方の液吐出口３０，Ｆｎに向けて液が流れることにより、液だれが生じるのを抑制できる。

（ｐ）上述した液供給システム１００，６００は、バルブ部材５０，１５０，２５０，６５０を開閉制御する制御装置１２０を備えたものである。

　上述した液供給システム１００，６００は、上記（ｐ）のような構成とすることにより、環境条件等の外部要因に左右されることなく、バルブ部材５０，１５０，２５０，６５０の開閉制御により、液だれの抑制等を考慮して適切にバルブ部材５０，１５０，２５０，６５０を動作させることができる。

（ｑ）上述した液供給システム６００は、圧送装置が一軸偏心ねじポンプ５００であることを特徴とするものである。また、上述した液供給システム１００についても、圧送装置１１０が、一軸偏心ねじポンプ５００であると良い。

　液供給システム１００，６００は、上記（ｑ）のように、一軸偏心ねじポンプ５００を備えたものとすることにより、ノズル１０，６１０に対する液の供給量を精度良く調整できる。液供給システム１００，６００は、さらにノズル１０，６１０を備えたものであるため、予期せぬ液だれの発生を抑制することにより、液吐出口３０，Ｆｎから吐出される液の吐出量を精度良く調整できる。従って、液供給システム１００，６００は、一軸偏心ねじポンプ５００を備えたものとすることにより、液の供給量及び吐出量を精度良く調整できる。

　また、液供給システム１００，６００は、上述したように一軸偏心ねじポンプ５００を備えたものとすることにより、液を供給するときとは逆方向にロータを回動させることにより、液を上流側に引き戻す運転（サックバック運転）を行える。そのため、液供給システム１００，６００は、上記（ｑ）のような構成とすることにより、ノズル１０，６１０を用いることによる液だれ防止効果に加えて、サックバック運転を行うことによる液だれ防止効果も奏することができる。

　本実施形態において例示したノズル１０及び液供給システム１００は、上述した（ａ）～（ｑ）に係る特徴的構成を備えたものであるが、本発明はこれに限定されず、上述した（ａ）～（ｑ）のいずれかを省略した構成としたり、（ａ）～（ｑ）に係る構成に加えて、あるいは（ａ）～（ｑ）に係る構成に代えて他の構成を備えたものとしたり、（ａ）～（ｑ）を構成する一部の構成を他の構成に置換したり、省略したりしても良い。また、ノズル１０及び液供給システム１００は、上述した（ａ）～（ｑ）に係る構成以外のものについても、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、適宜変更、省略等しても良い。

　例えば、上記実施形態に係るノズル１０は、２つの分岐箇所４２を備え、各分岐箇所４２において流路４０が４つの分岐流路４４に分岐されることにより、全体として流路４０が８つの分岐流路４４に分岐されるものとして例示したが、分岐箇所４２の数や、各分岐箇所４２における流路４０の分岐数、全体としての流路４０の分岐数等は適宜変更可能である。具体的には、本発明に係るノズルは、上述したノズル６１０のように、分岐箇所６４２が一つだけ設けられたもの等とすることが可能である。

　また、上述した第一実施形態のノズル１０は、液供給口２０に始まり、複数の液吐出口３０に至る流路４０の区間の中間位置に分岐箇所４２を設けた例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば上記第二実施形態で例示したのと同様に、流路４０の始点となる液供給口２０が設けられる位置において分岐箇所４２が設けられたものとすることができる。これとは逆に、第二実施形態のノズル６１０は、液供給口６２０に始まり、複数の液吐出口Ｆｎに至る流路６４０の区間において最上流（始点）となる導入部Ｓに分岐箇所６４２を設けた例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば上記第一実施形態で示したのと同様に、導入部Ｓから液吐出口Ｆｎに至る流路６４０の中間位置に分岐箇所６４２を設けた構成とすることができる。

　また、上記実施形態に係るノズル１０，６１０は、上記（ｂ）のように、分岐箇所４２にバルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０を設けることにより複数（ノズル１０では４つ、ノズル６１０では７つ）の分岐流路４４，Ｂｎの連通状態を１つのバルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０によって変更できるものとした例を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、ノズル１０，６１０は、上述したバルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０を設ける代わりに、分岐流路４４，Ｂｎごとに個別に開閉可能なバルブ部材を設け、液吐出口３０，Ｆｎとバルブ部材とが一対一対応するように設けた構成等としても良い。

　上述したノズル１０，６１０は、上記（ｃ）のように、分岐箇所４２，６４２に単独のバルブ部材５０，１５０，２５０，３５０，６５０を設けることにより、分岐箇所４２，６４２につながる全ての分岐流路４４，Ｂｎ同士の連通を制限可能なものであるが、本発明はこれに限定されない。例えば、ノズル１０，６１０は、分岐箇所４２，６４２に複数のバルブ部材を設け、これらのバルブ部材によって分岐流路４４，Ｂｎ同士の連通を制限可能なものとすると良い。

　上述したノズル１０，６１０において用いられるバルブ部材は、上記（ｄ）のように、開閉動作が可能であり、液吐出口３０，Ｆｎから液を吐出する際に開状態とされ、液吐出口３０，Ｆｎからの液の吐出を停止する際に閉状態とされるものであれば、いかなるものを用いても良い。具体的には、ノズル１０，６１０において用いられるバルブ部材は、上述したバルブ部材５０，１５０，２５０，６５０のように、直接的な制御により開閉動作が可能なものを採用したり、上述したバルブ部材３５０のように、作用する液圧等によって間接的な制御により開閉動作が可能なものを採用したりすると良い。

　上述したバルブ部材３５０は、上記（ｅ）のように、所定の液圧がかかることを条件として、分岐箇所４２から液吐出口３０に向かう液の流れを許容するものの一例を示したものであるが、本発明は上記実施形態において例示したものに限定されるものではなく、適宜構成を変更することが可能である。

　上述したノズル１０は、上記（ｆ）のように、液供給口２０から液吐出口３０に至る途中において流路４０が複数の段階に亘って分岐され、各段階に分岐箇所４２を備えたものにおいて、最も液吐出口３０に近い分岐箇所４２にバルブ部材５０，１５０，２５０，３５０を設ける例を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、ノズル１０は、上述したように、分岐流路４４ごとに個別に開閉可能なバルブ部材を設け、液吐出口３０とバルブ部材とが一対一対応するように設けた構成等としても良い。

　上述したノズル６１０は、上記（ｇ）のように液供給口６２０の軸心を通る鉛直線上の一点を中心とする仮想円の円周をｎ分割する点に対応する位置に中継部Ｒｎが配置され、ｎ系統の中継・液吐出口間流路ＲＦｎの長さがそれぞれ同一のものである例を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、本発明のノズルは、ノズル６１０のように各液吐出口Ｆｎに対して液を均等に供給するものでなくても良く、そのような場合には、必ずしも上記（ｇ）のような構成とする必要はない。

　上述したノズル６１０は、上記（ｈ）のように、中継部Ｒｎが仮想円の円周を略ｎ等分する位置に配置されたものであるが、本発明はこれに限定されない。例えば、上記（ｈ）のような構成としなくても、各液吐出口Ｆｎにおける流体の流量や吐出圧を均一化できる場合や、流体の流量や吐出圧を均一化する必要がない場合等においては、上記（ｈ）のような構成としなくても良い。

　上述したノズル６１０は、上記（ｉ）のように、流路６４０について、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎに係る水平部Ｌｎｑの長さの総和が同一であり、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎに係る下降部の長さの総和が同一であり、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎにおける屈曲部の数が同一であるものとした例を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、本発明のノズルは、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎを流体が流れることにより発生する圧損や、流量分布を均一化する必要がない場合や、このような効果を発現する他の構成を設けた場合等においては、ノズル６１０のように上記（ｉ）のような構成を備えた構成とする必要がない。

　ノズル６１０は、必ずしも上記（ｊ）のように、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎに屈曲部が上下方向に複数形成されたものとする必要はなく、屈曲部が上下方向に一つだけ設けられたものや、屈曲部を備えていないものとすることも可能である。

　また、ノズル６１０は、上記（ｋ）のように、各中継・液吐出口間流路ＲＦｎに、流路径が縮小された縮径部６６０が設けられたものとすることが可能であるが、縮径部６６０を備えていないものであっても良い。

　上述したノズル６１０は、上記（ｌ）のように、各分岐流路Ｂｎの流路径が、分岐流路Ｂｎによらず同等であるものであるが、本発明はこれに限定されない。ノズル６１０は、各分岐流路Ｂｎに繋がる液吐出口Ｆｎにおける吐出量や吐出圧を略均一化する必要がない場合や、他の構成により吐出量や吐出圧の均一化が図れる場合等においては、各分岐流路Ｂｎの流路径が不均一であっても良い。

　上述したノズル６１０は、上記（ｍ）のように、各分岐流路Ｂｎを構成する溝が形成されたプレートを重ね合わせることにより構成されたものであるが、本発明はこれに限定されない。ノズル６１０は、上述したように、金属管や樹脂管などを適宜屈曲等させることにより、上述した分岐流路Ｂｎを形成したもの等としてもよい。

　上記実施形態では、上記（ｎ）のように、ノズル６１０の液供給口６２０について、断面形状が円形、あるいは、正ｎ×ａ角形（ａは任意の自然数）のものとする例を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、供給・中継部間流路ＳＲｎのそれぞれに流入する流体の流量や圧力を均一化する必要がない場合や、液供給口６２０以外の構成により供給・中継部間流路ＳＲｎのそれぞれに流入する流体の流量や圧力を均一化できる場合には、液供給口６２０の断面形状を楕円形や星形等、適宜の形状とすることができる。

　上述した液供給システム１００，６００は、上記（ｏ）のように、液供給口２０，６２０に対して供給する液を圧送する圧送装置１１０（一軸偏心ねじポンプ５００）を備えたものに限定されず、圧送装置１１０や一軸偏心ねじポンプ５００のような液を圧送するための装置を備えていないものとすることも可能である。

　上記実施形態では、液供給システム１００，６００として、上記（ｐ）のように、バルブ部材５０，１５０，２５０，６５０を開閉制御する制御装置１２０を備えたものを例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、上述したバルブ部材３５０を備えた液供給システム１００のように、開閉制御を行う必要のないバルブ部材を設けた構成とした場合には、制御装置１２０を省略することが可能である。また、上述した制御装置１２０は、バルブ部材５０，１５０，２５０，６５０の開閉制御を行うものとして例示したが、例えば液供給システム１００，６００の全体についての制御を行うための制御装置の一部の構成や機能として、制御装置１２０と同等のものを備えたものとしても良い。

　上記実施形態においては、上記（ｑ）のように圧送装置を一軸偏心ねじポンプ５００とした液供給システム６００を例示したり、圧送装置１１０として一軸偏心ねじポンプを採用可能であることを例示したが、本発明の液供給システムは、圧送装置を一軸偏心ねじポンプによって構成したものに限定されない。具体的には、液供給システム１００，６００は、一軸偏心ねじポンプやギアポンプ、ベーンポンプなどに代表される回転ポンプや、ピストンピンプやブランジャーポンプ、ダイヤフラムポンプなどの往復ポンプ等の容積式ポンプを圧送装置として備えたものとすることができる。また、液供給システム１００，６００は、非容積式であるターボ型のポンプを圧送装置として備えたものとすることができる。具体的には、渦巻きポンプやディフューザポンプ等の遠心ポンプ、渦巻斜流ポンプ、ディフューザ式斜流ポンプ等の斜流ポンプ、あるいは軸流ポンプ等からなるターボ型のポンプを圧送装置として備えたものとすることができる。

　本願発明は、上述した実施の形態に記載の構成に限定されることなく、本願発明の技術的思想の範囲を逸脱しない範囲において適宜設計変更等することが可能である。上述した各実施の形態や変形例の構成要素は任意に選択して組み合わせて構成するとよい。また各実施の形態や変形例の任意の構成要素と、課題を解決するための手段、発明を実施するための形態等に記載の任意の構成要素または課題を解決するための手段、発明を実施するための形態等に記載の任意の構成要素を具体化した構成要素とは任意に組み合わせて構成するとよい。これらについても、本願または本願に基づく分割出願等において権利取得する意思を有する。

　本発明のノズル、及び液供給システムは、液供給口から供給された液を分岐して複数の液吐出口から吐出するノズル、及びこれを備えた液供給システム全般において好適に利用できる。

　１０　　：ノズル
　２０　　：液供給口
　３０　　：液吐出口
　４０　　：流路
　４２　　：分岐箇所
　４４　　：分岐流路
　５０　　：バルブ部材
　１００　：液供給システム
　１１０　：圧送装置
　１２０　：制御装置
　１５０　：バルブ部材
　２５０　：バルブ部材
　３５０　：バルブ部材
　５００　：一軸偏心ねじポンプ
　６００　：液供給システム
　６１０　：ノズル
　６２０　：液供給口
　６４０　：流路
　６４２　：分岐箇所
　６５０　：バルブ部材
　６６０　：縮径部
　Ｂ　　　：分岐流路
　Ｆｎ　　：液吐出口
　Ｌｎｑ　：水平部
　ＲＦｎ　：液吐出口間流路
　Ｒｎ　　：中継部
　ＳＲｎ　：中継部間流路

Claims (17)

1. 　液供給口と、
   　複数の液吐出口と、
   　前記液供給口と複数の前記液吐出口とを通液できるように接続し、分岐箇所において複数の分岐流路に分岐された流路と、
   　前記分岐箇所から複数の前記液吐出口までつながる複数の前記分岐流路同士の連通を制限するバルブ部材を備えることを特徴とする、ノズル。
2. 　前記バルブ部材が、前記流路の前記分岐箇所に設けられていること、を特徴とする請求項１に記載のノズル。
3. 　前記分岐箇所に単独の前記バルブ部材が設けられ、
   　前記バルブ部材ごとに、当該バルブ部材が配された前記分岐箇所につながる全ての分岐流路同士の連通を制限可能であることを特徴とする、請求項１又は２に記載のノズル。
4. 　前記バルブ部材は、開閉動作が可能であり、前記液吐出口から液を吐出する際に開状態とされ、前記液吐出口からの液の吐出を停止する際に閉状態とされることを特徴とする、請求項１又は２に記載のノズル。
5. 　前記バルブ部材は、所定の液圧がかかることを条件として、前記分岐箇所から前記液吐出口に向かう液の流れを許容するものであることを特徴とする、請求項１又は２に記載のノズル。
6. 　前記流路は、前記液供給口から始まり前記液吐出口に至る区間において、複数の段階に亘って分岐され、各段階に分岐箇所を備えるものであり、
   　前記バルブ部材は、前記分岐箇所のうち、最も前記液吐出口に近い段階における分岐箇所に設けられることを特徴とする、請求項１又は２に記載のノズル。
7. 　前記流路は、前記液供給口から導入された流体がｎ個の前記液吐出口から均等に吐出されるように分岐された前記分岐流路を備えたものであり、
   　前記ｎ個の液吐出口のそれぞれに対応するようにｎ個の中継部が設けられており、
   　各分岐流路が、
   　前記液供給口と前記ｎ個の中継部とを繋ぐｎ系統の供給・中継部間流路と、
   　前記ｎ個の中継部と当該中継部に対応する液吐出口とを繋ぐｎ系統の中継・液吐出口間流路とを有し、
   　前記液供給口の軸心を通る鉛直線上の一点を中心とする仮想円の円周をｎ分割する点に対応する位置に前記中継部が配置され、
   　前記ｎ系統の中継・液吐出口間流路の長さがそれぞれ同一のものであることを特徴とする請求項１又は２に記載のノズル。
8. 　前記中継部が、前記仮想円の円周を略ｎ等分する位置に配置されていることを特徴とする請求項７に記載のノズル。
9. 　前記各中継・液吐出口間流路が、下方に向けて流体を流動させることが可能な下降部と、水平方向に流体を流動させることが可能な水平部とを備え、前記水平部と前記下降部との間に屈曲部を有する流路であり、
   　各中継・液吐出口間流路に係る前記水平部の長さの総和が同一であり、
   　各中継・液吐出口間流路に係る前記下降部の長さの総和が同一であり、
   　各中継・液吐出口間流路における前記屈曲部の数が同一であることを特徴とする請求項７に記載のノズル。
10. 　前記各中継・液吐出口間流路は、屈曲部が上下方向に複数形成されたものであることを特徴とする請求項９に記載のノズル。
11. 　前記各中継・液吐出口間流路に、流路径が縮小された縮径部が設けられていることを特徴とする請求項７に記載のノズル。
12. 　各分岐流路の流路径が、前記分岐流路によらず同等であることを特徴とする請求項７に記載のノズル。
13. 　前記各分岐流路を構成する溝が形成されたプレートを重ね合わせることにより構成されることを特徴とする請求項７に記載のノズル。
14. 　液供給口の断面形状が円形、あるいは、正ｎ×ａ角形（ａは任意の自然数）であることを特徴とする請求項７に記載のノズル。
15. 　請求項１又は２に記載のノズルを備え、
    　前記液供給口に対して供給する液を圧送する圧送装置を備えていることを特徴とする、液供給システム。
16. 　前記バルブ部材を開閉制御する制御装置を備えていることを特徴とする、請求項１５に記載の液供給システム。
17. 　前記圧送装置が、一軸偏心ねじポンプであることを特徴とする、請求項１５に記載の液供給システム。

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