WO2023287171A1 - 필름 마스크 및 그 제조방법 - Google Patents

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WO2023287171A1
WO2023287171A1 PCT/KR2022/010142 KR2022010142W WO2023287171A1 WO 2023287171 A1 WO2023287171 A1 WO 2023287171A1 KR 2022010142 W KR2022010142 W KR 2022010142W WO 2023287171 A1 WO2023287171 A1 WO 2023287171A1
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film mask
blocking layer
transparent
blocking
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PCT/KR2022/010142
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백승준
한의석
이원종
김영호
황재선
김진영
박성진
박진범
박선애
박성민
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에이피에스홀딩스 주식회사
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    • G03F1/38—Masks having auxiliary features, e.g. special coatings or marks for alignment or testing; Preparation thereof
    • G03F1/48—Protective coatings
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    • G09F9/33—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being semiconductor devices, e.g. diodes

Definitions

  • the present invention relates to a film mask and a method for manufacturing the same, and relates to a film mask used when exposing a photosensitive material to form a metal pattern on a transparent display and a method for manufacturing the same.
  • the transparent LED display is mounted so as to closely adhere to the exterior of an installation structure such as a building or an automobile, and can be used for various purposes by adding an optical image to the exterior of the installation structure.
  • wiring for supplying power to the LED of the transparent LED display may be formed in a metal mesh pattern to prevent the LED display from visually blocking or distorting the appearance of the installation structure.
  • a metal mesh pattern is generally formed by a wet etching method.
  • metals such as copper (Cu), aluminum (Al), chromium (Cr), and nickel (Ni) are plated on substrates such as glass, PC, acrylic, and PET.
  • the photosensitive material is developed into a metal mesh pattern through an exposure and developing process, and finally an etching process
  • the metal layer may be formed as a metal mesh pattern.
  • the design of the metal mesh pattern may be a shape in which a plurality of wires having fine line widths cross each other.
  • a problem in that the line width of the fine line width wires constituting the metal mesh pattern may be expanded or changed due to the thickness or structure of the film mask itself may occur. It is necessary to develop a film mask to prevent this problem.
  • the film mask can be repeatedly reused rather than disposable in a process of forming a metal pattern on a display substrate, and at this time, durability that can be used multiple times may be required for the film mask.
  • the present invention relates to a film mask and a method for manufacturing the same, and to provide a film mask used when exposing a photosensitive material to form a metal pattern on a transparent display and a method for manufacturing the same.
  • a substrate for display manufacturing comprising a transparent substrate, a metal layer laminated on the lower surface of the transparent substrate, and a photosensitive resin layer laminated on the lower surface of the metal layer,
  • a blocking layer blocking a part of light irradiated to the photosensitive resin layer according to a metal pattern
  • It may include a coating layer formed on the upper surface of the blocking layer and in close contact with the lower surface of the photosensitive resin layer.
  • the film mask of the present invention suppresses a phenomenon in which light spreads while passing through a pattern hole of the film mask during exposure, and may be optimized for a display substrate requiring an ultra-fine metal pattern.
  • the film mask of the present invention may be one that can be used for fixation requiring fine wire width wiring, such as a metal mesh pattern.
  • the film mask of the present invention may have maximized durability by minimizing damage to the blocking layer in repeated use.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a state in which the film mask of the present invention is laminated on a substrate for display manufacturing.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing the film mask of the present invention.
  • FIG. 3 is a block diagram showing a film mask manufacturing method of the present invention.
  • 4a to 4d are cross-sectional views showing each step of a method for manufacturing a film mask.
  • Figure 5a is a photograph of a metal pattern manufactured by applying the film mask of the present invention.
  • 5B is a photograph of a metal pattern manufactured by applying a conventional film mask.
  • a substrate for display manufacturing comprising a transparent substrate, a metal layer laminated on the lower surface of the transparent substrate, and a photosensitive resin layer laminated on the lower surface of the metal layer,
  • a blocking layer blocking a part of light irradiated to the photosensitive resin layer according to a metal pattern
  • It may include a coating layer formed on the upper surface of the blocking layer and in close contact with the lower surface of the photosensitive resin layer.
  • the coating layer of the film mask of the present invention may be formed of silicon dioxide (SiO 2 ).
  • the coating layer may have a thickness of 20 nm to 25 nm.
  • the blocking layer of the film mask of the present invention is formed by coating a photoresist on the upper surface of the transparent layer, and the photoresist may be prepared by using one or a combination of two or more of acrylic, epoxy, silicate, and thiolein.
  • the blocking layer may have a thickness of 5 ⁇ m to 30 ⁇ m.
  • the transparent layer of the film mask of the present invention is provided with one or a combination of two or more of PET, PEN, TAC, PMMA, and Glass, and the transparent layer may transmit light of 320 nm to 400 nm.
  • Pattern exposure step of forming a pattern by exposing a partial area of the blocking layer :
  • a pattern developing step of developing a pattern by applying a developing solution to the blocking layer a pattern developing step of developing a pattern by applying a developing solution to the blocking layer
  • a coating layer forming step of forming a coating layer by depositing SiO 2 on the upper surface of the blocking layer may be included.
  • the partial region may be exposed through laser direct imaging (LDI).
  • LPI laser direct imaging
  • SiO 2 may be deposited on the upper surface of the barrier layer by chemical vapor deposition (CVD).
  • the blocking layer is preserved in the first area, the blocking layer is removed in the second area except for the first area, and the upper surface of the transparent layer is exposed, and the coating layer is formed.
  • the SiO 2 may be deposited on an upper surface of the blocking layer in the first region and an upper surface of the transparent layer in the second region.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a state in which a film mask 100 of the present invention is laminated on a substrate for manufacturing a display.
  • 2 is a cross-sectional view showing the film mask 100 of the present invention.
  • 3 is a block diagram showing a film mask manufacturing method of the present invention.
  • 4a to 4d are cross-sectional views showing each step of a method for manufacturing a film mask.
  • Figure 5a is a photograph of a metal pattern manufactured by applying the film mask of the present invention.
  • 5B is a photograph of a metal pattern manufactured by applying a conventional film mask.
  • the film mask 100 of the present invention may be used in a process of forming a metal pattern on a display substrate.
  • the film mask 100 of the present invention includes a transparent substrate 11, a metal layer 13 laminated on the lower surface of the transparent substrate 11, and a lower surface of the metal layer 13. It may be laminated on a substrate for manufacturing a display including a photosensitive resin layer 15 laminated on.
  • the process of forming a metal pattern on a display substrate includes forming a metal layer 13 on a transparent substrate 11; laminating a photosensitive resin layer 15 on the metal layer 13; Exposing a partial area of the photosensitive resin layer 15 to light; removing a part of the photosensitive resin layer 15 by applying a developing solution to the photosensitive resin layer 15; and removing portions of the metal layer 13 excluding the metal pattern by applying an etchant to the metal layer 13 .
  • a substrate for manufacturing a display may be manufactured as a display substrate through the above process.
  • the film mask 100 of the present invention covers only a portion of the photosensitive resin layer 15 by covering the photosensitive resin layer 15 in the step of exposing a portion of the photosensitive resin layer 15 to light. Light can be irradiated.
  • the film mask 100 of the present invention As shown in Figure 2, the film mask 100 of the present invention,
  • a blocking layer 110 blocking some of the light irradiated to the photosensitive resin layer 15 according to the metal pattern
  • It may include a coating layer 130 formed on the upper surface of the blocking layer 110 and in close contact with the lower surface of the photosensitive resin layer 15 .
  • the blocking layer 110 may have an exposure hole 111 through which light passes in an exposure step of a process of forming a metal pattern of a display substrate.
  • the exposed area In the step of exposing a partial area of the photosensitive resin layer 15 in the process of forming a metal pattern of a display substrate, is the exposed area a positive type in which a portion exposed to light is removed, or a negative type in which a portion not exposed to light is removed?
  • the exposure hole 111 of the blocking layer 110 may be formed differently depending on whether it is a (negative) type.
  • the exposure hole 111 may be formed in an area excluding the area corresponding to the metal pattern formation area, and in the case of the negative type, the exposure hole 111 may be formed in the area corresponding to the metal pattern formation area.
  • the arrow direction of the one-dotted chain line shown in FIG. 1 may be the incident direction of light in the step of exposing a partial area of the photosensitive resin layer 15 .
  • light may pass through the transparent layer 120 of the film mask 100 and the exposure hole 111 to reach the photosensitive resin layer 15 .
  • the blocking layer 110 is formed by coating a photoresist on the upper surface of the transparent layer 120, and the photoresist may be prepared using one or a combination of two or more of acrylic, epoxy, silicate, and thiolein.
  • the blocking layer 110 may have a thickness of 5 ⁇ m to 30 ⁇ m. If the thickness of the blocking layer 110 is excessively thin, durability required for repeated use cannot be satisfied, and if the thickness of the blocking layer 110 is excessively thick, the phenomenon of light spreading while passing through the exposure hole 111 is amplified Thus, the photosensitive resin layer 15 may be exposed to light in an area larger than the size of the exposure hole 111 . Accordingly, it may be preferable that the thickness of the blocking layer 110 is 5 ⁇ m to 30 ⁇ m.
  • the transparent layer 120 may function to support the blocking layer 110 .
  • the maximum thickness of the blocking layer 110 has no choice but to have an upper limit in order to prevent light from being excessively diffused in the horizontal direction, and in this case, it may be difficult to have sufficient rigidity. Accordingly, the transparent layer 120 may function to support the blocking layer 110 by being adhered to the blocking layer 110 so that the shape of the blocking layer 110 may be maintained constant.
  • the transparent layer 120 may be made of a material that transmits light used for exposure in the step of exposing a partial area of the photosensitive resin layer 15 .
  • the transparent layer 120 may be formed of one or a combination of two or more of PET, PEN, TAC, PMMA, and Glass, and the transparent layer 120 may transmit light of 320 nm to 400 nm.
  • a display substrate to which the film mask 100 of the present invention is applied may be formed in a size of tens to hundreds of cm, and the size of the film mask 100 may also be formed to correspond thereto.
  • the thickness of the transparent layer 120 is 50 ⁇ m to 250 ⁇ m. It may be desirable to provide.
  • the photosensitive resin layer 15 and the blocking layer 110 may face each other. If the film mask 100 and the substrate for display manufacturing are combined so that the transparent layer 120 contacts the photosensitive resin layer 15, in the step of exposing a partial area of the photosensitive resin layer 15, light is applied to the transparent layer ( 120) passes through the exposure hole 111 and then passes through the transparent layer 120 to reach the photosensitive resin layer 15. In this case, light passes through the transparent layer 120 due to refraction and diffraction, On (15), a wider area than the target area can be irradiated.
  • the photosensitive resin layer 15 and the blocking layer 110 may face each other.
  • the film mask 100 of the present invention is repeatedly used, if the coating layer 130 is not present, the blocking layer 110 sticks to the photosensitive resin layer 15, and the film mask 100 is attached to the display manufacturing substrate.
  • a part of the blocking layer 110 may be separated from the transparent layer 120 and the blocking layer 110 may be damaged.
  • the coating layer 130 may be formed on the upper surface of the blocking layer 110 .
  • the coating layer 130 may be formed of a material that does not adhere to the photosensitive resin layer 15, and the coating layer 130 may be formed of silicon dioxide (SiO 2 ).
  • the coating layer 130 may have a thickness of 20 nm to 25 nm. If the coating layer 130 is also excessively thick, the above-described light spreading problem may occur. Therefore, the coating layer 130 may preferably have a thickness of 20 nm to 25 nm.
  • a coating layer forming step (S500) of forming the coating layer 130 by depositing SiO 2 on the upper surface of the blocking layer 110 may be included.
  • the transparent layer 120 may be provided in a flat plate shape.
  • the transparent layer 120 may be prepared by using one or a combination of two or more of PET, PEN, TAC, PMMA, and Glass, and heat-treating to improve heat resistance.
  • the transparent layer 120 may be PET heat-treated at a temperature of 120° C. to 150° C.
  • the blocking layer 110 may be formed on the upper surface of the transparent layer 120 .
  • the blocking layer 110 may be formed by applying a photoresist to the upper surface of the transparent layer 120 and drying in a drier in a dark room.
  • the partial region may be exposed through laser direct imaging (LDI).
  • LDDI laser direct imaging
  • exposure holes 111 may be formed in the blocking layer 110 as shown in FIG. 4C.
  • SiO 2 may be deposited on the upper surface of the blocking layer 110 by chemical vapor deposition (CVD).
  • the blocking layer 110 is preserved in the first region (A), and the blocking layer 110 is preserved in the second region (B) excluding the first region (A).
  • ) is removed to expose the upper surface of the transparent layer 120, and in the coating layer forming step (S500), the SiO 2 is applied to the upper surface of the blocking layer 110 in the first region (A) and the second region It may be deposited on the upper surface of the transparent layer 120 in (B). That is, the coating layer 130 is formed directly on the transparent layer 120 in the second region (B) corresponding to the exposure hole 111, and the first region (A) is an region not corresponding to the exposure hole 111. In the blocking layer 110, the coating layer 130 may be formed.
  • FIG. 5A is a photograph of a metal pattern manufactured by applying the film mask of the present invention
  • FIG. 5B is a metal pattern film manufactured by applying a conventional film mask in which a transparent layer and a blocking layer are stacked opposite to the film mask of the present invention.
  • the line width of the metal pattern in FIG. 5A is formed at a value almost similar to that of the exposure hole 111 of the film mask
  • the line width of the metal pattern in FIG. 5B is expanded to more than twice the width of the exposure hole 111 of the film mask. can see.
  • the film mask of the present invention prevents excessive expansion of the line width of the metal pattern by making the blocking layer 110 as close to the photosensitive resin layer 15 as possible, and forms the coating layer 130, thereby increasing the durability of an expensive film mask. can be improved to maximize the number of uses.
  • the film mask of the present invention suppresses a phenomenon in which light spreads while passing through a pattern hole of the film mask during exposure, and may be optimized for a display substrate requiring an ultra-fine metal pattern.
  • the film mask of the present invention may be one that can be used for fixation requiring fine wire width wiring, such as a metal mesh pattern.
  • the film mask of the present invention may have maximized durability by minimizing damage to the blocking layer in repeated use.

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  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Abstract

본 발명은 필름 마스크 및 그 제조방법에 관한 것으로, 투명 디스플레이에 메탈 패턴 형성을 위해 감광성 소재 노광시 사용되는 필름 마스크 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것이다.

Description

필름 마스크 및 그 제조방법
본 출원은 2021.07.14. 출원된 한국특허출원 10-2021-0092216호에 기초한 우선권의 이익을 주장하며, 해당 한국 특허 출원의 문헌에 개시된 모든 내용은 본 명세서의 일부로서 포함된다.
본 발명은 필름 마스크 및 그 제조방법에 관한 것으로, 투명 디스플레이에 메탈 패턴 형성을 위해 감광성 소재 노광시 사용되는 필름 마스크 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 투명 LED 디스플레이는 건축물, 자동차 등의 다양한 분야에서 내외장재로 주목받고 있다. 투명 LED 디스플레이는 건축물, 자동차 등의 설치 구조물의 외관에 밀착되도록 장착되어, 설치 구조물의 외관에 광학적인 이미지를 추가하여 다양한 목적으로 활용될 수 있다.
이때, 투명 LED 디스플레이의 LED에 전원 공급을 위한 배선은 LED 디스플레이가 설치 구조물의 외관을 시각적으로 차단 또는 왜곡시키는 것을 방지하기 위해서 메탈 메시(metal mesh) 패턴으로 형성될 수 있다.
메탈 메시 패턴은 일반적으로 습식 식각(Etch)방식으로 패턴을 형성된다. 예를 들면, 베이스(Base)로서 유리(Glass), PC, 아크릴(Acryl), PET 등의 기재 위에 구리(Cu), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 니켈(Ni) 등의 금속을 도금(Plating) 및 부착(Laminate) 하고, 금속층 위에 감광성 소재 및 메탈 메시 패턴으로 디자인된 필름 마스크를 순차적으로 적층한 뒤, 노광 및 현상 공정을 통해 감광성 소재를 메탈 메시 패턴으로 현상하고, 최종적으로 식각 공정을 통해 금속층을 메탈 메시 패턴으로 형성할 수 있다. 이때, 메탈 메시 패턴의 디자인은 복수의 미세선폭의 배선이 서로 교차하는 형상일 수 있다. 메탈 메시 패턴을 구성하는 미세선폭의 배선은 필름 마스크의 자체 두께 또는 구조에 의해서 선폭이 확장 또는 변경되는 문제가 발생될 수 있다. 이를 문제를 방지하기 위한 필름 마스크 개발이 필요하다.
더하여, 필름 마스크는 디스플레이 기판에 메탈 패턴을 형성하는 공정에서 일회용이 아니 반복적으로 재사용될 수 있으며, 이때, 다회 사용이 가능한 내구성이 필름 마스크에 요구될 수 있다.
본 발명은 필름 마스크 및 그 제조방법에 관한 것으로, 투명 디스플레이에 메탈 패턴 형성을 위해 감광성 소재 노광시 사용되는 필름 마스크 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 필름 마스크는,
투명 기재와, 상기 투명 기재의 하면에 적층되는 금속층과, 상기 금속층 하면에 적층되는 감광성 수지층을 포함하는 디스플레이 제조용 기판에 적층되는 필름 마스크에 있어서,
메탈 패턴에 따라 상기 감광성 수지층에 조사되는 광의 일부를 차단하는 차단층;
상기 차단층의 하면에 적층되는 투명층; 및
상기 차단층의 상면에 형성되며, 상면이 상기 감광성 수지층의 하면과 밀착되는 코팅층을 포함하는 것일 수 있다.
본 발명의 필름 마스크는 노광 시에 광이 필름 마스크의 패턴 홀을 통과하면서 퍼지는 현상을 억제하며, 초미세 메탈 패턴이 요구되는 디스플레이 기판에 최적화된 것일 수 있다.
본 발명의 필름 마스크는 메탈 메시 패턴과 같이 미세 선폭 배선이 요구되는 고정에서 사용 가능한 것일 수 있다.
본 발명의 필름 마스크는 반복적인 사용에서 차단층의 손상을 최소화하여 내구성이 극대화된 것일 수 있다.
도 1은 본 발명의 필름 마스크가 디스플레이 제조용 기판에 적층된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 필름 마스크를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 필름 마스크 제조방법을 나타내는 블록도이다.
도 4a 내지 4d는 필름 마스크 제조방법의 각 단계를 나타내는 단면도이다.
도 5a는 본 발명의 필름 마스크가 적용되어 제조된 메탈 패턴을 촬영한 사진이다.
도 5b는 종래의 필름 마스크가 적용되어 제조된 메탈 패턴을 촬영한 사진이다.
본 발명의 필름 마스크는,
투명 기재와, 상기 투명 기재의 하면에 적층되는 금속층과, 상기 금속층 하면에 적층되는 감광성 수지층을 포함하는 디스플레이 제조용 기판에 적층되는 필름 마스크에 있어서,
메탈 패턴에 따라 상기 감광성 수지층에 조사되는 광의 일부를 차단하는 차단층;
상기 차단층의 하면에 적층되는 투명층; 및
상기 차단층의 상면에 형성되며, 상면이 상기 감광성 수지층의 하면과 밀착되는 코팅층을 포함하는 것일 수 있다.
본 발명의 필름 마스크의 상기 코팅층은 이산화 규소(SiO2)로 형성되는 것일 수 있다.
본 발명의 필름 마스크에서 상기 코팅층의 두께는 20 nm 내지 25 nm로 형성되는 것일 수 있다.
본 발명의 필름 마스크의 상기 차단층은 상기 투명층의 상면에 감광액이 도포됨으로써 형성되고, 상기 감광액은 아크릴, 에폭시, 실리케이트 및 사이올레인 중 하나 또는 둘 이상의 조합으로 마련되는 것일 수 있다.
본 발명의 필름 마스크에서 상기 차단층의 두께는 5 ㎛ 내지 30 ㎛로 형성되는 것일 수 있다.
본 발명의 필름 마스크의 상기 투명층은 PET, PEN, TAC, PMMA 및 Glass 중 하나 또는 둘 이상의 조합으로 마련되고, 상기 투명층은 320 nm 내지 400 nm의 광이 투과되는 것일 수 있다.
본 발명의 필름 마스크 제조방법은,
상기 투명층을 준비하는 투명층 준비 단계;
상기 투명층의 상면에 감광액을 도포하여 차단층을 형성하는 차단층 형성 단계;
상기 차단층의 일부 영역을 노광하여 패턴을 형성하는 패턴 노광 단계:
상기 차단층에 현상액을 도포하여 패턴을 현상하는 패턴 현상 단계; 및
상기 차단층의 상면에 SiO2를 증착하여 코팅층을 형성하는 코팅층 형성 단계를 포함하는 것일 수 있다.
본 발명의 필름 마스크 제조방법의 상기 패턴 노광 단계에서, 상기 일부 영역은 LDI(laser direct imaging) 통해 노광되는 것일 수 있다.
본 발명의 필름 마스크 제조방법의 상기 코팅층 형성 단계에서, SiO2는 상기 차단층의 상면에 CVD(chemical vapor deposition) 방식으로 증착되는 것일 수 있다.
본 발명의 필름 마스크 제조방법의 상기 현상 단계에서, 제1 영역에서 상기 차단층이 보존되고, 상기 제1 영역을 제외한 제2 영역에서 차단층이 제거되어 상기 투명층의 상면이 노출되며, 상기 코팅층 형성 단계에서, 상기 SiO2는 상기 제1 영역에서의 상기 차단층의 상면과 상기 제2 영역에서의 상기 투명층의 상면에 증착되는 것일 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.
본 발명의 설명에 있어서, 유의하여야 할 점은 용어 "중심", "상", "하" "좌", "우", "수직", "수평", "내측", "외측" 등이 지시한 방위 또는 위치 관계는 도면에서 나타낸 방위 또는 위치 관계, 또는 평소에 본 발명 제품을 사용할 시 배치하는 방위 또는 위치관계에 기초한 것이고, 본 발명의 설명과 간략한 설명을 위한 것일 뿐, 표시된 장치 또는 소자가 반드시 특정된 방위를 가지고 특정된 방위로 구성되거나 조작되어야 하는 것을 제시 또는 암시하는 것이 아니므로 본 발명을 제한하는 것으로 이해해서는 아니 된다.
도 1은 본 발명의 필름 마스크(100)가 디스플레이 제조용 기판에 적층된 상태를 나타내는 단면도이다. 도 2는 본 발명의 필름 마스크(100)를 나타내는 단면도이다. 도 3은 본 발명의 필름 마스크 제조방법을 나타내는 블록도이다. 도 4a 내지 4d는 필름 마스크 제조방법의 각 단계를 나타내는 단면도이다. 도 5a는 본 발명의 필름 마스크가 적용되어 제조된 메탈 패턴을 촬영한 사진이다. 도 5b는 종래의 필름 마스크가 적용되어 제조된 메탈 패턴을 촬영한 사진이다.
이하, 도 1 내지 도 5b를 참조하여, 본 발명의 필름 마스크(100) 및 그 제조방법에 대해서 상세히 설명한다.
본 발명의 필름 마스크(100)는 디스플레이 기판에서 메탈 패턴 형성 공정에서 사용되는 것일 수 있다. 구체적으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 필름 마스크(100)는 투명 기재(11)와, 상기 투명 기재(11)의 하면에 적층되는 금속층(13)과, 상기 금속층(13) 하면에 적층되는 감광성 수지층(15)을 포함하는 디스플레이 제조용 기판에 적층되는 것일 수 있다.
디스플레이 기판에 메탈 패턴을 형성하는 공정은, 투명 기재(11)에 금속층(13)을 형성하는 단계; 금속층(13)에 감광성 수지층(15)을 적층하는 단계; 감광성 수지층(15)의 일부 영역을 노광하는 단계; 감광성 수지층(15)에 현상액을 도포하여 감광성 수지층(15)의 일부를 제거하는 단계; 및 금속층(13)에 식각액을 도포하여 메탈 패턴을 제외한 부분의 금속층(13)을 제거하는 단계를 포함할 수 있다. 디스플레이 제조용 기판은 상기 공정을 거쳐서 디스플레이 기판으로 제조될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 필름 마스크(100)는 상기 감광성 수지층(15)의 일부 영역을 노광하는 단계에서 감광성 수지층(15)을 덮어 감광성 수지층(15)의 일부 영역에만 광이 조사되도록 할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 필름 마스크(100)는,
메탈 패턴에 따라 상기 감광성 수지층(15)에 조사되는 광의 일부를 차단하는 차단층(110);
상기 차단층(110)의 하면에 적층되는 투명층(120); 및
상기 차단층(110)의 상면에 형성되며, 상면이 상기 감광성 수지층(15)의 하면과 밀착되는 코팅층(130)을 포함하는 것일 수 있다.
필름 마스크(100)에서, 차단층(110)은 디스플레이 기판의 메탈 패턴 형성 공정의 노광 단계에서 광이 통과하기 위한 노광홀(111)이 형성된 것일 수 있다. 디스플레이 기판의 메탈 패턴 형성 공정의 감광성 수지층(15)의 일부 영역을 노광하는 단계에서, 노광되는 영역은 광에 노출된 부분이 제거되는 포지티브(positive) 형이냐, 노출되지 않는 부분이 제거되는 네거티브(negative) 형이냐에 따라 차단층(110)의 노광홀(111)은 다르게 형성될 수 있다. 구체적으로, 포지티브 형일 경우 메탈 패턴 형성 영역에 대응하는 영역을 제외한 부분에 노광홀(111)이 형성되며, 네거티브 형일 경우 메탈 패턴 형성 영역에 대응하는 영역에 노광홀(111)이 형성될 수 있다.
도 1에 표시된 일점쇄선의 화살표 방향이 상기 감광성 수지층(15)의 일부 영역을 노광하는 단계에서 광의 입사방향일 수 있다. 상기 감광성 수지층(15)의 일부 영역을 노광하는 단계에서, 광은 필름 마스크(100)의 투명층(120) 및 노광홀(111)을 통과하여 감광성 수지층(15)에 도달할 수 있다.
상기 차단층(110)은 상기 투명층(120)의 상면에 감광액이 도포됨으로써 형성되고, 상기 감광액은 아크릴, 에폭시, 실리케이트 및 사이올레인 중 하나 또는 둘 이상의 조합으로 마련되는 것일 수 있다. 상기 차단층(110)의 두께는 5 ㎛ 내지 30 ㎛로 형성되는 것일 수 있다. 차단층(110)의 두께가 과도하게 얇으면 반복 사용을 위해 요구되는 내구성을 만족할 수가 없고, 차단층(110)의 두께가 과도하게 두꺼우면 노광홀(111)을 통과하면서 광이 퍼지는 현상이 증폭되어, 노광홀(111)의 크기보다 더 큰 영역에서 감광성 수지층(15)이 노광될 수 있다. 따라서, 상기 차단층(110)의 두께는 5 ㎛ 내지 30 ㎛로 형성되는 것이 바람직할 수 있다.
투명층(120)은 차단층(110)을 지지하는 기능을 하는 것일 수 있다. 상술한 바와 같이, 차단층(110)의 최대 두께는 광이 수평방향으로 과도하게 확산되는 것을 방지하기 위해서 상한 값이 존재할 수밖에 없고, 이러한 경우에 충분한 강성을 가지기 어려울 수 있다. 따라서, 투명층(120)은 차단층(110)의 형상이 변하지 않고 일정하게 유지할 수 있도록, 차단층(110)과 서로 접착되어, 차단층(110)을 지지하는 기능을 할 수 있다.
상기 투명층(120)은 상기 감광성 수지층(15)의 일부 영역을 노광하는 단계에서 노광에 사용되는 광이 투과하는 소재로 마련될 수 있다. 구체적으로, 상기 투명층(120)은 PET, PEN, TAC, PMMA 및 Glass 중 하나 또는 둘 이상의 조합으로 마련되고, 상기 투명층(120)은 320 nm 내지 400 nm의 광이 투과되는 것일 수 있다. 본 발명의 필름 마스크(100)가 적용되는 디스플레이 기판은 수십 내지 수백 cm의 사이즈로 형성될 수 있고, 필름 마스크(100)의 규격 또한 이에 대응하도록 형성될 수 있다. 이 때, 투명층(120)이 디스플레이 제조용 기판에 탈착하는 과정, 상기 감광성 수지층(15)의 일부 영역을 노광하는 단계 등에서 변형되는 것을 방지하기 위해서, 투명층(120)의 두께는 50㎛ 내지 250㎛ 으로 마련되는 것이 바람직할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 필름 마스크(100)는 디스플레이 제조용 기판과 결합할 때, 감광성 수지층(15)과 차단층(110)이 대면하도록 결합될 수 있다. 만약, 투명층(120)이 감광성 수지층(15)에 접촉하도록, 필름 마스크(100)와 디스플레이 제조용 기판이 결합하게 되면, 상기 감광성 수지층(15)의 일부 영역을 노광하는 단계에서 광은 투명층(120)은 노광홀(111)을 통과한 후 투명층(120)을 거쳐 감광성 수지층(15)에 도달하게 되고, 이러한 경우에 투명층(120)을 통과하면서 광이 굴절 및 회절 등으로 인해서 감광성 수지층(15) 상에서 타겟 영역보다 더 넓은 영역에 조사될 수 있다. 따라서, 본 발명의 필름 마스크(100)는 디스플레이 제조용 기판과 결합할 때, 감광성 수지층(15)과 차단층(110)이 대면하도록 결합될 수 있다. 이때, 본 발명의 필름 마스크(100)가 반복되어 사용되는 경우, 코팅층(130)이 없으면, 차단층(110)이 감광성 수지층(15)에 달라붙어, 필름 마스크(100)를 디스플레이 제조용 기판에 탈부착 하는 과정에, 차단층(110)의 일부가 투명층(120)으로부터 이탈하게 되어 차단층(110)이 손상될 수 있다. 이를 방지하기 위해서, 코팅층(130)이 차단층(110)의 상면에 형성될 수 있다.
따라서, 코팅층(130)은 감광성 수지층(15)에 접착되지 않는 소재로 형성될 수 있으며, 코팅층(130)은 이산화 규소(SiO2)로 형성되는 것일 수 있다. 상기 코팅층(130)의 두께는 20 nm 내지 25 nm로 형성되는 것일 수 있다. 코팅층(130) 또한 과도하게 두꺼워지면 상술한 광 퍼짐 문제가 발생할 수 있기 때문에, 상기 코팅층(130)의 두께는 20 nm 내지 25 nm로 형성되는 것이 바람직할 수 있다.
이하, 본 발명의 필름 마스크(100)를 제조하는 필름 마스크 제조방법에 대해서 설명한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 필름 마스크 제조방법은,
상기 투명층(120)을 준비하는 투명층 준비 단계(S100);
상기 투명층(120)의 상면에 감광액을 도포하여 차단층(110)을 형성하는 차단층 형성 단계(S200);
상기 차단층(110)의 일부 영역을 노광하여 패턴을 형성하는 패턴 노광 단계(S300):
상기 차단층(110)에 현상액을 도포하여 패턴을 현상하는 패턴 현상 단계(S400); 및
상기 차단층(110)의 상면에 SiO2를 증착하여 코팅층(130)을 형성하는 코팅층 형성 단계(S500)를 포함하는 것일 수 있다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 투명층 준비 단계(S100)에서, 투명층(120)은 평면의 플레이트 형상으로 마련될 수 있다. 투명층(120)은 PET, PEN, TAC, PMMA 및 Glass 중 하나 또는 둘 이상의 조합으로 마련되고, 열처리하여 내열성을 향상시켜 마련될 수 있다. 예를 들어, 투명층(120)은 120℃ 내지 150℃의 온도에서 열처리된 PET인 것일 수 있다.
도 4b에 도시된 바와 같이, 차단층 형성 단계(S200)에서, 차단층(110)은 투명층(120)의 상면에 형성될 수 있다. 차단층(110)은 감광액을 투명층(120)의 상면에 도포하고, 암실 건조기에서 건조하여 형성될 수 있다.
패턴 노광 단계(S300)에서, 상기 일부 영역은 LDI(laser direct imaging) 통해 노광되는 것일 수 있다. 감광액이 포지티브 형일 경우 노광홀(111)에 대응하는 영역을 제외한 부분에 광이 조사되며, 네거티브 형일 경우 노광홀(111)에 대응하는 영역에 광이 조사될 수 있다.
패턴 현상 단계(S400)를 거치면 도 4c에 도시된 바와 같이 노광홀(111)이 차단층(110)에 형성될 수 있다.
상기 코팅층 형성 단계(S500)에서, SiO2는 상기 차단층(110)의 상면에 CVD(chemical vapor deposition) 방식으로 증착되는 것일 수 있다.
도 4d에 도시된 바와 같이, 상기 현상 단계에서, 제1 영역(A)에서 상기 차단층(110)이 보존되고, 상기 제1 영역(A)을 제외한 제2 영역(B)에서 차단층(110)이 제거되어 상기 투명층(120)의 상면이 노출되며, 상기 코팅층 형성 단계(S500)에서, 상기 SiO2는 상기 제1 영역(A)에서의 상기 차단층(110)의 상면과 상기 제2 영역(B)에서의 상기 투명층(120)의 상면에 증착되는 것일 수 있다. 즉, 노광홀(111)에 해당하는 영역인 제2 영역(B)에는 투명층(120)에 바로 코팅층(130)이 형성되며, 노광홀(111)에 해당하지 않는 영역인 제1 영역(A)에는 차단층(110)에 코팅층(130)이 형성될 수 있다.
도 5a는 본 발명의 필름 마스크를 적용하여 제작된 메탈 패턴을 촬영한 사진이며, 도 5b는 투명층과 차단층이 본 발명의 필름 마스크와 반대로 적층된 종래의 필름 마스크를 적용하여 제작된 메탈 패턴 필름을 촬영한 사진이다. 도 5a 및 도 5b의 두 필름 마스크 모두 노광홀(111)의 폭은 10 ㎛로 형성되었다.
도 5a의 메탈 패턴의 선폭은 필름 마스크의 노광홀(111)과 거의 유사한 값으로 형성되었지만, 도 5b의 메탈 패턴의 선폭은 필름 마스크의 노광홀(111)의 폭의 두 배이상으로 확장되는 것을 볼 수 있다.
본 발명의 필름 마스크는 차단층(110)을 감광성 수지층(15)에 최대한 인접시킴으로써, 메탈 패턴의 선폭이 과도하게 확장되는 것을 방지하고, 코팅층(130)을 형성함으로써, 고가의 필름 마스크의 내구도를 향상시켜, 사용횟수를 극대화시킬 수 있다.
이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
[부호의 설명]
11...투명 기재 13...금속층
15...감광성 수지층 100...필름 마스크
110...차단층 111...노광홀
120...투명층 130...코팅층
A...제1 영역 B...제2 영역
본 발명의 필름 마스크는 노광 시에 광이 필름 마스크의 패턴 홀을 통과하면서 퍼지는 현상을 억제하며, 초미세 메탈 패턴이 요구되는 디스플레이 기판에 최적화된 것일 수 있다.
본 발명의 필름 마스크는 메탈 메시 패턴과 같이 미세 선폭 배선이 요구되는 고정에서 사용 가능한 것일 수 있다.
본 발명의 필름 마스크는 반복적인 사용에서 차단층의 손상을 최소화하여 내구성이 극대화된 것일 수 있다.

Claims (10)

  1. 투명 기재와, 상기 투명 기재의 하면에 적층되는 금속층과, 상기 금속층 하면에 적층되는 감광성 수지층을 포함하는 디스플레이 제조용 기판에 적층되는 필름 마스크에 있어서,
    메탈 패턴에 따라 상기 감광성 수지층에 조사되는 광의 일부를 차단하는 차단층;
    상기 차단층의 하면에 적층되는 투명층; 및
    상기 차단층의 상면에 형성되며, 상면이 상기 감광성 수지층의 하면과 밀착되는 코팅층을 포함하는 것인 필름 마스크.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 코팅층은 이산화 규소(SiO2)로 형성되는 것인 필름 마스크.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 코팅층의 두께는 20 nm 내지 25 nm로 형성되는 것인 필름 마스크.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 차단층은 상기 투명층의 상면에 감광액이 도포됨으로써 형성되고,
    상기 감광액은 아크릴, 에폭시, 실리케이트 및 사이올레인 중 하나 또는 둘 이상의 조합으로 마련되는 것인 필름 마스크.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 차단층의 두께는 5 ㎛ 내지 30 ㎛로 형성되는 것인 필름 마스크.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 투명층은 PET, PEN, TAC, PMMA 및 Glass 중 하나 또는 둘 이상의 조합으로 마련되고,
    상기 투명층은 320 nm 내지 400 nm의 광이 투과되는 것인 필름 마스크.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항을 따른 필름 마스크를 제조하는 필름 마스크 제조방법에 있어서,
    상기 투명층을 준비하는 투명층 준비 단계;
    상기 투명층의 상면에 감광액을 도포하여 차단층을 형성하는 차단층 형성 단계;
    상기 차단층의 일부 영역을 노광하여 패턴을 형성하는 패턴 노광 단계:
    상기 차단층에 현상액을 도포하여 패턴을 현상하는 패턴 현상 단계; 및
    상기 차단층의 상면에 SiO2를 증착하여 코팅층을 형성하는 코팅층 형성 단계를 포함하는 것인 필름 마스크 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 패턴 노광 단계에서,
    상기 일부 영역은 LDI(laser direct imaging) 통해 노광되는 것인 필름 마스크 제조방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 코팅층 형성 단계에서,
    SiO2는 상기 차단층의 상면에 CVD(chemical vapor deposition) 방식으로 증착되는 것인 필름 마스크 제조방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 현상 단계에서, 제1 영역에서 상기 차단층이 보존되고, 상기 제1 영역을 제외한 제2 영역에서 차단층이 제거되어 상기 투명층의 상면이 노출되며,
    상기 코팅층 형성 단계에서, 상기 SiO2는 상기 제1 영역에서의 상기 차단층의 상면과 상기 제2 영역에서의 상기 투명층의 상면에 증착되는 것인 필름 마스크 제조방법.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013003344A (ja) * 2011-06-16 2013-01-07 Dainippon Printing Co Ltd パターン位相差フィルムの製造方法、それに用いるマスク、およびそれを用いたパターン位相差フィルム
KR20170089788A (ko) * 2016-01-27 2017-08-04 주식회사 엘지화학 필름 마스크, 이의 제조방법 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
KR20190053427A (ko) * 2017-11-10 2019-05-20 주식회사 엘지화학 필름 마스크 및 그 제조 방법
KR20210059355A (ko) * 2019-11-15 2021-05-25 주식회사 엘지화학 필름 마스크, 필름 마스크의 제조 방법 및 필름 마스크를 이용한 패턴의 제조 방법
KR20210067477A (ko) * 2019-11-29 2021-06-08 주식회사 엘지화학 필름 마스크, 필름 마스크의 제조 방법, 이를 이용한 패턴의 제조 방법 및 이를 이용하여 형성된 패턴

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013003344A (ja) * 2011-06-16 2013-01-07 Dainippon Printing Co Ltd パターン位相差フィルムの製造方法、それに用いるマスク、およびそれを用いたパターン位相差フィルム
KR20170089788A (ko) * 2016-01-27 2017-08-04 주식회사 엘지화학 필름 마스크, 이의 제조방법 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
KR20190053427A (ko) * 2017-11-10 2019-05-20 주식회사 엘지화학 필름 마스크 및 그 제조 방법
KR20210059355A (ko) * 2019-11-15 2021-05-25 주식회사 엘지화학 필름 마스크, 필름 마스크의 제조 방법 및 필름 마스크를 이용한 패턴의 제조 방법
KR20210067477A (ko) * 2019-11-29 2021-06-08 주식회사 엘지화학 필름 마스크, 필름 마스크의 제조 방법, 이를 이용한 패턴의 제조 방법 및 이를 이용하여 형성된 패턴

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