WO2023248779A1 - 照明装置、測距装置及び車載装置 - Google Patents

照明装置、測距装置及び車載装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2023248779A1
WO2023248779A1 PCT/JP2023/020952 JP2023020952W WO2023248779A1 WO 2023248779 A1 WO2023248779 A1 WO 2023248779A1 JP 2023020952 W JP2023020952 W JP 2023020952W WO 2023248779 A1 WO2023248779 A1 WO 2023248779A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
light
light emitting
light beam
lighting device
section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2023/020952
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
高志 小林
みどり 金谷
将尚 鎌田
元 米澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Semiconductor Solutions Corp
Sony Group Corp
Original Assignee
Sony Semiconductor Solutions Corp
Sony Group Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Semiconductor Solutions Corp, Sony Group Corp filed Critical Sony Semiconductor Solutions Corp
Priority to US18/875,136 priority Critical patent/US20250362411A1/en
Publication of WO2023248779A1 publication Critical patent/WO2023248779A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
    • G01S17/89—Lidar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C3/00—Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
    • G01C3/02—Details
    • G01C3/06—Use of electric means to obtain final indication
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
    • G01S17/93—Lidar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes
    • G01S17/931—Lidar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes of land vehicles
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4814—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of transmitters alone
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4814—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of transmitters alone
    • G01S7/4815—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of transmitters alone using multiple transmitters
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
    • H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
    • H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
    • H01S3/0941—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022—Mountings; Housings
    • H01S5/0225—Out-coupling of light
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
    • H01S5/18—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
    • H01S5/183—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]

Definitions

  • the present disclosure relates to a lighting device, a distance measuring device, and a vehicle-mounted device.
  • Illumination devices that irradiate light beams onto objects are used for purposes such as measuring time of flight (ToF), measuring distance using structured light, and recognizing the shape of objects.
  • Patent Document 1 uses a vertical cavity surface emitting semiconductor laser (VCSEL) as a light source, focuses the light beam emitted from the VCSEL by condensing it with a lens array, A lighting device that forms a virtual light emitting point (hereinafter referred to as a virtual light emitting point) is disclosed.
  • VCSEL vertical cavity surface emitting semiconductor laser
  • One of the objects of the present disclosure is to provide a lighting device that can be further miniaturized, and a distance measuring device and a vehicle-mounted device equipped with the lighting device.
  • This disclosure provides, for example, a plurality of light emitting parts arranged in an array and each emitting substantially parallel light beams; a condensing section that condenses the light beam emitted from each light emitting section; a conversion unit that makes the light beams that diverge after condensing substantially parallel and changes the exit direction of each light beam; It is a lighting device having.
  • the present disclosure provides, for example, The above-mentioned lighting device, a control unit that controls the lighting device; a light receiving unit that receives reflected light reflected from an object; a distance measuring unit that calculates a measured distance from image data obtained by the light receiving unit; It is a distance measuring device.
  • the present disclosure may be applied to an in-vehicle device having the distance measuring device described above.
  • FIG. 1 is a block diagram illustrating an example of a schematic configuration of a distance measuring device including an illumination device according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram for explaining a configuration example of a lighting device according to an embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram schematically showing a light beam emitted from a light emitting section according to an embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining a microlens array according to one embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining a microlens array according to one embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining a microlens array according to one embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining specific numerical examples regarding each element of the lighting device according to one embodiment.
  • a and B are diagrams for explaining a first configuration example of a light emitting section according to an embodiment.
  • FIG. 7 is a diagram for explaining a second configuration example of a light emitting section according to an embodiment. It is a figure for explaining the modification of the 2nd example of composition of a light emitting part concerning one embodiment. It is a figure for explaining the 3rd example of composition of the light emitting part concerning one embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining an example of a linear light beam according to an embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining a diffusion plate according to an embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining an example of arrangement of a diffusion plate according to an embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining an example of arrangement of a cylindrical lens and a diffuser plate according to an embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining an example of a duplicated linear light beam.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining an example of the arrangement of diffraction gratings according to one embodiment.
  • FIG. 7 is a diagram for explaining another example of a duplicated linear light beam.
  • FIG. 2 is a diagram referred to when explaining a configuration having a drive unit according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram referred to when explaining a configuration having a drive unit according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram referred to when explaining a configuration having a drive unit according to an embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining an example of a scanned linear light beam.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining an example of the arrangement of a plurality of light emitting elements according to one embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating an optical lens diameter and an arrangement example of a plurality of light emitting elements according to an embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining another example of a light emitting element according to an embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining another example of a light emitting element according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram that is referred to when explaining a method for driving a lighting device according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram that is referred to when explaining a method for driving a lighting device according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram that is referred to when explaining a method for driving a lighting device according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram that is referred to when explaining a method for driving a lighting device according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram that is referred to when explaining a method for driving a lighting device according to an embodiment.
  • FIG. 1 is a block diagram showing an example of a schematic configuration of a vehicle control system.
  • FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of installation positions of an outside-vehicle information detection section and an imaging section.
  • the size of the optical lens for forming the parallel light beam arranged in the traveling direction of the light beam becomes large.
  • the diameter of each lens array placed at the tip of the light emitting part should be made larger relative to the area of the light emitting part. There is a need.
  • the lens diameter of the lens array becomes even larger.
  • the light emitting element constituted by the light emitting section becomes expensive.
  • FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration example of a distance measuring device (distance measuring device 1) to which a lighting device (lighting device 100) according to an embodiment can be applied.
  • the distance measuring device 1 is a device that measures the distance (distance measurement distance) to the irradiation target 1000 by irradiating illumination light onto the irradiation target 1000 and receiving the reflected light.
  • the distance measuring device 1 employs, for example, a ToF method or a Structured Light method.
  • the ToF method is a method in which a distance is calculated from the time it takes for a light beam emitted from a range finder to be reflected by an object to be measured and return to the range finder.
  • the Structured Light method is a method in which a distance measuring device irradiates a light beam pattern onto an object to be measured, and a distance is calculated from the distortion of the pattern of the light beam that is reflected and returned to the distance measuring device.
  • the distance measuring device 1 includes an illumination device 100, a control section 200 that controls the illumination device 100, a light receiving section 210, and a distance measuring section 220.
  • the lighting device 100 generates irradiation light in synchronization with a rectangular wave light emission control signal CLKp from the control unit 200.
  • This light emission control signal CLKp may be a periodic signal and is not limited to a rectangular wave.
  • the light emission control signal CLKp may be a sine wave.
  • the light receiving unit 210 receives the reflected light reflected from the irradiation target 1000, and detects the amount of light received within the period every time the period of the vertical synchronization signal VSYNC elapses.
  • a plurality of pixel circuits are arranged, for example, in a two-dimensional grid pattern.
  • the light receiving section 210 supplies image data (frames) according to the amount of light received by these pixel circuits to the distance measuring section 220. Note that the light receiving unit 210 may have a function of correcting distance measurement errors due to multipath.
  • the control unit 200 controls the lighting device 100 and the light receiving unit 210.
  • This control section 200 generates a light emission control signal CLKp and supplies it to the lighting device 100 and the light receiving section 210.
  • the distance measuring unit 220 measures the distance to the irradiation target 1000 using a ToF method or the like based on the image data.
  • the distance measuring unit 220 measures the distance for each pixel circuit and generates a depth map that indicates the distance to the object for each pixel using gradation values.
  • This depth map can be used, for example, in image processing that performs blurring processing depending on the distance, autofocus (AF) processing that determines the in-focus point of a focus lens depending on the distance, and distance measurement to an object using in-vehicle LiDAR. used.
  • FIG. 2 is a diagram for explaining a configuration example of the lighting device 100.
  • the lighting device 100 includes, for example, a light emitting element 110, a microlens array 120, and an optical lens 130.
  • the light emitting element 110 is a light source of the lighting device 100 and has a plurality of light emitting parts.
  • FIG. 2 shows an example in which the light emitting element 110 has five light emitting parts 111A, 111B, 111C, 111D, and 111E arranged in an array (in this example, in a row).
  • the number of light emitting parts is not limited to five, and can be any number.
  • the plurality of light emitting parts may be arranged not one-dimensionally but two-dimensionally or three-dimensionally. Note that in the following description, when there is no need to distinguish between individual light emitting parts, they will be collectively referred to as light emitting parts 111 as appropriate. As schematically shown in FIG.
  • each of the plurality of light emitting units 111 emits a light beam LB1 having a small divergence angle, that is, a substantially parallel light beam LB1. Note that a specific example of the configuration of the light emitting section 111 will be described later.
  • the microlens array 120 which is an example of a light condensing section, condenses the light beam LB emitted from each light emitting section 111.
  • An example of the microlens array 120 will be described with reference to FIGS. 4 to 6.
  • 4 to 6 are a perspective view of the microlens array 120, a diagram showing an example of the planar configuration of the microlens array 120, and a diagram showing a cross-sectional configuration of the microlens array 120 taken along the line II shown in FIG. 5, respectively. .
  • the microlens array 120 has a plurality of lens parts and a parallel plate part 122.
  • the microlens array 120 has five lens sections (lens section 121A, lens section 121B, lens section 121C, lens section 121D, and lens section 121E).
  • lens sections 121 are arranged to directly face the light emitting section 111.
  • the lens section 121A is arranged to directly face the light emitting section 111A.
  • the lens portion 121B is arranged to directly face the light emitting portion 111B.
  • the lens portion 121C is arranged to directly face the light emitting portion 111C.
  • the lens portion 121D is arranged to directly face the light emitting portion 111D.
  • the lens section 121E is arranged to directly face the light emitting section 111E.
  • the light beam LB1 emitted from the light emitting section 111 is refracted by the lens surface of the lens section 121 and condensed to form a virtual light emitting point VP (see FIG. 2).
  • the virtual light emitting point VP may be formed within the microlens array 120 instead of between the microlens array 120 and the optical lens 130.
  • the optical lens 130 which is an example of a conversion unit, makes the light beams that diverge after being focused at the virtual light emitting point VP by the microlens array 120 substantially parallel, and changes the emission direction of each light beam.
  • the light beam LB2 emitted through the optical lens 130 is irradiated onto the irradiation target 1000, and the light reflected from the irradiation target 1000 is received by the light receiving unit 210.
  • a Fresnel lens or a metamaterial may be used instead of the optical lens 130.
  • the light beam LB2 may be scanned using a one-dimensional mechanical scanning mechanism such as a galvano mirror or a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) mirror.
  • the light emitting section 111 has a light emitting area with an OA diameter (diameter) of approximately 150 ⁇ m, for example.
  • the divergence angle (pp (full-width display)) of the light beam emitted from the light emitting unit 111 is desired to be as small as possible from the viewpoint of downsizing the illumination device 100, and ideally is 0 degrees.
  • the temperature can be set to 2 degrees or less.
  • the lens portion 121 included in the microlens array 120 has a diameter of approximately 200 ⁇ m.
  • the lens section 121 is arranged at a distance from the light emitting section 111 that is approximately equal to the focal length of the lens section 121 (for example, approximately 1.4 mm).
  • the light beam LB1 emitted from the light emitting section 111 is focused by the lens section 121 into a light spot having a diameter of approximately 50 ⁇ m at the virtual light emitting point VP.
  • the focused light spot then enters the optical lens 130 as a light beam with a divergence of approximately 6 degrees.
  • Each of the light beams LB1 from the light emitting unit 111 becomes a substantially parallel light beam LB2 (parallel light beam) (see FIG. 2) directed in a predetermined direction by the optical lens 130, and is irradiated onto the irradiation target 1000.
  • FIG. 8 is a diagram showing an example of the configuration of the light emitting section 111 according to this example.
  • the light emitting unit 111 according to this example includes an excitation light source 2 which is an example of an excitation light source layer, a solid laser medium 3 which is an example of a laser medium, and a saturable absorber 4. are integrally joined and have a laminated structure as shown in FIG. 8B.
  • the optical axes of the excitation light source 2, the solid-state laser medium 3, and the saturable absorber 4 are arranged on one axis.
  • the excitation light source 2 has a structure that is part of a VCSEL, and has a stacked semiconductor layer having a stacked structure.
  • the excitation light source 2 in FIG. 8 has a substrate 5, an n-contact layer 33, a fifth reflective layer R5, a cladding layer 6, an active layer 7, a cladding layer 8, a pre-oxidation layer 31, and a first reflective layer R1 stacked in this order. It has a structure. Note that the example shown in FIG. 8 shows a bottom emission type configuration in which continuous wave (CW) excitation light is emitted from the substrate 5; A top emission type configuration that emits excitation light may also be used.
  • CW continuous wave
  • the substrate 5 is, for example, an n-GaAs substrate 5. Since the n-GaAs substrate 5 absorbs light of the first wavelength ⁇ 1, which is the excitation wavelength of the excitation light source 2, at a constant rate, it is desirable to make it as thin as possible. On the other hand, it is desirable to have a thickness sufficient to maintain mechanical strength during the bonding process described below.
  • the active layer 7 emits surface light at a first wavelength ⁇ 1.
  • the cladding layers 6 and 8 are, for example, AlGaAs cladding layers.
  • the first reflective layer R1 reflects light having a first wavelength ⁇ 1.
  • the fifth reflective layer R5 has a constant transmittance for light having the first wavelength ⁇ 1.
  • a semiconductor distributed reflective layer DBR: Distributed Bragg Reflector
  • a current is injected from the outside through the first reflective layer R1 and the fifth reflective layer R5, recombination and light emission occur in the quantum well in the active layer 7, and laser oscillation at the first wavelength ⁇ 1 is performed.
  • a part of the pre-oxidation layer (eg, AlAs layer) 31 on the cladding layer side of the first reflective layer R1 is oxidized to become the post-oxidation layer (eg, Al 2 O 3 layer) 32 .
  • the fifth reflective layer R5 is arranged on the n-GaAs substrate 5, for example.
  • the fifth reflective layer R5 has a multilayer reflective film made of Al z1 Ga 1-z1 As/Al z2 Ga 1-z2 As (0 ⁇ z1 ⁇ z2 ⁇ 1) doped with an n-type dopant (for example, silicon).
  • the fifth reflective layer R5 is also called n-DBR. More specifically, an n-contact layer 33 is arranged between the fifth reflective layer R5 and the n-GaAs substrate 5.
  • the active layer 7 has, for example, a multiple quantum well layer in which an Al x1 In y1 Ga 1-x1-y1 As layer and an Al x3 In y3 Ga 1-x3-y3 As layer are laminated.
  • the first reflective layer R1 has, for example, a multi-reflective film made of Al z3 Ga 1-z3 As/Al z4 Ga 1-z4 As (0 ⁇ z3 ⁇ z4 ⁇ 1) doped with a p-type dopant (for example, carbon). .
  • the first reflective layer R1 is also called p-DBR.
  • Each semiconductor layer (R5, 6, 7, 8, R1) in the excitation light source 2 can be formed using the MOCVD (metal organic chemical vapor deposition) method or the MBE (crystal growth such as molecular beam epitaxy) method. can. After the crystal growth, processes such as mesa etching for element isolation, formation of an insulating film, and vapor deposition of an electrode film are performed to enable driving by current injection.
  • MOCVD metal organic chemical vapor deposition
  • MBE crystal growth such as molecular beam epitaxy
  • a solid-state laser medium 3 is bonded to the end surface of the n-GaAs substrate 5 of the excitation light source 2 on the side opposite to the fifth reflective layer R5.
  • the end surface of the solid-state laser medium 3 on the excitation light source 2 side will be referred to as a first surface F1
  • the end surface of the solid-state laser medium 3 on the saturable absorber 4 side will be referred to as a second surface F2.
  • the laser pulse output surface of the saturable absorber 4 is referred to as a third surface F3
  • the end surface of the excitation light source 2 on the solid-state laser medium side is referred to as a fourth surface F4.
  • the end surface of the saturable absorber 4 on the solid-state laser medium 3 side is referred to as a fifth surface F5.
  • the fourth surface F4 of the excitation light source 2 is joined to the first surface F1 of the solid-state laser medium 3, and the second surface F2 of the solid-state laser medium 3 is joined to the fifth surface F5 of the saturable absorber 4.
  • the solid-state laser medium 3 is arranged on the rear side of the optical axis of the excitation light source 2.
  • the rear side of the optical axis is the direction in which light on the optical axis is emitted.
  • the solid-state laser medium 3 also has a second reflective layer R2 for a second wavelength ⁇ 2 on a first surface F1 facing the excitation light source 2, and a third reflective layer R2 for a first wavelength ⁇ 1 on a second surface F2 opposite to the first surface F1. It has a reflective layer R3.
  • the light emitting unit 111 includes a first resonator 11 and a second resonator 12.
  • the first resonator 11 resonates light with a first wavelength ⁇ 1 between the first reflective layer R1 in the excitation light source 2 and the third reflective layer R3 in the solid-state laser medium 3.
  • the second resonator 12 resonates light with a second wavelength ⁇ 2 between the second reflective layer R2 in the solid-state laser medium 3 and the fourth reflective layer R4 in the saturable absorber 4.
  • the second resonator 12 is also called a Q-switch solid-state laser resonator.
  • a third reflective layer R3, which is a highly reflective layer, is provided within the solid-state laser medium 3 so that the first resonator 11 can perform stable resonant operation.
  • a partial reflection mirror for emitting light of the first wavelength ⁇ 1 to the outside is arranged at the position of the third reflection layer R3.
  • the third reflective layer R3 is used to confine the power of the excitation light having the first wavelength ⁇ 1 within the first resonator 11. It has a highly reflective layer.
  • first reflective layer R1 the first reflective layer consisting of the excitation light source 2 and the solid-state laser medium 3. It will be done. Therefore, the first resonator 11 has a coupled cavity structure.
  • the solid-state laser medium 3 is excited.
  • Q-switched laser pulse oscillation occurs in the second resonator 12.
  • the second resonator 12 causes light having a second wavelength ⁇ 2, which is the oscillation wavelength, to resonate between the second reflective layer R2 in the solid-state laser medium 3 and the fourth reflective layer R4 in the saturable absorber 4.
  • the second reflective layer R2 is a highly reflective layer, whereas the fourth reflective layer R4 is a partially reflective layer.
  • the fourth reflective layer R4 is provided on the end surface (third surface F3) of the saturable absorber 4, but the fourth reflective layer R4 is disposed on the rear side of the optical axis than the saturable absorber 4. Good too. That is, the fourth reflective layer R4 does not necessarily need to be provided inside or on the surface of the saturable absorber 4.
  • the fourth reflective layer R4 is an output coupling mirror in the second resonator 12.
  • the solid-state laser medium 3 includes, for example, YAG (yttrium aluminum garnet) crystal Yb:YAG doped with Yb (yttribium).
  • the first wavelength (excitation wavelength) ⁇ 1 is 940 nm
  • the second wavelength (oscillation wavelength) ⁇ 2 is 1030 nm.
  • Nd (neodymium)-doped YAG (yttrium aluminum garnet) crystal Nd:YAG is used
  • the first wavelength ⁇ 1 is 808 nm and 885 nm
  • the second wavelength ⁇ 2 is a combination of 946 nm and 1064 nm.
  • the first wavelength ⁇ 1 is 975 nm
  • the second wavelength ⁇ 2 is 1535 nm.
  • absorption wavelength and oscillation wavelength The relationship between absorption wavelength and oscillation wavelength is that light with photon energy corresponding to the energy difference between the energy levels of atoms in the laser medium is absorbed and excited, and guided by the light, transitions to a selected lower level. It is determined by the photon energy emitted when
  • the solid-state laser medium 3 is not limited to Yb:YAG or Nd:YAG, but may also be Nd:GdVO 4 , Nd:KLu(WO 4 ) 2 , Nd:YVO 4 , Nd:YLF, Nd:glass, Yb:YAG, Yb:YLF , Yb: FAP, Yb: SFAP, Yb: YVO, Yb: KYW, Yb: BCBF, Yb: YCOB, Yb: GdCOB, YB: YAB, Er, Yb: YAl 3 (BO 3 ) 4 , Er, Yb: GdAl At least one of the following materials can be used: 3 (BO 3 ) 4 , Er, and Yb:glass. The form is not limited to crystal, and does not hinder the use of ceramic materials.
  • the solid-state laser medium 3 may be a four-level solid-state laser medium 3 or a quasi-three-level solid-state laser medium 3.
  • the saturable absorber 4 includes, for example, a YAG (Cr:YAG) crystal doped with Cr (chromium).
  • the saturable absorber 4 is a material whose transmittance increases when the intensity of incident light exceeds a predetermined threshold.
  • the excitation light of the first wavelength ⁇ 1 from the first resonator increases the transmittance of the saturable absorber 4, and emits a laser pulse of the second wavelength ⁇ 2. This is called a Q-switch.
  • V:YAG can also be used as the material for the saturable absorber 4.
  • other types of saturable absorbers 4 may also be used.
  • a semiconductor saturable absorber mirror (SESAM) having a quantum well may be used. Moreover, this does not preclude the use of an active Q-switch element as the Q-switch.
  • the excitation light source 2, solid-state laser medium 3, and saturable absorber 4 have a laminated structure that is bonded and integrated using a bonding process.
  • bonding processes include surface activated bonding, atomic diffusion bonding, plasma activated bonding, and the like. Alternatively, other bonding (adhesion) processes can be used.
  • the electrodes E1 and E2 for injecting current into the first reflective layer R1 and the fifth reflective layer R5 are arranged so that they are not exposed to at least the surface of the n-GaAs substrate 5. .
  • electrodes E1 and E2 are arranged on the end surface of the excitation light source 2 on the first reflective layer R1 side.
  • the electrode E1 is a p-electrode and is electrically connected to the first reflective layer R1.
  • the electrode E2 is an n-electrode and is formed by filling the inner wall of a trench extending from the first reflective layer R1 to the n-contact layer 33 with a conductive material 35 via an insulating film 34.
  • this end face can be soldered onto a support substrate (not shown). Even when a plurality of light emitting parts 111 are arranged in an array, by arranging the electrodes E1 and E2 on the same end face, this end face can be mounted on a support substrate. Note that the shapes and locations of the electrodes E1 and E2 shown in FIGS. 8A and 8B are merely examples.
  • the light emitting section 111 By making the light emitting section 111 into a layered structure in this way, it is possible to fabricate the layered structure and then separate it into pieces by dicing to form a plurality of chips, or to form a plurality of light emitting sections 111 in an array on one substrate. It becomes easy to form the light emitting element 110 arranged in the same direction.
  • the arithmetic mean roughness Ra of each surface layer needs to be approximately 1 nm or less, preferably 0.5 nm or less.
  • Chemical mechanical polishing (CMP) is used to achieve a surface layer having these arithmetic mean roughnesses.
  • CMP Chemical mechanical polishing
  • a dielectric multilayer film may be disposed between each layer, and each layer may be bonded via the dielectric multilayer film.
  • the refractive index n of the GaAs substrate 5, which is the base substrate of the excitation light source 2 at a wavelength of 940 nm is 3.2, which has a higher refractive index than YAG (n: 1.7) or general dielectric multilayer film materials. has. Therefore, when joining the solid-state laser medium 3 and the saturable absorber 4 to the excitation light source 2, it is necessary to prevent optical loss due to refractive index mismatch.
  • an antireflection film AR coating film or nonreflection coating film
  • an antireflection film that does not reflect the light of the first wavelength ⁇ 1 of the first resonator 11 is disposed between the excitation light source 2 and the solid-state laser medium 3. is desirable.
  • an antireflection film an AR coating film or a nonreflection coating film
  • Polishing may be difficult depending on the bonding material.
  • a material such as SiO 2 that is transparent to the first wavelength ⁇ 1 and the second wavelength ⁇ 2 is formed as a base layer for bonding, and this SiO 2 layer is It may be polished to an average roughness Ra of about 1 nm (preferably 0.5 nm or less) and used as an interface for bonding.
  • the underlayer materials other than SiO 2 can be used, and the material is not limited here. Note that a non-reflective film may be provided between SiO 2 which is the material of the underlayer and the base layer.
  • the dielectric multilayer film includes a short wave pass filter (SWPF), a long wave pass filter (LWPF), a band pass filter (BPF), and anti-reflection protection.
  • SWPF short wave pass filter
  • LWPF long wave pass filter
  • BPF band pass filter
  • AR anti-reflection films
  • PVD physical vapor deposition
  • a film forming method such as vacuum evaporation, ion-assisted evaporation, sputtering, etc. can be used. It does not matter which film formation method is applied.
  • the characteristics of the dielectric multilayer film can be arbitrarily selected.
  • the second reflective layer R2 may be a short wavelength transmission filter film
  • the third reflective layer R3 may be a long wavelength transmission filter film.
  • short wavelength transmission means that light with a first wavelength ⁇ 1 is transmitted and light with a second wavelength ⁇ 2 is reflected.
  • long wavelength transmission means that light with a first wavelength ⁇ 1 is reflected and light with a second wavelength ⁇ 2 is transmitted.
  • a polarizer having a photonic crystal structure that separates the ratio of P-polarized light and S-polarized light may be provided inside the second resonator 12.
  • a diffraction grating may be provided inside the second resonator 12 to convert the polarization state of the emitted laser pulse from random polarization to linear polarization.
  • the operation of the light emitting section 111 will be explained.
  • a current into the active layer 7 through the electrode of the excitation light source 2 laser oscillation at the first wavelength ⁇ 1 occurs within the first resonator 11, and the solid-state laser medium 3 is excited.
  • the saturable absorber 4 is bonded to the solid-state laser medium 3, at the initial stage when laser oscillation with the first wavelength ⁇ 1 occurs, spontaneously emitted light from the solid-state laser medium 3 is absorbed by the saturable absorber 4. Since the light is absorbed, optical feedback by the fourth reflective layer R4 on the emission surface side of the saturable absorber 4 does not occur, and Q-switched laser oscillation does not occur.
  • a nonlinear optical crystal for wavelength conversion can be placed inside the second resonator 12.
  • the wavelength of the laser pulse after wavelength conversion can be changed.
  • wavelength conversion materials include nonlinear optical crystals such as LiNbO 3 , BBO, LBO, CLBO, BiBO, KTP, and SLT.
  • a phase matching material similar to these may be used as the wavelength conversion material.
  • the type of wavelength conversion material does not matter. The wavelength conversion material allows the second wavelength ⁇ 2 to be converted to another wavelength.
  • the light emitting section 111 according to this example is provided with a heat exhaust section to prevent a decrease in laser beam oscillation efficiency and a decrease in optical wavelength conversion efficiency due to thermal interference between the excitation light source and the solid-state laser medium. good.
  • Q-switch operation is achieved by inserting an opening/closing shutter into the laser resonator that prevents oscillation, and then switching the Q value, which is the figure of merit of the resonator, in a short time when sufficient energy has been accumulated in the laser crystal.
  • This is a method to obtain a pulsed laser.
  • a method of controlling the shutter electrically or mechanically is called an active Q-switch, and a method of using the saturable absorber 4 to function as a shutter that opens automatically is called a passive Q-switch.
  • the laser output is turned off by periodically increasing the cavity loss using a saturable absorber 4 inside the cavity. Therefore, a Q-switch is a lossy switch.
  • the light emitting unit 111 can instantaneously emit a strong short pulse (light beam).
  • the Q-switched laser resonator when the laser is not operating, the Q-switched laser resonator is composed of a plane mirror, which generates higher-order modes, but when the laser is operating, a thermal lens is generated in the material, and the laser resonator is It changes transiently to plano-concave or concave-concave. This makes it possible to oscillate in Gaussian transverse mode, that is, it is possible to generate a beam with excellent beam quality, and it is possible to emit a light beam with a small divergence angle (the divergence angle is 2 degrees or less) from the light emitting section 111. becomes.
  • FIG. 9 is a diagram showing an example of the configuration of the light emitting section 111 according to this example.
  • a solid laser medium 3 and a saturable absorber 4 are joined.
  • the excitation light source 2 for example, a surface emitting laser array is used.
  • the second reflective layer R2 is a highly reflective layer
  • the fourth reflective layer R4 is a partially reflective layer.
  • the excitation light source 2 is not joined to the solid-state laser medium 3 and the saturable absorber 4, and a microlens array 41, which is an example of a condensing lens section, is arranged between the excitation light source 2 and the solid-state laser medium 3. Ru.
  • a light beam emitted from the excitation light source 2 is focused on the solid laser medium 3 by the microlens array 41.
  • Other operations are the same as in the first configuration example.
  • the light emitting unit 111 according to this example can also emit a light beam with a small divergence angle.
  • the excitation light source 2 may be a light source arranged one-dimensionally or two-dimensionally perpendicular to the direction in which the first wavelength ⁇ 1 or the second wavelength ⁇ 2 travels.
  • FIG. 10 is a diagram showing the concept of an array light source in which a plurality of light emitting parts 111 and microlenses 41 shown in FIG. 9 are arranged.
  • the excitation light source 2 may be one in which light sources are arranged, or one light emission source in which a plurality of light emitting parts are arranged.
  • the microlenses may be arranged with individual lenses, or may be a single component as a microlens array.
  • FIG. 11 is a diagram showing an example of the configuration of the light emitting section 111 according to this example.
  • the excitation light source 2 uses a surface-emitting laser array, and a plurality of these excitation light sources 2 are arranged.
  • Light beams emitted from a plurality of excitation light sources 2 are focused by one optical lens 45.
  • the focused light beam is incident on a predetermined region of the solid-state laser medium 3.
  • Other operations are the same as those in the first configuration example and the second configuration example.
  • the optical lens 45 can also be a microlens array in which a plurality of lenses are arranged, similarly to FIG. 10.
  • the light beam is focused on a plurality of regions of the solid-state laser medium 3, and a light beam with a small divergence angle that is Q-switched and oscillated in a plurality of arranged regions within the solid-state laser medium 3 is generated.
  • the generated light beam is emitted from the light emitting section 111 as a light beam LB1.
  • the light emitting section 111 can emit a light beam with a narrow divergence angle. That's fine.
  • a surface-emitting laser using a photonic crystal that emits a light beam with a narrow divergence angle may be used, or an edge-emitting laser or a plurality of fiber lasers may be arranged.
  • the light beam LB2 which is a parallel light beam emitted from the illumination device 100 described above, may be made into a linear light beam and irradiated onto the irradiation target 1000.
  • Edge-emitting lasers and surface-emitting lasers used in general ranging systems can only obtain an optical output of several tens of watts (several 100 watts at most) of the light beam from one light emitting part.
  • the light emitting unit 111 according to this embodiment (for example, the light emitting unit 111 having the first configuration example described above) can obtain a light output of about several tens of kW (several 1000 kW in some cases).
  • a predetermined light intensity can be secured and a wide distance measurement range can be obtained.
  • a condensing light into a smaller size at the virtual light emitting point VP higher light density can be obtained, and a wider distance measurement range can be obtained.
  • the distance between the light emitting parts 111 is more than a certain value with respect to the diameter of the condensed beam at the virtual light emitting point VP, a gap is created between the linear light beams.
  • the light emitting elements 110 are arranged diagonally, that is, the light emitting parts 111 are arranged diagonally, so that the gap between the linear light beams is minimized.
  • FOV Field of View
  • a diagonal rectangular frame indicates the light emitting element 110
  • a large circle within the rectangular frame indicates a light emitting section
  • a small circle condenses the light beam emitted from each light emitting section 111.
  • the virtual light emitting point VP formed by is shown.
  • a rectangle with a slightly narrow shape indicates a linear light beam. The contents of these illustrations are the same in FIGS. 17, 19, 22, 23, 24, 25, and 26.
  • the number of light emitting sections 111 is 12 (light emitting sections 111A, 111B, . . . 111L).
  • control is performed to cause the light emitting sections 111 to emit light sequentially from the upper left light emitting section 111A toward the lower right light emitting section 111L.
  • L1 in FIG. 12 is a line-shaped light beam obtained by spreading the light beam emitted from the light emitting unit 111 located at the uppermost left into a line shape.
  • L2 in FIG. 12 is a linear light beam obtained by spreading the light beam emitted from the second light emitting unit 111 from the upper left into a line shape.
  • L3 in FIG. 12 is a linear light beam obtained by spreading the light beam emitted from the third light emitting unit 111 from the upper left into a line.
  • L4 in FIG. 12 is a linear light beam obtained by spreading the light beam emitted from the fourth light emitting unit 111 from the upper left into a line.
  • L6 in FIG. 12 is a linear light beam obtained by spreading the light beam emitted from the fifth light emitting unit 111 from the upper left into a line.
  • L6 in FIG. 12 is a linear light beam obtained by spreading the light beam emitted from the light emitting unit 111 located 6th from the upper left into a line shape.
  • L7 in FIG. 12 is a linear light beam obtained by spreading the light beam emitted from the seventh light emitting unit 111 from the upper left into a line.
  • L8 in FIG. 12 is a linear light beam obtained by spreading the light beam emitted from the light emitting unit 111 located eighth from the upper left into a line shape.
  • L12 in FIG. 12 is a linear light beam obtained by spreading the light beam emitted from the light emitting unit 111 located ninth from the upper left into a line shape.
  • L10 in FIG. 12 is a linear light beam obtained by spreading the light beam emitted from the light emitting unit 111 located 10th from the upper left into a line shape.
  • L11 in FIG. 12 is a linear light beam obtained by spreading the light beam emitted from the 11th light emitting unit 111 from the upper left into a line.
  • L12 in FIG. 12 is a linear light beam obtained by spreading the light beam emitted from the 12th light emitting unit 111 from the upper left into a line shape.
  • the configuration is explained in which the line-shaped light beam is scanned in the vertical direction by spreading the light beam in a line shape in the horizontal direction and sequentially switching the light emission of each light emitting part.
  • the configuration may be such that the light beam is spread in a line and scanned in the horizontal direction, or the light beam may be spread diagonally as necessary.
  • FIG. 13 is a diagram showing the diffusion plate (diffusion plate 51) in this example.
  • the diffusion plate 51 is curved in the vertical direction, but has a linear shape in a direction perpendicular to the vertical direction. Such a shape allows a linear light beam to be generated without distortion.
  • the center of the curve R of the diffuser plate 51 is preferably at the telecenter position of the optical lens 130.
  • the curved diffuser plate is only an example, and the present invention is not limited to this. It is also possible to use a curved linear light beam using a flat diffuser plate, or to generate a linear light beam that matches the curvature aberration on the detector side.
  • the diffuser plate 51 is placed beyond the optical lens 130, that is, between the optical lens 130 and the irradiation target 1000.
  • the irradiation target object 1000 is irradiated with a line-shaped light beam (eg, line-shaped light beams L1 to L12).
  • a lens or a diffraction grating DOE may be used instead of the diffuser plate 51 in this example.
  • a cylindrical lens (cylindrical lens 55) is arranged in place of the optical lens 130, and a diffuser plate (diffuser plate 56) is placed at the tip of the cylindrical lens 55 (between the cylindrical lens 55 and the irradiation target 1000).
  • a diffuser plate diffuser plate 56
  • the Y direction of the light beam from the virtual light emitting point VP becomes approximately parallel light through the cylindrical lens 55.
  • the diffusion plate 56 does not act in the Y direction (vertical direction).
  • the cylindrical lens 55 does not act in the X direction.
  • the light beam is diffused by the diffusion plate 56 and becomes a line-shaped light beam.
  • the diffuser plate 56 allows a line-shaped light beam to be generated and provides the necessary FOV.
  • the linear light beams (for example, linear light beams L1 to L12) emitted from the diffusion plate 56 are irradiated onto the irradiation target 1000, as shown in FIG. 14 and 16, the curved direction of the diffuser plate is different, but in FIG. 14, the diffuser plate 51 is placed ahead of the telecenter position of the optical lens 130, and in FIG. 16, the cylindrical This is an example in which the diffuser plate 56 is placed in front of the telecenter position of the lens 55, and both examples show another example in which the center of the curvature R is at the telecenter position.
  • the configuration may include an optical element for generating the linear light beam described above.
  • the first application example is an example in which a line-shaped light beam generated by the method described above is used to generate a duplicate pattern in the Y direction using a diffraction grating (diffraction grating 58), thereby expanding the FOV.
  • a line-shaped light beam generated by the method described above is used to generate a duplicate pattern in the Y direction using a diffraction grating (diffraction grating 58), thereby expanding the FOV.
  • diffraction grating 58 diffraction grating 58
  • the 12 linear light beams (line-shaped Light beams L1B, L1B...L12B) are obtained.
  • the diffraction grating 58 is placed between the optical lens 130 and the irradiation target 1000.
  • the distance between the optical lens 130 and the diffraction grating 58 should be approximately equal to the telecenter position of the optical lens 130 (focal length of the optical lens 130). desirable.
  • the linear light beam is replicated by the diffraction grating 58, which allows the FOV to be enlarged. Note that from the viewpoint of enlarging the FOV, it is preferable that the linear light beam be duplicated in the vertical direction, but it may be duplicated in either direction.
  • the linear light beam may be duplicated by the diffraction grating 58 so as to be adjacent above and below a predetermined linear light beam.
  • the linear light beam L1A and the linear light beam L1B are duplicated by the diffraction grating 58 so as to be adjacent to each other above and below the linear light beam L1, and the linear light beam L2A is to be adjacent to the above and below the linear light beam L2. and the linear light beam L2B is replicated by the diffraction grating 58.
  • a linear light beam is duplicated by the diffraction grating 58 so as to be adjacent above and below another linear light beam.
  • the duplicated linear light beams allow interpolation between the original linear light beams.
  • a configuration including the diffraction grating 58 described above may be used.
  • This application example is an example in which the number of line-shaped light beams irradiated onto the irradiation target 1000 is increased by driving the optical lens 130 by the driving unit.
  • a drive unit 60 is connected to, for example, an optical lens 130.
  • the optical lens 130 is driven in the Y direction by the drive unit 60, as schematically shown in FIG.
  • a VCM Vehicle Coil Motor
  • a piezo element piezo element
  • a shape memory alloy element a liquid crystal element, etc.
  • the linear light beam By driving the optical lens 130 by the driving unit 60, the linear light beam can be scanned in the driving direction (in this example, the Y direction).
  • the driving direction in this example, the Y direction.
  • the number of linear light beams in the illustrated example, linear light beams L1 to L36
  • the resolution can be improved without narrowing the distance measurement range, and the number of parts can be reduced.
  • the drive unit 60 may be connected to the light emitting element 110 instead of the optical lens 130, and the light emitting element 110 may be driven by the drive unit 60.
  • the light emitting element 110 and the optical lens 130 may be driven by the driving section 60.
  • This application example is also applicable to a configuration in which a linear light beam is not duplicated.
  • the drive unit 60 may have a configuration included in the lighting device 100, or may be driven by another device.
  • the light emitting parts 111 included in the light emitting element 110 are not limited to being arranged in a line, but may be arranged in a two-dimensional manner. Further, the number of light emitting elements 110 included in the lighting device 100 may be plural instead of one. For example, as shown in FIG. 23, the lighting device 100 may include three light emitting elements 110 (light emitting elements 110A, 110B, 110C). Since the desired resolution and FOV can be changed simply by changing the number of light emitting elements 110, it is possible to correspond to many system specifications, and the lighting device 100 can be made into a general-purpose device.
  • the illumination device 100 has a configuration having a plurality of light emitting elements 110
  • the light emitting elements 110 are arranged not in a line but, as shown in FIG. 23, adjacent to each other in the Y direction, for example.
  • each light emitting element 110 is arranged diagonally so that the light emitting part 111 forms a predetermined angle with respect to the longitudinal direction of a virtually projected linear light beam, and these light emitting elements 110 are arranged along the Y direction.
  • the optical lens diameter LD of the optical lens 130 can be used more effectively than in the case where the light emitting elements 110 are arranged in a line, and the lighting device 100 can be made smaller.
  • the horizontal length of the region in which they are arranged is approximately equal to the length of the vertical region.
  • FIG. 25 is a diagram for explaining another example of a light emitting element.
  • the lighting device 100 includes, for example, 12 light emitting elements (light emitting elements 110D, 110E, 110F, . . . 110O).
  • Each light emitting element according to this example has, for example, three light emitting parts 111.
  • Each light emitting element 110 is arranged so that the three light emitting parts 111 are arranged in a direction (Y direction) substantially orthogonal to the line direction (X direction) of the linear light beam, and are arranged so as to be adjacent to each other. be done.
  • the light emitting sections 111 of each light emitting element 110 are controlled to emit light simultaneously. According to such control, for example, first the three light emitting parts 111 of the light emitting element 110D emit light simultaneously, and at the next light emitting timing, the three light emitting parts 111 of the light emitting element 110E adjacent to the light emitting element 110D emit light simultaneously. They emit light at the same time. Then, at the next light emission timing, the three light emitting sections 111 of the light emitting element 110F adjacent to the light emitting element 110E simultaneously emit light. In this way, the light emitting elements to emit light are sequentially switched, and at the end of a certain light emitting period (one frame), the three light emitting parts 111 of the light emitting element 110O emit light.
  • the object 1000 is irradiated with linear light beams L1, L13, and L25. Furthermore, the three light emitting sections 111 of the light emitting element 110E simultaneously emit light, so that the object 1000 is irradiated with linear light beams L2, L14, and L26. The three light emitting sections 111 of the light emitting element 110F simultaneously emit light, so that the object 1000 is irradiated with linear light beams L3, L15, and L27.
  • the object 1000 By simultaneously emitting light from the three light emitting sections 111 of the light emitting element 110G, the object 1000 is irradiated with linear light beams L4, L16, and L28.
  • the three light emitting sections 111 of the light emitting element 110H simultaneously emit light, so that the object 1000 is irradiated with linear light beams L5, L17, and L29.
  • the three light emitting sections 111 of the light emitting element 110I simultaneously emit light, so that the object 1000 is irradiated with linear light beams L6, L18, and L30.
  • the object 1000 is irradiated with linear light beams L7, L19, and L31.
  • the object 1000 By simultaneously emitting light from the three light emitting sections 111 of the light emitting element 110K, the object 1000 is irradiated with linear light beams L8, L20, and L32.
  • the three light emitting sections 111 of the light emitting element 110L simultaneously emit light, so that the object 1000 is irradiated with linear light beams L9, L21, and L33.
  • the object 1000 is irradiated with linear light beams L10, L22, and L34.
  • the three light emitting sections 111 of the light emitting element 110N simultaneously emit light, so that the object 1000 is irradiated with linear light beams L11, L23, and L35.
  • the three light emitting sections 111 of the light emitting element 110O simultaneously emit light, so that the object 1000 is irradiated with linear light beams L12, L24, and L36.
  • the line-shaped light beam based on the light beam emitted from the light emitting part of a certain light emitting element is different from that of another light emitting element (second light emitting element) adjacent to the light emitting element.
  • Interpolation is performed by a line-shaped light beam based on a light beam emitted from a light emitting section having a light emitting section.
  • the interval between the light emitting parts 111 of one light emitting element 110 can be increased without increasing the size of the light emitting element 110 and without reducing the number of linear light beams. Can be done.
  • the light emitting parts 111 (three light emitting parts in this example) of one light emitting element 110 emit light at the same time, the number of light beams that enter the pupil is limited (for example, one light beam (limited), the safety of the lighting device 100 can be improved.
  • the light emitting section 111 can emit a higher light output, and a wider distance measurement range can be obtained.
  • one light emitting element 110 may have a plurality of light emitting parts 111 arranged two-dimensionally. By consolidating the light emitting parts 111 into one light emitting element 110, assembly of the lighting device 100 becomes easy. In this case, all of the light emitting sections 111 may be made to emit light, or the plurality of light emitting sections 111 may be switched in a predetermined order (scanning direction) to emit light. Furthermore, wiring within the light emitting element 110 may be added to switch the light emission of the plurality of light emitting sections 111 in the same manner as in the example described using FIG. 25.
  • FIG. 27 shows an example of the configuration of the drive circuit of the lighting device 100.
  • the light emitting element 110 has a plurality of light emitting parts 111.
  • the number of light emitting sections 111 will be described as 12 (light emitting sections 111A, 111B, . . . , 111L, see FIG. 12).
  • the anode of the light emitting section 111A is connected to the power supply VCC via the switch 75A.
  • the anode of the light emitting section 111B is connected to the power supply VCC via the switch 75B.
  • the anode of the light emitting section 111C is connected to the power supply VCC via a switch 75C.
  • the anodes of other light emitting parts 111 are also connected to the power supply VCC via switches.
  • the cathodes of the light emitting parts 111A to 111L are shared, and each cathode is connected to the switching element 76.
  • the switching element 76 for example, an n-type MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) can be applied.
  • the switching element 76 may be a p-type MOSFET or a bipolar transistor.
  • a selection signal is supplied to the switches 75A to 75L. Depending on the selection signal, only the switch corresponding to the light emitting unit 111 to be emitted is turned on, and the other switches are turned off. Further, a control signal is supplied to the switching element 76. For example, when the timing for emitting light comes, the switching element 76 is turned on by being supplied with a control signal, thereby turning on the light emitting section 111, in other words, the light emitting section whose anode is connected to the power supply VCC. A current flows through 111, and the light emitting unit 111 to be emitted emits light. Generation of selection signals and control signals and switching control based on these are performed by, for example, the control unit 200.
  • the lighting device 100 may be configured to include a control section, and the control section may perform the above-mentioned switching control and the like.
  • FIG. 28 shows an example of a light emission sequence of the lighting device 100.
  • a section in which one ranging image is generated in the ranging device 1 is called a "frame", and one frame is set to a time of, for example, 33.3 msec (frequency: 30 Hz).
  • the distance measuring pulse for example, a light pulse of several hundred psec is emitted with a period of 100 ⁇ sec.
  • a plurality of accumulation sections with different conditions can be provided within a frame.
  • the next light emitting unit is caused to emit light multiple times (next) (next).
  • the light emitting unit 111A is caused to emit light 10 times to irradiate the linear light beam L1 to the irradiation target 1000 10 times
  • the light emitting unit 111B is caused to emit light 10 times to irradiate the linear light beam L2 to the irradiation target 1000 10 times. irradiate.
  • One frame is formed by all the light emitting parts (light emitting parts 111A to 111L) emitting light and the linear light beams L1 to L12 being irradiated onto the irradiation target 1000.
  • the number of times the light is emitted is not limited to 10 times, but may be any other number of times.
  • histogram processing on the light receiving section 210 and distance measuring section 220 side becomes easy.
  • FIG. 29 shows another example of the light emission sequence of the lighting device 100.
  • one frame is formed by causing the light emitting units 111A to 111L to emit light once each, and then repeating this process multiple times.
  • the number of repetitions is shown as eight in FIG. 29, it is not limited to this.
  • the light emission sequence according to this example since the light emission location is switched, safety based on eye safety can be improved.
  • FIG. 30 shows another configuration example of the drive circuit of the lighting device 100.
  • the drive circuit shown in FIG. 30 is a drive circuit corresponding to a configuration in which the lighting device 100 has a plurality of light emitting elements 110 (for example, three light emitting elements, see FIG. 24).
  • the anode side of the light emitting section 111 included in the light emitting element 110A is shared and connected to the power supply VCC via the switch 81A.
  • the anode of the light emitting section 111 included in the light emitting element 110B is shared and connected to the power supply VCC via the switch 81B.
  • the anode side of the light emitting section 111 included in the light emitting element 110C is shared and connected to the power supply VCC via the switch 81C.
  • the cathode of the light emitting section 111 of each light emitting element is shared and connected to the switching element 82 .
  • a selection signal is supplied to the switches 81A, 81B, and 81C. Depending on the selection signal, only the switch corresponding to the light emitting element 110 to emit light is turned on, and the other switches are turned off. Further, a control signal is supplied to the switching element 82. For example, when the timing for emitting light comes, the switching element 82 is turned on by being supplied with a control signal, thereby turning on the light emitting section 111, in other words, the light emitting element whose anode is connected to the power supply VCC. A current flows through the light emitting unit 111 included in the light emitting element 110, and the light emitting element 110 to emit light emits light. Generation of selection signals and control signals and switching control based on these are performed by, for example, the control unit 200.
  • the lighting device 100 may be configured to include a control section, and the control section may perform the above-mentioned switching control and the like.
  • a switch may be provided between the power supply VCC and each light emitting section 111 to enable individual driving of the light emitting sections 111 in the light emitting element 110.
  • the light output of the light beam from the light emitting section can be increased, and the divergence angle can be decreased. This makes it possible to reduce the diameter of each of the lens sections disposed in front of the light emitting section, and to expand the distance measurement range.
  • the divergence angle can be reduced, the interval between the light emitting parts can be reduced to prevent interference between the light beam emitted from one light emitting part and the light beam emitted from the light emitting part adjacent to that light emitting part. There's no need to make it bigger. Therefore, the lighting device can be made smaller. Furthermore, it becomes possible to manufacture the lighting device at low cost. Note that the effects described in this specification are merely examples and are not limiting, and other effects may also be present.
  • the technology according to the present technology is not limited to the above-mentioned application examples, but can be applied to various products.
  • the technology related to this technology can be applied to any type of transportation such as automobiles, electric vehicles, hybrid electric vehicles, motorcycles, bicycles, personal mobility, airplanes, drones, ships, robots, construction machinery, agricultural machinery (tractors), etc. It may also be realized as a device mounted on the body.
  • FIG. 31 is a block diagram showing a schematic configuration example of a vehicle control system 7000, which is an example of a mobile object control system to which the technology according to the present technology can be applied.
  • Vehicle control system 7000 includes multiple electronic control units connected via communication network 7010.
  • the vehicle control system 7000 includes a drive system control unit 7100, a body system control unit 7200, a battery control unit 7300, an outside vehicle information detection unit 7400, an inside vehicle information detection unit 7500, and an integrated control unit 7600. .
  • the communication network 7010 connecting these plurality of control units is, for example, a communication network based on any standard such as CAN (Controller Area Network), LIN (Local Interconnect Network), LAN (Local Area Network), or FlexRay (registered trademark). It may be an in-vehicle communication network.
  • CAN Controller Area Network
  • LIN Local Interconnect Network
  • LAN Local Area Network
  • FlexRay registered trademark
  • Each control unit includes a microcomputer that performs calculation processing according to various programs, a storage unit that stores programs executed by the microcomputer or parameters used in various calculations, and a drive circuit that drives various devices to be controlled. Equipped with.
  • Each control unit is equipped with a network I/F for communicating with other control units via the communication network 7010, and also communicates with devices or sensors inside and outside the vehicle through wired or wireless communication.
  • a communication I/F is provided for communication.
  • the functional configuration of the integrated control unit 7600 includes a microcomputer 7610, a general-purpose communication I/F 7620, a dedicated communication I/F 7630, a positioning section 7640, a beacon receiving section 7650, an in-vehicle device I/F 7660, an audio image output section 7670, An in-vehicle network I/F 7680 and a storage unit 7690 are illustrated.
  • the other control units similarly include a microcomputer, a communication I/F, a storage section, and the like.
  • the drive system control unit 7100 controls the operation of devices related to the drive system of the vehicle according to various programs.
  • the drive system control unit 7100 includes a drive force generation device such as an internal combustion engine or a drive motor that generates drive force for the vehicle, a drive force transmission mechanism that transmits the drive force to wheels, and a drive force transmission mechanism that controls the steering angle of the vehicle. It functions as a control device for a steering mechanism to adjust and a braking device to generate braking force for the vehicle.
  • the drive system control unit 7100 may have a function as a control device such as ABS (Antilock Brake System) or ESC (Electronic Stability Control).
  • a vehicle state detection section 7110 is connected to the drive system control unit 7100.
  • the vehicle state detection unit 7110 includes, for example, a gyro sensor that detects the angular velocity of the axial rotation of the vehicle body, an acceleration sensor that detects the acceleration of the vehicle, or an operation amount of an accelerator pedal, an operation amount of a brake pedal, or a steering wheel. At least one sensor for detecting angle, engine speed, wheel rotation speed, etc. is included.
  • the drive system control unit 7100 performs arithmetic processing using signals input from the vehicle state detection section 7110, and controls the internal combustion engine, the drive motor, the electric power steering device, the brake device, and the like.
  • the body system control unit 7200 controls the operations of various devices installed in the vehicle body according to various programs.
  • the body system control unit 7200 functions as a keyless entry system, a smart key system, a power window device, or a control device for various lamps such as a headlamp, a back lamp, a brake lamp, a turn signal, or a fog lamp.
  • radio waves transmitted from a portable device that replaces a key or signals from various switches may be input to the body control unit 7200.
  • the body system control unit 7200 receives input of these radio waves or signals, and controls the door lock device, power window device, lamp, etc. of the vehicle.
  • the battery control unit 7300 controls the secondary battery 7310, which is a power supply source for the drive motor, according to various programs. For example, information such as battery temperature, battery output voltage, or remaining battery capacity is input to the battery control unit 7300 from a battery device including a secondary battery 7310. The battery control unit 7300 performs arithmetic processing using these signals, and controls the temperature adjustment of the secondary battery 7310 or the cooling device provided in the battery device.
  • the external information detection unit 7400 detects information external to the vehicle in which the vehicle control system 7000 is mounted. For example, at least one of an imaging section 7410 and an external information detection section 7420 is connected to the vehicle exterior information detection unit 7400.
  • the imaging unit 7410 includes at least one of a ToF (Time Of Flight) camera, a stereo camera, a monocular camera, an infrared camera, and other cameras.
  • the vehicle external information detection unit 7420 includes, for example, an environmental sensor for detecting the current weather or weather, or a sensor for detecting other vehicles, obstacles, pedestrians, etc. around the vehicle equipped with the vehicle control system 7000. At least one of the surrounding information detection sensors is included.
  • the environmental sensor may be, for example, at least one of a raindrop sensor that detects rainy weather, a fog sensor that detects fog, a sunlight sensor that detects the degree of sunlight, and a snow sensor that detects snowfall.
  • the surrounding information detection sensor may be at least one of an ultrasonic sensor, a radar device, and a LIDAR (Light Detection and Ranging, Laser Imaging Detection and Ranging) device.
  • the imaging section 7410 and the vehicle external information detection section 7420 may be provided as independent sensors or devices, or may be provided as a device in which a plurality of sensors or devices are integrated.
  • FIG. 32 shows an example of the installation positions of the imaging section 7410 and the vehicle external information detection section 7420.
  • the imaging units 7910, 7912, 7914, 7916, and 7918 are provided, for example, at at least one of the front nose, side mirrors, rear bumper, back door, and upper part of the windshield inside the vehicle 7900.
  • An imaging unit 7910 provided in the front nose and an imaging unit 7918 provided above the windshield inside the vehicle mainly acquire images in front of the vehicle 7900.
  • Imaging units 7912 and 7914 provided in the side mirrors mainly capture images of the sides of the vehicle 7900.
  • An imaging unit 7916 provided in the rear bumper or back door mainly acquires images of the rear of the vehicle 7900.
  • the imaging unit 7918 provided above the windshield inside the vehicle is mainly used to detect preceding vehicles, pedestrians, obstacles, traffic lights, traffic signs, lanes, and the like.
  • FIG. 32 shows an example of the imaging range of each of the imaging units 7910, 7912, 7914, and 7916.
  • Imaging range a indicates the imaging range of imaging unit 7910 provided on the front nose
  • imaging ranges b and c indicate imaging ranges of imaging units 7912 and 7914 provided on the side mirrors, respectively
  • imaging range d is The imaging range of an imaging unit 7916 provided in the rear bumper or back door is shown. For example, by superimposing image data captured by imaging units 7910, 7912, 7914, and 7916, an overhead image of vehicle 7900 viewed from above can be obtained.
  • the external information detection units 7920, 7922, 7924, 7926, 7928, and 7930 provided at the front, rear, sides, corners, and the upper part of the windshield inside the vehicle 7900 may be, for example, ultrasonic sensors or radar devices.
  • External information detection units 7920, 7926, and 7930 provided on the front nose, rear bumper, back door, and upper part of the windshield inside the vehicle 7900 may be, for example, LIDAR devices.
  • These external information detection units 7920 to 7930 are mainly used to detect preceding vehicles, pedestrians, obstacles, and the like.
  • the vehicle exterior information detection unit 7400 causes the imaging unit 7410 to capture an image of the exterior of the vehicle, and receives the captured image data. Further, the vehicle exterior information detection unit 7400 receives detection information from the vehicle exterior information detection section 7420 to which it is connected.
  • the external information detection unit 7420 is an ultrasonic sensor, a radar device, or a LIDAR device
  • the external information detection unit 7400 transmits ultrasonic waves or electromagnetic waves, and receives information on the received reflected waves.
  • the external information detection unit 7400 may perform object detection processing such as a person, car, obstacle, sign, or text on the road surface or distance detection processing based on the received information.
  • the external information detection unit 7400 may perform environment recognition processing to recognize rain, fog, road surface conditions, etc. based on the received information.
  • the vehicle exterior information detection unit 7400 may calculate the distance to the object outside the vehicle based on the received information.
  • the outside-vehicle information detection unit 7400 may perform image recognition processing or distance detection processing for recognizing people, cars, obstacles, signs, characters on the road, etc., based on the received image data.
  • the outside-vehicle information detection unit 7400 performs processing such as distortion correction or alignment on the received image data, and also synthesizes image data captured by different imaging units 7410 to generate an overhead image or a panoramic image. Good too.
  • the outside-vehicle information detection unit 7400 may perform viewpoint conversion processing using image data captured by different imaging units 7410.
  • the in-vehicle information detection unit 7500 detects in-vehicle information.
  • a driver condition detection section 7510 that detects the condition of the driver is connected to the in-vehicle information detection unit 7500.
  • the driver state detection unit 7510 may include a camera that images the driver, a biosensor that detects biometric information of the driver, a microphone that collects audio inside the vehicle, or the like.
  • the biosensor is provided, for example, on a seat surface or a steering wheel, and detects biometric information of a passenger sitting on a seat or a driver holding a steering wheel.
  • the in-vehicle information detection unit 7500 may calculate the degree of fatigue or concentration of the driver based on the detection information input from the driver state detection unit 7510, or determine whether the driver is dozing off. You may.
  • the in-vehicle information detection unit 7500 may perform processing such as noise canceling processing on the collected audio signal.
  • the integrated control unit 7600 controls overall operations within the vehicle control system 7000 according to various programs.
  • An input section 7800 is connected to the integrated control unit 7600.
  • the input unit 7800 is realized by, for example, a device such as a touch panel, a button, a microphone, a switch, or a lever that can be inputted by the passenger.
  • the integrated control unit 7600 may be input with data obtained by voice recognition of voice input through a microphone.
  • the input unit 7800 may be, for example, a remote control device that uses infrared rays or other radio waves, or an externally connected device such as a mobile phone or a PDA (Personal Digital Assistant) that is compatible with the operation of the vehicle control system 7000. You can.
  • the input unit 7800 may be, for example, a camera, in which case the passenger can input information using gestures. Alternatively, data obtained by detecting the movement of a wearable device worn by a passenger may be input. Further, the input section 7800 may include, for example, an input control circuit that generates an input signal based on information input by a passenger or the like using the input section 7800 described above and outputs it to the integrated control unit 7600. By operating this input unit 7800, a passenger or the like inputs various data to the vehicle control system 7000 and instructs processing operations.
  • the storage unit 7690 may include a ROM (Read Only Memory) that stores various programs executed by the microcomputer, and a RAM (Random Access Memory) that stores various parameters, calculation results, sensor values, etc. Further, the storage unit 7690 may be realized by a magnetic storage device such as a HDD (Hard Disc Drive), a semiconductor storage device, an optical storage device, a magneto-optical storage device, or the like.
  • ROM Read Only Memory
  • RAM Random Access Memory
  • the general-purpose communication I/F 7620 is a general-purpose communication I/F that mediates communication with various devices existing in the external environment 7750.
  • the general-purpose communication I/F7620 supports cellular communication protocols such as GSM (registered trademark) (Global System of Mobile communications), WiMAX (registered trademark), LTE (registered trademark) (Long Term Evolution), or LTE-A (LTE-Advanced). , or other wireless communication protocols such as wireless LAN (also referred to as Wi-Fi (registered trademark)) or Bluetooth (registered trademark).
  • the general-purpose communication I/F 7620 connects to a device (for example, an application server or a control server) existing on an external network (for example, the Internet, a cloud network, or an operator-specific network) via a base station or an access point, for example. You may.
  • the general-purpose communication I/F 7620 uses, for example, P2P (Peer To Peer) technology to communicate with a terminal located near the vehicle (for example, a driver, a pedestrian, a store terminal, or an MTC (Machine Type Communication) terminal). You can also connect it with a device (for example, an application server or a control server) existing on an external network (for example, the Internet, a cloud network, or an operator-specific network) via a base station or an access point, for example. You may.
  • P2P Peer To Peer
  • a terminal located near the vehicle for example, a driver, a pedestrian, a store terminal, or an MTC (Machine Type Communication) terminal. You can also connect it with
  • the dedicated communication I/F 7630 is a communication I/F that supports communication protocols developed for use in vehicles.
  • the dedicated communication I/F 7630 uses standard protocols such as WAVE (Wireless Access in Vehicle Environment), which is a combination of lower layer IEEE802.11p and upper layer IEEE1609, DSRC (Dedicated Short Range Communications), or cellular communication protocol. May be implemented.
  • the dedicated communication I/F 7630 typically supports vehicle-to-vehicle communication, vehicle-to-infrastructure communication, vehicle-to-home communication, and vehicle-to-pedestrian communication. ) communications, a concept that includes one or more of the following:
  • the positioning unit 7640 performs positioning by receiving, for example, a GNSS signal from a GNSS (Global Navigation Satellite System) satellite (for example, a GPS signal from a GPS (Global Positioning System) satellite), and determines the latitude, longitude, and altitude of the vehicle. Generate location information including. Note that the positioning unit 7640 may specify the current location by exchanging signals with a wireless access point, or may acquire location information from a terminal such as a mobile phone, PHS, or smartphone that has a positioning function.
  • GNSS Global Navigation Satellite System
  • GPS Global Positioning System
  • the beacon receiving unit 7650 receives, for example, radio waves or electromagnetic waves transmitted from a wireless station installed on the road, and obtains information such as the current location, traffic jams, road closures, or required travel time. Note that the function of the beacon receiving unit 7650 may be included in the dedicated communication I/F 7630 described above.
  • the in-vehicle device I/F 7660 is a communication interface that mediates connections between the microcomputer 7610 and various in-vehicle devices 7760 present in the vehicle.
  • the in-vehicle device I/F 7660 may establish a wireless connection using a wireless communication protocol such as wireless LAN, Bluetooth (registered trademark), NFC (Near Field Communication), or WUSB (Wireless USB).
  • the in-vehicle device I/F 7660 connects to USB (Universal Serial Bus), HDMI (registered trademark) (High-Definition Multimedia Interface), or MHL (Mobile High).
  • USB Universal Serial Bus
  • HDMI registered trademark
  • MHL Mobile High
  • the in-vehicle device 7760 may include, for example, at least one of a mobile device or wearable device owned by a passenger, or an information device carried into or attached to the vehicle.
  • the in-vehicle device 7760 may include a navigation device that searches for a route to an arbitrary destination. or exchange data signals.
  • the in-vehicle network I/F 7680 is an interface that mediates communication between the microcomputer 7610 and the communication network 7010.
  • the in-vehicle network I/F 7680 transmits and receives signals and the like in accordance with a predetermined protocol supported by the communication network 7010.
  • the microcomputer 7610 of the integrated control unit 7600 communicates via at least one of a general-purpose communication I/F 7620, a dedicated communication I/F 7630, a positioning section 7640, a beacon reception section 7650, an in-vehicle device I/F 7660, and an in-vehicle network I/F 7680.
  • the vehicle control system 7000 is controlled according to various programs based on the information obtained. For example, the microcomputer 7610 calculates a control target value for a driving force generating device, a steering mechanism, or a braking device based on acquired information inside and outside the vehicle, and outputs a control command to the drive system control unit 7100. Good too.
  • the microcomputer 7610 realizes ADAS (Advanced Driver Assistance System) functions, including vehicle collision avoidance or impact mitigation, following distance based on vehicle distance, vehicle speed maintenance, vehicle collision warning, vehicle lane departure warning, etc. Coordination control may be performed for the purpose of
  • the microcomputer 7610 controls the driving force generating device, steering mechanism, braking device, etc. based on the acquired information about the surroundings of the vehicle, so that the microcomputer 7610 can drive the vehicle autonomously without depending on the driver's operation. Cooperative control for the purpose of driving etc. may also be performed.
  • ADAS Advanced Driver Assistance System
  • the microcomputer 7610 acquires information through at least one of a general-purpose communication I/F 7620, a dedicated communication I/F 7630, a positioning section 7640, a beacon reception section 7650, an in-vehicle device I/F 7660, and an in-vehicle network I/F 7680. Based on this, three-dimensional distance information between the vehicle and surrounding objects such as structures and people may be generated, and local map information including surrounding information of the current position of the vehicle may be generated. Furthermore, the microcomputer 7610 may predict dangers such as a vehicle collision, a pedestrian approaching, or entering a closed road, based on the acquired information, and generate a warning signal.
  • the warning signal may be, for example, a signal for generating a warning sound or lighting a warning lamp.
  • the audio and image output unit 7670 transmits an output signal of at least one of audio and images to an output device that can visually or audibly notify information to the occupants of the vehicle or to the outside of the vehicle.
  • an audio speaker 7710, a display section 7720, and an instrument panel 7730 are illustrated as output devices.
  • Display unit 7720 may include, for example, at least one of an on-board display and a head-up display.
  • the display section 7720 may have an AR (Augmented Reality) display function.
  • the output device may be other devices other than these devices, such as headphones, a wearable device such as a glasses-type display worn by the passenger, a projector, or a lamp.
  • the output device When the output device is a display device, the display device displays results obtained from various processes performed by the microcomputer 7610 or information received from other control units in various formats such as text, images, tables, graphs, etc. Show it visually. Further, when the output device is an audio output device, the audio output device converts an audio signal consisting of reproduced audio data or acoustic data into an analog signal and audibly outputs the analog signal.
  • control units connected via the communication network 7010 may be integrated as one control unit.
  • each control unit may be composed of a plurality of control units.
  • vehicle control system 7000 may include another control unit not shown.
  • some or all of the functions performed by one of the control units may be provided to another control unit.
  • predetermined arithmetic processing may be performed by any one of the control units.
  • sensors or devices connected to any control unit may be connected to other control units, and multiple control units may send and receive detection information to and from each other via communication network 7010. .
  • the lighting device of the present technology can be applied to, for example, the vehicle exterior information detection section.
  • the present technology can also have the following configuration.
  • the divergence angle of the light beam emitted from the light emitting part is 2 degrees or less, The lighting device according to (1).
  • the light emitting section includes an excitation light source layer, a laser medium, and a saturable absorber. The lighting device according to (1) or (2).
  • the light emitting section has a structure in which the excitation light source layer, the laser medium, and the saturable absorber are stacked.
  • the excitation light source layer has a first reflective layer for a first wavelength and an active layer that performs surface emission of the first wavelength
  • the laser medium is disposed on the rear side of the optical axis of the excitation light source layer, and has a second reflective layer for a second wavelength on a first surface facing the excitation light source layer, and a second surface opposite to the first surface.
  • a third reflective layer for the first wavelength a fourth reflective layer for the second wavelength, disposed on the second surface or disposed on the rear side of the optical axis from the second surface; a first resonator that causes light of the first wavelength to resonate between the first reflective layer and the third reflective layer; a second resonator that causes light of the second wavelength to resonate between the second reflective layer and the fourth reflective layer;
  • the saturable absorber has the fourth reflective layer on a third surface opposite to the laser medium,
  • the optical axis of the excitation light source layer, the optical axis of the laser medium, and the optical axis of the saturable absorber are arranged on one axis, The lighting device according to (3) or (4).
  • the laser medium and the saturable absorber are arranged in a stacked manner, comprising a condensing lens section that condenses the light beam emitted from the excitation light source layer onto the laser medium;
  • the lighting device according to (3) comprising an optical element that converts the light beam emitted from the converter into a line-shaped light beam;
  • (8) comprising a diffraction grating that divides the linear light beam into a plurality of parts;
  • the driving section is configured by any one of a VCM, a piezo element, a shape memory alloy element, and a liquid crystal element.
  • the lighting device according to (10). (12) a first light emitting element including a plurality of light emitting parts arranged in a direction substantially perpendicular to the line direction of the linear light beam; a second light emitting element adjacent to the first light emitting element and including a plurality of light emitting parts arranged in a direction substantially perpendicular to the line direction of the linear light beam; Line-shaped light beams based on the light beams emitted from the first light-emitting element are interpolated by line-shaped light beams based on the light beams emitted from the second light-emitting element.
  • the lighting device according to (7).
  • (13) The lighting device according to any one of (1) to (12), a control unit that controls the lighting device; a light receiving unit that receives reflected light reflected from an object; a distance measuring unit that calculates a measured distance from image data obtained by the light receiving unit; A distance measuring device with a (14)
  • An in-vehicle device having the distance measuring device according to item (13).

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

例えば、照明装置を小型化する。　アレイ状に配列され、それぞれが略平行の光ビームを出射する複数の発光部と、各発光部から出射される光ビームを集光する集光部と、集光後に発散する光ビームを略平行にするとともに、それぞれの光ビームの出射方向を変える変換部と、を有する照明装置である。

Description

照明装置、測距装置及び車載装置
　本開示は、照明装置、測距装置及び車載装置に関する。
　光ビームを対象物に照射する照明装置は、光の空間伝搬時間計測（ＴｏＦ：Time of Flight）や構造化光（Structured Light）による距離の測定や、物体の形状認識などの用途に利用される。係る照明装置として、下記の特許文献１は、光源として面発光半導体レーザ(ＶＣＳＥＬ:Vertical Cavity Surface Emitting Laser)を用い、ＶＣＳＥＬから出射された光ビームをレンズアレイで集光することで焦点を結び、仮想的な発光点（以下、仮想発光点と適宜、称する）を形成するようにした照明装置を開示する。
米国特許出願公開２０１８/３２９０６５号明細書
　この分野では、照明装置を多くの分野に適用させるためにも、照明装置を極力、小型化することが望まれている。
　本開示は、より小型化を可能とした照明装置、及び、当該照明装置を備える測距装置及び車載装置を提供することを目的の一つとする。
　本開示は、例えば、
　アレイ状に配列され、それぞれが略平行の光ビームを出射する複数の発光部と、
　各発光部から出射される光ビームを集光する集光部と、
　集光後に発散する光ビームを略平行にするとともに、それぞれの光ビームの出射方向を変える変換部と、
　を有する照明装置である。
　また、本開示は、例えば、
　上述した照明装置と、
　照明装置を制御する制御部と、
　対象物から反射された反射光を受光する受光部と、
　受光部で得られた画像データから測距距離を算出する測距部と、
　を有する
　測距装置である。
　本開示は、上述した測距装置を有する車載装置でもよい。
一実施形態に係る照明装置を備えた測距装置の概略構成の一例を表すブロック図である。 一実施形態に係る照明装置の構成例を説明するための図である。 一実施形態に係る発光部から出射される光ビームを模式的に示した図である。 一実施形態に係るマイクロレンズアレイを説明するための図である。 一実施形態に係るマイクロレンズアレイを説明するための図である。 一実施形態に係るマイクロレンズアレイを説明するための図である。 一実施形態に係る照明装置の各要素に関する具体的な数値例を説明するための図である。 Ａ及びＢは、一実施形態に係る発光部の第１の構成例を説明するための図である。 一実施形態に係る発光部の第２の構成例を説明するための図である。 一実施形態に係る発光部の第２の構成例の変形例を説明するための図である。 一実施形態に係る発光部の第３の構成例を説明するための図である。 一実施形態に係るライン状光ビームの一例を説明するための図である。 一実施形態に係る拡散板を説明するための図である。 一実施形態に係る拡散板の配置例を説明するための図である。 Ａ及びＢは、一実施形態に係るシリンドリカルレンズ及び拡散板の作用の一例を説明するための図である。 一実施形態に係るシリンドリカルレンズ及び拡散板の配置例を説明するための図である。 複製されたライン状光ビームの一例を説明するための図である。 一実施形態に係る回折格子の配置例を説明するための図である。 複製されたライン状光ビームの別の例を説明するための図である。 一実施形態に係る駆動部を有する構成についての説明がなされる際に参照される図である。 一実施形態に係る駆動部を有する構成についての説明がなされる際に参照される図である。 走査されたライン状光ビームの例を説明するための図である。 一実施形態に係る複数の発光素子の配置態様例を説明するための図である。 一実施形態に係る光学レンズ径及び複数の発光素子の配置態様例を併せて示した図である。 一実施形態に係る発光素子の別の例を説明するための図である。 一実施形態に係る発光素子の別の例を説明するための図である。 一実施形態に係る照明装置の駆動方法についての説明がなされる際に参照される図である。 一実施形態に係る照明装置の駆動方法についての説明がなされる際に参照される図である。 一実施形態に係る照明装置の駆動方法についての説明がなされる際に参照される図である。 一実施形態に係る照明装置の駆動方法についての説明がなされる際に参照される図である。 車両制御システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。 車外情報検出部及び撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。
　以下、本開示の実施形態等について図面を参照しながら説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
＜本開示で考慮すべき問題＞
＜一実施形態＞
＜変形例＞
＜応用例＞
　なお、以下に説明する実施形態等は本開示の好適な具体例であり、本開示の内容がこれらの実施形態等に限定されるものではない。なお、以下の説明において、実質的に同一の機能構成を有するものについては同一の符号を付し、重複説明を適宜省略する。また、図示が煩雑になることを防止するために、一部の構成のみに参照符号を付す場合や、図示を簡略化したり、拡大／縮小する場合もある。
＜本開示で考慮すべき問題＞
　始めに、本開示の理解を容易とするために、本開示で考慮すべき問題について説明する。発光部からの光ビームを、仮想発光点において、より小さく（より高光密度に）集光するためには、レンズアレイの焦点距離が短いことが望まれる。特許文献１に記載されているように、発光部としてＶＣＳＥＬを用いた場合には、ＶＣＳＥＬからの光ビームは１０度を越えるような発散光となっており、レンズアレイの焦点距離が短いと、仮想発光点からの光ビームの発散角が更に大きくなる。光ビームの発散角が大きくなると、光ビームの進行方向に配置される平行光ビームを形成するための光学レンズが大型化してしまう。また、配列された発光部の周辺の領域からの光ビームに対してレンズ収差を抑えることが難しくなり、発光部の周辺の測距性能が劣化したり、レンズ収差を抑制するためにレンズ構成が複雑となり照明装置が高価になってしまう。さらに、発光部からの光ビームが、発散角が大きい発散光である場合、発光部の面積に対して、発光部の先に配置されるレンズアレイのそれぞれの径（レンズ径）をより大きくする必要がある。発光部とレンズアレイとの距離が大きくなると、レンズアレイのレンズ径は更に大きくなってしまう。また、ある発光部から出射される光ビームと、当該発光部に隣接する発光部から出射される光ビームとの干渉を防ぐために、発光部間の間隔を大きくする必要が生じ、結果として照明装置が大型化してしまう。また、発光部により構成される発光素子が高価になってしまう。以上の点を踏まえつつ、本開示の一実施形態について詳細に説明する。
＜一実施形態＞
［測距装置の構成例］
　図１は、一実施形態に係る照明装置（照明装置１００）が適用可能な測距装置（測距装置１）の構成例を示すブロック図である。測距装置１は、照射対象物１０００に対して照明光を照射して、その反射光を受光することにより、照射対象物１０００との距離（測距距離）を測定する装置である。測距装置１は、例えば、ＴｏＦ方式、又は、Structured Light方式を採用している。ＴｏＦ方式は、測距装置から照射した光ビームが測定対象物で反射され、測距装置に戻ってくるまでの時間から距離を算出する方式である。Structured Light方式は、測距装置から測定対象物に光ビームのパターンを照射し、反射され測距装置に戻ってきた光ビームのパターンの歪みから距離を算出する方式である。
　測距装置１は、照明装置１００と、照明装置１００を制御する制御部２００と、受光部２１０と、測距部２２０とを備える。照明装置１００は、制御部２００からの矩形波の発光制御信号ＣＬＫｐに同期して照射光を発生するものである。この発光制御信号ＣＬＫｐは、周期信号であればよく、矩形波に限定されるものではない。例えば、発光制御信号ＣＬＫｐは、サイン波であってもよい。
　受光部２１０は、照射対象物１０００から反射した反射光を受光して、垂直同期信号ＶＳＹＮＣの周期が経過するたびに、その周期内の受光量を検出するものである。この受光部２１０には、複数の画素回路が例えば二次元格子状に配置される。この受光部２１０は、これらの画素回路の受光量に応じた画像データ（フレーム）を測距部２２０に供給する。なお、受光部２１０は、マルチパスによる測距誤差を補正する機能を有していてもよい。
　制御部２００は、照明装置１００及び受光部２１０を制御するものである。この制御部２００は、発光制御信号ＣＬＫｐを生成して、照明装置１００および受光部２１０に供給する。
　測距部２２０は、画像データに基づいて、照射対象物１０００までの距離をＴｏＦ方式等により測定するものである。この測距部２２０は、画素回路毎に距離を測定して画素毎に物体までの距離を階調値で示すデプスマップを生成する。このデプスマップは、例えば、距離に応じた度合いのぼかし処理を行う画像処理や、距離に応じてフォーカスレンズの合焦点を求めるオートフォーカス（ＡＦ）処理、車載ＬｉＤＡＲにおける対象物までの距離測定等に用いられる。
［照明装置］
（構成例）
　図２は、照明装置１００の構成例を説明するための図である。照明装置１００は、例えば、発光素子１１０と、マイクロレンズアレイ１２０と、光学レンズ１３０とを有する。
　発光素子１１０は、照明装置１００の光源であり、複数の発光部を有している。図２では、発光素子１１０がアレイ状（本例では、列状）に配置された５個の発光部１１１Ａ、１１１Ｂ、１１１Ｃ、１１１Ｄ、１１１Ｅを有する例が示されている。勿論、発光部の数は５個に限定されることはなく、適宜な個数とすることができる。また、複数の発光部が１次元的では無く２次元的又は３次元的に配列されるようにしてもよい。なお、以下の説明において個々の発光部を区別する必要がない場合には、発光部１１１と適宜、総称する。複数の発光部１１１のそれぞれは、図３に模式的に示すように、発散角が小さい光ビームＬＢ１、すなわち、略平行の光ビームＬＢ１を出射する。なお、発光部１１１の具体的な構成例については後述する。
　集光部の一例であるマイクロレンズアレイ１２０は、各発光部１１１から出射される光ビームＬＢを集光する。図４乃至図６を参照して、マイクロレンズアレイ１２０の一例について説明する。図４乃至図６はそれぞれ、マイクロレンズアレイ１２０の斜視図、マイクロレンズアレイ１２０の平面構成例を示す図、図５に示したＩ－Ｉ線におけるマイクロレンズアレイ１２０の断面構成を示す図である。
　マイクロレンズアレイ１２０は、複数のレンズ部と、平行平板部１２２とを有している。本例では、マイクロレンズアレイ１２０は、５個のレンズ部（レンズ部１２１Ａ、レンズ部１２１Ｂ、レンズ部１２１Ｃ、レンズ部１２１Ｄ、レンズ部１２１Ｅ）を有している。なお、以下の説明において個々のレンズ部を区別する必要がない場合は、レンズ部１２１と適宜、総称する。レンズ部１２１は、発光部１１１と正対するように配置されている。例えば、図２に示すように、レンズ部１２１Ａは発光部１１１Ａと正対するように配置される。レンズ部１２１Ｂは発光部１１１Ｂと正対するように配置される。レンズ部１２１Ｃは発光部１１１Ｃと正対するように配置される。レンズ部１２１Ｄは発光部１１１Ｄと正対するように配置される。レンズ部１２１Ｅは発光部１１１Ｅと正対するように配置される。
　発光部１１１から出射された光ビームＬＢ１がレンズ部１２１のレンズ面で屈折され、集光されることで仮想発光点ＶＰが形成される（図２参照）。なお、仮想発光点ＶＰは、マイクロレンズアレイ１２０と光学レンズ１３０との間ではなく、マイクロレンズアレイ１２０内に形成されてもよい。
　変換部の一例である光学レンズ１３０は、マイクロレンズアレイ１２０による仮想発光点ＶＰでの集光後に発散する光ビームを略平行にするとともに、それぞれの光ビームの出射方向を変える。光学レンズ１３０を介して出射される光ビームＬＢ２が照射対象物１０００に照射され、照射対象物１０００からの反射光が受光部２１０で受光される。なお、光学レンズ１３０の代わりにフレネルレンズやメタマテリアルが用いられてもよい。また、ガルバノミラーやＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)ミラー等の１次元のメカニカルな走査機構を用いて光ビームＬＢ２を走査させるようにしてもよい。
（数値の具体例）
　次に、図７を参照して、照明装置１００を構成する各要素の数値の具体例について説明する。発光部１１１は、例えば、ＯＡ径（直径）が略１５０μｍの発光面積を有する。発光部１１１から出射される光ビームの発散角（ｐ－ｐ（全角表示））は、照明装置１００を小型化する観点からは、極力小さいことが望まれ、理想的には０度であり、本実施形態に係る発光部１１１によれば２度以下とすることができる。
　マイクロレンズアレイ１２０が有するレンズ部１２１は、略２００μｍの直径を有している。レンズ部１２１は、発光部１１１に対してレンズ部１２１の焦点距離（例えば略１．４ｍｍ）と略等しい距離に配置される。レンズ部１２１により発光部１１１から出射された光ビームＬＢ１が、仮想発光点ＶＰにおいて略直径５０μｍの光スポットに集光される。集光された光スポットは、その後、略６度の発散光の光ビームとして光学レンズ１３０へ入射する。発光部１１１からの光ビームＬＢ１はそれぞれ、光学レンズ１３０により所定の方向へ向かう略平行な光ビームＬＢ２（平行光ビーム）（図２参照）となり、照射対象物１０００へ照射される。
［発光部の具体例］
（第１の構成例）
　次に、発光部１１１の具体的な構成例について説明する。始めに、第１の構成例について説明する。図８は、本例に係る発光部１１１の構成例を示す図である。本例に係る発光部１１１は、図８Ａに示すように、励起光源層の一例である励起光源２と、レーザ媒質の一例である固体レーザ媒質３と、可飽和吸収体４とを備え、それらが図８Ｂに示すように一体的に接合され、積層された構造を備えている。励起光源２、固体レーザ媒質３、及び、可飽和吸収体４の光軸は、例えば、一軸上に配置される。
　励起光源２は、ＶＣＳＥＬの一部構造であり、積層構造の積層半導体層を有する。図８の励起光源２は、基板５、ｎ－コンタクト層３３、第５反射層Ｒ５、クラッド層６、活性層７、クラッド層８、酸化前層３１、及び第１反射層Ｒ１を順に積層した構造を備えている。なお、図８に示す例では、基板５から連続波（ＣＷ：Continuous Wave）の励起光を放出するボトムエミッション型の構成を示しているが、発光部１１１は、第１反射層Ｒ１側からＣＷ励起光を放出するトップエミッション型の構成であってもよい。
　基板５は、例えばｎ－ＧａＡｓ基板５である。ｎ－ＧａＡｓ基板５は、励起光源２の励起波長である第１波長λ１の光を一定の割合で吸収するため、極力薄くするのが望ましい。その一方で、後述する接合プロセスの際の機械的強度を維持できる程度の厚みを持たせるのが望ましい。
　活性層７は、第１波長λ１の面発光を行う。クラッド層６、８は、例えば、ＡｌＧａＡｓクラッド層である。第１反射層Ｒ１は、第１波長λ１の光を反射させる。第５反射層Ｒ５は、第１波長λ１の光に対して一定の透過率を有する。第１反射層Ｒ１と第５反射層Ｒ５には、例えば、電気伝導が可能な半導体分布反射層（ＤＢＲ：Distributed Bragg Reflector）が用いられる。第１反射層Ｒ１と第５反射層Ｒ５を介して外部から電流が注入され、活性層７内の量子井戸で再結合と発光が生じて、第１波長λ１のレーザ発振が行われる。第１反射層Ｒ１のクラッド層側の酸化前層（例えばＡｌＡｓ層）３１の一部は酸化されて酸化後層（例えばＡｌ２Ｏ３層）３２になる。
　第５反射層Ｒ５は、例えばｎ－ＧａＡｓ基板５上に配置される。例えば、第５反射層Ｒ５は、ｎ型ドーパント（例えばシリコン）を添加したＡｌｚ１Ｇａ１－ｚ１Ａｓ／Ａｌｚ２Ｇａ１－ｚ２Ａｓ（０≦ｚ１≦ｚ２≦１）からなる多層反射膜を有する。第５反射層Ｒ５は、ｎ－ＤＢＲとも呼ばれる。より詳細には、第５反射層Ｒ５とｎ－ＧａＡｓ基板５との間にはｎ－コンタクト層３３が配置されている。
　活性層７は、例えば、Ａｌｘ１Ｉｎｙ１Ｇａ１－ｘ１－ｙ１Ａｓ層とＡｌｘ３Ｉｎｙ３Ｇａ１－ｘ３－ｙ３Ａｓ層を積層した多重量子井戸層を有する。
　第１反射層Ｒ１は、例えば、ｐ型ドーパント（例えば炭素）を添加したＡｌｚ３Ｇａ１－ｚ３Ａｓ／Ａｌｚ４Ｇａ１－ｚ４Ａｓ（０≦ｚ３≦ｚ４≦１）からなる多重反射膜を有する。第１反射層Ｒ１は、ｐ－ＤＢＲとも呼ばれる。
　励起光源２内の各半導体層（Ｒ５、６、７、８、Ｒ１）は、ＭＯＣＶＤ（有機金属気相成長）法、ＭＢＥ（分子線エピタキシ法等の結晶成長）法を用いて形成することができる。そして、結晶成長後に、素子分離のためのメサエッチングや絶縁膜の形成、電極膜の蒸着等のプロセスを経て、電流注入による駆動が可能になる。
　励起光源２のｎ－ＧａＡｓ基板５の第５反射層Ｒ５とは反対側の端面には、固体レーザ媒質３が接合されている。以下では、固体レーザ媒質３の励起光源２側の端面を第１面Ｆ１と呼び、固体レーザ媒質３の可飽和吸収体４側の端面を第２面Ｆ２と呼ぶ。また、可飽和吸収体４のレーザパルス出射面を第３面Ｆ３と呼び、励起光源２の固体レーザ媒質側の端面を第４面Ｆ４と呼ぶ。また、可飽和吸収体４の固体レーザ媒質３側の端面を第５面Ｆ５と呼ぶ。図８Ｂに示すように、励起光源２の第４面Ｆ４は固体レーザ媒質３の第１面Ｆ１と接合され、固体レーザ媒質３の第２面Ｆ２は可飽和吸収体４の第５面Ｆ５と接合される。固体レーザ媒質３は、励起光源２の光軸の後方側に配置される。光軸の後方側とは、光軸上の光の出射方向である。また、固体レーザ媒質３は、励起光源２と対向する第１面Ｆ１に第２波長λ２に対する第２反射層Ｒ２及び第１面Ｆ１と反対側の第２面Ｆ２に第１波長λ１に対する第３反射層Ｒ３を有する。
　本例に係る発光部１１１は、第１共振器１１と第２共振器１２とを備える。第１共振器１１は、励起光源２内の第１反射層Ｒ１と固体レーザ媒質３内の第３反射層Ｒ３との間で、第１波長λ１の光を共振させる。第２共振器１２は、固体レーザ媒質３内の第２反射層Ｒ２と可飽和吸収体４内の第４反射層Ｒ４との間で、第２波長λ２の光を共振させる。
　第２共振器１２は、Ｑスイッチ固体レーザ共振器とも呼ばれる。第１共振器１１が安定した共振動作を行えるように、固体レーザ媒質３内に、高反射層である第３反射層Ｒ３が設けられている。通常の励起光源２は、第３反射層Ｒ３の位置に、第１波長λ１の光を外部に放出するための部分反射鏡を配置する。これに対して、本例に係る発光部１１１では、第３反射層Ｒ３を、第１波長λ１の励起光のパワーを第１共振器１１内に閉じ込めるために用いるため、第３反射層Ｒ３を高反射層にしている。
　このように、励起光源２と固体レーザ媒質３からなる第１共振器１１の内部には、３つの反射層（第１反射層Ｒ１、第５反射層Ｒ５、及び第３反射層Ｒ３）が設けられる。このため、第１共振器１１は、結合共振器（Coupled Cavity）構造である。
　第１共振器１１内に第１波長λ１の励起光のパワーを閉じ込めることで、固体レーザ媒質３が励起される。これにより、第２共振器１２にて、Ｑスイッチレーザパルス発振が生じる。第２共振器１２は、固体レーザ媒質３内の第２反射層Ｒ２と可飽和吸収体４内の第４反射層Ｒ４との間で、発振波長である第２波長λ２の光を共振させる。第２反射層Ｒ２は高反射層であるのに対し、第４反射層Ｒ４は部分反射層である。図８では、第４反射層Ｒ４を可飽和吸収体４の端面（第３面Ｆ３）に設けているが、第４反射層Ｒ４は可飽和吸収体４よりも光軸後方側に配置してもよい。すなわち、第４反射層Ｒ４は、必ずしも可飽和吸収体４の内部又は表面に設ける必要はない。第４反射層Ｒ４は、第２共振器１２における出力結合鏡である。
　固体レーザ媒質３は、例えば、Ｙｂ（イットリビウム）をドープしたＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）結晶Ｙｂ：ＹＡＧを含む。この場合、第１波長（励起波長）λ１は９４０ｎｍ、第２波長（発振波長）λ２は、１０３０ｎｍとなる。また、Ｎｄ（ネオジウム）をドープしたＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）結晶Ｎｄ：ＹＡＧを用いた場合、第１波長λ１は８０８ｎｍ、８８５ｎｍに対し、第２波長λ２は、９４６ｎｍ、１０６４ｎｍの組み合わせを取り得る。さらに、Ｅｒ、Ｙｂをドープしたガラス材料Ｅｒ，Ｙｂ：ｇｌａｓｓを用いた場合、第１波長λ１は９７５ｎｍに対し、第２波長λ２は、１５３５ｎｍとなる。
　吸収波長と発振波長の関係は、レーザ媒質中の原子のエネルギー準位間のエネルギー差に相当するフォトンエネルギーをもつ光を吸収し励起され、その光に誘導されて選択される下準位へ遷移する際に放出されるフォトンエネルギーによって決定されるため、ここに記載の限りではない。
　固体レーザ媒質３は、Ｙｂ：ＹＡＧやＮｄ：ＹＡＧに限らずＮｄ：ＧｄＶＯ４、Ｎｄ：ＫＬｕ（ＷＯ４）２、Ｎｄ：ＹＶＯ４、Ｎｄ：ＹＬＦ、Ｎｄ：ｇｌａｓｓ、Ｙｂ：ＹＡＧ、Ｙｂ：ＹＬＦ、Ｙｂ：ＦＡＰ、Ｙｂ：ＳＦＡＰ、Ｙｂ：ＹＶＯ、Ｙｂ：ＫＹＷ、Ｙｂ：ＢＣＢＦ、Ｙｂ：ＹＣＯＢ、Ｙｂ：ＧｄＣＯＢ、ＹＢ：ＹＡＢ、Ｅｒ，Ｙｂ：ＹＡｌ３（ＢＯ３）４、Ｅｒ，Ｙｂ：ＧｄＡｌ３（ＢＯ３）４、Ｅｒ，Ｙｂ：ｇｌａｓｓの少なくともいずれかの材料を使うことができる。形態は結晶に限らず、セラミック材料の利用を妨げない。
　固体レーザ媒質３の材料と、第１波長λ１と、第２波長λ２との関係の一例を下記の表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000001
　また、固体レーザ媒質３は、４準位系の固体レーザ媒質３であってもよいし、準３準位系の固体レーザ媒質３であってもよい。
　可飽和吸収体４は、例えばＣｒ（クロム）をドープしたＹＡＧ（Ｃｒ：ＹＡＧ）結晶を含む。可飽和吸収体４は、入射光の強度が所定の閾値を超えると透過率が増大する材料である。第１共振器による第１波長λ１の励起光により、可飽和吸収体４の透過率が増大し、第２波長λ２のレーザパルスを放出する。これはＱスイッチと呼ばれる。可飽和吸収体４の材料として、Ｖ：ＹＡＧを用いることもできる。ただし、その他の種類の可飽和吸収体４を使ってもよい。量子井戸を有した半導体可飽和吸収ミラー(ＳＥＳＡＭ : Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｓａｔｕｒａｂｌｅ　Ａｂｓｏｒｂｅｒ　Ｍｉｒｒｏｒ)を使用してもよい。また、Ｑスイッチとして、能動（アクティブ）Ｑスイッチ素子を使うことを妨げるものではない。
　図８Ｂに示すように、励起光源２、固体レーザ媒質３、及び、可飽和吸収体４は、接合プロセスを用いて接合されて一体化された積層構造である。接合プロセスの例としては、表面活性化接合、原子拡散接合、プラズマ活性化接合等を用いることができる。あるいは、その他の接合（接着）プロセスを用いることができる。
　励起光源２に固体レーザ媒質３を安定に接合させるには、励起光源２内のｎ－ＧａＡｓ基板５の表面を平坦にする必要がある。このため、上述したように、第１反射層Ｒ１や第５反射層Ｒ５に電流を注入するための電極Ｅ１、Ｅ２は、少なくともｎ－ＧａＡｓ基板５の表面に露出しないように配置するのが望ましい。図８Ａ、図８Ｂに示す例では、励起光源２の第１反射層Ｒ１側の端面に、電極Ｅ１、Ｅ２を配置している。電極Ｅ１は、ｐ電極であり、第１反射層Ｒ１と導通している。電極Ｅ２はｎ電極であり、第１反射層Ｒ１からｎ－コンタクト層３３まで達するトレンチの内壁に絶縁膜３４を介して導電材料３５を充填して形成される。図８Ａ、図８Ｂに示すように電極Ｅ１とＥ２を励起光源２の同一の端面に配置することで、この端面を不図示の支持基板にはんだ実装可能となる。複数の発光部１１１をアレイ状に配置したときも、同一の端面に電極Ｅ１、Ｅ２を配置することで、この端面を支持基板に実装可能な形態となる。なお、図８Ａ、図８Ｂに示した電極Ｅ１、Ｅ２の形状及び配置場所は一例にすぎない。
　このように、発光部１１１を積層構造にすることで、積層構造体を作製した後にダイシングにより個片化して複数のチップを形成したり、あるいは一つの基板上に複数の発光部１１１をアレイ状に配置した発光素子１１０を形成したりすることが容易になる。
　接合プロセスにて積層構造の発光部１１１を作製する場合、各表面層の算術平均粗さＲａは１ｎｍ程度以下にする必要があり、望ましくは０．５ｎｍ以下である。これらの算術平均粗さをもつ表面層を実現するために化学機械研磨（ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing））が用いられる。また、各層の界面の光損失を回避するために、各層の間に誘電体多層膜を配置して、誘電体多層膜を介して各層を接合してもよい。例えば、励起光源２のベース基板であるＧａＡｓ基板５の波長９４０ｎｍに対する屈折率ｎは３．２であり、ＹＡＧ（ｎ：１．７）や一般的な誘電体多層膜材料に比べ、高屈折率を有する。このため、励起光源２に固体レーザ媒質３と可飽和吸収体４を接合する際に、屈折率のミスマッチによる光損失が生じないようにする必要がある。具体的には、励起光源２と固体レーザ媒質３との間に、第１共振器１１の第１波長λ１の光を反射させない反射防止膜（ＡＲコート膜又は無反射コート膜）を配置するのが望ましい。また、固体レーザ媒質３と可飽和吸収体４との間にも、反射防止膜（ＡＲコート膜又は無反射コート膜）を配置するのが望ましい。
　接合材料によっては研磨が難しい場合があり、例えばＳｉＯ２などの第１波長λ１及び第２波長λ２に対して透明な材料を、接合のための下地層として成膜し、このＳｉＯ２層を算術平均粗さＲａ＝１ｎｍ程度（望ましくは０．５ｎｍ以下）に研磨して、接合のための界面として用いてもよい。ここで、下地層としては、ＳｉＯ２以外にも使用可能であり、ここでは材料に限定されない。なお、下地層の材料であるＳｉＯ２と基材層との間に無反射膜を設けてもよい。
　誘電体多層膜には、短波長透過フィルタ膜（ＳＷＰＦ：Short Wave Pass Filter）、長波長透過フィルタ膜（ＬＷＰＦ：Long Wave Pass Filter）、バンドパスフィルタ膜（ＢＰＦ：Band Pass Filter）、無反射保護膜（ＡＲ：Anti-Reflection）などがあり、高屈折材料層と低屈折材料層を交互に積層させたコーティング層である。必要に応じて、異なる種類の誘電体多層膜を配置するのが望ましい。誘電体多層膜の成膜方法としては、ＰＶＤ（Physical vapor deposition）法を用いることができ、具体的には、真空蒸着、イオンアシスト蒸着、スパッタなどの成膜方法を用いることができる。どの成膜方法を適用するかは問わない。また、誘電体多層膜の特性も任意に選択可能であり、例えば、第２反射層Ｒ２を短波長透過フィルタ膜とし、第３反射層Ｒ３を長波長透過フィルタ膜としてもよい。また、第３反射層Ｒ３に長波長透過フィルタ膜を適用させることで可飽和吸収体４に第１波長λ１の侵入を防ぎＱスイッチの誤動作を防ぐことができる。なお、短波長透過とは、第１波長λ１の光は透過し、第２波長λ２の光を反射することを意味する。また、長波長透過とは、第１波長λ１の光を反射し、第２波長λ２の光を透過することを意味する。
　また、第２共振器１２の内部に、Ｐ偏光とＳ偏光の比率を分離するフォトニック結晶構造の偏光子を設けてもよい。また、第２共振器１２の内部に回折格子を設けて、放出されるレーザパルスの偏光状態をランダム偏光から直線偏光に変換させてもよい。フォトニック結晶構造や回折格子の微細溝部分には例えばＳｉＯ２などの材料で成膜し研磨することで接合のための界面として用いることができる。
　次に、本例に係る発光部１１１の動作を説明する。励起光源２の電極を介して電流を活性層７に注入することで、第１共振器１１内で第１波長λ１のレーザ発振が起こり、固体レーザ媒質３が励起される。固体レーザ媒質３には可飽和吸収体４が接合されていることから、第１波長λ１のレーザ発振が起こった最初の段階では、固体レーザ媒質３からの自然放出光は可飽和吸収体４に吸収されてしまい、可飽和吸収体４の出射面側の第４反射層Ｒ４による光フィードバックが起こらず、Ｑスイッチレーザ発振には至らない。
　その後、固体レーザ媒質３に第１波長λ１の励起光のパワーが蓄積されて、固体レーザ媒質３が十分な励起状態になると、自然放出光の出力が上がり、ある閾値を超えると可飽和吸収体４での光吸収率が急激に低下し、固体レーザ媒質３で発生した自然放出光は可飽和吸収体４を透過できるようになる。これにより、第１共振器１１による第１波長λ１の光が固体レーザ媒質３から放出されるとともに、第２共振器１２は第２反射層Ｒ２と第４反射層Ｒ４との間で第２波長λ２の光を共振させる。これによりＱスイッチレーザ発振が起こり、第４反射層Ｒ４を介して、空間（図８中右側の空間）に向けて、Ｑスイッチレーザパルスが放出される。
　第２共振器１２の内部に、波長変換のための非線形光学結晶を配置することができる。非線形光学結晶の種類により、波長変換後のレーザパルスの波長を変えることができる。波長変換材料の例としては、ＬｉＮｂＯ３、ＢＢＯ、ＬＢＯ、ＣＬＢＯ、ＢｉＢＯ、ＫＴＰ、ＳＬＴなどの非線形光学結晶が挙げられる。また、波長変換材料として、これらに類似する位相整合材料を使ってもよい。ただし、波長変換材料の種類については問わない。波長変換材料によって、第２波長λ２を別の波長に変換することができる。
　本例に係る発光部１１１に、励起光源と固体レーザ媒質の熱的な干渉によるレーザ光の発振効率の低下や、光波長の変換効率の低下を防止するための排熱部が設けられてもよい。
　Ｑスイッチ動作は、レーザ共振器中に発振を妨げる開閉シャッターを挿入しておき、レーザ結晶に十分にエネルギーが蓄積されたとき、共振器の性能指数であるＱ値を短時間に切り替えることにより、パルスレーザを得る方法である。シャッターを電気的、もしくは機械的に制御する方法を能動Ｑスイッチといい、可飽和吸収体４によって自動的に開くシャッターの役目をさせる方法を受動Ｑスイッチという。共振器内部にある可飽和吸収体４を使用して共振器損失を周期的に増加させることで、レーザ出力をオフにする。従って、Ｑスイッチは損失の切り替えである。励起によって絶えず一定のパワーが送られるので、高損失時間のときに蓄積される原子数密度差の形でエネルギーが原子に蓄えられる。オン時間のときに損失が低減されると、大きく蓄積された原子数密度差が解放される。このため、本例に係る発光部１１１によれば瞬間的に強力な短パルス（光ビーム）を出射することが可能となる。
　さらに、レーザ動作していない状態ではＱスイッチレーザ共振器が平面ミラーから構成されているため、高次モードが発生するが、レーザ動作中は、熱レンズが材料中で発生し、レーザ共振器が平凹もしくは凹凹に過渡的に変化する。これによってガウシアン横モードでの発振が可能となり、すなわち、ビーム品質の優れたビームが発生可能となり、発光部１１１から発散角が小さい（発散角が２度以下の）光ビームを出射することが可能となる。
（第２の構成例）
　次に、発光部１１１の第２の構成例について説明する。図９は、本例に係る発光部１１１の構成例を示す図である。本例では、固体レーザ媒質３及び可飽和吸収体４が接合されている。励起光源２としては、例えば面発光レーザアレイが用いられる。上述したように、第２反射層Ｒ２は高反射層であり、第４反射層Ｒ４は部分反射層である。励起光源２は、固体レーザ媒質３及び可飽和吸収体４と接合されておらず、励起光源２と固体レーザ媒質３との間に、集光レンズ部の一例であるマイクロレンズアレイ４１が配置される。本例に係る発光部１１１では、励起光源２から出射された光ビームがマイクロレンズアレイ４１により固体レーザ媒質３に集光される。その他の動作は、第１の構成例と同じである。本例に係る発光部１１１によっても、発散角が小さい光ビームを出射することができる。励起光源２は、第１波長λ１あるいは第２波長λ２の進む方向と垂直に１次元または２次元に配列された光源であってもよい。
　図１０は、図９に示した発光部１１１、マイクロレンズ４１が複数配置されたアレイ状光源の概念を示す図である。励起光源２は光源が配列されたものでもよいし、１つの発光光源に複数の発光部が配列したものでもよい。また、マイクロレンズもそれぞれのレンズが配列されたものでもよいし、マイクロレンズアレイとして１つの部品になっていてもよい。
（第３の構成例）
　次に、発光部１１１の第３の構成例について説明する。図１１は、本例に係る発光部１１１の構成例を示す図である。励起光源２は面発光型レーザアレイを用いており、この励起光源２が複数配置されている。複数の励起光源２から出射された光ビームが、１個の光学レンズ４５により集光される。集光された光ビームが固体レーザ媒質３の所定の領域へ入射する。その他の動作は、第１の構成例、第２の構成例と同じである。なお、図示しないが、図１０と同様に、光学レンズ４５は、複数のレンズが配列されたマイクロレンズアレイとすることも可能である。これによって、固体レーザ媒質３の複数の領域に光ビームが集光され、固体レーザ媒質３内の複数の配列した領域でＱスイッチ発振した発散角が小さい光ビームが生成される。生成された光ビームが、発光部１１１からの光ビームＬＢ１として出射される。
　以上、発光部１１１の複数の構成例について説明した。なお、これまでの説明では、発光素子１１０が有する発光部１１１としてＱスイッチレーザを用いたものを例にして説明したが、原理的には発光部１１１から狭い発散角の光ビームを出射するものであればよい。例えば、狭発散角の光ビームを出射するフォトニック結晶を用いた面発光型レーザでもよいし、端面発光型レーザやファイバーレーザを複数配列したものでもよい。
［ライン状光ビームの生成について］
　これまで説明した照明装置１００から出射される平行光ビームである光ビームＬＢ２は、ライン状光ビームにして照射対象物１０００に照射されてもよい。一般的な測距システムに用いられる端面発光型レーザや面発光型レーザは、一つの発光部からの光ビームの光強度は数１０Ｗ程度（高くても数１００Ｗ）の光出力しか得られないが、本実施形態に係る発光部１１１（例えば、上述した第１の構成例を有する発光部１１１）は、数１０ｋＷ程度（場合によっては数１０００ｋＷ）の光出力を得ることができる。このため光ビームを、拡散板やシリンドリカルレンズなどを用いてライン状に広げても、所定の光強度を確保できると共に広い測距レンジを得ることができる。本実施形態では、仮想発光点ＶＰで光をより小さく集光することで、より高い光密度を得ることができ、更に広い測距レンジを得ることができる。
　一方で、仮想発光点ＶＰでの集光ビーム径に対して、発光部１１１間の間隔が一定以上あるため、ライン状光ビーム間に隙間ができてしまう。本実施形態では、図１２に示すように、発光素子１１０を斜めに配置、すなわち、各発光部１１１を斜めに配置することで、ライン状光ビーム間の隙間を極力小さくする配置としている。厳密には水平方向へのずれが生じる虞があるが、水平方向は、例えば１２０度程度のＦＯＶ（Field of View）を満たすような光ビームとなっているため、この水平方向の位置ずれは問題とならない。なお、図１２では、斜め方向の矩形の枠が発光素子１１０を示し、矩形の枠内の大きな丸が発光部を示し、小さな丸が各発光部１１１から出射された光ビームを集光することで形成される仮想発光点ＶＰを示す。また、やや細い形状の矩形がライン状光ビームを示す。これらの図示の内容は、図１７、図１９、図２２、図２３、図２４、図２５、及び、図２６でも同様である。
　本例では、発光部１１１の数を１２個（発光部１１１Ａ、１１１Ｂ・・１１１Ｌ）としている。例えば、左上の発光部１１１Ａから右下の発光部１１１Ｌに向かって、発光部１１１を順次、発光させる制御が行われる。
　また、図１２におけるＬ１は最も左上にある発光部１１１から出射される光ビームをライン状に広げることで得られるライン状光ビームである。図１２におけるＬ２は左上から２番目にある発光部１１１から出射される光ビームをライン状に広げることで得られるライン状光ビームである。図１２におけるＬ３は左上から３番目にある発光部１１１から出射される光ビームをライン状に広げることで得られるライン状光ビームである。図１２におけるＬ４は左上から４番目にある発光部１１１から出射される光ビームをライン状に広げることで得られるライン状光ビームである。図１２におけるＬ５は左上から５番目にある発光部１１１から出射される光ビームをライン状に広げることで得られるライン状光ビームである。図１２におけるＬ６は左上から６番目にある発光部１１１から出射される光ビームをライン状に広げることで得られるライン状光ビームである。図１２におけるＬ７は左上から７番目にある発光部１１１から出射される光ビームをライン状に広げることで得られるライン状光ビームである。図１２におけるＬ８は左上から８番目にある発光部１１１から出射される光ビームをライン状に広げることで得られるライン状光ビームである。図１２におけるＬ９は左上から９番目にある発光部１１１から出射される光ビームをライン状に広げることで得られるライン状光ビームである。図１２におけるＬ１０は左上から１０番目にある発光部１１１から出射される光ビームをライン状に広げることで得られるライン状光ビームである。図１２におけるＬ１１は左上から１１番目にある発光部１１１から出射される光ビームをライン状に広げることで得られるライン状光ビームである。図１２におけるＬ１２は左上から１２番目にある発光部１１１から出射される光ビームをライン状に広げることで得られるライン状光ビームである。
　なお、本例では、水平方向にライン状に光ビームを広げて、各発光部の発光を順次切り替えることで垂直方向にライン状光ビームが走査される構成として説明しているが、垂直方向にライン状に光ビームを広げて水平方向に走査される構成でもよいし、必要に応じて斜め方向に広げる構成にしてもよい。
［ライン状光ビームを生成するための手法］
（第１の例）
　次に、上述したライン状光ビームを生成するための手法の例について説明する。始めに、ライン状光ビームを生成するための手法の第１の例について説明する。第１の例は、拡散板を用いてライン状光ビームを生成する例である。図１３は、本例における拡散板（拡散板５１）を示す図である。拡散板５１は、垂直方向に湾曲している一方で、垂直方向に直交した方向は直線状の形状を備える。係る形状により、歪むことなく直線状の光ビームを生成することができる。なお、拡散板５１の湾曲Ｒ中心は、光学レンズ１３０のテレセン位置となっていることが望ましい。また、湾曲した拡散板は一例でありこれに限定されるものではない。平面状の拡散板を用いて、湾曲したライン状光ビームを用いることも可能であるし、検出器側の湾曲収差に合わせるような、ライン状光ビームを生成するようにしてもよい。
　図１４に示すように、拡散板５１は光学レンズ１３０の先、すなわち、光学レンズ１３０と照射対象物１０００との間に配置される。これにより、照射対象物１０００に対して、ライン状光ビーム（例えば、ライン状光ビームＬ１～Ｌ１２）が照射される。なお、本例における拡散板５１の代わりに、レンズや回折格子ＤＯＥ(Diffractive Optical Element)を用いてもよい。
（第２の例）
　次に、ライン状光ビームを生成するための手法の第２の例について説明する。本例は、光学レンズ１３０の代わりに、シリンドリカルレンズ（シリンドリカルレンズ５５）を配置し、さらに、シリンドリカルレンズ５５の先（シリンドリカルレンズ５５と照射対象物１０００との間）に拡散板（拡散板５６）を配置することによりライン状光ビームを生成する例である。
　図１５Ａに示すように、仮想発光点ＶＰからの光ビームのＹ方向はシリンドリカルレンズ５５で略平行光となる。これに対して、拡散板５６はＹ方向（垂直方向）には作用しない。一方、図１５Ｂに示すように、シリンドリカルレンズ５５はＸ方向には作用しない。これに対して、Ｘ方向（水平方向）は拡散板５６で拡散されてライン状光ビームとなる。拡散板５６により、ライン状光ビームを生成することができ、また、必要なＦＯＶが得られる。そして、拡散板５６から出射されたライン状光ビーム（例えば、ライン状光ビームＬ１～Ｌ１２）は、図１６に示すように、照射対象物１０００に対して照射される。なお、図１４と図１６とでは、拡散板の湾曲方向が異なっているが、図１４では光学レンズ１３０のテレセン位置の先に拡散板５１が配置された例となっており、図１６ではシリンドリカルレンズ５５のテレセン位置の手前に拡散板５６が配置された例となっており、ともに、湾曲Ｒの中心がテレセン位置になった例を別の事例で示している。以上、説明したライン状光ビームを生成するための光学素子が含まれる構成であってもよい。
［ライン状光ビームを用いた応用例］
（第１の応用例）
　次に、上述した手法により生成したライン状光ビームを用いた応用例について説明する。第１の応用例は、上述した手法により生成したライン状光ビームを、回折格子（回折格子５８）を用いてＹ方向に複製パターンを生成することで、ＦＯＶを拡大させる例である。例えば、図１７に示すように、１２個の発光部１１１Ａ～発光部１１１Ｌから出射された光ビームに基づくライン状光ビームＬ１～Ｌ１２の上方向にライン状光ビームＬ１～Ｌ１２を複製することで、１２個のライン状光ビーム（ライン状光ビームＬ１Ａ、Ｌ１Ａ・・・Ｌ１２Ａ）が得られる。また、１２個の発光部１１１から出射された光ビームに基づくライン状光ビームＬ１～Ｌ１２の下方向にライン状光ビームＬ１～Ｌ１２を複製することで、１２個のライン状光ビーム（ライン状光ビームＬ１Ｂ、Ｌ１Ｂ・・・Ｌ１２Ｂ）が得られる。
　図１８に示すように、回折格子５８は、光学レンズ１３０と照射対象物１０００との間に配置される。なお、垂直方向に歪みのないライン状光ビームを複製するためにも、光学レンズ１３０と回折格子５８との距離は、光学レンズ１３０のテレセン位置（光学レンズ１３０の焦点距離）と略等しいことが望ましい。回折格子５８によりライン状光ビームが複製され、これによりＦＯＶを拡大させることができる。なお、ＦＯＶを拡大させる観点からは、上下方向にライン状光ビームが複製されることが好ましいが、何れか一方に複製されてもよい。
　図１９に示すように、回折格子５８により、所定のライン状光ビームの上下に隣接するようにライン状光ビームが複製されるようにしてもよい。例えば、ライン状光ビームＬ１の上下に隣接するようにライン状光ビームＬ１Ａ及びライン状光ビームＬ１Ｂが回折格子５８により複製され、ライン状光ビームＬ２の上下に隣接するようにライン状光ビームＬ２Ａ及びライン状光ビームＬ２Ｂが回折格子５８により複製される。同様に、他のライン状光ビームの上下に隣接するようにライン状光ビームが回折格子５８により複製される。複製されたライン状光ビームにより元のライン状光ビームの間を補間することができる。以上説明した回折格子５８が含まれる構成でもよい。
（第２の応用例）
　本応用例は、駆動部により光学レンズ１３０を駆動することで、照射対象物１０００に対して照射されるライン状光ビームの数を多くする例である。図２０に示すように、例えば光学レンズ１３０に対して駆動部６０が接続される。駆動部６０により、図２１に模式的に示すように、光学レンズ１３０がＹ方向に駆動される。駆動部６０としては、ＶＣＭ(Voice Coil Motor)や、ピエゾ素子、形状記憶合金素子、液晶素子などを用いることができる。
　光学レンズ１３０が駆動部６０により駆動されることで、ライン状光ビームを駆動方向（本例では、Ｙ方向）へ走査することができる。ライン状光ビームを走査することができることで、図２２に示すように、照射対象物１０００に照射されるライン状光ビーム（図示の例ではライン状光ビームＬ１～Ｌ３６）の数を大きくすることができ、解像度を向上させることができる。また、回折格子を用いる場合と比較して、測距レンジを狭めることなく、解像度を向上することができ、且つ、部品点数を少なくすることができる。なお、駆動部６０は光学レンズ１３０ではなく発光素子１１０と接続され、発光素子１１０が駆動部６０により駆動される構成でもよい。また、発光素子１１０及び光学レンズ１３０が駆動部６０により駆動されてもよい。本応用例は、ライン状光ビームを複製しない構成に対しても適用可能である。なお、駆動部６０は、照明装置１００が有する構成でもよいし、他の装置によって駆動されるようにしてもよい。
［発光素子の別の例］
　次に、発光素子１１０の別の例について説明する。発光素子１１０が有する発光部１１１は、一列に配置される態様に限定されることはなく、２次元状に配置されてもよい。また、照明装置１００が有する発光素子１１０の数は、１個ではなく複数であってもよい。例えば、図２３に示すように、照明装置１００が３個の発光素子１１０（発光素子１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃ）を有するようにしてもよい。発光素子１１０の数を変更するだけで所望する解像度やＦＯＶを変更することができるので、多くのシステム仕様に対応することができ、照明装置１００を汎用的な装置とすることができる。
　また、照明装置１００が複数の発光素子１１０を有する構成とした場合、発光素子１１０が一列状ではなく、図２３に示すように、例えばＹ方向に隣接するように配置されることが好ましい。例えば、仮想的に投影したライン状光ビームの長手方向に対して、発光部１１１が所定の角度を成すようにそれぞれの発光素子１１０が斜めに配置され、それらの発光素子１１０がＹ方向に沿って配置されることが好ましい。これにより、図２４に示すように、発光素子１１０を一列状に配置する態様に比べ、光学レンズ１３０の光学レンズ径ＬＤを有効に使えることができ、照明装置１００の小型化が可能となる。また、発光素子１１０を２次元的に配置する場合には、配置される領域の水平方向の長さと垂直領域の長さとが略等しいことが効率的な配置の観点から最も好ましい。
　図２５は、発光素子の別の例を説明するための図である。照明装置１００は、例えば、１２個の発光素子（発光素子１１０Ｄ、１１０Ｅ、１１０Ｆ・・１１０Ｏ）を有している。本例に係る各発光素子は、例えば、３個の発光部１１１を有している。各発光素子１１０は、３個の発光部１１１がライン状光ビームのライン方向（Ｘ方向）と略直交する方向（Ｙ方向）に配列されるように配置され、且つ、互いに隣接するように配置される。
　各発光素子１１０の発光部１１１は、同時に発光するように制御される。係る制御に応じて、例えば、始めに発光素子１１０Ｄが有する３個の発光部１１１を同時に発光し、次の発光タイミングで、発光素子１１０Ｄに隣接する発光素子１１０Ｅが有する３個の発光部１１１が同時に発光する。そして、次の発光タイミングで、発光素子１１０Ｅに隣接する発光素子１１０Ｆが有する３個の発光部１１１が同時に発光する。このようにして発光対象の発光素子が順次切り替えられ、ある発光周期（１フレーム）の最後には、発光素子１１０Ｏが有する３個の発光部１１１が発光する。
　発光素子１１０Ｄが有する３個の発光部１１１が同時に発光することにより、ライン状光ビームＬ１、Ｌ１３、Ｌ２５が照射対象物１０００に照射される。また、発光素子１１０Ｅが有する３個の発光部１１１が同時に発光することにより、ライン状光ビームＬ２、Ｌ１４、Ｌ２６が照射対象物１０００に照射される。発光素子１１０Ｆが有する３個の発光部１１１が同時に発光することにより、ライン状光ビームＬ３、Ｌ１５、Ｌ２７が照射対象物１０００に照射される。
　発光素子１１０Ｇが有する３個の発光部１１１が同時に発光することにより、ライン状光ビームＬ４、Ｌ１６、Ｌ２８が照射対象物１０００に照射される。発光素子１１０Ｈが有する３個の発光部１１１が同時に発光することにより、ライン状光ビームＬ５、Ｌ１７、Ｌ２９が照射対象物１０００に照射される。発光素子１１０Ｉが有する３個の発光部１１１が同時に発光することにより、ライン状光ビームＬ６、Ｌ１８、Ｌ３０が照射対象物１０００に照射される。発光素子１１０Ｊが有する３個の発光部１１１が同時に発光することにより、ライン状光ビームＬ７、Ｌ１９、Ｌ３１が照射対象物１０００に照射される。
　発光素子１１０Ｋが有する３個の発光部１１１が同時に発光することにより、ライン状光ビームＬ８、Ｌ２０、Ｌ３２が照射対象物１０００に照射される。発光素子１１０Ｌが有する３個の発光部１１１が同時に発光することにより、ライン状光ビームＬ９、Ｌ２１、Ｌ３３が照射対象物１０００に照射される。発光素子１１０Ｍが有する３個の発光部１１１が同時に発光することにより、ライン状光ビームＬ１０、Ｌ２２、Ｌ３４が照射対象物１０００に照射される。発光素子１１０Ｎが有する３個の発光部１１１が同時に発光することにより、ライン状光ビームＬ１１、Ｌ２３、Ｌ３５が照射対象物１０００に照射される。発光素子１１０Ｏが有する３個の発光部１１１が同時に発光することにより、ライン状光ビームＬ１２、Ｌ２４、Ｌ３６が照射対象物１０００に照射される。これにより、ある発光素子（第１発光素子）からが有する発光部から出射される光ビームに基づくライン状光ビームの間が、当該発光素子に隣接する他の発光素子（第２発光素子）が有する発光部から出射される光ビームに基づくライン状光ビームにより補間される。
　図２５に示す配置態様によれば、発光素子１１０を大型化することなく、且つ、ライン状光ビームの数を減らすことなく、１つの発光素子１１０が有する発光部１１１間の間隔を大きくすることができる。これにより、１つの発光素子１１０が有する発光部１１１（本例では３個の発光部）が同時に発光しても、瞳に入る光ビームの数が限定される（例えば、１個の光ビームに限定される）ので、照明装置１００の安全性を向上させることができる。照明装置１００の安全性を向上させつつ、発光部１１１により高い光出力を行うことができ、広い測距レンジを得ることができる。
　図２６に示すように、１つの発光素子１１０が、２次元的に配置された複数の発光部１１１を有していてもよい。１つの発光素子１１０に発光部１１１を集約することで、照明装置１００の組み立てが容易となる。この場合、発光部１１１の全てを発光させてもよいし、複数の発光部１１１を所定の順序（走査方向）で切り替えて発光するようにしてもよい。また、発光素子１１０内の配線を追加し、複数の発光部１１１の発光の切り替えが、図２５を用いて説明した例と同様にして行われるようにしてもよい。
［照明装置の駆動方法］
　次に、一実施形態に係る照明装置１００の駆動方法の一例について説明する。図２７は、照明装置１００の駆動回路の構成例を表したものである。同図に示すように、発光素子１１０は、複数の発光部１１１を有する。本例では、発光部１１１の数を１２個（発光部１１１Ａ、１１１Ｂ・・・１１１Ｌ、図１２参照）として説明する。
　発光部１１１Ａのアノードは、スイッチ７５Ａを介して電源ＶＣＣに接続されている。発光部１１１Ｂのアノードは、スイッチ７５Ｂを介して電源ＶＣＣに接続されている。発光部１１１Ｃのアノードは、スイッチ７５Ｃを介して電源ＶＣＣに接続されている。同様に、他の発光部１１１のアノードもスイッチを介して電源ＶＣＣに接続されている。
　発光部１１１Ａ～１１１Ｌのカソードは共通化されており、それぞれのカソードは、スイッチング素子７６に接続されている。スイッチング素子７６は、例えば、ｎ型のＭＯＳＦＥＴ（Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor）を適用することができる。スイッチング素子７６は、ｐ型のＭＯＳＦＥＴでもよいし、バイポーラ・トランジスタであってもよい。
　スイッチ７５Ａ～７５Ｌには選択信号が供給される。選択信号に応じて、発光対象の発光部１１１に対応するスイッチのみがオンされ、他のスイッチはオフされる。また、スイッチング素子７６に対しては制御信号が供給される。例えば、発光タイミングになると制御信号が供給されることでスイッチング素子７６がオンし、これにより、スイッチがオンとなっている発光部１１１、換言すれば、アノードが電源ＶＣＣに接続されている発光部１１１に電流が流れ、発光対象の発光部１１１が発光する。選択信号や制御信号の生成、これらに基づくスイッチング制御は、例えば、制御部２００によって行われる。照明装置１００が制御部を有する構成とし、当該制御部が上述したスイッチング制御等を行うようにしてもよい。
　図２８は、照明装置１００の発光シーケンスの一例を示す。例えば、測距装置１において１枚の測距画像を生成する区間は「フレーム」と呼ばれ、１フレームは例えば３３．３ｍｓｅｃ（周波数３０Ｈｚ）といった時間に設定される。測距パルスとしては、例えば１００μｓｅｃ周期で、数１００ｐｓｅｃの光パルスが発光される。フレーム内には、条件を変えた複数の蓄積区間を設けることができる。
　図２８に示す例は、１つの発光部を複数回発光させた後（１つのライン状光ビームを照射対象物１０００に複数回照射した後）に、次の発光部を複数回発光させる（次のライン状光ビームを照射対象物１０００に複数回照射させる）例である。例えば、発光部１１１Ａを１０回発光させてライン状光ビームＬ１を１０回照射対象物１０００に照射した後、発光部１１１Ｂを１０回発光させてライン状光ビームＬ２を１０回照射対象物１０００に照射する。全ての発光部（発光部１１１Ａ～発光部１１１Ｌ）が発光し、ライン状光ビームＬ１～Ｌ１２が照射対象物１０００に照射されることで１フレームが形成される。勿論、発光回数は１０回に限らず他の回数でもよい。本例に係る発光シーケンスでは、受光部２１０や測距部２２０側におけるヒストグラム処理が容易となる。
　図２９は、照明装置１００の発光シーケンスの他の例を示す。図２９に示す例では、発光部１１１Ａ～１１１Ｌを１回ずつ発光させた後、それを複数回繰り返すことで１フレームが形成される例である。図２９では繰り返し回数が８回として示されているがこれに限定されることはない。本例に係る発光シーケンスでは、発光箇所が切り替わるため、アイセーフの観点に基づく安全性を向上させることができる。
　図３０は、照明装置１００の駆動回路の別の構成例を表したものである。図３０に示す駆動回路は、照明装置１００が複数の発光素子１１０を有する構成（例えば、３個の発光素子、図２４参照）に対応する駆動回路である。発光素子１１０Ａが有する発光部１１１のアノード側は共通化されており、スイッチ８１Ａを介して電源ＶＣＣと接続されている。また、発光素子１１０Ｂが有する発光部１１１のアノードは共通化されており、スイッチ８１Ｂを介して電源ＶＣＣと接続されている。また、発光素子１１０Ｃが有する発光部１１１のアノード側は共通化されており、スイッチ８１Ｃを介して電源ＶＣＣと接続されている。各発光素子が有する発光部１１１のカソードは共通化されており、スイッチング素子８２に接続されている。
　スイッチ８１Ａ、８１Ｂ、８１Ｃには選択信号が供給される。選択信号に応じて、発光対象の発光素子１１０に対応するスイッチのみがオンされ、他のスイッチはオフされる。また、スイッチング素子８２に対しては制御信号が供給される。例えば、発光タイミングになると制御信号が供給されることでスイッチング素子８２がオンし、これにより、スイッチがオンとなっている発光部１１１、換言すれば、アノードが電源ＶＣＣに接続されている発光素子１１０が有する発光部１１１に電流が流れ、発光対象の発光素子１１０が発光する。選択信号や制御信号の生成、これらに基づくスイッチング制御は、例えば、制御部２００によって行われる。照明装置１００が制御部を有する構成とし、当該制御部が上述したスイッチング制御等を行うようにしてもよい。
　なお、図３０に示す回路構成において、図２７と同様に電源ＶＣＣと各発光部１１１との間にスイッチを設け、発光素子１１０における発光部１１１の個別駆動を可能としてもよい。
［一実施形態により得られる効果］
　以上、本開示の一実施形態について説明した。一実施形態によれば、例えば、下記の効果が得られる。
　発光部からの光ビームの光出力を大きくすることができるとともに、発散角を小さくすることができる。これにより発光部の先に配置されるレンズ部のそれぞれの径を小さくすることができ、且つ、測距レンジを拡大することができる。
　また、発散角を小さくすることができるため、ある発光部から出射される光ビームと、当該発光部に隣接する発光部から出射される光ビームとの干渉を防ぐために、発光部間の間隔を大きくする必要がない。従って、照明装置を小さくすることができる。また、安価に照明装置を製造することが可能となる。
　なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって、限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。
＜変形例＞
　以上、本開示の実施形態について具体的に説明したが、本開示の内容は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
　また、上述した実施形態の構成、方法、工程、形状、材料および数値等は、本開示の主旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。また、一実施形態で説明した複数の構成例は互いに組み合わせることや入れ替えることが可能である。
＜応用例＞
　また、本技術に係る技術は、上述した応用例に限定されることなく、様々な製品へ応用することができる。例えば、本技術に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット、建設機械、農業機械（トラクター）などのいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
　図３１は、本技術に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システム７０００の概略的な構成例を示すブロック図である。車両制御システム７０００は、通信ネットワーク７０１０を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図３１に示した例では、車両制御システム７０００は、駆動系制御ユニット７１００、ボディ系制御ユニット７２００、バッテリ制御ユニット７３００、車外情報検出ユニット７４００、車内情報検出ユニット７５００、及び統合制御ユニット７６００を備える。これらの複数の制御ユニットを接続する通信ネットワーク７０１０は、例えば、ＣＡＮ（Controller　Area　Network）、ＬＩＮ（Local　Interconnect　Network）、ＬＡＮ（Local　Area　Network）又はＦｌｅｘＲａｙ（登録商標）等の任意の規格に準拠した車載通信ネットワークであってよい。
　各制御ユニットは、各種プログラムにしたがって演算処理を行うマイクロコンピュータと、マイクロコンピュータにより実行されるプログラム又は各種演算に用いられるパラメータ等を記憶する記憶部と、各種制御対象の装置を駆動する駆動回路とを備える。各制御ユニットは、通信ネットワーク７０１０を介して他の制御ユニットとの間で通信を行うためのネットワークＩ／Ｆを備えるとともに、車内外の装置又はセンサー等との間で、有線通信又は無線通信により通信を行うための通信Ｉ／Ｆを備える。図３１では、統合制御ユニット７６００の機能構成として、マイクロコンピュータ７６１０、汎用通信Ｉ／Ｆ７６２０、専用通信Ｉ／Ｆ７６３０、測位部７６４０、ビーコン受信部７６５０、車内機器Ｉ／Ｆ７６６０、音声画像出力部７６７０、車載ネットワークＩ／Ｆ７６８０及び記憶部７６９０が図示されている。他の制御ユニットも同様に、マイクロコンピュータ、通信Ｉ／Ｆ及び記憶部等を備える。
　駆動系制御ユニット７１００は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット７１００は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。駆動系制御ユニット７１００は、ＡＢＳ（Antilock　Brake　System）又はＥＳＣ（Electronic　Stability　Control）等の制御装置としての機能を有してもよい。
　駆動系制御ユニット７１００には、車両状態検出部７１１０が接続される。車両状態検出部７１１０には、例えば、車体の軸回転運動の角速度を検出するジャイロセンサー、車両の加速度を検出する加速度センサー、あるいは、アクセルペダルの操作量、ブレーキペダルの操作量、ステアリングホイールの操舵角、エンジン回転数又は車輪の回転速度等を検出するためのセンサーのうちの少なくとも一つが含まれる。駆動系制御ユニット７１００は、車両状態検出部７１１０から入力される信号を用いて演算処理を行い、内燃機関、駆動用モータ、電動パワーステアリング装置又はブレーキ装置等を制御する。
　ボディ系制御ユニット７２００は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット７２００は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット７２００には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット７２００は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
　バッテリ制御ユニット７３００は、各種プログラムにしたがって駆動用モータの電力供給源である二次電池７３１０を制御する。例えば、バッテリ制御ユニット７３００には、二次電池７３１０を備えたバッテリ装置から、バッテリ温度、バッテリ出力電圧又はバッテリの残存容量等の情報が入力される。バッテリ制御ユニット７３００は、これらの信号を用いて演算処理を行い、二次電池７３１０の温度調節制御又はバッテリ装置に備えられた冷却装置等の制御を行う。
　車外情報検出ユニット７４００は、車両制御システム７０００を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット７４００には、撮像部７４１０及び車外情報検出部７４２０のうちの少なくとも一方が接続される。撮像部７４１０には、ＴｏＦ（Time　Of　Flight）カメラ、ステレオカメラ、単眼カメラ、赤外線カメラ及びその他のカメラのうちの少なくとも一つが含まれる。車外情報検出部７４２０には、例えば、現在の天候又は気象を検出するための環境センサー、あるいは、車両制御システム７０００を搭載した車両の周囲の他の車両、障害物又は歩行者等を検出するための周囲情報検出センサーのうちの少なくとも一つが含まれる。
　環境センサーは、例えば、雨天を検出する雨滴センサー、霧を検出する霧センサー、日照度合いを検出する日照センサー、及び降雪を検出する雪センサーのうちの少なくとも一つであってよい。周囲情報検出センサーは、超音波センサー、レーダ装置及びＬＩＤＡＲ（Light　Detection　and　Ranging、Laser　Imaging　Detection　and　Ranging）装置のうちの少なくとも一つであってよい。これらの撮像部７４１０及び車外情報検出部７４２０は、それぞれ独立したセンサーないし装置として備えられてもよいし、複数のセンサーないし装置が統合された装置として備えられてもよい。
　ここで、図３２は、撮像部７４１０及び車外情報検出部７４２０の設置位置の例を示す。撮像部７９１０，７９１２，７９１４，７９１６，７９１８は、例えば、車両７９００のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部のうちの少なくとも一つの位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部７９１０及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部７９１８は、主として車両７９００の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部７９１２，７９１４は、主として車両７９００の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部７９１６は、主として車両７９００の後方の画像を取得する。車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部７９１８は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
　なお、図３２には、それぞれの撮像部７９１０，７９１２，７９１４，７９１６の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲ａは、フロントノーズに設けられた撮像部７９１０の撮像範囲を示し、撮像範囲ｂ，ｃは、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部７９１２，７９１４の撮像範囲を示し、撮像範囲ｄは、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部７９１６の撮像範囲を示す。例えば、撮像部７９１０，７９１２，７９１４，７９１６で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両７９００を上方から見た俯瞰画像が得られる。
　車両７９００のフロント、リア、サイド、コーナ及び車室内のフロントガラスの上部に設けられる車外情報検出部７９２０，７９２２，７９２４，７９２６，７９２８，７９３０は、例えば超音波センサー又はレーダ装置であってよい。車両７９００のフロントノーズ、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部に設けられる車外情報検出部７９２０，７９２６，７９３０は、例えばＬＩＤＡＲ装置であってよい。これらの車外情報検出部７９２０～７９３０は、主として先行車両、歩行者又は障害物等の検出に用いられる。
　図３１に戻って説明を続ける。車外情報検出ユニット７４００は、撮像部７４１０に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像データを受信する。また、車外情報検出ユニット７４００は、接続されている車外情報検出部７４２０から検出情報を受信する。車外情報検出部７４２０が超音波センサー、レーダ装置又はＬＩＤＡＲ装置である場合には、車外情報検出ユニット７４００は、超音波又は電磁波等を発信させるとともに、受信された反射波の情報を受信する。車外情報検出ユニット７４００は、受信した情報に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。車外情報検出ユニット７４００は、受信した情報に基づいて、降雨、霧又は路面状況等を認識する環境認識処理を行ってもよい。車外情報検出ユニット７４００は、受信した情報に基づいて、車外の物体までの距離を算出してもよい。
　また、車外情報検出ユニット７４００は、受信した画像データに基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等を認識する画像認識処理又は距離検出処理を行ってもよい。車外情報検出ユニット７４００は、受信した画像データに対して歪補正又は位置合わせ等の処理を行うとともに、異なる撮像部７４１０により撮像された画像データを合成して、俯瞰画像又はパノラマ画像を生成してもよい。車外情報検出ユニット７４００は、異なる撮像部７４１０により撮像された画像データを用いて、視点変換処理を行ってもよい。
　車内情報検出ユニット７５００は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット７５００には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部７５１０が接続される。運転者状態検出部７５１０は、運転者を撮像するカメラ、運転者の生体情報を検出する生体センサー又は車室内の音声を集音するマイク等を含んでもよい。生体センサーは、例えば、座面又はステアリングホイール等に設けられ、座席に座った搭乗者又はステアリングホイールを握る運転者の生体情報を検出する。車内情報検出ユニット７５００は、運転者状態検出部７５１０から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。車内情報検出ユニット７５００は、集音された音声信号に対してノイズキャンセリング処理等の処理を行ってもよい。
　統合制御ユニット７６００は、各種プログラムにしたがって車両制御システム７０００内の動作全般を制御する。統合制御ユニット７６００には、入力部７８００が接続されている。入力部７８００は、例えば、タッチパネル、ボタン、マイクロフォン、スイッチ又はレバー等、搭乗者によって入力操作され得る装置によって実現される。統合制御ユニット７６００には、マイクロフォンにより入力される音声を音声認識することにより得たデータが入力されてもよい。入力部７８００は、例えば、赤外線又はその他の電波を利用したリモートコントロール装置であってもよいし、車両制御システム７０００の操作に対応した携帯電話又はＰＤＡ（Personal　Digital　Assistant）等の外部接続機器であってもよい。入力部７８００は、例えばカメラであってもよく、その場合搭乗者はジェスチャにより情報を入力することができる。あるいは、搭乗者が装着したウェアラブル装置の動きを検出することで得られたデータが入力されてもよい。さらに、入力部７８００は、例えば、上記の入力部７８００を用いて搭乗者等により入力された情報に基づいて入力信号を生成し、統合制御ユニット７６００に出力する入力制御回路などを含んでもよい。搭乗者等は、この入力部７８００を操作することにより、車両制御システム７０００に対して各種のデータを入力したり処理動作を指示したりする。
　記憶部７６９０は、マイクロコンピュータにより実行される各種プログラムを記憶するＲＯＭ（Read　Only　Memory）、及び各種パラメータ、演算結果又はセンサー値等を記憶するＲＡＭ（Random　Access　Memory）を含んでいてもよい。また、記憶部７６９０は、ＨＤＤ（Hard　Disc　Drive）等の磁気記憶デバイス、半導体記憶デバイス、光記憶デバイス又は光磁気記憶デバイス等によって実現してもよい。
　汎用通信Ｉ／Ｆ７６２０は、外部環境７７５０に存在する様々な機器との間の通信を仲介する汎用的な通信Ｉ／Ｆである。汎用通信Ｉ／Ｆ７６２０は、ＧＳＭ（登録商標）（Global　System　of　Mobile　communications）、ＷｉＭＡＸ（登録商標）、ＬＴＥ（登録商標）（Long　Term　Evolution）若しくはＬＴＥ－Ａ（LTE－Advanced）などのセルラー通信プロトコル、又は無線ＬＡＮ（Ｗｉ－Ｆｉ（登録商標）ともいう）、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）などのその他の無線通信プロトコルを実装してよい。汎用通信Ｉ／Ｆ７６２０は、例えば、基地局又はアクセスポイントを介して、外部ネットワーク（例えば、インターネット、クラウドネットワーク又は事業者固有のネットワーク）上に存在する機器（例えば、アプリケーションサーバ又は制御サーバ）へ接続してもよい。また、汎用通信Ｉ／Ｆ７６２０は、例えばＰ２Ｐ（Peer　To　Peer）技術を用いて、車両の近傍に存在する端末（例えば、運転者、歩行者若しくは店舗の端末、又はＭＴＣ（Machine　Type　Communication）端末）と接続してもよい。
　専用通信Ｉ／Ｆ７６３０は、車両における使用を目的として策定された通信プロトコルをサポートする通信Ｉ／Ｆである。専用通信Ｉ／Ｆ７６３０は、例えば、下位レイヤのＩＥＥＥ８０２。１１ｐと上位レイヤのＩＥＥＥ１６０９との組合せであるＷＡＶＥ（Wireless　Access　in　Vehicle　Environment）、ＤＳＲＣ（Dedicated　Short　Range　Communications）、又はセルラー通信プロトコルといった標準プロトコルを実装してよい。専用通信Ｉ／Ｆ７６３０は、典型的には、車車間（Vehicle　to　Vehicle）通信、路車間（Vehicle　to　Infrastructure）通信、車両と家との間（Vehicle　to　Home）の通信及び歩車間（Vehicle　to　Pedestrian）通信のうちの１つ以上を含む概念であるＶ２Ｘ通信を遂行する。
　測位部７６４０は、例えば、ＧＮＳＳ（Global　Navigation　Satellite　System）衛星からのＧＮＳＳ信号（例えば、ＧＰＳ（Global　Positioning　System）衛星からのＧＰＳ信号）を受信して測位を実行し、車両の緯度、経度及び高度を含む位置情報を生成する。なお、測位部７６４０は、無線アクセスポイントとの信号の交換により現在位置を特定してもよく、又は測位機能を有する携帯電話、ＰＨＳ若しくはスマートフォンといった端末から位置情報を取得してもよい。
　ビーコン受信部７６５０は、例えば、道路上に設置された無線局等から発信される電波あるいは電磁波を受信し、現在位置、渋滞、通行止め又は所要時間等の情報を取得する。なお、ビーコン受信部７６５０の機能は、上述した専用通信Ｉ／Ｆ７６３０に含まれてもよい。
　車内機器Ｉ／Ｆ７６６０は、マイクロコンピュータ７６１０と車内に存在する様々な車内機器７７６０との間の接続を仲介する通信インターフェースである。車内機器Ｉ／Ｆ７６６０は、無線ＬＡＮ、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、ＮＦＣ（Near　Field　Communication）又はＷＵＳＢ（Wireless　USB）といった無線通信プロトコルを用いて無線接続を確立してもよい。また、車内機器Ｉ／Ｆ７６６０は、図示しない接続端子（及び、必要であればケーブル）を介して、ＵＳＢ（Universal　Serial　Bus）、ＨＤＭＩ（登録商標）（High-Definition　Multimedia　Interface、又はＭＨＬ（Mobile　High-definition　Link）等の有線接続を確立してもよい。車内機器７７６０は、例えば、搭乗者が有するモバイル機器若しくはウェアラブル機器、又は車両に搬入され若しくは取り付けられる情報機器のうちの少なくとも１つを含んでいてもよい。また、車内機器７７６０は、任意の目的地までの経路探索を行うナビゲーション装置を含んでいてもよい。車内機器Ｉ／Ｆ７６６０は、これらの車内機器７７６０との間で、制御信号又はデータ信号を交換する。
　車載ネットワークＩ／Ｆ７６８０は、マイクロコンピュータ７６１０と通信ネットワーク７０１０との間の通信を仲介するインターフェースである。車載ネットワークＩ／Ｆ７６８０は、通信ネットワーク７０１０によりサポートされる所定のプロトコルに則して、信号等を送受信する。
　統合制御ユニット７６００のマイクロコンピュータ７６１０は、汎用通信Ｉ／Ｆ７６２０、専用通信Ｉ／Ｆ７６３０、測位部７６４０、ビーコン受信部７６５０、車内機器Ｉ／Ｆ７６６０及び車載ネットワークＩ／Ｆ７６８０のうちの少なくとも一つを介して取得される情報に基づき、各種プログラムにしたがって、車両制御システム７０００を制御する。例えば、マイクロコンピュータ７６１０は、取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット７１００に対して制御指令を出力してもよい。例えば、マイクロコンピュータ７６１０は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むＡＤＡＳ（Advanced　Driver　Assistance　System）の機能実現を目的とした協調制御を行ってもよい。また、マイクロコンピュータ７６１０は、取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行ってもよい。
　マイクロコンピュータ７６１０は、汎用通信Ｉ／Ｆ７６２０、専用通信Ｉ／Ｆ７６３０、測位部７６４０、ビーコン受信部７６５０、車内機器Ｉ／Ｆ７６６０及び車載ネットワークＩ／Ｆ７６８０のうちの少なくとも一つを介して取得される情報に基づき、車両と周辺の構造物や人物等の物体との間の３次元距離情報を生成し、車両の現在位置の周辺情報を含むローカル地図情報を作成してもよい。また、マイクロコンピュータ７６１０は、取得される情報に基づき、車両の衝突、歩行者等の近接又は通行止めの道路への進入等の危険を予測し、警告用信号を生成してもよい。警告用信号は、例えば、警告音を発生させたり、警告ランプを点灯させたりするための信号であってよい。
　音声画像出力部７６７０は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図３１の例では、出力装置として、オーディオスピーカ７７１０、表示部７７２０及びインストルメントパネル７７３０が例示されている。表示部７７２０は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。表示部７７２０は、ＡＲ（Augmented　Reality）表示機能を有していてもよい。出力装置は、これらの装置以外の、ヘッドホン、搭乗者が装着する眼鏡型ディスプレイ等のウェアラブルデバイス、プロジェクタ又はランプ等の他の装置であってもよい。出力装置が表示装置の場合、表示装置は、マイクロコンピュータ７６１０が行った各種処理により得られた結果又は他の制御ユニットから受信された情報を、テキスト、イメージ、表、グラフ等、様々な形式で視覚的に表示する。また、出力装置が音声出力装置の場合、音声出力装置は、再生された音声データ又は音響データ等からなるオーディオ信号をアナログ信号に変換して聴覚的に出力する。
　なお、図３１に示した例において、通信ネットワーク７０１０を介して接続された少なくとも二つの制御ユニットが一つの制御ユニットとして一体化されてもよい。あるいは、個々の制御ユニットが、複数の制御ユニットにより構成されてもよい。さらに、車両制御システム７０００が、図示されていない別の制御ユニットを備えてもよい。また、上記の説明において、いずれかの制御ユニットが担う機能の一部又は全部を、他の制御ユニットに持たせてもよい。つまり、通信ネットワーク７０１０を介して情報の送受信がされるようになっていれば、所定の演算処理が、いずれかの制御ユニットで行われるようになってもよい。同様に、いずれかの制御ユニットに接続されているセンサー又は装置が、他の制御ユニットに接続されるとともに、複数の制御ユニットが、通信ネットワーク７０１０を介して相互に検出情報を送受信してもよい。
　以上説明した車両制御システム７０００において、本技術の照明装置は、例えば、車外情報検出部に適用され得る。
　なお、本技術は以下のような構成もとることができる。
（１）
　アレイ状に配列され、それぞれが略平行の光ビームを出射する複数の発光部と、
　各発光部から出射される光ビームを集光する集光部と、
　前記集光後に発散する光ビームを略平行にするとともに、それぞれの光ビームの出射方向を変える変換部と、
　を有する照明装置。
（２）
　前記発光部から出射される光ビームの発散角が２度以下である、
　（１）に記載の照明装置。
（３）
　前記発光部は、励起光源層と、レーザ媒質と、可飽和吸収体とを含む、
　（１）又は（２）に記載の照明装置。
（４）
　前記発光部は、前記励起光源層と、前記レーザ媒質と、前記可飽和吸収体とが積層された構造を有する、
　（３）に記載の照明装置。
（５）
　前記励起光源層は、第１波長に対する第１反射層と、前記第１波長の面発光を行う活性層と、を有し、
　前記レーザ媒質は、前記励起光源層の光軸の後方側に配置され、前記励起光源層と対向する第１面に第２波長に対する第２反射層及び前記第１面と反対側の第２面に前記第１波長に対する第３反射層を有し、
　前記第２面に配置されるか、又は、前記第２面より光軸の後方側に配置される、前記第２波長に対する第４反射層と、
　前記第１反射層および前記第３反射層の間で前記第１波長の光を共振させる第１共振器と、
　前記第２反射層および前記第４反射層の間で前記第２波長の光を共振させる第２共振器と、を有し、
　前記可飽和吸収体は、前記レーザ媒質と反対側の第３面に前記第４反射層を有し、
　前記励起光源層の光軸、前記レーザ媒質の光軸、及び、前記可飽和吸収体の光軸は、一軸上に配置される、
　（３）又は（４）に記載の照明装置。
（６）
　前記レーザ媒質と前記可飽和吸収体とが積層して配置されており、
　前記励起光源層から出射された光ビームを前記レーザ媒質に集光する集光レンズ部を有する、
　（３）に記載の照明装置。
（７）
　前記変換部から出射された光ビームをライン状光ビームに変換する光学素子を有する、
　（１）から（６）までの何れかに記載の照明装置。
（８）
　前記ライン状光ビームを複数に分割する回折格子を有する、
　（７）に記載の照明装置。
（９）
　前記変換部及び前記複数の発光部の少なくとも一方が駆動部により駆動されることで、前記ライン状光ビームが走査される、
　（７）又は（８）に記載の照明装置。
（１０）
　前記駆動部を有する、
　（９）に記載の照明装置。
（１１）
　前記駆動部は、ＶＣＭ、ピエゾ素子、形状記憶合金素子、及び、液晶素子の何れかにより構成される、
　（１０）に記載の照明装置。
（１２）
　前記ライン状光ビームのライン方向とは略直交する方向に配列される複数の発光部を含む第１発光素子と、
　前記第１発光素子と隣接し、前記ライン状光ビームのライン方向とは略垂直な方向に配列される複数の発光部を含む第２発光素子とを有し、
　前記第１発光素子から出射される光ビームに基づくライン状光ビームの間が、前記第２発光素子から出射される光ビームに基づくライン状光ビームにより補間される、
　（７）に記載の照明装置。
（１３）
　（１）から（１２）までの何れかに記載の照明装置と、
　前記照明装置を制御する制御部と、
　対象物から反射された反射光を受光する受光部と、
　前記受光部で得られた画像データから測距距離を算出する測距部と、
　を有する測距装置。
（１４）
　（１３）に記載の測距装置を有する車載装置。
１・・・測距装置
２・・・励起光源
３・・・固体レーザ媒質
４・・・可飽和吸収体
４１・・・マイクロレンズアレイ
５１、５６・・・拡散板
５５・・・シリンドリカルレンズ
６０・・・駆動部
１００・・・照明装置
１１０・・・発光素子
１１１・・・発光部
１２０・・・マイクロレンズアレイ
１３０・・・光学レンズ
２００・・・制御部
２１０・・・受光部
２２０・・・測距部

Claims (14)

  1. 　アレイ状に配列され、それぞれが略平行の光ビームを出射する複数の発光部と、
    　各発光部から出射される光ビームを集光する集光部と、
    　前記集光後に発散する光ビームを略平行にするとともに、それぞれの光ビームの出射方向を変える変換部と、
    　を有する照明装置。
  2. 　前記発光部から出射される光ビームの発散角が２度以下である、
    　請求項１に記載の照明装置。
  3. 　前記発光部は、励起光源層と、レーザ媒質と、可飽和吸収体とを含む、
    　請求項１に記載の照明装置。
  4. 　前記発光部は、前記励起光源層と、前記レーザ媒質と、前記可飽和吸収体とが積層された構造を有する、
    　請求項３に記載の照明装置。
  5. 　前記励起光源層は、第１波長に対する第１反射層と、前記第１波長の面発光を行う活性層と、を有し、
    　前記レーザ媒質は、前記励起光源層の光軸の後方側に配置され、前記励起光源層と対向する第１面に第２波長に対する第２反射層及び前記第１面と反対側の第２面に前記第１波長に対する第３反射層を有し、
    　前記第２面に配置されるか、又は、前記第２面より光軸の後方側に配置される、前記第２波長に対する第４反射層と、
    　前記第１反射層および前記第３反射層の間で前記第１波長の光を共振させる第１共振器と、
    　前記第２反射層および前記第４反射層の間で前記第２波長の光を共振させる第２共振器と、を有し、
    　前記可飽和吸収体は、前記レーザ媒質と反対側の第３面に前記第４反射層を有し、
    　前記励起光源層の光軸、前記レーザ媒質の光軸、及び、前記可飽和吸収体の光軸は、一軸上に配置される、
    　請求項３に記載の照明装置。
  6. 　前記レーザ媒質と前記可飽和吸収体とが積層して配置されており、
    　前記励起光源層から出射された光ビームを前記レーザ媒質に集光する集光レンズ部を有する、
    　請求項３に記載の照明装置。
  7. 　前記変換部から出射された光ビームをライン状光ビームに変換する光学素子を有する、
    　請求項１に記載の照明装置。
  8. 　前記ライン状光ビームを複数に分割する回折格子を有する、
    　請求項７に記載の照明装置。
  9. 　前記変換部及び前記複数の発光部の少なくとも一方が駆動部により駆動されることで、前記ライン状光ビームが走査される、
    　請求項７に記載の照明装置。
  10. 　前記駆動部を有する、
    　請求項９に記載の照明装置。
  11. 　前記駆動部は、ＶＣＭ、ピエゾ素子、形状記憶合金素子、及び、液晶素子の何れかにより構成される、
    　請求項１０に記載の照明装置。
  12. 　前記ライン状光ビームのライン方向とは略直交する方向に配列される複数の発光部を含む第１発光素子と、
    　前記第１発光素子と隣接し、前記ライン状光ビームのライン方向とは略垂直な方向に配列される複数の発光部を含む第２発光素子とを有し、
    　前記第１発光素子から出射される光ビームに基づくライン状光ビームの間が、前記第２発光素子から出射される光ビームに基づくライン状光ビームにより補間される、
    　請求項７に記載の照明装置。
  13. 　請求項１に記載の照明装置と、
    　前記照明装置を制御する制御部と、
    　対象物から反射された反射光を受光する受光部と、
    　前記受光部で得られた画像データから測距距離を算出する測距部と、
    　を有する測距装置。
  14. 　請求項１３に記載の測距装置を有する車載装置。
PCT/JP2023/020952 2022-06-24 2023-06-06 照明装置、測距装置及び車載装置 Ceased WO2023248779A1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US18/875,136 US20250362411A1 (en) 2022-06-24 2023-06-06 Illumination device, distance measuring device, and in-vehicle device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022101493 2022-06-24
JP2022-101493 2022-06-24

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2023248779A1 true WO2023248779A1 (ja) 2023-12-28

Family

ID=89379875

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2023/020952 Ceased WO2023248779A1 (ja) 2022-06-24 2023-06-06 照明装置、測距装置及び車載装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20250362411A1 (ja)
WO (1) WO2023248779A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4585965A1 (de) * 2024-01-09 2025-07-16 Sick Ag Beleuchtungseinrichtung für einen optoelektronischen sensor zum erfassen von objekten in einem überwachungsbereich und optoelektronischer sensor
WO2026004630A1 (ja) * 2024-06-24 2026-01-02 スタンレー電気株式会社 発光モジュール
WO2026023382A1 (ja) * 2024-07-25 2026-01-29 スタンレー電気株式会社 発光モジュールおよび光学装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013502716A (ja) * 2009-08-20 2013-01-24 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 角度選択的なフィードバックを有する縦キャビティ面発光レーザー装置
JP2017204618A (ja) * 2016-05-13 2017-11-16 株式会社リコー 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、画像形成装置、画像表示装置、レーザ加工機、レーザアニール装置、点火装置及び面発光レーザ素子の製造方法。
WO2019053998A1 (ja) * 2017-09-13 2019-03-21 ソニー株式会社 距離測定モジュール
JP2020092256A (ja) * 2018-11-27 2020-06-11 株式会社リコー 光源、光源装置、光学装置、計測装置、ロボット、電子機器、移動体、および造形装置
WO2020166420A1 (ja) * 2019-02-13 2020-08-20 ソニー株式会社 レーザ加工機、加工方法及びレーザ光源
WO2021043851A1 (en) * 2019-09-03 2021-03-11 Xenomatix Nv Projector for a solid-state lidar system

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013502716A (ja) * 2009-08-20 2013-01-24 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 角度選択的なフィードバックを有する縦キャビティ面発光レーザー装置
JP2017204618A (ja) * 2016-05-13 2017-11-16 株式会社リコー 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、画像形成装置、画像表示装置、レーザ加工機、レーザアニール装置、点火装置及び面発光レーザ素子の製造方法。
WO2019053998A1 (ja) * 2017-09-13 2019-03-21 ソニー株式会社 距離測定モジュール
JP2020092256A (ja) * 2018-11-27 2020-06-11 株式会社リコー 光源、光源装置、光学装置、計測装置、ロボット、電子機器、移動体、および造形装置
WO2020166420A1 (ja) * 2019-02-13 2020-08-20 ソニー株式会社 レーザ加工機、加工方法及びレーザ光源
WO2021043851A1 (en) * 2019-09-03 2021-03-11 Xenomatix Nv Projector for a solid-state lidar system

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4585965A1 (de) * 2024-01-09 2025-07-16 Sick Ag Beleuchtungseinrichtung für einen optoelektronischen sensor zum erfassen von objekten in einem überwachungsbereich und optoelektronischer sensor
WO2026004630A1 (ja) * 2024-06-24 2026-01-02 スタンレー電気株式会社 発光モジュール
WO2026023382A1 (ja) * 2024-07-25 2026-01-29 スタンレー電気株式会社 発光モジュールおよび光学装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20250362411A1 (en) 2025-11-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2023248779A1 (ja) 照明装置、測距装置及び車載装置
US20180269646A1 (en) Solid-state laser for lidar system
JP7160045B2 (ja) 半導体レーザ駆動回路、距離測定装置及び電子機器
US12300969B2 (en) Surface emitting laser, electronic device, and method for manufacturing surface emitting laser
WO2018179650A1 (ja) 測距装置及び車両
WO2023176308A1 (ja) 発光装置、測距装置及び車載装置
CN119856071A (zh) 具有超透镜的紧凑型lidar系统
WO2023153084A1 (ja) 面発光レーザ及び面発光レーザの製造方法
US20260003041A1 (en) Lighting device, ranging device, and onboard device
WO2024122207A1 (ja) 照明装置及び測距装置
WO2024048325A1 (ja) 光源装置、測距装置、及び測距方法
US20240222941A1 (en) Light-emitting element array, and manufacturing method of light-emitting element array
US20200358933A1 (en) Imaging device and electronic apparatus
CN121219609A (zh) 薄型轮廓的安装在挡风玻璃上的LiDAR系统
WO2025134717A1 (ja) 測距装置及び測距システム
WO2025192464A1 (ja) レーザ素子及び測距システム
CN118805309A (zh) 表面发射激光器、表面发射激光器阵列以及表面发射激光器的制造方法
WO2023017631A1 (ja) 半導体レーザー、測距装置および車載装置
WO2025197414A1 (ja) レーザ素子、スイッチ素子、及び測距システム
WO2026088738A1 (ja) 発光装置及び測距システム
US20250096526A1 (en) Semiconductor laser device, distance measurement device, and vehicle-mounted device
TW202450205A (zh) 面發光元件
US20240069169A1 (en) Film electromagnetic mirror
WO2023199645A1 (ja) 面発光レーザ
WO2024171727A1 (ja) 発光装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 23826966

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 18875136

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 23826966

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 18875136

Country of ref document: US