WO2023248293A1 - 電機子ユニット、およびリニアモータ - Google Patents

電機子ユニット、およびリニアモータ Download PDF

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    • H02K5/10—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof with arrangements for protection from ingress, e.g. water or fingers

Definitions

  • the present disclosure relates to an armature unit and a linear motor.
  • Patent Document 1 a linear motor that drives a mechanical table is known (for example, Patent Document 1).
  • Linear motors that drive mechanical tables are used in a variety of environments. For example, when a linear motor is used in a machine tool, there is a risk that cutting fluid or chips may enter the armature, causing a malfunction of the armature.
  • the armature unit comprises an armature and a gasket having at least one rubber layer and a metal layer that can be placed between the machine table and the armature.
  • An armature gasket includes at least two rubber layers and a metal layer sandwiched between the at least two rubber layers.
  • FIG. 2 is a side view showing an example of a gasket having a rubber layer and a metal layer.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of an armature unit to which a mechanical table is fixed.
  • FIG. 3 is a sectional view showing an example of an armature unit including a cooling plate.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of an armature unit to which a mechanical table is fixed.
  • the armature unit is an armature unit for a linear motor.
  • the linear motor drives, for example, a machine tool or a machine table of a measuring device.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an example of an armature unit.
  • the armature unit 1 comprises an armature 2 and a gasket 3 with at least one rubber layer that can be arranged between the machine table and the armature 2.
  • the armature 2 is a member having a winding that generates an induced electromotive force through relative movement with a magnetic field.
  • the armature 2 has, for example, a rectangular parallelepiped shape in which each surface is rectangular, and includes a winding inside.
  • the armature 2 moves along a stator (not shown) that generates a magnetic field.
  • a machine table is a member on which objects are placed.
  • a machine table is used in a machine tool, a workpiece is placed on the machine table as an object.
  • a mechanical table is used in a measuring device, an object to be measured is placed on the mechanical table.
  • the machine table is formed, for example, in the shape of a rectangular parallelepiped, each face of which is a rectangle.
  • the gasket 3 is a sealing material that provides airtightness and liquidtightness to the structure.
  • the gasket 3 is formed into the same rectangular shape as the upper surface of the armature 2, for example.
  • the gasket 3 may have at least two rubber layers and a metal layer sandwiched between the at least two rubber layers.
  • the rubber layer is a layer of a polymer compound that has elasticity.
  • the polymer compound is, for example, an elastomer.
  • the rubber layer is a thin sheet-like member.
  • the metal layer is composed of a thin plate-shaped metal.
  • the metal is, for example, stainless steel.
  • FIG. 2 is a side view showing an example of a gasket 3 having a rubber layer and a metal layer.
  • the gasket 3 includes two rubber layers 31 and a metal layer 32 sandwiched between the two rubber layers 31.
  • the rubber layer 31 and the metal layer 32 are bonded to each other with, for example, an adhesive.
  • the thickness dg of the gasket 3 is 0.1 [mm] or more and 5 [mm] or less. Moreover, the thickness dr of one rubber layer 31 is 0.01 [mm] or more and 0.1 [mm] or less. Note that when the thickness dr of one rubber layer 31 is, for example, 0.1 [mm], the thickness dg of the gasket 3 is thicker than at least 0.2 [mm], and the thickness of the gasket 3 described above is greater than 0.2 [mm]. It is natural that the thickness becomes thicker than the lower limit value of dg of 0.1.
  • the thickness dm of the metal layer 32 is 0.2 [mm]
  • the thickness dr of one rubber layer 31 is 0.025 [mm]
  • the total thickness is 0.25 [mm]. It is.
  • FIG. 3 is a sectional view showing an example of the armature unit 1 to which a mechanical table is fixed.
  • Gasket 3 is sandwiched between armature 2 and machine table T. This can prevent foreign matter such as cutting fluid from entering between the armature 2 and the gasket 3. That is, the armature 2 can be made waterproof by the metal touch of the metal layer 32 included in the gasket 3.
  • the machine table T and the armature 2 may be fixed to each other using, for example, a known clamp member.
  • the armature 2 can be made waterproof.
  • the liquid sealant also has the properties of an adhesive, it becomes difficult to remove the machine table T from the armature 2.
  • the liquid sealant is highly likely to cause uneven coating, and in this case, the armature 2 cannot be sufficiently waterproofed. Therefore, for example, if holes are formed on the surface of the armature 2, there is a risk that cutting fluid or the like may enter through the holes.
  • the armature unit 1 of the present disclosure includes an armature 2 and a gasket 3 having at least one rubber layer 31 and a metal layer 32 that can be placed between the machine table T and the armature 2. Therefore, since the gasket 3 is not a sealing material, the machine table T can be easily removed from the armature 2. In other words, the armature unit 1 of the present disclosure has high maintainability. Further, problems such as uneven coating during manufacturing do not occur.
  • the armature unit 1 of the present disclosure includes the rubber layer 31, it has high heat insulation properties. That is, it is possible to prevent the heat generated by the armature 2 from being transmitted to the machine table T. Therefore, deformation of the mechanical table T due to heat can be prevented. As a result, when the machine table T is used in a machine tool, the machining accuracy of the workpiece can be improved. Furthermore, when the mechanical table T is used in a measuring device, the measurement accuracy of the object to be measured can be improved.
  • a cooling plate C provided with a cooling pipe between the armature 2 and the machine table T, it is possible to prevent the heat generated in the armature 2 from being transmitted to the machine table T (see Fig. 4).
  • the cooling plate C is thick and the armature unit 1 becomes large.
  • a chiller is required to cool the cooling water, which increases the size of the machine. Chillers also consume large amounts of energy. As a result, carbon dioxide emissions will increase.
  • the gasket 3 of the armature unit 1 is thin, the armature unit 1 can be made smaller.
  • the thickness dr of one rubber layer 31 is 0.01 [mm] or more and 0.1 [mm] or less. Further, the thickness of the gasket is 0.1 [mm] or more and 5 [mm] or less.
  • the joint rigidity between the armature 2 and the machine table T can be increased.
  • the mechanical table T is less likely to vibrate, and the positioning accuracy of the mechanical table T is increased.
  • the armature unit 1 of the present disclosure does not use a chiller. Therefore, energy consumption can be suppressed.
  • the greatest advantage of the armature unit 1 of the present disclosure is that it can simultaneously achieve the above-described effects of waterproofness, ease of maintenance, ease of manufacture, heat insulation, miniaturization, and suppression of energy consumption.
  • FIG. 5 is a perspective view showing an example of the armature unit 1.
  • a screw hole 21 for a bolt is formed in the upper surface of the armature 2.
  • the table is fixed to the armature 2 using this screw hole 21.
  • the gasket 3 is formed with a plurality of bolt holes 33 at positions corresponding to the screw holes 21 for inserting bolts therethrough.
  • the bolt hole 33 is formed, for example, by laser processing.
  • FIG. 6 is a sectional view showing an example of the armature unit 1 to which the machine table T is fixed.
  • Gasket 3 is sandwiched between armature 2 and machine table T.
  • the bolt B is inserted through the hole in the table and the bolt hole 33 in the gasket 3, and then tightened into the screw hole 21 in the armature 2.
  • This can prevent liquid from entering between the machine table T and the armature 2.
  • liquid can be prevented from entering the screw holes 21 of the armature 2.
  • a plate P equipped with an O-ring R can be placed around the bolt B (see FIG. 7). In this case, it is possible to prevent liquid from entering between the machine table T and the plate P and between the plate P and the armature 2. However, in this case, the armature unit 1 becomes larger by the thickness of the plate P. Furthermore, the plate P cannot prevent the heat generated by the armature 2 from being transmitted to the machine table T.
  • the gasket 3 of the armature unit 1 is thin, the armature unit 1 can be made smaller. Further, since the gasket 3 has the rubber layer 31, it can exhibit a heat insulating effect.
  • the gasket 3 of the embodiment described above does not have unevenness, the gasket 3 may have unevenness at a position surrounding the bolt hole 33.
  • FIG. 8 is a perspective view showing an example of the armature unit 1.
  • An uneven portion 34 is formed around the bolt hole 33.
  • the uneven portion 34 is formed by, for example, a press machine. That is, by press working, the metal layer 32 of the gasket 3 is plastically deformed, and the uneven portion 34 is formed.
  • the uneven portion 34 is formed to surround one bolt hole 33. That is, a plurality of uneven portions 34 are formed in the gasket 3 so as to surround each bolt hole 33.
  • FIGS. 9A and 9B are cross-sectional views showing an example of the armature unit 1 to which the mechanical table T is fixed.
  • FIG. 9A shows the state before bolt B is tightened.
  • FIG. 9B shows the state after the bolt B has been tightened.
  • the gasket 3 has a first surface and a second surface on the back side of the first surface.
  • the surface in contact with the machine table T is the first surface.
  • the surface in contact with the armature 2 is the second surface.
  • a convex portion 341 is formed on the first surface, and a concave portion 342 is formed at a position corresponding to the convex portion 341 on the second surface. Further, as described above, the recess 342 and the projection 341 are formed to surround one bolt hole 33.
  • the top portion of the convex portion 341 receives a pressing force from the lower surface of the machine table T.
  • This increases the pressure acting on the contact surface between the machine table T and the gasket 3 and the pressure acting between the armature 2 and the gasket 3.
  • the gasket 3 of the present disclosure differs from ordinary gaskets in that it also includes a metal layer 32 in addition to the rubber layer 31. Therefore, the metal touch bonding force due to the metal layer 32 increases, and the contact pressure can be further increased as described above. As a result, it is possible to stably prevent liquid from entering between the machine table T and the armature 2.
  • a small space is formed between the recess 342 of the gasket 3 and the upper surface of the armature 2. This space contains air. Therefore, an air layer is formed between the armature 2 and the gasket 3, and the heat insulation effect of the gasket 3 can be enhanced.
  • the uneven portion 34 is formed to surround one bolt hole 33.
  • the uneven portion 34 may be formed to surround the plurality of bolt holes 33.
  • FIG. 10 is a diagram showing an example of a gasket 3 in which an uneven portion 34 is formed to surround a plurality of bolt holes 33.
  • an uneven portion 34 is formed so as to surround all the bolt holes 33.
  • the lower surface of the machine table T only needs to be in contact with the uneven portion 34 of the gasket 3.
  • the region inside the portion that contacts the uneven portion 34 does not necessarily need to be in contact with the gasket 3 . Therefore, as shown in FIG. 11, the thickness of the region located inside the portion in contact with the uneven portion 34 can be made thinner than the thickness of the region in contact with the uneven portion 34. Thereby, the weight of the machine table T can be reduced.
  • FIGS. 12 and 13 are diagrams showing other examples of the gasket 3 in which a concavo-convex portion 34 is formed to surround a plurality of bolt holes 33.
  • an uneven portion 34 is formed to surround a plurality of bolt holes 33 arranged in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the gasket 3.
  • an uneven portion 34 is formed so as to surround a plurality of bolt holes 33 arranged in the longitudinal direction of the gasket 3.

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Abstract

電機子ユニットが、電機子と、機械テーブルと電機子との間に配置可能な少なくとも１つのゴム層および金属層を有するガスケットと、を備える。

Description

電機子ユニット、およびリニアモータ
　本開示は、電機子ユニット、およびリニアモータに関する。
　従来、機械テーブルを駆動させるリニアモータが知られている（例えば、特許文献１）。
特開２００４－３４３８７３号公報
　機械テーブルを駆動させるリニアモータは、様々な環境下で用いられる。例えば、工作機械にリニアモータが用いられると、切削液、または切粉などが電機子に入り込み、電機子に不具合が生じるおそれがある。
　したがって、異物が入り込むことを防ぐことが可能な電機子ユニットが求められている。
　電機子ユニットが、電機子と、機械テーブルと電機子との間に配置可能な少なくとも１つのゴム層および金属層を有するガスケットと、を備える。
　電機子用ガスケットが、少なくとも２つのゴム層と、少なくとも２つのゴム層によって挟まれる金属層と、を備える。
　本開示の一態様により、電機子に異物が入り込むことを防止することができる。
電機子ユニットの一例を示す斜視図である。 ゴム層と金属層を有するガスケットの一例を示す側面図である。 機械テーブルが固定された電機子ユニットの一例を示す断面図である。 冷却プレートを備えた電機子ユニットの一例を示す断面図である。 電機子ユニットの一例を示す斜視図である。 機械テーブルが固定された電機子ユニットの一例を示す断面図である。 プレートを備えた電機子ユニットの一例を示す断面図である。 電機子ユニットの一例を示す斜視図である。 電機子ユニットの一例を示す断面図である。 電機子ユニットの一例を示す断面図である。 複数のボルト用孔を囲むように凹凸部が形成されたガスケットの例を示す図である。 機械テーブルおよび電機子ユニットの一例を示す断面図である。 複数のボルト用孔を囲むように凹凸部が形成されたガスケットの他の例を示す図である。 複数のボルト用孔を囲むように凹凸部が形成されたガスケットの他の例を示す図である。
　以下、本開示の実施形態に係る電機子ユニット、および電機子用ガスケットについて図面を用いて説明する。なお、以下の実施形態で説明する特徴のすべての組み合わせが課題解決に必ずしも必要であるとは限らない。また、必要以上の詳細な説明を省略する場合がある。また、以下の実施形態の説明、および図面は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるものであり、請求の範囲を限定することを意図していない。
　電機子ユニットは、リニアモータ用の電機子ユニットである。リニアモータは、例えば、工作機械、または計測装置の機械テーブルを駆動させる。
　図１は、電機子ユニットの一例を示す斜視図である。電機子ユニット１は、電機子２と、機械テーブルと電機子２との間に配置可能な少なくとも１つのゴム層を有するガスケット３と、を備えている。
　電機子２は、磁界との相対運動によって誘導起電力を発生させる巻線を有する部材である。電機子２は、例えば、各面が長方形の面で構成される直方体形状であり、内部に巻線を備えている。電機子２は、磁界を発生させるステータ（不図示）に沿って移動する。
　機械テーブルは、物が載置される部材である。機械テーブルが工作機械で用いられている場合、機械テーブル上には物としてワークが載置される。機械テーブルが計測装置で用いられている場合、機械テーブル上には物として被計測物が載置される。機械テーブルは、例えば、各面が長方形の面で構成される直方体形状に形成される。
　ガスケット３は、構造物に気密性、液密性を与えるためのシール材である。ガスケット３は、例えば、電機子２の上面と同じ長方形に形成される。ガスケット３は、少なくとも２つのゴム層と、少なくとも２つのゴム層によって挟まれる金属層とを有していてよい。
　ゴム層は、弾性を有する高分子化合物の層である。高分子化合物は、例えば、エラストマーである。ゴム層は、薄いシート状の部材である。
　金属層は、薄い板状の金属によって構成される。金属は、例えば、ステンレスである。
　図２は、ゴム層と金属層を有するガスケット３の一例を示す側面図である。ガスケット３は、２つのゴム層３１と、２つのゴム層３１によって挟まれる金属層３２とを有している。ゴム層３１と金属層３２は、例えば、接着剤などで互いに接着される。
　ガスケット３の厚みdgは、０．１［ｍｍ］以上、５［ｍｍ］以下である。また、１つのゴム層３１の厚みdrは、０．０１［ｍｍ］以上、０．１［ｍｍ］以下である。なお、１つのゴム層３１の厚みdrが、例えば、０．１［ｍｍ］であるとき、ガスケット３の厚みdgは、少なくとも、０．２［ｍｍ］よりも厚くなり、上述したガスケット３の厚みdgの下限値０．１よりも厚くなることは当然である。
　図２に示すガスケット３では、金属層３２の厚みdmが、０．２［ｍｍ］、１つのゴム層３１の厚みdrが、０．０２５［ｍｍ］、合計で０．２５［ｍｍ］の厚みである。
　図３は、機械テーブルが固定された電機子ユニット１の一例を示す断面図である。ガスケット３は、電機子２と機械テーブルＴとの間に挟まれる。これにより、電機子２とガスケット３との間に切削液などの異物が入り込むことを防ぐことができる。すなわち、ガスケット３に含まれる金属層３２のメタルタッチにより電機子２を防水することができる。なお、機械テーブルＴと電機子２とは、例えば、公知のクランプ部材によって互いに固定されればよい。
　例えば、電機子２と機械テーブルＴとの間に液状のシール材を塗布したとしても、電機子２を防水することはできる。しかし、液状のシール材は、接着剤の性能も併せ持っているため、機械テーブルＴを電機子２から取り外すことが難しくなる。また、液状のシール材は、塗りむらが発生する可能性が高く、この場合、十分に電機子２を防水することができない。そのため、例えば、電機子２の表面に孔が形成されている場合、孔から切削液などが浸入してしまうおそれがある。
　一方、本開示の電機子ユニット１は、電機子２と、機械テーブルＴと電機子２との間に配置可能な少なくとも１つのゴム層３１および金属層３２を有するガスケット３と、を備える。したがって、ガスケット３はシール材ではないため、機械テーブルＴを電機子２から容易に取り外すことができる。つまり、本開示の電機子ユニット１はメンテナンス性が高い。また、製造上の塗りむら等の問題も発生しない。
　さらに、本開示の電機子ユニット１は、ゴム層３１を備えているので、断熱性が高い。つまり、電機子２で発生した熱が機械テーブルＴに伝わることを防ぐことができる。そのため、熱により機械テーブルＴが変形することを防ぐことができる。その結果、機械テーブルＴが工作機械に用いられている場合には、ワークの加工精度を高めることができる。また、機械テーブルＴが計測装置に用いられている場合には、被計測物の計測精度を高めることができる。
　例えば、冷却管を備える冷却プレートＣを電機子２と機械テーブルＴとの間に配置することにより、電機子２で発生した熱が機械テーブルＴに伝わることを防ぐことができる（図４参照）。しかし、冷却プレートＣは、厚みが厚く、電機子ユニット１が大型化してしまう。さらに、冷却水を冷却するためにチラーが必要になり、機械が大型化してしまう。また、チラーは、大量のエネルギーを消費する。その結果、二酸化炭素の排出量が増加してしまう。
　一方、電機子ユニット１のガスケット３は、厚みが薄いため電機子ユニット１を小型化することができる。１つのゴム層３１の厚みdrは、０．０１［ｍｍ］以上、０．１［ｍｍ］以下である。また、ガスケットの厚みは、０．１［ｍｍ］以上、５［ｍｍ］以下である。
　ゴム層３１の厚みdr、およびガスケットの厚みをこのような厚みにすることにより、電機子２と機械テーブルＴとの結合剛性を高めることができる。その結果、機械テーブルＴが振動しにくくなり、機械テーブルＴの位置決め精度が高まる。
　また、本開示の電機子ユニット１は、チラーを用いていない。そのため、エネルギー消費を抑制することができる。
　本開示の電機子ユニット１は、上記記載の防水性、メンテナンス性、製造の容易化、断熱性、小型化、およびエネルギー消費の抑制という効果を同時に達成できる点が最大のメリットである。
　上述した実施形態のガスケット３には孔が形成されていない。しかし、機械テーブルＴがボルトで電機子２に固定される場合は、ガスケット３にボルト用孔が形成されていてもよい。
　図５は、電機子ユニット１の一例を示す斜視図である。電機子２の上面には、ボルト用のねじ穴２１が形成される。このねじ穴２１を利用して、テーブルが電機子２に固定される。また、ガスケット３には、ねじ穴２１に対応する位置にボルトを挿通させるための複数のボルト用孔３３が形成されている。ボルト用孔３３は、例えば、レーザ加工によって形成される。
　図６は、機械テーブルＴが固定された電機子ユニット１の一例を示す断面図である。ガスケット３は、電機子２と機械テーブルＴとの間に挟まれる。ボルトＢは、テーブルの孔とガスケット３のボルト用孔３３とを挿入されて電機子２のねじ穴２１に締め込まれる。これにより、機械テーブルＴと電機子２との間に液体が浸入することを防ぐことができる。その結果、電機子２のねじ穴２１に液体が浸入することを防ぐことができる。
　電機子２に形成されたねじ穴２１に液体が浸入することを防ぐために、例えば、ボルトＢの周りにＯリングＲを備えるプレートＰを配置することができる（図７参照）。この場合、機械テーブルＴとプレートＰとの間、およびプレートＰと電機子２との間に液体が浸入することを防ぐことができる。しかし、この場合、プレートＰの厚みの分だけ電機子ユニット１が大型化してしまう。また、プレートＰは電機子２で発生した熱が機械テーブルＴに伝達することを防ぐことができない。
　一方、電機子ユニット１のガスケット３は、厚みが薄いため電機子ユニット１を小型化することができる。また、ガスケット３はゴム層３１を有するため断熱効果を発揮することができる。
　上述した実施形態のガスケット３は凹凸を有していないが、ガスケット３は、ボルト用孔３３を囲う位置に凹凸を有していてもよい。
　図８は、電機子ユニット１の一例を示す斜視図である。ボルト用孔３３の周りには、凹凸部３４が形成される。凹凸部３４は、例えば、プレス機により形成される。つまり、プレス加工により、ガスケット３の金属層３２が塑性変形して凹凸部３４が形成される。
　凹凸部３４は、１つのボルト用孔３３を囲むように形成されている。つまり、ガスケット３には、各ボルト用孔３３を囲むように複数の凹凸部３４が形成されている。
　図９Ａおよび図９Ｂは、機械テーブルＴが固定された電機子ユニット１の一例を示す断面図である。図９Ａは、ボルトＢが締め付けられる前の状態を示している。また、図９Ｂは、ボルトＢが締め付けられた後の状態を示している。
　ガスケット３は第１の面と第１の面の裏側に第２の面とを有する。図９Ａおよび図９Ｂにおいて、機械テーブルＴに接する面が第１の面である。また、電機子２に接する面が第２の面である。第１の面には凸部３４１が形成され、第２の面の凸部３４１に対応する位置には凹部３４２が形成される。また、上述したとおり、凹部３４２および凸部３４１は、１つのボルト用孔３３を囲むように形成されている。
　ボルトＢが電機子２に形成されたねじ穴２１に締め込まれると、凸部３４１の頂上部分が機械テーブルＴの下面から押圧力を受ける。これにより、機械テーブルＴとガスケット３との接触面に働く圧力、および電機子２とガスケット３の間に働く圧力が高まる。本開示のガスケット３は、通常のガスケットとは異なり、ゴム層３１に加えて金属層３２も含む。そのため、金属層３２によるメタルタッチ結合力が増し、上述したように接触圧力をより高めることができる。その結果、機械テーブルＴと電機子２との間に液体が浸入することを安定して防止することができる。
　また、ガスケット３の凹部３４２と電機子２の上面との間にはわずかな空間が形成される。この空間は空気を含む。したがって、電機子２とガスケット３との間に空気層が形成され、ガスケット３の断熱効果を高めることができる。
　上述した実施形態では、１つのボルト用孔３３を囲むように凹凸部３４が形成されている。しかし、凹凸部３４は、複数のボルト用孔３３を囲むように形成されていてもよい。
　図１０は、複数のボルト用孔３３を囲むように凹凸部３４が形成されたガスケット３の例を示す図である。図１０に示すガスケット３では、すべてのボルト用孔３３を囲むように凹凸部３４が形成されている。この場合、機械テーブルＴの下面は、ガスケット３の凹凸部３４と接していればよい。つまり、凹凸部３４に接する部分よりも内側の領域は、必ずしも、ガスケット３に接している必要はない。したがって、図１１に示すように、凹凸部３４に接する部分よりも内側にある領域の厚みは、凹凸部３４に接する領域の厚みよりも薄くすることができる。これにより、機械テーブルＴの軽量化を図ることができる。
　図１２および図１３は、複数のボルト用孔３３を囲むように凹凸部３４が形成されたガスケット３の他の例を示す図である。
　図１２に示すガスケット３では、ガスケット３の長手方向に直交する方向に並ぶ複数のボルト用孔３３を囲むように凹凸部３４が形成されている。図１３に示すガスケット３では、ガスケット３の長手方向に並ぶ複数のボルト用孔３３を囲むように凹凸部３４が形成される。これにより、各ボルト用孔３３の周りに凹凸部３４を形成するよりも、凹凸部３４を形成するためプレス加工の回数を少なくすることができる。
　なお、本開示は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、本開示の実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。
　　１　　　　　　　電機子ユニット
　　２　　　　　　　電機子
　　２１　　　　　　ねじ穴
　　３　　　　　　　ガスケット
　　３１　　　　　　ゴム層
　　３２　　　　　　金属層
　　３３　　　　　　ボルト用孔
　　３４　　　　　　凹凸部
　　３４１　　　　　凸部
　　３４２　　　　　凹部
　　Ｔ　　　　　　　機械テーブル
　　Ｂ　　　　　　　ボルト
　　Ｃ　　　　　　　冷却プレート
　　Ｐ　　　　　　　プレート
　　Ｒ　　　　　　　Ｏリング

Claims (7)

  1. 　電機子と、
    　機械テーブルと前記電機子との間に配置可能な少なくとも１つのゴム層および金属層を有するガスケットと、
    を備える電機子ユニット。
  2. 　前記ガスケットは、少なくとも２つのゴム層と、前記少なくとも２つのゴム層によって挟まれる金属層とを有する請求項１に記載の電機子ユニット。
  3. 　前記少なくとも１つのゴム層の厚みは、０．０１［ｍｍ］以上、０．１［ｍｍ］以下である請求項１または２に記載の電機子ユニット。
  4. 　前記ガスケットの厚みは、０．１［ｍｍ］以上、５［ｍｍ］以下である請求項１～３のいずれか１項に記載の電機子ユニット。
  5. 　前記ガスケットには、ボルト用孔が形成されている請求項１～４のいずれか１項に記載の電機子ユニット。
  6. 　前記ガスケットは第１の面と前記第１の面の裏側に第２の面とを有し、前記第１の面には凸部が形成され、前記第２の面の前記凸部に対応する位置には凹部が形成され、前記凹部および前記凸部は、１または複数の前記ボルト用孔を囲むように形成されている請求項５に記載の電機子ユニット。
  7. 　請求項１～６のいずれか１項に記載の電機子ユニットを備えるリニアモータ。
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