WO2023243242A1 - リニアガイド - Google Patents

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WO2023243242A1
WO2023243242A1 PCT/JP2023/016802 JP2023016802W WO2023243242A1 WO 2023243242 A1 WO2023243242 A1 WO 2023243242A1 JP 2023016802 W JP2023016802 W JP 2023016802W WO 2023243242 A1 WO2023243242 A1 WO 2023243242A1
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WO
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rail
block
feed screw
screw shaft
linear guide
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PCT/JP2023/016802
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English (en)
French (fr)
Inventor
京延 星野
正人 福永
幸治 水戸
雅也 澤田
陽一 青山
敬由 下土
Original Assignee
Thk株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Thk株式会社 filed Critical Thk株式会社
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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04—Ball or roller bearings
    • F16C29/06—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20—Screw mechanisms
    • F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts

Definitions

  • the present invention relates to a linear guide used for position adjustment of sensors, optical equipment, electronic equipment, precision equipment, etc.
  • a stage using a feed screw is used to adjust the position of sensors, etc. (see Patent Document 1).
  • the stage includes a fixed part attached to a base and a sliding part attached to a sensor or the like.
  • a dovetail groove is formed in the sliding component.
  • the fixed component is formed with a dovetail that fits into the dovetail groove of the sliding component.
  • the sliding part is slidable relative to the fixed part.
  • the fixed component is rotatably provided with a feed screw shaft.
  • the sliding component is provided with a female threaded tube that is screwed into the feed screw shaft.
  • a sliding fixing screw is screwed into the fixing part. After adjusting the position of the sliding part, when the sliding fixing screw is screwed into the fixed part, the wall of the dovetail groove of the sliding part falls toward the dovetail of the fixed part, pushing the dovetail of the fixed part. Therefore, the position of the sliding component after position adjustment can be fixed.
  • the present invention was made in view of the above problems, and an object of the present invention is to manufacture a small stage using a linear guide.
  • one aspect of the present invention includes a single rail, a single block movable relative to the rail, and a feed rotatably attached to one of the rail or the block.
  • the present invention is a linear guide including a screw shaft and a torque generating member provided on the other side of the rail or the block and having a female screw threadedly engaged with the feed screw shaft.
  • a small stage can be manufactured using a linear guide. Furthermore, since the position of the block after position adjustment can be fixed by the torque generating member, there is no need for a sliding fixing screw or the like for fixing the position of the block.
  • FIG. 1 is a perspective view of a linear guide according to a first embodiment of the present invention. It is an exploded perspective view of the linear guide of the above-mentioned 1st embodiment. It is a sectional view along the feed screw axis of the linear guide of the above-mentioned 1st embodiment. It is a sectional view of the circulation path of the linear guide of the above-mentioned 1st embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view of an XY stage in which the linear guides of the first embodiment are stacked at right angles. It is a perspective view of the linear guide of the 2nd embodiment of this invention. It is an exploded perspective view of the linear guide of the above-mentioned 2nd embodiment.
  • FIG. 7 is a sectional view taken along the feed screw axis of the linear guide according to the second embodiment.
  • FIG. 1 is a perspective view of a linear guide 1 according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of the linear guide 1
  • FIG. 3 is a sectional view of the linear guide 1 along the feed screw shaft 5
  • FIG. A cross-sectional view of the circulation path of the linear guide 1 is shown.
  • the linear guide 1 includes a single rail 3, a single block 4, a feed screw shaft 5 rotatably attached to the rail 3, and a torque generator provided in the block 4.
  • a member 7 is provided.
  • existing linear guides sold as products can be used.
  • the rail 3 extends linearly.
  • a feed screw shaft 5 is rotatably attached to the rail 3.
  • the extending direction of the rail 3 and the axial direction of the feed screw shaft 5 are the same.
  • the rail 3 has an upper surface and a pair of left and right side surfaces. Attachment holes 9 are formed in the upper surface of the rail 3 for fastening the rail 3 to a base using a fastening member (not shown) such as a bolt. On the left and right side surfaces of the rail 3, rolling element rolling portions 3a are formed. A block 4 is attached to the rail 3 so as to be relatively movable via rolling elements 10 (see FIG. 4) such as balls. As the blocks 4 move relative to each other, the rolling elements 10 roll on the rolling element rolling portions 3a of the rails 3 (see FIG. 4).
  • a support plate 12 is fixed to one end of the rail 3 using a fastening member 11 such as a bolt.
  • a through hole 12a through which the feed screw shaft 5 passes is formed in the support plate 12.
  • a nut 13 is screwed onto the feed screw shaft 5.
  • the feed screw shaft 5 is rotatably supported by the support plate 12 by sandwiching the support plate 12 between the head (operating portion 5a) of the feed screw shaft 5 and the nut 13 via the washer 14.
  • the feed screw shaft 5 has only one end supported in a cantilever manner, and both ends thereof are not supported at both ends.
  • the feed screw shaft 5 includes a head (operating portion 5a) and a male thread 5b. A hexagonal wrench or a driver is engaged with the operating portion 5a. The feed screw shaft 5 can be rotated manually.
  • a first notch 15 is formed in the rail 3 to avoid interference with the holding member 6. Furthermore, a second notch 16 into which the feed screw shaft 5 is inserted is formed in the rail 3.
  • the first notch 15 is in the form of a bottomless through hole (see FIG. 3).
  • the second notch 16 is shaped like a groove with a bottom (see FIG. 3).
  • the second notch portions 16 are formed at both ends of the first notch portion 15 in the axial direction.
  • the feed screw shaft 5 is not in contact with the rail 3 due to the first notch 15 and the second notch 16 .
  • the width of the second notch 16 is narrower than the width of the first notch 15, and the holding member 6 cannot enter the second notch 16.
  • the block 4 is assembled to the rail 3 so that it can move relative to it.
  • the block 4 has a web portion 4-1 facing the upper surface of the rail 3, and left and right sleeve portions 4-2 facing the left and right side surfaces of the rail 3.
  • a rolling element rolling portion 21a is formed in the left and right sleeve portions 4-2.
  • the block 4 includes a block main body 21 and a pair of lid members 22 attached to both ends of the block main body 21 in the front-rear direction.
  • the block body 21 has a rolling element rolling portion 21a formed therein, and a return path B parallel to the rolling element rolling portion 21a.
  • a load path A is formed between the rolling element rolling portion 21a of the block body 21 and the rolling element rolling portion 3a of the rail 3.
  • a substantially U-shaped turn path C connected to the load path A and the return path B is formed in the lid member 22 .
  • the load path A, the return path B, and the turn path C constitute a circulation path.
  • a plurality of rolling elements 10 are arranged in the circulation path so as to be able to circulate.
  • a holding member 6 is fixed to the block 4.
  • a torque generating member 7 is held by the holding member 6 .
  • a screw hole 25 is formed in the upper surface of the holding member 6 to be screwed into a fastening member 24 such as a bolt.
  • a mounting hole 4a for fastening the holding member 6 to the block 4 is formed in the block 4.
  • the holding member 6 has a substantially cylindrical shape, and left and right side surfaces 6a are formed flat. Due to this. The strength of the rail 3 can be ensured by narrowing the width of the first notch 15 of the rail 3 into which the holding member 6 is inserted. As shown in FIG. 3, a recess 4b for positioning the holding member 6 is formed on the lower surface of the block 4 by means of a spigot. Note that the holding member 6 may be aligned with the block 4 using a positioning pin or the like.
  • the holding member 6 is formed with a housing hole 6b that extends in a direction perpendicular to the axial direction of the feed screw shaft 5.
  • the accommodation hole 6b has a circular cross section and passes through the holding member 6 in the vertical direction.
  • a substantially cylindrical torque generating member 7 is accommodated in the accommodation hole 6b.
  • the holding member 6 has a female thread 6c formed on one side of the torque generating member 7 to be screwed into the feed screw shaft 5. Further, the holding member 6 is formed with a through hole 6d on the other side of the torque generating member 7 into which the feed screw shaft 5 is inserted.
  • the inner surface of the through hole 6d is cylindrical, and the inner diameter is larger than the outer diameter of the feed screw shaft 5.
  • the torque generating member 7 is accommodated in the accommodation hole 6b of the holding member 6.
  • the torque generating member 7 is made of resin.
  • the torque generating member 7 may be simply inserted into the accommodation hole 6b of the holding member 6, or may be fixed to the accommodation hole 6b using an adhesive.
  • a through hole 7a extending in the axial direction of the feed screw shaft 5 is formed in the torque generating member 7.
  • the inner surface of the through hole 7a is cylindrical and has no internal thread.
  • the inner diameter of the through hole 7a is smaller than the outer diameter of the thread of the feed screw shaft 5, and preferably smaller than the diameter of the root of the feed screw shaft 5.
  • the feed screw shaft 5 screwed into the female thread 6c of the holding member 6 is used to form a female thread 7b on the inner surface of the through hole 7a of the torque generating member 7. construction). That is, by rotating the feed screw shaft 5, the feed screw shaft 5 is screwed into the through hole 7a of the torque generating member 7, and a female thread 7b is machined on the inner surface of the through hole 7a.
  • the female thread 7b of the torque generating member 7 is in close contact with the flanks on both sides of the thread of the feed screw shaft 5 without any gaps. Therefore, play in the axial direction of the linear guide 1 can be eliminated. Also.
  • the torque generating member 7 When an attempt is made to rotate the feed screw shaft 5, the torque generating member 7 generates a torque that resists the rotation of the feed screw shaft 5. Therefore, the position of the block 4 after position adjustment can be fixed.
  • the upper surface of the block 4 is formed with a through hole 4c through which a fastening member (not shown) inserted into the mounting hole 9 of the rail 3 passes.
  • the through holes 4c of the block 4 are formed at the same pitch as the mounting holes 9 of the rail 3.
  • screw holes 4d and 4e are formed on the upper surface of the block 4 for fixing a mounted object such as a sensor.
  • the screw hole 4e can also be used to stack another linear guide 1 on top of the linear guide 1 at right angles to manufacture an XY stage 1,1.
  • the pitch of the screw holes 4e is equal to the pitch of the mounting holes 9 of the rail 3.
  • a small stage can be manufactured using the linear guide 1. Since the position of the block 4 after position adjustment can be fixed by the torque generating member 7, there is no need for a sliding fixing screw or the like for fixing the position of the block 4.
  • the block 4 is formed to have a U-shaped cross section and the rolling element rolling portions 21a are formed on the left and right sleeve portions 4-2 of the block 4, the guiding accuracy and rigidity of the linear guide 1 can be improved.
  • the rail 3 has a first notch 15 into which the holding member 6 is inserted, and a second notch 16 which is narrower in width than the first notch 15 and into which the feed screw shaft 5 is inserted.
  • the parts 15 and 16 can prevent the rigidity of the rail 3 from decreasing.
  • the torque generating member 7 can be provided on the block 4 even if the size of the block 4 in the height direction is small.
  • a female thread 6c is formed on the holding member 6 to be screwed into the feed screw shaft 5
  • a female thread 7b can be formed in the through hole 7a of the torque generating member 7 using the feed screw shaft 5.
  • the female screw 6c is formed on one side of the torque generating member 7 of the holding member 6, and the through hole 6d is formed on the other side of the torque generating member 7, the female screw 7b can be formed on the torque generating member 7 with high precision. can.
  • the mounting hole 9 is formed in the rail 3 and the through hole 4c through which the fastening member is passed is formed in the block 4, even if the stroke of the block 4 is small (that is, even if the mounting hole 9 is not exposed on the upper surface of the rail 3).
  • the rail 3 can be attached to the base.
  • balls are used as the rolling elements, but rollers can also be used.
  • the circulation method of the rolling elements is infinite circulation, but it can also be finite circulation.
  • the guiding method is rolling guidance, but sliding guidance may also be used. (Second embodiment)
  • FIG. 6 to 8 show a linear guide 31 according to a second embodiment of the present invention.
  • 6 is a perspective view of the linear guide 31
  • FIG. 7 is an exploded perspective view of the linear guide 31
  • FIG. 8 is a sectional view of the linear guide 31 along the feed screw shaft 5.
  • the linear guide 31 of the second embodiment also includes a single rail 33, a single block 34, a feed screw shaft 5, A torque generating member 7 is provided.
  • the feed screw shaft 5 is rotatably attached to the rail 3, whereas in the linear guide 31 of the second embodiment, the feed screw shaft 5 is rotatably attached to the block 34. It is attached. Further, in the linear guide 1 of the first embodiment, the torque generating member 7 is provided on the block 4, whereas in the linear guide 31 of the second embodiment, the torque generating member 7 is provided on the rail 33.
  • the basic configuration of the rail 33 is substantially the same as the rail 3 of the first embodiment. That is, as shown in FIG. 7, rolling element rolling portions 33a are formed on the left and right side surfaces of the rail 33.
  • a block 34 is attached to the rail 33 so as to be relatively movable via rolling elements 10 such as balls.
  • Attachment holes 35 are formed in the upper surface of the rail 33 for attaching the rail 33 to a base.
  • the rail 33 is formed with an accommodation hole 33b in which the torque generating member 7 is accommodated.
  • This accommodation hole 33b extends in a direction perpendicular to the axial direction of the feed screw shaft 5.
  • the rail 33 has a female thread 33c formed on one side of the torque generating member 7 to be screwed into the feed screw shaft 5, and a through hole into which the feed screw shaft 5 is inserted on the other side of the torque generating member 7. 33d is formed.
  • a notch 33e is formed at one end of the rail 33 to avoid interference with a support plate 37 that moves together with the block 34.
  • the configuration of the torque generating member 7 is substantially the same as the torque generating member 7 of the first embodiment.
  • the configuration of the feed screw shaft 5 is also substantially the same as the feed screw shaft 5 of the first embodiment.
  • the feed screw shaft 5 screwed into the female thread 33c of the rail 33 is used to insert a female thread 7b into the inner surface of the through hole 7a (see FIG. 7) of the torque generating member 7.
  • the basic configuration of the block 34 is substantially the same as the block 4 of the first embodiment. That is, the block 34 has a web portion 34-1 facing the upper surface of the rail 33, and left and right sleeve portions 34-2 facing the left and right side surfaces of the rail 33. A rolling element rolling portion facing the rolling element rolling portion 33a of the rail 33 is formed in the left and right sleeve portions 34-2.
  • a support plate 37 is fixed to one end of the block 34 using a fastening member 38 such as a bolt.
  • the feed screw shaft 5 is rotatably supported by the support plate 37 .
  • the configurations of the nut 13 and washer 14 are substantially the same as in the first embodiment. Further, the configurations of the screw holes 34e, 34d and the through hole 34c formed on the upper surface of the block 34 are also substantially the same as in the first embodiment.
  • the linear guide 31 of the second embodiment the following effects are achieved.
  • a small stage can be manufactured using the linear guide 31. Since the position of the block 34 after position adjustment can be fixed by the torque generating member 7, there is no need for a sliding fixing screw or the like for fixing the position of the block 34.
  • the block 34 is formed to have a U-shaped cross section and the rolling element rolling portions are formed on the left and right sleeve portions 34-2 of the block 34, the guiding accuracy and rigidity of the linear guide 31 can be improved.
  • the female thread 33c is formed on one side of the torque generating member 7 of the rail 33 and the through hole 33d is formed on the other side of the torque generating member 7, the female thread 33c can be formed on the torque generating member 7 with high precision. .

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Abstract

リニアガイドを用いて小型のステージを製造することを課題とする。 本発明のリニアガイド（１）は、単一のレール（３）と、レール（３）に対して相対移動可能な単一のブロック（４）と、レール（３）又はブロック（４）の一方に回転可能に取り付けられる送りねじ軸（５）と、レール（３）又はブロック（４）の他方に設けられ、送りねじ軸（５）に螺合する雌ねじを有するトルク発生部材（７）と、を備える。

Description

リニアガイド
　本発明は、センサ、光学機器、電子機器、精密機器等の位置調節に用いられるリニアガイドに関する。
　センサ等の位置調節に送りねじを使用したステージが用いられる（特許文献１参照）。ステージは、土台に取り付けられる固定部品と、センサ等に取り付けられる摺動部品と、を備える。摺動部品には、あり溝が形成される。固定部品には、摺動部品のあり溝に嵌まるありが形成される。摺動部品は、固定部品に対して摺動可能である。
　固定部品には、送りねじ軸が回転可能に設けられる。摺動部品には、送りねじ軸に螺合する雌ねじ筒が設けられる。送りねじ軸に取り付けられたハンドルを回転させると、固定部品に対して摺動部品が送りねじ軸の軸方向に移動する。このため、摺動部品に取り付けられたセンサ等の位置調節を行うことができる。
　固定部品には、摺動固定ねじが螺合する。摺動部品の位置調節が終わった後、摺動固定ねじを固定部品にねじ込むと、摺動部品のあり溝の壁部が固定部品のありに向かって倒れて、固定部品のありを押す。このため、位置調節後の摺動部品の位置を固定することができる。
特許第４５１２１６６号
　しかし、従来のステージにおいては、位置調節後に摺動固定ねじを操作する必要がある。この操作に手間がかかるし、この操作により摺動部品の微小な位置ずれが生じていた。また、摺動部品の位置を固定するための構造が複雑なので、ステージを小型化しにくかった。
　本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであり、リニアガイドを用いて小型のステージを製造することを目的とする。
　上記課題を解決するために、本発明の一態様は、単一のレールと、前記レールに対して相対移動可能な単一のブロックと、前記レール又は前記ブロックの一方に回転可能に取り付けられる送りねじ軸と、前記レール又は前記ブロックの他方に設けられ、前記送りねじ軸に螺合する雌ねじを有するトルク発生部材と、を備えるリニアガイドである。
　本発明によれば、リニアガイドを用いて小型のステージを製造することができる。また、トルク発生部材によって位置調節後のブロックの位置を固定できるので、ブロックの位置を固定するための摺動固定ねじ等も不要になる。
本発明の第１の実施形態のリニアガイドの斜視図である。 上記第１の実施形態のリニアガイドの分解斜視図である。 上記第１の実施形態のリニアガイドの送りねじ軸に沿った断面図である。 上記第１の実施形態のリニアガイドの循環路の断面図である。 上記第１の実施形態のリニアガイドを直角に重ねたＸ－Ｙステージの斜視図である。 本発明の第２の実施形態のリニアガイドの斜視図である。 上記第２の実施形態のリニアガイドの分解斜視図である。 上記第２の実施形態のリニアガイドの送りねじ軸に沿った断面図である。
　以下、添付図面に基づいて、本発明のリニアガイドを詳細に説明する。ただし、本発明のリニアガイドは種々の形態で具体化することができ、本明細書に記載される実施形態に限定されるものではない。本実施形態は、明細書の開示を十分にすることによって、当業者が発明を理解できるようにする意図をもって提供されるものである。
　（第１の実施形態）
　図１は本発明の第１の実施形態のリニアガイド１の斜視図、図２はリニアガイド１の分解斜視図、図３は送りねじ軸５に沿ったリニアガイド１の断面図、図４はリニアガイド１の循環路の断面図を示す。
　図１及び図２に示すように、リニアガイド１は、単一のレール３と、単一のブロック４と、レール３に回転可能に取り付けられる送りねじ軸５と、ブロック４に設けられるトルク発生部材７と、を備える。レール３とブロック４には、製品として販売されている既存のリニアガイドのものを用いることができる。
　なお、以下では説明の便宜上、水平面に配置したリニアガイド１をレール３の長さ方向から見た方向、すなわち図１、図２の前後、左右、上下の各方向を用いて、各部の構成を説明する。もちろん、リニアガイド１の配置はこれに限られるものではない。
　図２に示すように、レール３は、直線的に延びる。レール３には、送りねじ軸５が回転可能に取り付けられる。レール３の延びる方向と送りねじ軸５の軸方向は同一である。
　レール３は、上面、左右一対の側面を有する。レール３の上面には、ボルト等の締結部材（図示せず）を用いてレール３を土台に締結するための取付穴９が形成される。レール３の左右の側面には、転動体転走部３ａが形成される。レール３には、ボール等の転動体１０（図４参照）を介してブロック４が相対移動可能に組み付けられる。ブロック４の相対移動に伴い、転動体１０がレール３の転動体転走部３ａを転走する（図４参照）。
　図２に示すように、レール３の一端部には、ボルト等の締結部材１１を用いて支持板１２が固定される。支持板１２には、送りねじ軸５が通る通し穴１２ａが形成される。送りねじ軸５には、ナット１３が螺合する。送りねじ軸５の頭部（操作部５ａ）とナット１３との間でワッシャ１４を介して支持板１２を挟むことで、送りねじ軸５が支持板１２に回転可能に支持される。送りねじ軸５は、その一端部のみが片持ち支持されていて、その両端部が両持ち支持されてはいない。
　送りねじ軸５は、頭部（操作部５ａ）と、雄ねじ５ｂと、を備える。操作部５ａには、六角レンチやドライバが係合する。送りねじ軸５は、手動により回転させることができる。
　レール３には、保持部材６との干渉を避けるための第１切欠き部１５が形成される。また、レール３には、送りねじ軸５が入る第２切欠き部１６が形成される。第１切欠き部１５は、底のない貫通穴状である（図３参照）。第２切欠き部１６は、底のある溝状である（図３参照）。第２切欠き部１６は、第１切欠き部１５の軸方向の両端に形成される。第１切欠き部１５と第２切欠き部１６により、送りねじ軸５はレール３に接触していない。第２切欠き部１６の幅は、第１切欠き部１５の幅よりも狭く、保持部材６は第２切欠き部１６に入ることができない。
　図１に示すように、ブロック４は、レール３に相対移動可能に組み付けられる。ブロック４は、レール３の上面に対向するウェブ部４－１と、レール３の左右の側面に対向する左右の袖部４－２と、を有する。左右の袖部４－２に、転動体転走部２１ａ（図４参照）が形成される。
　図２に示すように、ブロック４は、ブロック本体２１と、ブロック本体２１の前後方向の両端部に取り付けられる一対の蓋部材２２と、を備える。図４に示すように、ブロック本体２１には、転動体転走部２１ａが形成されると共に、転動体転走部２１ａと平行に戻し路Ｂが形成される。ブロック本体２１の転動体転走部２１ａとレール３の転動体転走部３ａとの間に負荷路Ａが形成される。蓋部材２２には、負荷路Ａと戻し路Ｂに接続される略Ｕ字状のターン路Ｃが形成される。負荷路Ａ、戻し路Ｂ、ターン路Ｃによって循環路が構成される。循環路には、複数の転動体１０が循環可能に配置される。
　図２に示すように、ブロック４には、保持部材６が固定される。保持部材６には、トルク発生部材７が保持される。保持部材６の上面には、ボルト等の締結部材２４に螺合するねじ穴２５が形成される。ブロック４には、ブロック４に保持部材６を締結するための取付穴４ａが形成される。
　保持部材６は、略円筒状であると共に、左右の側面６ａが平坦に形成される。これにより。保持部材６が入るレール３の第１切欠き部１５の幅を狭くして、レール３の強度を確保することができる。図３に示すように、ブロック４の下面には、インローにより保持部材６を位置合わせするための凹部４ｂが形成される。なお、位置決めピン等により保持部材６をブロック４に位置合わせしてもよい。
　図２に示すように、保持部材６には、送りねじ軸５の軸方向と直交する方向に延びる収容穴６ｂが形成される。収容穴６ｂは、断面円形であり、保持部材６を上下方向に貫通する。収容穴６ｂには、略円柱状のトルク発生部材７が収容される。
　図３に示すように、保持部材６には、トルク発生部材７の一方側に送りねじ軸５に螺合する雌ねじ６ｃが形成される。また、保持部材６には、トルク発生部材７の他方側に送りねじ軸５が入る通し穴６ｄが形成される。通し穴６ｄの内面は円筒状であり、内径は送りねじ軸５の外径よりも大きい。
　保持部材６の収容穴６ｂには、トルク発生部材７が収容される。トルク発生部材７は、樹脂製である。トルク発生部材７は、保持部材６の収容穴６ｂに挿入されるだけでもよいし、接着剤を用いて収容穴６ｂに固定されてもよい。
　図２に示すように、リニアガイド１の組み立て前には、トルク発生部材７には、送りねじ軸５の軸方向に延びる通し穴７ａが形成されている。通し穴７ａの内面は円筒状であり、雌ねじが形成されていない。通し穴７ａの内径は、送りねじ軸５のねじ山の外径よりも小さく、好ましくは送りねじ軸５の谷底の径よりも小さい。
　図３に示すように、リニアガイド１の組立て時に、保持部材６の雌ねじ６ｃに螺合する送りねじ軸５を用いて、トルク発生部材７の通し穴７ａの内面に雌ねじ７ｂを加工（例えば転造）する。すなわち、送りねじ軸５を回転させることによって、送りねじ軸５をトルク発生部材７の通し穴７ａにねじ込み、通し穴７ａの内面に雌ねじ７ｂを加工する。
　トルク発生部材７の雌ねじ７ｂは、送りねじ軸５のねじ山の両側のフランクに隙間なく密着する。このため、リニアガイド１の軸方向のガタを除去することができる。また。送りねじ軸５を回転させようとすると、トルク発生部材７によって送りねじ軸５の回転に抵抗するトルクが発生する。このため、位置調節後のブロック４の位置を固定することができる。
　図２に示すように、ブロック４の上面には、レール３の取付穴９に挿入される締結部材（図示せず）が通る通し穴４ｃが形成される。ブロック４の通し穴４ｃは、レール３の取付穴９と同一のピッチで形成される。また、ブロック４の上面には、センサ等の搭載物を固定するためのねじ穴４ｄ，４ｅが形成される。図５に示すように、ねじ穴４ｅは、リニアガイド１の上に別のリニアガイド１を直角に重ねて、Ｘ－Ｙステージ１，１を製造するためにも使用することができる。このねじ穴４ｅのピッチは、レール３の取付穴９のピッチと等しい。
　以上に本実施形態のリニアガイド１の構成を説明した。本実施形態のリニアガイド１によれば以下の効果を奏する。
　リニアガイド１を用いて小型のステージを製造することができる。トルク発生部材７によって位置調節後のブロック４の位置を固定できるので、ブロック４の位置を固定するための摺動固定ねじ等も不要になる。
　ブロック４を断面コ字状に形成し、ブロック４の左右の袖部４－２に転動体転走部２１ａを形成するので、リニアガイド１の案内精度と剛性を高めることができる。
　レール３に保持部材６が入る第１切欠き部１５を形成すると共に、第１切欠き部１５よりも幅が狭く、送りねじ軸５が入る第２切欠き部１６を形成するので、切欠き部１５，１６によってレール３の剛性が低下するのを抑えることができる。
　ブロック４に保持部材６を固定し、保持部材６にトルク発生部材７を保持させるので、ブロック４の高さ方向の寸法が小さくても、ブロック４にトルク発生部材７を設けることができる。
　保持部材６に送りねじ軸５に螺合する雌ねじ６ｃを形成するので、送りねじ軸５を用いてトルク発生部材７の通し穴７ａに雌ねじ７ｂを加工することができる。
　保持部材６の、トルク発生部材７の一方側に雌ねじ６ｃを形成し、トルク発生部材７の他方側に通し穴６ｄを形成するので、トルク発生部材７に雌ねじ７ｂを高精度に形成することができる。
　レール３に取付穴９を形成し、ブロック４に締結部材を通す通し穴４ｃを形成するので、ブロック４のストロークが小さくても（すなわちレール３の上面に取付穴９が露出しなくても）、レール３を土台に取り付けることができる。
　なお、本発明は上記実施形態に具現化されるのに限られることはなく、本発明の要旨を変更しない範囲で他の実施形態に具現化できる。
　上記実施形態では、転動体としてボールを用いているが、ローラを用いることもできる。
　上記実施形態では、転動体の循環方式が無限循環であるが、有限循環にすることもできる。
　上記実施形態では、案内方式が転がり案内であるが、すべり案内にすることもできる。
　（第２の実施形態）
　図６ないし図８は、本発明の第２の実施形態のリニアガイド３１を示す。図６はリニアガイド３１の斜視図、図７はリニアガイド３１の分解斜視図、図８は送りねじ軸５に沿ったリニアガイド３１の断面図である。
　図７に示すように、第２の実施形態のリニアガイド３１も第１の実施形態のリニアガイド１と同様に、単一のレール３３と、単一のブロック３４と、送りねじ軸５と、トルク発生部材７と、を備える。
　第１の実施形態のリニアガイド１では、送りねじ軸５がレール３に回転可能に取り付けられるのに対し、第２の実施形態のリニアガイド３１では、送りねじ軸５がブロック３４に回転可能に取り付けられる。また、第１の実施形態のリニアガイド１では、トルク発生部材７がブロック４に設けられるのに対し、第２の実施形態のリニアガイド３１では、トルク発生部材７がレール３３に設けられる。
　レール３３の基本構成は、第１の実施形態のレール３と略同一である。すなわち、図７に示すように、レール３３の左右の側面には、転動体転走部３３ａが形成される。レール３３には、ボール等の転動体１０を介してブロック３４が相対移動可能に組み付けられる。レール３３の上面には、レール３３を土台に取り付けるための取付穴３５が形成される。
　レール３３には、トルク発生部材７が収容される収容穴３３ｂが形成される。この収容穴３３ｂは、送りねじ軸５の軸方向と直交する方向に延びる。図８に示すように、レール３３には、トルク発生部材７の一方側に送りねじ軸５に螺合する雌ねじ３３ｃが形成され、トルク発生部材７の他方側に送りねじ軸５が入る通し穴３３ｄが形成される。図７に示すように、レール３３の一端部には、ブロック３４と一緒に移動する支持板３７との干渉を避けるための切欠き部３３ｅが形成される。
　トルク発生部材７の構成は、第１の実施形態のトルク発生部材７と略同一である。送りねじ軸５の構成も第１の実施形態の送りねじ軸５と略同一である。図８に示すように、リニアガイド３１の組立て時に、レール３３の雌ねじ３３ｃに螺合する送りねじ軸５を用いて、トルク発生部材７の通し穴７ａ（図７参照）の内面に雌ねじ７ｂを形成する。
　図６に示すように、ブロック３４の基本構成は、第１の実施形態のブロック４と略同一である。すなわち、ブロック３４は、レール３３の上面に対向するウェブ部３４－１と、レール３３の左右の側面に対向する左右の袖部３４－２と、を有する。左右の袖部３４－２には、レール３３の転動体転走部３３ａに対向する転動体転走部が形成される。
　図７に示すように、ブロック３４の一端部には、ボルト等の締結部材３８を用いて支持板３７が固定される。支持板３７には、送りねじ軸５が回転可能に支持される。ナット１３、ワッシャ１４の構成は、第１の実施形態と略同一である。また、ブロック３４の上面に形成されるねじ穴３４ｅ，３４ｄ、通し穴３４ｃの構成も、第１の実施形態と略同一である。
　図８に示すように、送りねじ軸５を回転させると、送りねじ軸５がレール３３に対して軸方向に移動し、送りねじ軸５と一緒にブロック３４が軸方向に移動する。送りねじ軸５の回転を停止すると、トルク発生部材７によってブロック３４の位置が固定される。
　第２の実施形態のリニアガイド３１によれば、以下の効果を奏する。
　リニアガイド３１を用いて小型のステージを製造することができる。トルク発生部材７によって位置調節後のブロック３４の位置を固定できるので、ブロック３４の位置を固定するための摺動固定ねじ等も不要になる。
　ブロック３４を断面コ字状に形成し、ブロック３４の左右の袖部３４－２に転動体転走部を形成するので、リニアガイド３１の案内精度と剛性を高めることができる。
　レール３３の、トルク発生部材７の一方側に雌ねじ３３ｃを形成し、トルク発生部材７の他方側に通し穴３３ｄを形成するので、トルク発生部材７に雌ねじ３３ｃを高精度に形成することができる。
　本明細書は、２０２２年６月１４日出願の特願２０２２－０９５３６１に基づく。この内容はすべてここに含めておく。
１…リニアガイド、３…レール、３ａ…転動体転走部、４…ブロック、４－１…ブロックのウェブ部、４－２…ブロックの袖部、４ｃ…ブロックの通し穴、５…送りねじ軸、６…保持部材、６ｃ…保持部材の雌ねじ、６ｄ…保持部材の通し穴、７…トルク発生部材、７ａ…トルク発生部材の通し穴、７ｂ…トルク発生部材の雌ねじ、９…レールの取付穴、１０…転動体、１５…レールの第１切欠き部、１６…レールの第２切欠き部、２１ａ…ブロックの転動体転走部、３１…リニアガイド、３３…レール、３３ａ…レールの転動体転走部、３３ｃ…レールの雌ねじ、３３ｄ…レールの通し穴、３４…ブロック、３４－１…ブロックのウェブ部、３４－２…ブロックの袖部、３５…レールの取付穴

Claims (5)

  1. 　単一のレールと、
    　前記レールに対して相対移動可能な単一のブロックと、
    　前記レール又は前記ブロックの一方に回転可能に取り付けられる送りねじ軸と、
    　前記レール又は前記ブロックの他方に設けられ、前記送りねじ軸に螺合する雌ねじを有するトルク発生部材と、を備えるリニアガイド。
  2. 　前記レールに転動体を介して前記ブロックが組み付けられ、
    　前記レールの左右の側面に転動体転走部が形成され、
    　前記ブロックは、前記レールの上面に対向するウェブ部と、前記レールの左右の側面に対向し、転動体転走部が形成される左右の袖部と、を有することを特徴とする請求項１に記載のリニアガイド。
  3. 　前記トルク発生部材は、前記ブロックに固定される保持部材に保持され、
    　前記レールには、前記保持部材との干渉を避けるための第１切欠き部が形成されると共に、前記送りねじ軸が入り、前記保持部材が入ることができず、前記第１切欠き部よりも幅が狭い第２切欠き部が形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアガイド。
  4. 　前記トルク発生部材は、前記ブロックに固定され、前記送りねじ軸に螺合する雌ねじを有する保持部材に保持され、
    　前記送りねじ軸を用いて、前記トルク発生部材の通し穴に前記雌ねじを加工することを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアガイド。
  5. 　前記保持部材には、前記トルク発生部材の一方側に前記雌ねじが形成され、前記トルク発生部材の他方側に前記送りねじ軸が入る通し穴が形成されることを特徴とする請求項４に記載のリニアガイド。 
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