WO2023229197A1 - 프로브 핀 비전 검사장치 - Google Patents

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WO2023229197A1
WO2023229197A1 PCT/KR2023/004206 KR2023004206W WO2023229197A1 WO 2023229197 A1 WO2023229197 A1 WO 2023229197A1 KR 2023004206 W KR2023004206 W KR 2023004206W WO 2023229197 A1 WO2023229197 A1 WO 2023229197A1
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WO
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probe pin
guide plate
inspected
inspection device
rotating roller
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PCT/KR2023/004206
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English (en)
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Inventor
진천덕
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주식회사 휴로
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
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    • G01N2201/10—Scanning
    • G01N2201/104—Mechano-optical scan, i.e. object and beam moving

Definitions

  • the present invention relates to a vision inspection device. More specifically, it not only allows quick and accurate inspection of probe pins applied to probe cards for defects, but also allows easy separation of good and defective products during the defect inspection process. It relates to a probe pin vision inspection device that allows
  • Defective products may occur during the semiconductor manufacturing process.
  • the electrical characteristics of the chip can be tested by connecting a probe card such as disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2013-0019602 between the chip and the test equipment.
  • the probe card includes a printed circuit board and a probe pin.
  • the printed circuit board With the probe pin in contact with the pad, which is the electrical path of the chip, the printed circuit board receives the electrical signal supplied from the test equipment and transmits it to the probe pin. Since the electrical characteristics of the chip can be inspected, defective products can be selected thereby.
  • probe pin inspection is conducted not only to ensure that defects are inspected quickly and accurately during the manufacturing process of probe pins applied to probe cards, but also to facilitate separate collection of good and defective products during the defect test process. Attempts are being made to develop the device, but satisfactory results have not been obtained so far.
  • Patent Document 1 Republic of Korea Patent Publication No. 10-2013-0019602
  • the present invention was proposed to solve the problems of the prior art as described above. It not only ensures that defects are inspected quickly and accurately during the manufacturing process of probe pins applied to probe cards, but also ensures that good and defective products are separated during the defect inspection process.
  • the purpose is to provide a probe pin inspection device that allows easy separation and collection.
  • a rotating roller disposed at the lower part of the storage tank and rotated by a motor to transport the inspection target probe pin discharged through the opening in one direction; It is disposed to be inclined downward in one direction from the bottom of the rotating roller to provide a flow path for the probe pin to be inspected, and supports the probe pin to be inspected while flowing through a movable piece disposed to be able to be raised and lowered between one end and the other end in the longitudinal direction.
  • a camera that photographs the probe pin to be inspected supported by the movable piece on the upper part of the guide plate; a storage box disposed in front of the guide plate to accommodate the inspection target probe pin discharged from the guide plate through one of a first storage compartment and a second storage compartment; and a main body that supports the reservoir, rotating roller, guide plate, camera, and storage box through a vertical support part and a horizontal support part connected thereto.
  • the probe pin vision inspection device captures the probe pin to be inspected by a camera when the probe pin to be inspected, which is discharged from the storage tank and transported by rotation of the rotating roller, is located on the guide plate, and analyzes the captured image. Accordingly, the probe pin to be inspected can be inspected for defects, so the inspection for defects in the probe pin to be inspected can be performed quickly and accurately compared to visual inspection.
  • the probe pin to be inspected moving on a guide plate is supported by a movable piece, and the probe pin to be inspected can be rotated by raising the movable piece, so that the probe pin to be inspected is inspected through a camera. Since multiple sides of the pin can be photographed, inspection of the probe pin being inspected for defects can be performed more accurately.
  • the storage box moves linearly by a linear motion module so that one of the first storage compartment and the second storage compartment can be selectively adjacent to one end of the guide plate in the longitudinal direction, so that the image of the camera shot is selectively adjacent to one end of the guide plate.
  • the storage box is moved in a straight line to accept good products through one of the first and second storage compartments and accept defective products through the other one of the first and second storage compartments. By doing so, separate collection of good and defective products can be easily accomplished.
  • Figure 1 is a perspective view showing the external appearance of the probe pin vision inspection device according to the present invention.
  • Figure 2 is a front view of the probe pin vision inspection device according to the present invention.
  • Figure 3 is an exemplary diagram showing the reception and discharge of probe pins through a reservoir in the probe pin vision inspection device according to the present invention.
  • Figure 4 is an exemplary diagram showing probe pin transfer through a rotating roller in the probe pin vision inspection device according to the present invention.
  • Figure 5 is an exemplary diagram showing a plurality of grooves formed on a rotating roller in the probe pin vision inspection device according to the present invention.
  • Figure 6 is an exemplary diagram showing the elevation of the movable piece of the guide plate in the probe pin vision inspection device according to the present invention.
  • Figure 7 is an exemplary diagram showing the rotation of the probe pin by raising and lowering the movable piece of the guide plate in the probe pin vision inspection device according to the present invention.
  • Figure 8 is an example diagram showing probe pin imaging using a camera in the probe pin vision inspection device according to the present invention.
  • Figure 9 is an exemplary diagram showing the linear movement of a storage box in the probe pin vision inspection device according to the present invention.
  • the probe pin vision inspection device (A) includes a storage tank 100; Rotating roller (200); Guide plate 300; camera 400; storage box (500); and a main body 600.
  • the storage tank 100 of the present invention discharges a plurality of inspection target probe pins (P) accommodated in the internal space 110 one by one through the opening 120 at the bottom.
  • the storage tank 100 includes a vibrator 130 disposed on one side, so that the probe pin P to be inspected can be moved by vibration caused by the vibrator 130.
  • the vibrator 130 may be of any conventional structure and method as long as it can apply vibration to the storage tank 100, and a detailed description of the vibrator 130 will be omitted.
  • the rotating roller 200 of the present invention is disposed at the lower part of the storage tank 100, and rotates by driving the motor 210 to transport the inspection target probe pin (P) discharged through the opening 120 in one direction. do.
  • the rotating roller 200 includes a groove portion 220 extending in the longitudinal direction on the outer peripheral surface, so that the probe pin P to be inspected is inserted into the groove portion 220, thereby preventing the probe pin P to be inspected from being unintended. Unplanned departure can be prevented.
  • groove portion 220 may be formed single or in plural pieces.
  • a plurality of groove portions 220 are disposed radially on the outer peripheral surface of the rotating roller 200, so that a plurality of probe pins P to be inspected can be transferred by one rotation of the rotating roller 200.
  • the guide plate 300 of the present invention is disposed to be inclined downward in one direction from the bottom of the rotating roller 200 to provide a flow path for the probe pin (P) to be inspected, and is arranged to be able to be raised and lowered between one end and the other end in the longitudinal direction.
  • the probe pin (P) to be inspected while flowing is supported through the movable piece 310.
  • the guide plate 300 includes a lifting module 320 that supports the movable piece 310 so that it can be lifted up and down, so that the movable piece 310 can be lifted up and down by the lifting module 320.
  • the lifting module 320 includes a screw 321 that rotates by driving a motor 321a; and a moving member 322 spirally engaged with the screw 321.
  • a moving member 322 By including a movable member 322 connected to the moving member 322 as the moving member 322 moves in one direction and the other direction due to forward and reverse rotation of the screw 321.
  • the flight 310 can be lifted and lowered.
  • the movable piece 310 includes a close contact member 311 disposed on one surface in contact with the probe pin (P) to be inspected, so that the probe to be inspected is in contact with the close contact member 311 when the movable piece 310 is raised and lowered. Since the pin (P) can be rotated, other sides other than one side of the probe pin (P) to be inspected can be photographed through the camera 400.
  • the adhesion member 311 may be of any type as long as it is in close contact with the probe pin P to be inspected and prevents slipping.
  • An example of the adhesion member 311 may be a rubber plate.
  • the movable piece 310 is lowered after the camera 400 captures the image, so that the inspection target probe pin P supported by the movable piece 310 can move downward along the guide plate 300.
  • the movable piece 310 has a protrusion 312 formed at one end in the longitudinal direction, more specifically at the bottom, so that a fastening member (not shown) is fastened between the protrusion 312 and the moving member 322, thereby forming a moving member ( 322).
  • the camera 400 of the present invention photographs the probe pin P to be inspected supported by the movable piece 310 on the upper part of the guide plate 300.
  • the camera 400 is connected to a processing device (not shown in the drawing), so that the processing device analyzes the images captured by the camera 400 to determine whether the probe pin P to be inspected is good or defective.
  • the camera 400 may be of any conventional structure and method as long as it is capable of photographing the probe pin P to be inspected, and a detailed description of the camera 400 will be omitted.
  • the storage box 500 of the present invention is disposed in front of the guide plate 300 and has a probe pin (P) to be inspected discharged from the guide plate 300 through one of the first storage compartment 510 and the second storage compartment 520. accept.
  • P probe pin
  • the storage box 500 moves linearly by the linear motion module 530 so that one of the first storage compartment 510 and the second storage compartment 520 is positioned at one end of the guide plate 300 in the longitudinal direction, more specifically at the bottom. Optionally adjacent.
  • the linear motion module 530 moves linearly according to a signal from the processing device so that the inspection target probe pin (P) of the good product is accommodated in one of the first storage compartment 510 and the second storage compartment 520, and the probe pin (P) to be inspected for the defective product is accommodated in one of the first storage compartment 510 and the second storage compartment 520.
  • the probe pin P to be inspected is accommodated in the other one of the first storage compartment 510 and the second storage compartment 520, good products and defective products can be collected separately.
  • the linear motion module 530 includes a screw 531 that rotates by driving a motor 531a; and a moving member 532 spirally engaged with the screw 531.
  • the moving member 532 is moved in one direction and the other direction by the forward and reverse rotation of the screw 531. (500) Straight-line movement, more specifically, movement in the left and right directions can be achieved.
  • the main body 600 of the present invention includes a storage tank 100, a rotating roller 200, a guide plate 300, a camera 400, and a storage box 500 through a vertical support part 610 and a horizontal support part 620 connected thereto. I support it.
  • This main body 600 only supports the storage tank 100, the rotating roller 200, the guide plate 300, the camera 400, and the storage box 500 and has no special function. Detailed description of is omitted.
  • a detailed description of the inspection for defects in the probe pin (P) to be inspected using the probe pin vision inspection device (A) according to the present invention is as follows.
  • a plurality of probe pins (P) to be inspected are accommodated in the storage tank 100.
  • inspection target probe pins (P) accommodated in the storage tank 100 are discharged one by one through the opening 120 at the bottom of the storage tank 100, as shown in FIG. 3.
  • the storage tank 100 may include a vibrator 130, and the inspection target probe pin (P) accommodated in the storage tank 100 flows due to the vibration of the vibrator 130 through the opening 120. It can be discharged smoothly.
  • the rotating roller 200 includes a groove portion 220 formed along the longitudinal direction on the outer peripheral surface, and the inspection target probe pin P inserted into the groove portion 220 after being discharged from the storage tank 100 is rotated roller ( 200) As the rotation occurs, it can be transferred in one direction, more specifically, to the upper surface of the guide plate 300.
  • the inspection target probe pin (P) inserted into the groove portion 220 leaves the groove portion 220 due to its own weight when the groove portion 220 is directed downward due to the rotation of the rotating roller 200, and the guide plate ( 300).
  • the groove portion 220 may be formed single or in plural pieces, and in particular, the groove portion 220 formed in plural pieces is radially disposed on the outer peripheral surface of the rotating roller 200 as shown in FIG. 5.
  • the rotating roller 200 A plurality of probe pins (P) to be inspected can be transferred through one rotation.
  • the guide plate 300 includes a movable piece 310 that goes up and down between one end and the other end in the longitudinal direction.
  • the probe pin P to be inspected is supported by the movable piece 310 in the raised state, that is, the inspection object is inspected.
  • the flow of the target probe pin (P) may be blocked.
  • the lifting module 320 that supports the movable piece 310 so that it can be lifted and lowered includes a screw 321 that rotates by driving a motor 321a; and a moving member 322 spirally engaged with the screw 321. As shown in FIG. 6, the moving member 322 moves in one direction and the other by rotating the screw 321 forward and backward. Accordingly, the movable piece 310 connected to the moving member 322 can be lifted and lowered.
  • the probe pin P to be inspected can be inspected simply and quickly for defects.
  • the movable piece 310 is lifted and lowered by the lifting module 320, and as shown in FIG. 7, the movable piece 310 is lifted and lowered, for example, raised, through the lifting module 320, thereby making contact with the inspection. Since the target probe pin (P) rotates at the corresponding position, multiple surfaces of the inspection target probe pin (P) can be photographed through the camera 400, so that the inspection target probe pin (P) can be accurately inspected for defects. .
  • the probe pin P to be inspected for which imaging has been completed is accommodated in the storage box 500 provided with the first storage compartment 510 and the second storage compartment 520.
  • the storage box 500 moves linearly by the linear motion module 530, and one of the first storage compartment 510 and the second storage compartment 520 is selectively adjacent to one end of the guide plate 300.
  • the probe pin (P) to be inspected may be accommodated in either the first storage compartment (510) or the second storage compartment (520).
  • the linear motion module 530 includes a screw 531 that rotates by driving a motor 531a; and a moving member 532 spirally engaged with the screw 531. As shown in FIG. 9, the moving member 532 moves in one direction and the other by rotating the screw 531 forward and backward. Accordingly, the storage box 500 connected to the moving member 532 can be moved in a straight line, more specifically, moved in the left and right directions.
  • the linear motion module 530 moves linearly according to a signal from the processing device, and the probe pin (P) to be inspected for a good product is accommodated in one of the first storage compartment 510 and the second storage compartment 520. And, by accommodating the probe pin (P) to be inspected for defective products in the other one of the first storage compartment 510 and the second storage compartment 520, separate collection of good products and defective products can be easily performed.
  • protrusion 320 lifting module
  • 500 storage box 510: first storage compartment
  • Second storage compartment 530 Linear motion module
  • moving member 600 main body
  • the present invention not only enables quick and accurate inspection of probe pins applied to probe cards for defects, but also facilitates separate collection of good and defective products during the defect inspection process, thereby helping industries related to the production of probe pin vision inspection devices. There is a possibility of availability.

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Abstract

본 발명은, 프로브 카드에 적용되는 프로브 핀의 불량 여부 검사가 신속하고 정확하게 이루어질 있도록 할 뿐만 아니라 불량 여부 검사 과정에서 양품 및 불량품의 분리 수거가 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 프로브 핀 비전 검사장치에 관한 것이다.

Description

프로브 핀 비전 검사장치
본 발명은 비전 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프로브 카드에 적용되는 프로브 핀의 불량 여부 검사가 신속하고 정확하게 이루어질 있도록 할 뿐만 아니라 불량 여부 검사 과정에서 양품 및 불량품의 분리 수거가 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 프로브 핀 비전 검사장치에 관한 것이다.
반도체 제조 과정에서는 불량품이 발생할 수 있다.
이러한 이유로 반도체 제조 과정에서 웨이퍼를 구성하는 칩 각각의 전기적 특성 검사를 실시하여 블량품을 선별하고 있다.
한편, 칩의 전기적 특성 검사는 칩과 테스트 장비 사이에 대한민국 공개특허 제10-2013-0019602호 등에 개시된 바와 같은 프로브 카드를 연결함으로써 이루어질 수 있다.
이때, 프로브 카드는 인쇄회로기판 및 프로브 핀을 포함하는바, 프로브 핀이 칩의 전기적 통로인 패드에 접촉된 상태에서 인쇄회로기판이 테스트 장비에서 공급되는 전기적 신호를 받아 프로브 핀으로 전달함에 따라 해당 칩의 전기적 특성 검사가 이루어질 수 있으므로 이에 의해 불량품을 선별할 수 있다.
다만, 프로브 핀 자체가 불량인 경우 전기적 특성 검사가 불가해 지거나 전기적 특성 검사 결과의 신뢰도가 저하되는 문제가 있었다.
즉, 프로브 핀에 흠집 등의 손상이 발생한 경우 전기적 신호 전달이 불가해 지거나 전기적 신호 전달 과정에서 손실이 발생하게 되므로 전기적 특성 검사가 불가해 지거나 전기적 특성 검사가 정확히 이루어질 수 없게 되어 불량 칩의 선별이 곤란해지는 문제가 있었다.
이에 프로브 핀 제조 과정에서 불량 여부 검사를 실시하고 있다.
그러나 종래 프로브 핀 불량 여부의 검사는 작업자에 의해 육안으로 이루어졌던바, 프로핀 핀 불량 여부 검사에 상당한 시간 및 인력이 소요되는 문제가 있었을 뿐만 아니라 특히 작업자의 숙련도 등에 따라서는 불량 여부 검사의 정확도가 떨어지는 문제가 있었다.
그리고 종래 프로브 핀 불량 여부 검사 과정에서는 양품 및 불량품의 분리 수거 또한 작업자에 의해 수작업으로 이루어졌던바, 양품 및 불량품 분리 수거에 상당한 시간 및 인력이 소요되는 문제가 있었다.
상기의 이유로 해당 분야에서는 프로브 카드에 적용되는 프로브 핀의 제조 과정에서 불량 여부 검사가 신속하고 정확하게 이루어질 있도록 할 뿐만 아니라 불량 여부 검사 과정에서 양품 및 불량품의 분리 수거가 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 프로브 핀 검사장치의 개발을 시도하고 있으나, 현재까지는 만족할 만한 결과를 얻지 못하고 있는 실정이다.
[선행기술문헌]
[특허문헌]
(특허문헌 1) 대한민국 공개특허 제10-2013-0019602호
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위하여 제안된 것으로, 프로브 카드에 적용되는 프로브 핀의 제조 과정에서 불량 여부 검사가 신속하고 정확하게 이루어질 있도록 할 뿐만 아니라 불량 여부 검사 과정에서 양품 및 불량품의 분리 수거가 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 프로브 핀 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,
내부 공간에 수용되는 복수 개의 검사 대상 프로브 핀을 하단의 개방구를 통해 하나씩 배출하는 저장조; 상기 저장조의 하부에 배치되되, 모터 구동에 의해 회전하여 상기 개방구를 통해 배출되는 상기 검사 대상 프로브 핀을 일 방향으로 이송하는 회전롤러; 상기 회전롤러 하단으로부터 일 방향으로 하향 경사지게 배치되어 상기 검사 대상 프로브 핀의 유동 경로를 제공하되, 길이 방향 일단과 타단 사이에 승강 가능하게 배치되는 가동편을 통해 유동 중의 상기 검사 대상 프로브 핀을 지지하는 가이드 플레이트; 상기 가이드 플레이트 상부에서 상기 가동편에 의해 지지되는 상기 검사 대상 프로브 핀을 촬영하는 카메라; 상기 가이드 플레이트 전방에 배치되어 제1수납칸 및 제2수납칸 중의 어느 하나를 통해 상기 가이드 플레이트로부터 배출되는 상기 검사 대상 프로브 핀을 수용하는 수납함; 및 수직지지부 및 이에 연결된 수평지지부를 통해 상기 저장조, 회전롤러, 가이드 플레이트, 카메라 및 수납함을 지지하는 본체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀 비전 검사장치를 제안한다.
본 발명에 의한 프로브 핀 비전 검사장치는, 저장조에서 배출되어 회전롤러 회전에 의해 이송되는 검사 대상 프로브 핀이 가이드 플레이트에 위치할 때 카메라에 의해 검사 대상 프로브 핀 촬영이 이루어지는바, 촬영 이미지를 분석함에 따라 검사 대상 프로브 핀의 불량 여부 검사가 이루어질 수 있으므로 육안 검사에 비해 검사 대상 프로브 핀의 불량 여부 검사가 신속하고 정확하게 이루어질 수 있다.
본 발명에 의한 프로브 핀 비전 검사장치는, 가이드 플레이트에서 유동하는 검사 대상 프로브 핀이 가동편에 의해 지지되는바, 가동편을 상승시킴으로써 검사 대상 프로브 핀의 회전이 이루어질 수 있으므로 카메라를 통해 검사 대상 프로브 핀의 복수 개 면을 촬영할 수 있어 검사 대상 프로브 핀의 불량 여부 검사가 더욱 정확히 이루어질 수 있다.
본 발명에 의한 프로브 핀 비전 검사장치는, 수납함이 직선운동모듈에 의해 직선 운동하여 제1수납칸 및 제2수납칸 중의 어느 하나가 가이드 플레이트 길이 방향 일단에 선택적으로 인접할 수 있는바, 카메라 촬영물의 이미지 분석을 통한 검사 대상 프로브 핀의 양품 및 불량품 여부에 따라 수납함을 직선 운동시켜 제1수납칸 및 제2수납칸 중의 어느 하나를 통해 양품을 수용 및 제1수납칸 및 제2수납칸 중의 다른 하나를 통해 불량품을 수용함으로써 양품 및 불량품의 분리 수거가 용이하게 이루어질 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 프로브 핀 비전 검사장치의 외형을 보인 사시도이다.
도 2는 본 발명에 의한 프로브 핀 비전 검사장치의 정면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 프로브 핀 비전 검사장치에서 저장조를 통한 프로브 핀 수용과 배출을 보인 예시도이다.
도 4는 본 발명에 의한 프로브 핀 비전 검사장치에서 회전롤러를 통한 프로브 핀 이송을 보인 예시도이다.
도 5는 본 발명에 의한 프로브 핀 비전 검사장치에서 회전롤러에 복수 개의 홈부가 형성된 형태를 보인 예시도이다.
도 6은 본 발명에 의한 프로브 핀 비전 검사장치에서 가이드 플레이트의 가동편 승강을 보인 예시도이다.
도 7은 본 발명에 의한 프로브 핀 비전 검사장치에서 가이드 플레이트의 가동편 승강에 의한 프로브 핀 회전을 보인 예시도이다.
도 8은 본 발명에 의한 프로브 핀 비전 검사장치에서 카메라를 통한 프로브 핀 촬영을 보인 예시도이다.
도 9는 본 발명에 의한 프로브 핀 비전 검사장치에서 수납함의 직선 운동을 보인 예시도이다.
이하, 첨부 도면에 의거 본 발명에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명에 의한 프로브 핀 비전 검사장치(A)는, 저장조(100); 회전롤러(200); 가이드 플레이트(300); 카메라(400); 수납함(500); 및 본체(600);를 포함한다.
본 발명의 저장조(100)는 내부 공간(110)에 수용되는 복수 개의 검사 대상 프로브 핀(P)을 하단의 개방구(120)를 통해 하나씩 배출한다.
이때, 저장조(100)는 어느 일 면에 배치되는 진동자(130)를 포함함으로써 진동자(130)에 의한 진동에 의해 검사 대상 프로브 핀(P)의 유동이 이루어질 수 있다.
한편, 진동자(130)는 저장조(100)에 진동을 가할 수 있는 것이라면 통상의 어떠한 구조 및 방식의 것이어도 무방한바, 진동자(130)에 관한 상세한 설명은 생략한다.
본 발명의 회전롤러(200)는, 저장조(100)의 하부에 배치되되, 모터(210) 구동에 의해 회전하여 개방구(120)를 통해 배출되는 검사 대상 프로브 핀(P)을 일 방향으로 이송한다.
이때, 회전롤러(200)는 외주면에 길이 방향으로 이어지게 형성되는 홈부(220)를 포함함으로써 홈부(220)에 검사 대상 프로브 핀(P)이 끼워짐에 따라 검사 대상 프로브 핀(P)의 의도하지 않은 이탈이 방지될 수 있다.
여기서, 홈부(220)는 단일 또는 복수 개로 형성될 수 있다.
한편, 복수 개로 형성되는 홈부(220)는 회전롤러(200) 외주면에 방사상으로 배치됨으로써 회전롤러(200) 1회전에 의해 복수 개의 검사 대상 프로브 핀(P) 이송이 이루어질 수 있다.
본 발명의 가이드 플레이트(300)는, 회전롤러(200) 하단으로부터 일 방향으로 하향 경사지게 배치되어 검사 대상 프로브 핀(P)의 유동 경로를 제공하되, 길이 방향 일단과 타단 사이에 승강 가능하게 배치되는 가동편(310)을 통해 유동 중의 검사 대상 프로브 핀(P)을 지지한다.
이때, 가이드 플레이트(300)는 가동편(310)을 승강 가능하게 지지하는 승강모듈(320)을 포함함으로써 승강모듈(320)에 의해 가동편(310)의 승강이 이루어질 수 있다.
여기서, 승강모듈(320)은, 모터(321a) 구동에 의해 회전하는 스크류(321); 및 스크류(321)에 나선 물림하는 이동부재(322);를 포함함으로써 스크류(321)의 정역 회전에 의한 이동부재(322)의 일방향 및 타방향 이동이 이루어짐에 따라 이동부재(322)에 연결된 가동편(310)의 승강이 이루어질 수 있다.
그리고 가동편(310)은 검사 대상 프로브 핀(P)과 접촉하는 일 면에 배치되는 밀착부재(311)를 포함함으로써 가동편(310)이 승강할 때 밀착부재(311)와 접촉하는 검사 대상 프로브 핀(P)의 회전이 이루어질 수 있어 카메라(400)를 통해 검사 대상 프로브 핀(P)의 일 면 외 다른 면을 촬영할 수 있다.
이때, 밀착부재(311)는 검사 대상 프로브 핀(P)과 긴밀히 접촉하여 미끄러짐을 방지할 수 있는 것이라면 통상의 어떠한 종류의 것이어도 무방하며, 그 일례로는 고무판일 수 있다.
한편, 가동편(310)은 카메라(400)의 촬영 이후 하강함으로써 이에 의해 지지되던 검사 대상 프로브 핀(P)이 가이드 플레이트(300)를 따라 하부로 유동할 수 있다.
그리고 가동편(310)은 길이 방향 일단, 더욱 구체적으로 하단에 돌출부(312)가 형성됨으로써 돌출부(312)와 이동부재(322) 사이에 체결부재(도면부호 미표시) 체결이 이루어짐에 따라 이동부재(322)에 결합될 수 있다.
본 발명의 카메라(400)는 가이드 플레이트(300) 상부에서 가동편(310)에 의해 지지되는 검사 대상 프로브 핀(P)을 촬영한다.
이때, 카메라(400)는 처리장치(도면상 미도시)에 연결됨으로써 처리장치에서 카메라(400) 촬영물의 이미지를 분석함에 따라 검사 대상 프로브 핀(P)의 양품 및 불량품 여부가 판단될 수 있다.
한편, 카메라(400)는 검사 대상 프로브 핀(P)을 촬영할 수 있는 것이라면 통상의 어떠한 구조 및 방식의 것이어도 무방한바, 카메라(400)에 관한 상세한 설명은 생략한다.
본 발명의 수납함(500)은 가이드 플레이트(300) 전방에 배치되어 제1수납칸(510) 및 제2수납칸(520) 중의 어느 하나를 통해 가이드 플레이트(300)로부터 배출되는 검사 대상 프로브 핀(P)을 수용한다.
이때, 수납함(500)은, 직선운동모듈(530)에 의해 직선 운동함으로써 제1수납칸(510) 및 제2수납칸(520) 중의 어느 하나가 가이드 플레이트(300) 길이 방향 일단, 더욱 구체적으로 하단에 선택적으로 인접한다.
여기서, 직선운동모듈(530)은 처리장치의 신호에 따라 직선 운동함으로써 양품의 검사 대상 프로브 핀(P)이 제1수납칸(510) 및 제2수납칸(520) 중의 어느 하나에 수용되고, 불량품의 검사 대상 프로브 핀(P)이 제1수납칸(510) 및 제2수납칸(520) 중의 다른 하나에 수용됨에 따라 양품 및 불량품의 분리 수거가 이루어질 수 있다.
한편, 직선운동모듈(530)은, 모터(531a) 구동에 의해 회전하는 스크류(531); 및 스크류(531)에 나선 물림하는 이동부재(532);를 포함함으로써 스크류(531)의 정역 회전에 의해 이동부재(532)의 일방향 및 타방향 이동이 이루어짐에 따라 이동부재(532)에 연결된 수납함(500)의 직선운동, 더욱 구체적으로 좌우 방향 이동이 이루어질 수 있다.
본 발명의 본체(600)는 수직지지부(610) 및 이에 연결된 수평지지부(620)를 통해 저장조(100), 회전롤러(200), 가이드 플레이트(300), 카메라(400) 및 수납함(500)을 지지한다.
이와 같은 본체(600)는 저장조(100), 회전롤러(200), 가이드 플레이트(300), 카메라(400) 및 수납함(500)을 지지하는 것일 뿐 특별한 기능을 갖는 것은 아닌바, 본체(600)에 관한 상세한 설명은 생략한다.
본 발명에 의한 프로브 핀 비전 검사장치(A)를 통한 검사 대상 프로브 핀(P)의 불량 여부 검사에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에서 저장조(100) 내에는 복수 개의 검사 대상 프로브 핀(P)이 수용된다.
그리고 저장조(100) 내에 수용된 검사 대상 프로브 핀(P)은 도 3에 도시된 바와 같이 저장조(100) 하단의 개방구(120)를 통해 하나씩 배출된다.
이때, 저장조(100)는 진동자(130)를 포함할 수 있는바, 저장조(100)에 수용된 검사 대상 프로브 핀(P)이 진동자(130)의 진동에 의해 유동하게 되므로 개방구(120)를 통해 원활히 배출될 수 있다.
그리고 저장조(100)를 통해 배출된 검사 대상 프로브 핀(P)은 회전롤러(200)에 의해 이송된다.
이때, 회전롤러(200)는 외주면에 길이 방향으로 이어지게 형성되는 홈부(220)를 포함하는바, 저장조(100)로부터 배출된 후 홈부(220)에 끼워진 검사 대상 프로브 핀(P)이 회전롤러(200) 회전이 이루어짐에 따라 일 방향, 더욱 구체적으로 가이드 플레이트(300) 상면으로 이송될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이 홈부(220)에 끼워진 검사 대상 프로브 핀(P)은 회전롤러(200) 회전에 의해 홈부(220)가 하부로 향할 때 자중에 의해 홈부(220)를 벗어나며 가이드 플레이트(300)에 안착될 수 있다.
여기서, 홈부(220)는 단일 또는 복수 개로 형성될 수 있고, 특히 복수 개로 형성되는 홈부(220)는 도 5에 도시된 바와 같이 회전롤러(200) 외주면에 방사상으로 배치되는바, 회전롤러(200) 1회전에 의해 복수 개의 검사 대상 프로브 핀(P) 이송이 이루어질 수 있다.
그리고 회전롤러(200)에 의해 이송된 검사 대상 프로브 핀(P)은 가이드 플레이트(300)를 따라 유동한다.
이때, 가이드 플레이트(300)는 길이 방향 일단과 타단 사이에서 승강하는 가동편(310)을 포함하는바, 상승한 상태의 가동편(310)에 의해 검사 대상 프로브 핀(P)의 지지, 다시 말해 검사 대상 프로브 핀(P)의 유동 차단이 이루어질 수 있다.
여기서, 가동편(310)을 승강 가능하게 지지하는 승강모듈(320)은, 모터(321a) 구동에 의해 회전하는 스크류(321); 및 스크류(321)에 나선 물림하는 이동부재(322);를 포함하는바, 도 6에 도시된 바와 같이 스크류(321)의 정역 회전에 의한 이동부재(322)의 일방향 및 타방향 이동이 이루어짐에 따라 이동부재(322)에 연결된 가동편(310)의 승강이 이루어질 수 있다.
그리고 가동편(310)에 의해 지지되는 검사 대상 프로브 핀(P)은 도 8에 도시된 바와 같이 카메라(400)에 의해 촬영된다.
따라서 처리장치를 통해 카메라(400) 촬영물의 이미지를 분석함으로써 해당 검사 대상 프로브 핀(P)의 불량 여부가 간단하고 신속하게 검사될 수 있다.
다만, 검사 대상 프로브 핀(P)에서 흠집 등은 다양한 부위에 존재할 수 있는바, 카메라(400)가 검사 대상 프로브 핀(P)의 일 면만 촬영하는 경우 불량 여부 검사가 부정확할 수 있다.
그러나 본 발명에서 가동편(310)은 승강모듈(320)에 의해 승강하는바, 도 7에 도시된 바와 같이 승강모듈(320)을 통해 가동편(310)을 승강, 예컨대 상승시킴으로써 이와 접촉하는 검사 대상 프로브 핀(P)이 해당 위치에서 회전하게 되므로 카메라(400)를 통해 검사 대상 프로브 핀(P)의 복수 개 면을 촬영할 수 있어 검사 대상 프로브 핀(P)의 불량 여부 검사가 정확히 이루어질 수 있다.
한편, 촬영 완료된 검사 대상 프로브 핀(P)은 제1수납칸(510) 및 제2수납칸(520)이 마련된 수납함(500)에 수용된다.
이때, 수납함(500)은, 직선운동모듈(530)에 의해 직선 운동하는바, 제1수납칸(510) 및 제2수납칸(520) 중의 어느 하나가 가이드 플레이트(300) 일단에 선택적으로 인접하게 되므로 검사 대상 프로브 핀(P)이 제1수납칸(510) 및 제2수납칸(520) 중의 어느 하나에 수용될 수 있다.
여기서, 직선운동모듈(530)은, 모터(531a) 구동에 의해 회전하는 스크류(531); 및 스크류(531)에 나선 물림하는 이동부재(532);를 포함하는바, 도 9에 도시된 바와 같이 스크류(531)의 정역 회전에 의해 이동부재(532)의 일방향 및 타방향 이동이 이루어짐에 따라 이동부재(532)에 연결된 수납함(500)의 직선운동, 더욱 구체적으로 좌우 방향 이동이 이루어질 수 있다.
그리고 본 발명에서 직선운동모듈(530)은 처리장치의 신호에 따라 직선 운동하는바, 양품의 검사 대상 프로브 핀(P)을 제1수납칸(510) 및 제2수납칸(520) 중의 어느 하나에 수용시키고, 불량품의 검사 대상 프로브 핀(P)을 제1수납칸(510) 및 제2수납칸(520) 중의 다른 하나에 수용시킴으로써 양품 및 불량품의 분리 수거가 용이하게 이루어질 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하므로 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 변경 가능하며, 그와 같은 변경은 이하 청구범위 기재에 의하여 정의되는 본 발명의 보호범위 내에 있게 된다.
[부호의 설명]
100 : 저장조 110 : 내부 공간
120 : 개방구 130 : 진동자
200 : 회전롤러 210 : 모터
220 : 홈부 300 : 가이드 플레이트
310 : 가동편 311 : 밀착부재
312 : 돌출부 320 : 승강모듈
321 : 스크류 321a : 모터
322 : 이동부재 400 : 카메라
500 : 수납함 510 : 제1수납칸
520 : 제2수납칸 530 : 직선운동모듈
531 : 스크류 531a : 모터
532 : 이동부재 600 : 본체
610 : 수직지지부 620 : 수평지지부
A : 프로브 핀 비전 검사장치 P : 프로브 핀
본 발명은, 프로브 카드에 적용되는 프로브 핀의 불량 여부 검사가 신속하고 정확하게 이루어질 있도록 할 뿐만 아니라 불량 여부 검사 과정에서 양품 및 불량품의 분리 수거가 용이하게 이루어질 수 있도록 하므로 프로브 핀 비전 검사장치 생산 관련 산업상 이용가능성이 있다.

Claims (5)

  1. 내부 공간에 수용되는 복수 개의 검사 대상 프로브 핀을 하단의 개방구를 통해 하나씩 배출하는 저장조;
    상기 저장조의 하부에 배치되되, 모터 구동에 의해 회전하여 상기 개방구를 통해 배출되는 상기 검사 대상 프로브 핀을 일 방향으로 이송하는 회전롤러;
    상기 회전롤러 하단으로부터 일 방향으로 하향 경사지게 배치되어 상기 검사 대상 프로브 핀의 유동 경로를 제공하되, 길이 방향 일단과 타단 사이에 승강 가능하게 배치되는 가동편을 통해 유동 중의 상기 검사 대상 프로브 핀을 지지하는 가이드 플레이트;
    상기 가이드 플레이트 상부에서 상기 가동편에 의해 지지되는 상기 검사 대상 프로브 핀을 촬영하는 카메라;
    상기 가이드 플레이트 전방에 배치되어 제1수납칸 및 제2수납칸 중의 어느 하나를 통해 상기 가이드 플레이트로부터 배출되는 상기 검사 대상 프로브 핀을 수용하는 수납함; 및
    수직지지부 및 이에 연결된 수평지지부를 통해 상기 저장조, 회전롤러, 가이드 플레이트, 카메라 및 수납함을 지지하는 본체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀 비전 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 회전롤러는 외주면에 길이 방향으로 이어지게 형성되는 홈부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀 비전 검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 가이드 플레이트는 상기 가동편을 승강 가능하게 지지하는 승강모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀 비전 검사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 승강모듈은, 모터 구동에 의해 회전하는 스크류; 및 상기 스크류에 나선 물림하는 이동부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀 비전 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 수납함은 직선운동모듈에 의해 직선 운동하여 상기 제1수납칸 및 제2수납칸 중의 어느 하나가 상기 가이드 플레이트 길이 방향 일단에 선택적으로 인접하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀 비전 검사장치.
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